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文档简介

半导体物理

复习闪卡

第二章半导体中杂质和缺陷能级12015年10月硅、锗晶体中的杂质能级2硅、锗晶体中的杂质能级化合物半导体中的杂质能级缺陷、位错能级小结杂质存在的方式金刚石结构Si中,一个晶胞内的原子占晶体原胞的34%,空隙占66%杂质——与本体元素不同的其他元素缺陷——原子周期性排列被破坏影响半导体材料的物理、化学性质硅、锗晶体中的杂质能级3SiSiSiSiSiSiSiPSiLi半导体中杂质存在方式有:_____式

和_____式____族的替位杂质——施主杂质或___型杂质在硅Si中掺入PSiSiSiSiSiSiSiP+Si电离后:磷原子替代硅原子后,形成一个____和一个_________。硅、锗晶体中的杂质能级施主杂质、施主能级含有施主杂质的半导体,其导电的载流子主要是_____,被称为____型半导体,或_____6施主杂质、施主能级被施主杂质束缚的电子的能量比______略低,称为施主能级____。E?施主电离能△ED=弱束缚的电子摆脱杂质原子束缚成为晶格中自由运动的电子(导带中的电子)所需要的能量。△ED=?-?6E?E?E?7在Si中掺入B____族替位杂质——受主杂质B获得一个电子变成_____,周围产生带____电的_____。B-+B-E?受主杂质、受主能级受主杂质向价带提供______。被受主杂质束缚的空穴能量比价带顶E?_____

,称为受主能级,E?8E?E?E?受主电离能△EA=空穴摆脱受主杂质束缚成为导电空穴所需要的能量△EA=?-?受主杂质、受主能级含有受主杂质的半导体,其导电的载流子主要是____,被称为____型半导体,或_____。10杂质激发、杂质半导体

本征激发、本征半导体杂质半导体杂质半导体中杂质载流子浓度______本征载流子浓度Si在室温下,本征载流子浓度为?/cm3杂质的补偿作用12EcED电离施主电离受主Ev(1)ND>NA半导体中同时存在施主和受主杂质,施主和受主之间有互相抵消的作用,即杂质的补偿作用EA有效的施主浓度n=_________,此时半导体为_____型.

14(3)ND≈NA杂质的高度补偿EcEDEAEv本征激发产生的导带电子本征激发产生的价带空穴杂质的补偿作用

深能级杂质15浅能级杂质深能级杂质→能级_______导带底EC或价带顶EV,杂质电离能_______典型的深能级杂质元素有:?????ECEDEVEAEgECEAEVEDEg缺陷、位错能级缺陷对材料性能有重要的影响

理想晶体:??

实际晶体:??缺陷的类型点缺陷:空位、间隙原子线缺陷:位错面缺陷:层错、晶界硅、锗晶体中的杂质能级化合物半导体中的杂质能级缺陷、位错能级小结缺陷、位错能级杂质缺陷(组成缺陷):

外来原子进入主晶格产生的缺陷。在原晶体结构中进入了杂质原子,它与固有原子性质不同,破坏了原子排列的周期性,杂质原子在晶体中占据两种位置.空位原子的空位起受主作用SiSiSiSiSiSiSiSi填隙间隙原子缺陷起施主作用SiSiSiSiSiSiSiSiSiSi18(1)弗伦克尔缺陷(Frenkel)原子进入晶格的间隙位置,空位和间隙原子同时出现,晶体体积不发生变化,晶体不会因为出现空位而产生密度变化。特点:空位与间隙粒子成对出现,数量相等,晶体体积不发生变化。热缺陷(晶格位置缺陷)

缺陷、位错能级硅、锗晶体中的杂质能级化合物半导体中的杂质能级缺陷、位错能级小结20点缺陷和位错点缺陷:在三维尺寸均很小,只在某些位置发生,只影响邻近几个原子。是处于原子大小数量级上的缺陷。线缺陷(位错):缺陷尺寸在一维方向较长,另外二维方向上很短。在一维方向上偏离理想晶体中的周期性、规则性排列所产生的缺陷。这种线缺陷又称位错。面缺陷(层错):在密排晶面上缺少或多余一层原子而构成的缺陷。硅、锗晶体中的杂质能级化合物半导体中的杂质能级缺陷、位错能级小结缺陷

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