金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件

金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术31、园日涉以成趣，门虽设而常关。32、鼓腹无所思。朝起暮归眠。33、倾壶绝余沥，窥灶不见烟。34、春秋满四泽，夏云多奇峰，秋月扬明辉，冬岭秀孤松。35、丈夫志四海，我愿不知老。金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术31、园日涉以成趣，门虽设而常关。32、鼓腹无所思。朝起暮归眠。33、倾壶绝余沥，窥灶不见烟。34、春秋满四泽，夏云多奇峰，秋月扬明辉，冬岭秀孤松。35、丈夫志四海，我愿不知老。铝膜蒸镀原理及特性目录:蒸发台蒸镀原理铝膜反射率;一、积极调控课堂氛围，激发学生学习积极性心理学家研究表明，课堂教学环境和学生的学习存在着必然的联系，在课堂教学的环境中，教师要创造良好的课堂教学氛围，调动学生学习的积极性。创造轻松和谐的学习氛围，保证学生课堂参与度的提高，并重视发展学生的思维品质，保持学生最佳的学习状态，实现学生主动创新的学习。1、优化轻松愉悦的教学环境，提升学生学习能力。教师要重视主导作用的发挥。积极创造教师和学生之间的平等、民主、和谐的教学氛围，促进学生轻松愉快的学习，激发学生肯学习，肯提问，敢提问的学习态度，并全力呵护学生积极学习，并保证激发学生学习的自信心，发展学生的创新能力，积极推动学生学习能力的提升。2、形成自主学习、活动的时空。教师要为学生创造自主学习和活动的时空，保证在教学过程中,让学生积极创新。教师要重视留给学生充足的自学的空间，保证学生有充分的想象的空间。例如，小学生在选择“长方形的面积计算”的时候，教师可以鼓励学生思考，如果要铺设长６米、宽4米的地毯，这时候如果商店有１米、２米、4米的三种型号的地毯供学生自由选择，那么，这时候教师就可以引导学生积极讨论，有的学生会说买１米的拿起来方便，有的学生会说买4米的好，铺设的没有接口，还有的说选择２米的好，这样又方便又省钱，通过学生的小组的积极的讨论，学生就能够形成认识，教师鼓励学生自主思考，质疑思考，形成自主学习习惯。二、引导学生积极探索，激发学生的创造性教师在教学过程中，要促进学生积极思考，教育学生大胆创新，主动探索新知识。例如，教师在对学生进行“圆的周长”的教学过程中，教育学生测量圆的周长的时候，教师可以问学生，我们知道在学习正方形和长方形的周长的时候，教师可以引导学生直接测量出长方形和正方形的周长，而现在面临的圆的周长是一条封闭的曲线，怎样测量出圆的周长呢？教师可以引导学生用直尺和白布条的方法去测量一些圆的周长，并教育学生思考几种圆的周长的方法。引导学生主动探究，积极动手参与，并教育学生掌握研究的方法，教会学生运用绳子测量和滚动的办法来测量圆的周长的办法，并重视教育学生突破学习的局限性，找到求一个圆周长的普遍规律。教师可以运用多媒体进行演示，并掌握两个大小不同的圆，教育学生在同一个点旋转后一周后留下的痕迹。让学生通过操作和讨论，认真观察和思考，从而掌握圆的周长和圆的半径之间存在的关系。三、不断改进教学方法，提升学生学习能力1、改进学习方法，丰富学习内容。教师教育学生学会灵活运用多种教学方法，通过不断变换学习方法，积极丰富学习内容，并通过引导学生归纳小结，教育学生不断整合教学观念，获得学生学习能力的全面提升。2、重视实践活动，提升学习能力。教师组织学生通过教学实验、动手操作、改进学习过程等，教育学生整合生活中的事例，让学生思考学习中的内容，并引导学生积极思考问题，并从现实生活中发现数学问题，培养学生探究的能力和发现的才能。教师可以组织学生进行小组的合作探究，教育学生将各自研究的结果汇报展示，并将代表性的方案选拔出来进行探究研究，选择适合学生长期学习研究的学习方法加以表扬。引导学生实现课堂知识和现实生活的问题的紧密联系，实现学生自主探究性学习。小学生数学课堂学习是实施素质教育的重要途径，通过创造愉悦轻松的教学氛围，引导学生进行探索性的学习，促进学生有效学习，塑造学生优秀的学习品质，努力在小学数学学习实践活动中提升小学生的数学学习能力。二十一世纪是一个以高科技为导向的知识经济时代，是可持续发展的时代，教育要培养具有创新精神和实践能力的新一代，培养学生创新能力为核心的创新教育是落实素质教育的要害。地理教育是实施创新教育的重要阵地之一，在地理教学中培养学生的创新能力，已成为地理学科实施素质教育的要害所在。作为中学地理教师，更应积极参与教育的创新,以实现创新教育。而实施创新教育的突破口，我认为是改革传统的课堂教学模式，变过去教师独占课堂，学生被动接受的单一的、填鸭式的教学方式为师生多种感官全方位参与、促进认知和情感和谐发展的教学方式，实现学生的主动发展。结合近几年的教学实践，我有以下几点体会和尝试：一、改革课堂教学模式，提高学生创新能力传统的课堂教学模式是老师讲，学生听。老师一成不变地讲授，学生也一成不变地听取、记忆.这样一成不变的模式根本无法启发学生思维，更谈不上创新。地理课堂教学形式要具有启发性和多样性，注重诱导学生独立思考，鼓励学生大胆发言，及时提出自己的见解和看法，给学生思考和创新提供宽松的环境气氛和更多的机会。为了使学生在接受地理知识教育的过程中能形成创新观点，必然给其提供一个自由的环境，实行民主、和谐、平等的教学，避免压抑幻想，强迫依从。对此，我在教学中采用两个班进行了传统教学和创新教学的对比，采用创新教学的班级课堂活跃、听课率高，效果良好。二、改变原有的课堂提问方式，启发学生创新思维传统的课堂提问方式，是老师问学生答，一问一答或一问多答式，目的是以旧代新，以旧知识引出新知识，此时老师是主体，而此时的学生往往处于“被动”式思维。他们被迫去思考前面的知识，被迫去思考老师要求回答的内容，从而被动地进入上课学习的状态。由于所有的过程都在被动中进行，这样很难启发学生的创新思维。我们可以让学生提出问题，也就是学生通过课文阅读，对某一内容提出问题，在课堂上提出，并寻求答案，或者由老师提出问题，让学生在课堂上共同探讨。这样，学生变成了主体，所有的被动会变成主动：学生主动去思考，主动在上课时讨论，主动寻求答案。这样会比传统的课堂提问方式收到更好的课堂效果。三、实施开放性的课堂教学模式，在实践中大胆开发学生的创新思维在地理课的课堂教学中，首先要营造一个群体交流的良好氛围，变信息的单向性为信息交流的多向性，在合作讨论中引发学生积极探索，开发学生的创新潜能。其次要以大地理教育观、全球化为指导，构建课内外联系、校内外沟通、国内外联网、学科间融合的全球化的地理教育体系，从而大大拓宽创新教育的内容、形式、方法、渠道等，给学生创新思维提供一个更广阔的空间。所以，教学要提供充足的时空，让学生动脑、动口、动手，在形象感知、自主感悟、合作讨论、相互评价、自由表达、创造想象等探索性活动中，体验创新的情感，领悟创新的策略，健全创新人格，培养创新能力。四、应用现代化教学手段，让学生有创新的空间目前的教材内容多、难度大，只有优化课堂教学，提高课堂教学效率，才能在完成繁重的课堂教学任务的同时，腾出更多的时间给学生思考、创新。假如还是单靠老师使用一张嘴巴、一支粉笔、一块黑板在课堂上包打天下、?M堂灌，就会使学生象现代化饲养场里的牲畜，失去寻觅食物的能力一样，失去了学习热情、探究欲望和创新精神。以现代教育技术为核心的多媒体教学正逐渐地进入课堂，为改变落后的教学技术和手段、激活课堂教学，提供了现实可能性。在地理课堂教学中，我大胆地进行了不同的尝试。我利用多媒体软件自行设计了许多课件，在地理课中使用。我还先上网浏览有关地理网页的内容，后指导学生上网学习。这样，运用投影、计算机等多媒体教学手段，使学生获取更多、更新鲜的地理知识，极大地提高了学生学习的爱好，提高课堂教学内容的密度与容量。实践证实，学生的知识面大大拓宽，基础知识更加牢固，学习成绩有了不断提高。金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术31、园日涉以成趣，门虽1铝膜蒸镀原理及特性铝膜蒸镀原理及特性2目录:蒸发台蒸镀原理铝膜反射率;目录:3金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件4·MARK-50蒸发台外观:::::·MARK-50蒸发台外观:5高真空一般由扩散泵或冷泵实现,扩散泵系统一般有冷阱,用以防止泵油蒸气反流到腔室;高真空一般由扩散泵或冷泵6蒸发台加热系统一般有三种:电阻、电感和电子束电阻加热系统用一个小线圈和一台可调变压器,将要蒸发材料放入加热灯丝中加热蒸发,但加热灯丝本身易造成沾污,且常常没有合用的加热难熔金属的电阻加热元件;电感加热系统将蒸发材料放入一个BN制成的坩锅中,一个金属线圈绕在坩锅上,通过这个线圈施加RF功率,RF射频在材料中感应出涡流电流使其加热,线圈本身用水冷,保持温度在100℃但是坩锅本身材料的沾污仍然是一个严重问题;蒸发台加热系统一般有三种:电阻、电感和电子7电子束蒸发系统包括一个加热钨丝环,它围绕着一根相对钨丝处于高偏压的材料细棒周围,从钨丝射出的电子轰击材料棒,提高材料末端的温度,从而产生出蒸发原子束,高能束流在一个强磁场下弯曲270度,射到材料表面,达到蒸发目的;电子束加热系统热电子灯丝易成为沾污源,并且对于硅基材料,易造成辐射损伤;电子束蒸发系统包括一个加热钨丝环,它8如图所示:灯丝线圈电子束淀积材料坩锅应灯丝加速棚极偏转板偏转磁铁如图所示:9蒸发材料被加热蒸发后,在真空腔室中蒸气压非常高,因此我们可得到可接受的淀积速率;淀积速率通常用石英晶体速率指示仪测量,所用器件是一个谐振器板,当晶体顶部有材料蒸发淀积,所外加的质量将使得频率偏移,由测得得频率移动可得出淀积速率;蒸发材料被加热蒸发后,在真空腔室10蒸发的一个重要限制是台阶覆盖,种常用的改进台阶覆盖的方法是在蒸发过程中旋转圆片,为此,蒸发台内用于承载圆片的半球形夹具,被设计成能使圆片环绕蒸发器顶部转动,此时,侧壁上的淀积速率仍低于平坦表面,但是它成为轴向均匀的蒸发的一个重要限制是台阶覆盖,11金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件12金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件13金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件14金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件15金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件16金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件17金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件18金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件19金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件20金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件21金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件22金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件23金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件24金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件25金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件26金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件27金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件28金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件29金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件30金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件31金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件32金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件33金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件34金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件35金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件36金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件37金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件38金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件39金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件40金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件41金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件42金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件43金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件44金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件45金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件46金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件47金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件48金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件49金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件50金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件51金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件52金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件53金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件54金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件55金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件56金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件57金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件58金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件59金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件60金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件61金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件62金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件63金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件64金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件65金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件66金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件67金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件68金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件69金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件70金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件71金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件72金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件73金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件74金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件75金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件76金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件77金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件78金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件79金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件80金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件81金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件82金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件83金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件84金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件85金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件86金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件87金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件88金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件89金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件9036、自己的鞋子，自己知道紧在哪里。——西班牙

37、我们唯一不会改正的缺点是软弱。——拉罗什福科

38、我这个人走得很慢，但是我从不后退。——亚伯拉罕·林肯

39、勿问成功的秘诀为何，且尽全力做你应该做的事吧。——美华纳

40、学而不思则罔，思而不学则殆。——孔子xiexie!谢谢！36、自己的鞋子，自己知道紧在哪里。——西班牙xiexie!91金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术31、园日涉以成趣，门虽设而常关。32、鼓腹无所思。朝起暮归眠。33、倾壶绝余沥，窥灶不见烟。34、春秋满四泽，夏云多奇峰，秋月扬明辉，冬岭秀孤松。35、丈夫志四海，我愿不知老。金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术31、园日涉以成趣，门虽设而常关。32、鼓腹无所思。朝起暮归眠。33、倾壶绝余沥，窥灶不见烟。34、春秋满四泽，夏云多奇峰，秋月扬明辉，冬岭秀孤松。35、丈夫志四海，我愿不知老。铝膜蒸镀原理及特性目录:蒸发台蒸镀原理铝膜反射率;一、积极调控课堂氛围，激发学生学习积极性心理学家研究表明，课堂教学环境和学生的学习存在着必然的联系，在课堂教学的环境中，教师要创造良好的课堂教学氛围，调动学生学习的积极性。创造轻松和谐的学习氛围，保证学生课堂参与度的提高，并重视发展学生的思维品质，保持学生最佳的学习状态，实现学生主动创新的学习。1、优化轻松愉悦的教学环境，提升学生学习能力。教师要重视主导作用的发挥。积极创造教师和学生之间的平等、民主、和谐的教学氛围，促进学生轻松愉快的学习，激发学生肯学习，肯提问，敢提问的学习态度，并全力呵护学生积极学习，并保证激发学生学习的自信心，发展学生的创新能力，积极推动学生学习能力的提升。2、形成自主学习、活动的时空。教师要为学生创造自主学习和活动的时空，保证在教学过程中,让学生积极创新。教师要重视留给学生充足的自学的空间，保证学生有充分的想象的空间。例如，小学生在选择“长方形的面积计算”的时候，教师可以鼓励学生思考，如果要铺设长６米、宽4米的地毯，这时候如果商店有１米、２米、4米的三种型号的地毯供学生自由选择，那么，这时候教师就可以引导学生积极讨论，有的学生会说买１米的拿起来方便，有的学生会说买4米的好，铺设的没有接口，还有的说选择２米的好，这样又方便又省钱，通过学生的小组的积极的讨论，学生就能够形成认识，教师鼓励学生自主思考，质疑思考，形成自主学习习惯。二、引导学生积极探索，激发学生的创造性教师在教学过程中，要促进学生积极思考，教育学生大胆创新，主动探索新知识。例如，教师在对学生进行“圆的周长”的教学过程中，教育学生测量圆的周长的时候，教师可以问学生，我们知道在学习正方形和长方形的周长的时候，教师可以引导学生直接测量出长方形和正方形的周长，而现在面临的圆的周长是一条封闭的曲线，怎样测量出圆的周长呢？教师可以引导学生用直尺和白布条的方法去测量一些圆的周长，并教育学生思考几种圆的周长的方法。引导学生主动探究，积极动手参与，并教育学生掌握研究的方法，教会学生运用绳子测量和滚动的办法来测量圆的周长的办法，并重视教育学生突破学习的局限性，找到求一个圆周长的普遍规律。教师可以运用多媒体进行演示，并掌握两个大小不同的圆，教育学生在同一个点旋转后一周后留下的痕迹。让学生通过操作和讨论，认真观察和思考，从而掌握圆的周长和圆的半径之间存在的关系。三、不断改进教学方法，提升学生学习能力1、改进学习方法，丰富学习内容。教师教育学生学会灵活运用多种教学方法，通过不断变换学习方法，积极丰富学习内容，并通过引导学生归纳小结，教育学生不断整合教学观念，获得学生学习能力的全面提升。2、重视实践活动，提升学习能力。教师组织学生通过教学实验、动手操作、改进学习过程等，教育学生整合生活中的事例，让学生思考学习中的内容，并引导学生积极思考问题，并从现实生活中发现数学问题，培养学生探究的能力和发现的才能。教师可以组织学生进行小组的合作探究，教育学生将各自研究的结果汇报展示，并将代表性的方案选拔出来进行探究研究，选择适合学生长期学习研究的学习方法加以表扬。引导学生实现课堂知识和现实生活的问题的紧密联系，实现学生自主探究性学习。小学生数学课堂学习是实施素质教育的重要途径，通过创造愉悦轻松的教学氛围，引导学生进行探索性的学习，促进学生有效学习，塑造学生优秀的学习品质，努力在小学数学学习实践活动中提升小学生的数学学习能力。二十一世纪是一个以高科技为导向的知识经济时代，是可持续发展的时代，教育要培养具有创新精神和实践能力的新一代，培养学生创新能力为核心的创新教育是落实素质教育的要害。地理教育是实施创新教育的重要阵地之一，在地理教学中培养学生的创新能力，已成为地理学科实施素质教育的要害所在。作为中学地理教师，更应积极参与教育的创新,以实现创新教育。而实施创新教育的突破口，我认为是改革传统的课堂教学模式，变过去教师独占课堂，学生被动接受的单一的、填鸭式的教学方式为师生多种感官全方位参与、促进认知和情感和谐发展的教学方式，实现学生的主动发展。结合近几年的教学实践，我有以下几点体会和尝试：一、改革课堂教学模式，提高学生创新能力传统的课堂教学模式是老师讲，学生听。老师一成不变地讲授，学生也一成不变地听取、记忆.这样一成不变的模式根本无法启发学生思维，更谈不上创新。地理课堂教学形式要具有启发性和多样性，注重诱导学生独立思考，鼓励学生大胆发言，及时提出自己的见解和看法，给学生思考和创新提供宽松的环境气氛和更多的机会。为了使学生在接受地理知识教育的过程中能形成创新观点，必然给其提供一个自由的环境，实行民主、和谐、平等的教学，避免压抑幻想，强迫依从。对此，我在教学中采用两个班进行了传统教学和创新教学的对比，采用创新教学的班级课堂活跃、听课率高，效果良好。二、改变原有的课堂提问方式，启发学生创新思维传统的课堂提问方式，是老师问学生答，一问一答或一问多答式，目的是以旧代新，以旧知识引出新知识，此时老师是主体，而此时的学生往往处于“被动”式思维。他们被迫去思考前面的知识，被迫去思考老师要求回答的内容，从而被动地进入上课学习的状态。由于所有的过程都在被动中进行，这样很难启发学生的创新思维。我们可以让学生提出问题，也就是学生通过课文阅读，对某一内容提出问题，在课堂上提出，并寻求答案，或者由老师提出问题，让学生在课堂上共同探讨。这样，学生变成了主体，所有的被动会变成主动：学生主动去思考，主动在上课时讨论，主动寻求答案。这样会比传统的课堂提问方式收到更好的课堂效果。三、实施开放性的课堂教学模式，在实践中大胆开发学生的创新思维在地理课的课堂教学中，首先要营造一个群体交流的良好氛围，变信息的单向性为信息交流的多向性，在合作讨论中引发学生积极探索，开发学生的创新潜能。其次要以大地理教育观、全球化为指导，构建课内外联系、校内外沟通、国内外联网、学科间融合的全球化的地理教育体系，从而大大拓宽创新教育的内容、形式、方法、渠道等，给学生创新思维提供一个更广阔的空间。所以，教学要提供充足的时空，让学生动脑、动口、动手，在形象感知、自主感悟、合作讨论、相互评价、自由表达、创造想象等探索性活动中，体验创新的情感，领悟创新的策略，健全创新人格，培养创新能力。四、应用现代化教学手段，让学生有创新的空间目前的教材内容多、难度大，只有优化课堂教学，提高课堂教学效率，才能在完成繁重的课堂教学任务的同时，腾出更多的时间给学生思考、创新。假如还是单靠老师使用一张嘴巴、一支粉笔、一块黑板在课堂上包打天下、?M堂灌，就会使学生象现代化饲养场里的牲畜，失去寻觅食物的能力一样，失去了学习热情、探究欲望和创新精神。以现代教育技术为核心的多媒体教学正逐渐地进入课堂，为改变落后的教学技术和手段、激活课堂教学，提供了现实可能性。在地理课堂教学中，我大胆地进行了不同的尝试。我利用多媒体软件自行设计了许多课件，在地理课中使用。我还先上网浏览有关地理网页的内容，后指导学生上网学习。这样，运用投影、计算机等多媒体教学手段，使学生获取更多、更新鲜的地理知识，极大地提高了学生学习的爱好，提高课堂教学内容的密度与容量。实践证实，学生的知识面大大拓宽，基础知识更加牢固，学习成绩有了不断提高。金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术31、园日涉以成趣，门虽92铝膜蒸镀原理及特性铝膜蒸镀原理及特性93目录:蒸发台蒸镀原理铝膜反射率;目录:94金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件95·MARK-50蒸发台外观:::::·MARK-50蒸发台外观:96高真空一般由扩散泵或冷泵实现,扩散泵系统一般有冷阱,用以防止泵油蒸气反流到腔室;高真空一般由扩散泵或冷泵97蒸发台加热系统一般有三种:电阻、电感和电子束电阻加热系统用一个小线圈和一台可调变压器,将要蒸发材料放入加热灯丝中加热蒸发,但加热灯丝本身易造成沾污,且常常没有合用的加热难熔金属的电阻加热元件;电感加热系统将蒸发材料放入一个BN制成的坩锅中,一个金属线圈绕在坩锅上,通过这个线圈施加RF功率,RF射频在材料中感应出涡流电流使其加热,线圈本身用水冷,保持温度在100℃但是坩锅本身材料的沾污仍然是一个严重问题;蒸发台加热系统一般有三种:电阻、电感和电子98电子束蒸发系统包括一个加热钨丝环,它围绕着一根相对钨丝处于高偏压的材料细棒周围,从钨丝射出的电子轰击材料棒,提高材料末端的温度,从而产生出蒸发原子束,高能束流在一个强磁场下弯曲270度,射到材料表面,达到蒸发目的;电子束加热系统热电子灯丝易成为沾污源,并且对于硅基材料,易造成辐射损伤;电子束蒸发系统包括一个加热钨丝环,它99如图所示:灯丝线圈电子束淀积材料坩锅应灯丝加速棚极偏转板偏转磁铁如图所示:100蒸发材料被加热蒸发后,在真空腔室中蒸气压非常高,因此我们可得到可接受的淀积速率;淀积速率通常用石英晶体速率指示仪测量,所用器件是一个谐振器板,当晶体顶部有材料蒸发淀积,所外加的质量将使得频率偏移,由测得得频率移动可得出淀积速率;蒸发材料被加热蒸发后,在真空腔室101蒸发的一个重要限制是台阶覆盖,种常用的改进台阶覆盖的方法是在蒸发过程中旋转圆片,为此,蒸发台内用于承载圆片的半球形夹具,被设计成能使圆片环绕蒸发器顶部转动,此时,侧壁上的淀积速率仍低于平坦表面,但是它成为轴向均匀的蒸发的一个重要限制是台阶覆盖,102金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件103金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件104金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件105金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件106金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件107金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件108金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件109金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件110金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件111金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件112金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件113金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件114金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件115金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件116金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件117金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件118金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件119金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件120金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件121金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件122金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件123金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件124金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件125金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件126金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件127金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件128金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件129金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件130金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件131金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件132金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件133金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件134金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件135金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件136金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件137金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术课件138金属化