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第四章:微电子封装中的膜技术第四章:微电子封装中1外围元件互联线外围元件2电子封装工程中至关重要的膜材料及膜技术■薄膜与厚膜■膜及膜电路的功能■薄膜材料■薄膜成膜方法■厚膜材料■厚成膜方法■电路图形的成型方法电子封装工程中至关重要的31薄膜与厚膜■相对于三维块体材料,从一般意义上讲,所谓膜,由于其厚度尺寸很小,可以看做是物质的二维形按膜厚对膜的经典分类认为,小于1pm的为薄膜大于1pm的为厚膜按制作方法分类,由块体材料制作的,例如经轧制、锤打、碾压等,为厚膜;而由膜的构成物(specles)一层层堆积而成的为薄膜按存在的形态分类,只能形成于基体之上的为薄膜(包覆膜),不需要基体而独立成立的为厚膜(自立膜)1薄膜与厚膜42膜及膜电路的功能其主要功能有:气连接、元件搭载、特殊功能、表面改性■电气连接印制线路板(PWB)的发明,使电路及膜的形式与基板作为一体,元器件搭载在基板上并与导体端子相连接,使整个系统的低功耗、高可靠性及经济性能方面有重大提高■元件搭载芯片装载在封装基板(Interposer)上论采用引线键是倒装都离不焊接盘;元器件搭载在基板上,特别是ISI封装体实装在基板论采用DIP、SNT、COx、MC那种方式都离不开导体端子。焊盘、端子都时膜电路的一部分2膜及膜电路的功能5微电子封装中薄膜技术课件6微电子封装中薄膜技术课件7微电子封装中薄膜技术课件8微电子封装中薄膜技术课件9微电子封装中薄膜技术课件10微电子封装中薄膜技术课件11微电子封装中薄膜技术课件12微电子封装中薄膜技术课件13微电子封装中薄膜技术课件14微电子封装中薄膜技术课件15微电子封装中薄膜技术课件16微电子封装中薄膜技术课件17微电子封装中薄膜技术课件18微电子封装中薄膜技术课件19微电子封装中薄膜技术课件20微电子封装中薄膜技术课件21微电子封装中薄膜技术课件22微电子封装中薄膜技术课件23微电子封装中薄膜技术课件24微电子封装中薄膜技术课件25微电子封装中薄膜技术课件26微电子封装中薄膜技术课件27微电子封装中薄膜技术课件28微电子封装中薄膜技术课件29微电子封装中薄膜技术课件30微电子封装中薄膜技术课件31微电子封装中薄膜技术课件32微电子封装中薄膜技术课件33微电子封装中薄膜技术课件34微电子封装中薄膜技术课件35微电子封装中薄膜技术课件36微电子封装中薄膜技术课件37微电子封装中薄膜技术课件38微电子封装中薄膜技术课件39微电子封装中薄膜技术课件40微电子封装中薄膜技术课件41微电子封装中薄膜技术课件42微电子封装中薄膜技术课件43微电子封装中薄膜技术课件44微电子封装中薄膜技术课件45微电子封装中薄膜技术课件46微电子封装中薄膜技术课件47微电子封装中薄膜技术课件48微电子封装中薄膜技术课件49微电子封装中薄膜技术课件50微电子封装中薄膜技术课件51微电子封装中薄膜技术课件52微电子封装中薄膜技术课件53微电子封装中薄膜技术课件54微电子封装中薄膜技术课件55微电子封装中薄膜技术课件56微电子封装中薄膜技术课件57微电子封装中薄膜技术课件58第四章:微电子封装中的膜技术第四章:微电子封装中59外围元件互联线外围元件60电子封装工程中至关重要的膜材料及膜技术■薄膜与厚膜■膜及膜电路的功能■薄膜材料■薄膜成膜方法■厚膜材料■厚成膜方法■电路图形的成型方法电子封装工程中至关重要的611薄膜与厚膜■相对于三维块体材料,从一般意义上讲,所谓膜,由于其厚度尺寸很小,可以看做是物质的二维形按膜厚对膜的经典分类认为,小于1pm的为薄膜大于1pm的为厚膜按制作方法分类,由块体材料制作的,例如经轧制、锤打、碾压等,为厚膜;而由膜的构成物(specles)一层层堆积而成的为薄膜按存在的形态分类,只能形成于基体之上的为薄膜(包覆膜),不需要基体而独立成立的为厚膜(自立膜)1薄膜与厚膜622膜及膜电路的功能其主要功能有:气连接、元件搭载、特殊功能、表面改性■电气连接印制线路板(PWB)的发明,使电路及膜的形式与基板作为一体,元器件搭载在基板上并与导体端子相连接,使整个系统的低功耗、高可靠性及经济性能方面有重大提高■元件搭载芯片装载在封装基板(Interposer)上论采用引线键是倒装都离不焊接盘;元器件搭载在基板上,特别是ISI封装体实装在基板论采用DIP、SNT、COx、MC那种方式都离不开导体端子。焊盘、端子都时膜电路的一部分2膜及膜电路的功能63微电子封装中薄膜技术课件64微电子封装中薄膜技术课件65微电子封装中薄膜技术课件66微电子封装中薄膜技术课件67微电子封装中薄膜技术课件68微电子封装中薄膜技术课件69微电子封装中薄膜技术课件70微电子封装中薄膜技术课件71微电子封装中薄膜技术课件72微电子封装中薄膜技术课件73微电子封装中薄膜技术课件74微电子封装中薄膜技术课件75微电子封装中薄膜技术课件76微电子封装中薄膜技术课件77微电子封装中薄膜技术课件78微电子封装中薄膜技术课件79微电子封装中薄膜技术课件80微电子封装中薄膜技术课件81微电子封装中薄膜技术课件82微电子封装中薄膜技术课件83微电子封装中薄膜技术课件84微电子封装中薄膜技术课件85微电子封装中薄膜技术课件86微电子封装中薄膜技术课件87微电子封装中薄膜技术课件88微电子封装中薄膜技术课件89微电子封装中薄膜技术课件90微电子封装中薄膜技术课件91微电子封装中薄膜技术课件92微电子封装中薄膜技术课件93微电子封装中薄膜技术课件94微电子封装中薄膜技术课件95微电子封装中薄膜技术课件96微电子封装中薄膜技术课件97微电子封装中薄膜技术课件98微电子封装中薄膜技术课件99微电子封装中薄膜技术课件100微电子封装中薄膜技术课件101微电子封装中薄膜技术课件102微电子封装中薄膜技术课件103微电子封装中薄膜技术课件104微电子封装中薄膜技术课件105微电子封装中薄膜技术课件106微电子封装中薄膜技术课件107微电子封装中薄膜

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