无尘车间技术及优化1(NXPowerLite)课件

空气洁净技术和本厂喷涂通风系统优化建议编制单位：行政部编制日期：2010年11月27日空气洁净技术和本厂喷涂通风系统编制单位：行政部内容提要四、本厂空气净化系统优化建议三.喷涂、微电子行业通风系统的主要区别二.影响洁净度的关键因素一.空气过滤原理及过滤器种类内容提要四、本厂空气净化系统优化建议三.喷涂、微电子行空气过滤原理及过滤器种类空气过滤原理及过滤器种类各级过滤器安装位置图示各级过滤器安装位置图示空气过滤原理主要处理粒径≥0.5um主要处理粒径≥5um主要处理粒径≥0.5-1um主要处理粒径≤0.3um主要处理粒径≥3um空气过滤器的过滤原理1、钩住效应2、静电效应3、 拦截效应4、惯性效应5、扩散效应空气过滤原理主要处理粒径≥0.5um主要处理粒径≥5um主要本厂所使用过滤器及安装地点过滤器名称/安装位置图片过滤器名称/安装位置图片过滤器名称/安装位置图片G4型缠绕式初效过滤器H13型W式亚高效过滤器H14型无隔板高效过滤器东座一楼新翼三号胶架喷涂东座二楼G4型板式初效过滤器H13型有隔板亚高效过滤器H14型V型高效过滤器北B四楼北B四楼东座二楼F8型袋式中效过滤器H13型亚高效过滤器U15型耐高温高效过滤器北B四楼东座一楼焗炉用本厂所使用过滤器及安装地点过滤器名称/安装位置图片过滤器

怎样判断过滤器是否需要更换？1、根据无尘室洁净度不达标判断

通过激光尘埃测试仪测试后，室内静态洁净度达不到设计标准，不能满足工艺要求时需要更换2、根据通风系统压差值判断

通过观察气压表，无尘室出现负压时需要更换3、根据末端亚高效、高效风速判断

末端过滤器风速低于正常风速范围需要更换怎样判断过滤器是否需要更换？1、根据无尘室洁净度不达标1、效率等级影响：无尘室的洁净度是由末端过滤器的效率决定，因此选用过滤器的效率与无尘室洁净度相匹配；2、合理配置初、中、高效过滤器型号及更换周期：初、中效的主要作用是延长末端高效或亚高效的使用寿命，调节通风系统压差值；3、滤料面积的影响：

空气过滤器滤料面积越大，阻力越小，容尘量越大、使用寿命越长

举例：将中效袋由原来袋深450mm加长到550mm，相当于增大1/5的过滤面积，也相当于约降低了1/10的阻力，使用寿命由3个月延长至4个月怎样正确选择过滤器？1、效率等级影响：怎样正确选择过滤器？影响洁净度的4个必要条件影响洁净度的4个必要条件影响洁净度的4个必要条件4、静压差3、送风量或风速2、气流组织1、送风洁净度影响洁净度的4个必要条件4、静压差3、送风量或风速2、气流组二、影响洁净度的4个必要条件1、送风洁净度采用高效过滤器或亚高效过滤器控制无尘室洁净度2、气流组织单向流洁净室适用于微电子.精密机械行业非向流洁净室适用于光学.喷涂.食品行业3、送风量或风速1000级以上无尘室以风速计算1000级以下用换气次数计算洁净度必要条件4、静压差洁净室与非洁净区的压差≥5pa洁净区与室外的压差≥10pa二、影响洁净度的4个必要条件1、送风洁净度2、气流组织3、送无尘室行业送风洁净度设计标准无尘室行业送风洁净度设计标准表一、无尘车间洁净度级别、气流组织、通风参数与末端高效过滤器适用行业

ISO14644分级美国-209D分级气流形式平均风速m/s换气次数末端高效效率%适用行业ISO1级单向流0.3～0.5≥99.99999微电子精密机械实验室航天工业ISO2级单向流0.3～0.5≥99.9999ISO3级1单向流0.3～0.5≥99.999ISO4级10单向流0.3～0.5≥99.999ISO5级100单向流0.2～0.5≥99.97光学制药食品喷涂ISO6级1000非单向流70～160≥99.97ISO7级10000非单向流20～70≥99.97ISO8级100000非单向流10～20≥99.97表一、无尘车间洁净度级别、气流组织、通风参数与末端高效过滤器气流组织设计原理气流组织设计原理特点：

顶送底回原理：

空气置换优点：

气流均匀，净能力强，洁净级别高，适用于1000级---100级缺点：结构复杂，造价和维护费用高单向流无尘室特点：单向流无尘室

特点：顶送侧回

原理：空气稀释优点：

结构简单，过滤器投入少，运行成本低，洁净度适用于1000级-100万级缺点：

洁净控制复杂，洁净度级别较低非单向流无尘室特点：非单向流无尘室不同行业洁净度要求的区别不同行业洁净度要求的区别三、微电子行业与喷涂行业无尘室系统的

区别5.温湿度要求区别4.压差控制有差异3.送风量及换气次数不同2.气流组织形式不同1.空气运行方式不同6.过滤器使用寿命及更换周期不同三、微电子行业与喷涂行业无尘室系统的

区别5.温湿度要(1)微电子行业循环通风系统

1、空气运行方式不同(1)微电子行业循环通风系统1、空气运行方式不(2)喷涂行业全新风通风系统

(2)喷涂行业全新风通风系统2、气流组织形式不同单向流（层流）洁净室非单向（紊流）流洁净室

以换气次数计算洁净度0.3-0.50m/s脏空气置换脏空气稀释系统利用回风全新风或部分利用回风运用于1000级以下无尘室运用于1000级以上无尘室2、气流组织形式不同单向流（层流）洁净室非单向（紊流内容电子行业喷涂行业新溢厂空气运行方式循环空调系统全新风空调系统全新风气流组织方式单向流非单向流（紊流）非单向流（紊流）送风量平均风速0.3-0.5m/s平均风速0.8-1.0m/s实测风速1.2-2.1m/s换气次数1万级20-25次/小时10万级10-20次/小时1万级一般为50-60次/小时10万级一般为30-50次/小时50次/小时压差高洁净区与低洁净区压差≥5pa洁净区与非洁净区压差≥10pa洁净区与非洁净区压差≈5pa常态：5-15pa偶有：≥25pa或时有负压

温湿度空调系统根据生产工艺对温湿度进行控制全新风系统加岗位冷气季节性温湿度全新风系统季节性温湿度过滤器更换频率2年/次1年：2-3次1年：3-4次微电子行业与喷涂行业无尘室控制参数综合对比内容电子行业喷涂行业新溢厂空气运行循环空3、风速影响新溢厂喷涂中心末端高效送风口风速测试参数车间风量末端风速贴近散流板处距散流板300mm距散流板800mm末端平均风速喷涂中心2.5m/s1.5m/s-1.8m/s1.2m/s-1.4m/s1.81m/s东座二楼0.8m/s0.7m/s0.6m/s0.7m/s北B四楼加色二部2.9m/s2.2m/s1.6m/s2.23m/s平均风速2.1m/s1.57m/s1.2m/s1.58m/s喷涂中心FFU层流棚贴近护网测9个点,平均风速：0.89m/s●①1.0m/s●④0.8m/s●⑦1.0m/s●②0.9m/s●⑤0.8m/s●⑧0.9m/s●③0.9m/s●⑥0.8m/s●⑨0.9m/s3、风速影响新溢厂喷涂中心末端高效送风口风速测试参数车间风量两种不同通风系统的对比结论

一、微电子行业的过滤器使用寿命长：1.

采用回风系统，部分洁净风及冷气可以重复利用;2.相同洁净度等级的无尘室，微电子行业比喷涂行业换气次数低2-3倍，3.低风速下过滤器使用寿命可以延长4微电子行业周围环境空气较喷涂行业品质好，影响到过滤器使用寿命；结论：通常微电子行业系统与全新风系统的末端过滤器更换周期相差2--3倍不等

二、空调系统的使用有助于内部环境提高：1.人是第一大产尘源，空调环境下穿无尘服利于洁净度控制2.喷涂行业无空调系统，夏季新溢厂洁净室达到30-35度，员工很难穿洁净服工作，造成车间内部洁净控制难度大；

三、不同的降温方式运行费用不同：1.空调运行成本高过湿帘系统，尤其电子行业的恒温恒湿运行费用占整体运行费用80%以上。两种不同通风系统的对比结论一、微电子行业的过滤器使用寿命长：新溢眼镜通风系统优化维护建议新溢眼镜通风系统优化维护建议末端风速过大人员物流因素通风系统缺陷人员、物流產生通风系统造成生产环境有待改善缺乏洁净室管理培训无尘室不能满足生产工艺要求的因素分析本厂通风系统的问题点

现象原因3.车间时有正、负压超标现象4.洁净室技术管理不到位2.车间尘埃超标现象1.时有布毛现象末端风速过大通风系统缺陷人员、物流產生生产环境有待改善无尘室发生源占百分比（%）发生源占百分比（%）从空气中漏入7从生产过程中产生25从原料中带入8由人员因素造成35从设备运转中产生25⑵洁净室内尘埃粒子来源分析尘埃粒子来源比例图尘埃粒子大小比例资料来源：《中国洁净室工程师学习指南》P34发生源占百分比（%）发生源占百分比（%）从空气中漏入7从生产2、改善无尘室现状，提出四点建议123

4完善空气系统，在末端增加“立体胶”过滤均流层

目的：使送风更均匀，防止高风速下产生的布毛现象调整“初、中、亚高效、高效更换频率

目的：延长末端高效使用寿命，调节送风系统的风阻风压在正常范围采用远距离工位送风空调系统

目的：改善作业环境，为实施“7S”创造条件加强无尘室“7S”管理

目的：通过管理培训及强化员工无尘室意识，从管理上保障车间洁净度2、改善无尘室现状，提出四点建议1234完善空气1、“立体胶”均流层改善方案1、“立体胶”均流层改善方案①特点：阻力低、透气性能好,

此棉经过立体浸胶处理，用在喷涂行业起到末端均流和拦截脱落的纤维用途：可适用于涂装线、烤漆房、喷漆房、电子涂装通风系统的空气过滤技术参数处理粒径：1um效率：60%（F5）初阻力：35Pa容尘量600g/m2在末端增加“立体胶过滤棉”均流，防止布毛现象发生①特点：用途：技术参数在末端增加“立体胶过滤棉喷涂无尘车间拟改造前通风系统图示

喷涂无尘车间拟改造前通风系统图示

喷涂无尘车间拟改造后通风系统图示

喷涂无尘车间拟改造后通风系统图示某眼镜厂“立体胶”过滤均流层安装图示

某眼镜厂“立体胶”过滤均流层安装图示加装“立体胶”过滤均流层效果比较序号

项目现有状况加装“立体胶”过滤均流层效

果1风速1.2-2.1m/s均流、降低风速平均风速0.8-1.2m/s2布毛现象时有防止、拦截减少或降低3改造后层高3米2.4米不影响员工作业环境4改善费用—2000-2500元/m25运行费用高效过滤器800元3次/年亚高效600元+立体胶过滤器150元=750元2次/年有所降低6是否满足工艺要求时有不能满足工艺要求提高良品率加装“立体胶”过滤均流层效果比较序号项目现有状况2、重新调整初、中、高效过滤器

更换周期2、重新调整初、中、高效过滤器

更换周期

调整“初、中、高效”更换周期，最大化发挥预新风棉、初效、中效的预过滤作用，保护和延长末端高效的使用寿命，同时调节好通风系统风阻风压，保证无尘室压差正常。序号项目2010年更换成本2011年建议更换成本现过滤效率初阻力值1初效过滤器52,624.0078,936.0045%45pa2中效过滤器60,800.0060,800.0085%50pa3亚高效过滤器—72,000.0099%160-180pa4立体胶过滤棉—9,600.0098%35pa5高效过滤器115,200.00—99.97%220-280pa合計：228,624.00221,336.00通风系统未来计划更换过滤器成本分析表(以三号喷涂为例）

调整“初、中、高效”更换周期，最大化发挥预新风棉、初效3、“7S”管理对加色环境的重要性3、“7S”管理对加色环境的重要性积尘洁净室5.室内装饰表面加强无尘室“7S”管理

3.外部与循环空气清洁悬浮空气过滤器悬浮、接触规则、服饰通风压差培训、进门措施悬浮生产方法、通风、手套室热、悬浮产品洁净室内污染源与途径以及控制措施污染源传播途径控制措施1.人员2.设备、包装4.洁净室毗邻区积尘洁净室5.室内装饰表面加强无尘室“7S”管理3.外部与远距离工位定位送风空调系统4、人员产尘之环境改善建议：远距离工位定位送风空调系统4、人员产尘之环境改善建议：采用远距离工位送风空调系统①改善作业环境：夏天有条件的增加冷气岗位送风

某喷涂眼镜厂加装新风冷气管道空调机工程图采用远距离工位送风空调系统①改善作业环境：夏天有条件的增加冷某眼镜厂喷涂车间岗位送冷风图片空调风口某眼镜厂喷涂车间岗位送冷风图片空调风口良品率比较及思考方向

内容良品率良品率差距值某眼镜厂金架：单色>95%

间色≤80%胶架：单色≤92%间色≤85%金架：

单色13%

间色8%胶架：

单色40%-50%新溢厂金架：单色≤82%

间色≤72%胶架：单色30%-40%1、从影响洁净室产品质量的5大污染源着手分析2、从洁净室内5大粒子来源着手分析良品率比较及思考方向内容良品率某眼镜厂金架细心观察科学分析持续改进长久维护

END!!

细心观察空气洁净技术和本厂喷涂通风系统优化建议编制单位：行政部编制日期：2010年11月27日空气洁净技术和本厂喷涂通风系统编制单位：行政部内容提要四、本厂空气净化系统优化建议三.喷涂、微电子行业通风系统的主要区别二.影响洁净度的关键因素一.空气过滤原理及过滤器种类内容提要四、本厂空气净化系统优化建议三.喷涂、微电子行空气过滤原理及过滤器种类空气过滤原理及过滤器种类各级过滤器安装位置图示各级过滤器安装位置图示空气过滤原理主要处理粒径≥0.5um主要处理粒径≥5um主要处理粒径≥0.5-1um主要处理粒径≤0.3um主要处理粒径≥3um空气过滤器的过滤原理1、钩住效应2、静电效应3、 拦截效应4、惯性效应5、扩散效应空气过滤原理主要处理粒径≥0.5um主要处理粒径≥5um主要本厂所使用过滤器及安装地点过滤器名称/安装位置图片过滤器名称/安装位置图片过滤器名称/安装位置图片G4型缠绕式初效过滤器H13型W式亚高效过滤器H14型无隔板高效过滤器东座一楼新翼三号胶架喷涂东座二楼G4型板式初效过滤器H13型有隔板亚高效过滤器H14型V型高效过滤器北B四楼北B四楼东座二楼F8型袋式中效过滤器H13型亚高效过滤器U15型耐高温高效过滤器北B四楼东座一楼焗炉用本厂所使用过滤器及安装地点过滤器名称/安装位置图片过滤器

怎样判断过滤器是否需要更换？1、根据无尘室洁净度不达标判断

通过激光尘埃测试仪测试后，室内静态洁净度达不到设计标准，不能满足工艺要求时需要更换2、根据通风系统压差值判断

通过观察气压表，无尘室出现负压时需要更换3、根据末端亚高效、高效风速判断

末端过滤器风速低于正常风速范围需要更换怎样判断过滤器是否需要更换？1、根据无尘室洁净度不达标1、效率等级影响：无尘室的洁净度是由末端过滤器的效率决定，因此选用过滤器的效率与无尘室洁净度相匹配；2、合理配置初、中、高效过滤器型号及更换周期：初、中效的主要作用是延长末端高效或亚高效的使用寿命，调节通风系统压差值；3、滤料面积的影响：

空气过滤器滤料面积越大，阻力越小，容尘量越大、使用寿命越长

举例：将中效袋由原来袋深450mm加长到550mm，相当于增大1/5的过滤面积，也相当于约降低了1/10的阻力，使用寿命由3个月延长至4个月怎样正确选择过滤器？1、效率等级影响：怎样正确选择过滤器？影响洁净度的4个必要条件影响洁净度的4个必要条件影响洁净度的4个必要条件4、静压差3、送风量或风速2、气流组织1、送风洁净度影响洁净度的4个必要条件4、静压差3、送风量或风速2、气流组二、影响洁净度的4个必要条件1、送风洁净度采用高效过滤器或亚高效过滤器控制无尘室洁净度2、气流组织单向流洁净室适用于微电子.精密机械行业非向流洁净室适用于光学.喷涂.食品行业3、送风量或风速1000级以上无尘室以风速计算1000级以下用换气次数计算洁净度必要条件4、静压差洁净室与非洁净区的压差≥5pa洁净区与室外的压差≥10pa二、影响洁净度的4个必要条件1、送风洁净度2、气流组织3、送无尘室行业送风洁净度设计标准无尘室行业送风洁净度设计标准表一、无尘车间洁净度级别、气流组织、通风参数与末端高效过滤器适用行业

ISO14644分级美国-209D分级气流形式平均风速m/s换气次数末端高效效率%适用行业ISO1级单向流0.3～0.5≥99.99999微电子精密机械实验室航天工业ISO2级单向流0.3～0.5≥99.9999ISO3级1单向流0.3～0.5≥99.999ISO4级10单向流0.3～0.5≥99.999ISO5级100单向流0.2～0.5≥99.97光学制药食品喷涂ISO6级1000非单向流70～160≥99.97ISO7级10000非单向流20～70≥99.97ISO8级100000非单向流10～20≥99.97表一、无尘车间洁净度级别、气流组织、通风参数与末端高效过滤器气流组织设计原理气流组织设计原理特点：

顶送底回原理：

空气置换优点：

气流均匀，净能力强，洁净级别高，适用于1000级---100级缺点：结构复杂，造价和维护费用高单向流无尘室特点：单向流无尘室

特点：顶送侧回

原理：空气稀释优点：

结构简单，过滤器投入少，运行成本低，洁净度适用于1000级-100万级缺点：

洁净控制复杂，洁净度级别较低非单向流无尘室特点：非单向流无尘室不同行业洁净度要求的区别不同行业洁净度要求的区别三、微电子行业与喷涂行业无尘室系统的

区别5.温湿度要求区别4.压差控制有差异3.送风量及换气次数不同2.气流组织形式不同1.空气运行方式不同6.过滤器使用寿命及更换周期不同三、微电子行业与喷涂行业无尘室系统的

区别5.温湿度要(1)微电子行业循环通风系统

1、空气运行方式不同(1)微电子行业循环通风系统1、空气运行方式不(2)喷涂行业全新风通风系统

(2)喷涂行业全新风通风系统2、气流组织形式不同单向流（层流）洁净室非单向（紊流）流洁净室

以换气次数计算洁净度0.3-0.50m/s脏空气置换脏空气稀释系统利用回风全新风或部分利用回风运用于1000级以下无尘室运用于1000级以上无尘室2、气流组织形式不同单向流（层流）洁净室非单向（紊流内容电子行业喷涂行业新溢厂空气运行方式循环空调系统全新风空调系统全新风气流组织方式单向流非单向流（紊流）非单向流（紊流）送风量平均风速0.3-0.5m/s平均风速0.8-1.0m/s实测风速1.2-2.1m/s换气次数1万级20-25次/小时10万级10-20次/小时1万级一般为50-60次/小时10万级一般为30-50次/小时50次/小时压差高洁净区与低洁净区压差≥5pa洁净区与非洁净区压差≥10pa洁净区与非洁净区压差≈5pa常态：5-15pa偶有：≥25pa或时有负压

温湿度空调系统根据生产工艺对温湿度进行控制全新风系统加岗位冷气季节性温湿度全新风系统季节性温湿度过滤器更换频率2年/次1年：2-3次1年：3-4次微电子行业与喷涂行业无尘室控制参数综合对比内容电子行业喷涂行业新溢厂空气运行循环空3、风速影响新溢厂喷涂中心末端高效送风口风速测试参数车间风量末端风速贴近散流板处距散流板300mm距散流板800mm末端平均风速喷涂中心2.5m/s1.5m/s-1.8m/s1.2m/s-1.4m/s1.81m/s东座二楼0.8m/s0.7m/s0.6m/s0.7m/s北B四楼加色二部2.9m/s2.2m/s1.6m/s2.23m/s平均风速2.1m/s1.57m/s1.2m/s1.58m/s喷涂中心FFU层流棚贴近护网测9个点,平均风速：0.89m/s●①1.0m/s●④0.8m/s●⑦1.0m/s●②0.9m/s●⑤0.8m/s●⑧0.9m/s●③0.9m/s●⑥0.8m/s●⑨0.9m/s3、风速影响新溢厂喷涂中心末端高效送风口风速测试参数车间风量两种不同通风系统的对比结论

一、微电子行业的过滤器使用寿命长：1.

采用回风系统，部分洁净风及冷气可以重复利用;2.相同洁净度等级的无尘室，微电子行业比喷涂行业换气次数低2-3倍，3.低风速下过滤器使用寿命可以延长4微电子行业周围环境空气较喷涂行业品质好，影响到过滤器使用寿命；结论：通常微电子行业系统与全新风系统的末端过滤器更换周期相差2--3倍不等

二、空调系统的使用有助于内部环境提高：1.人是第一大产尘源，空调环境下穿无尘服利于洁净度控制2.喷涂行业无空调系统，夏季新溢厂洁净室达到30-35度，员工很难穿洁净服工作，造成车间内部洁净控制难度大；

三、不同的降温方式运行费用不同：1.空调运行成本高过湿帘系统，尤其电子行业的恒温恒湿运行费用占整体运行费用80%以上。两种不同通风系统的对比结论一、微电子行业的过滤器使用寿命长：新溢眼镜通风系统优化维护建议新溢眼镜通风系统优化维护建议末端风速过大人员物流因素通风系统缺陷人员、物流產生通风系统造成生产环境有待改善缺乏洁净室管理培训无尘室不能满足生产工艺要求的因素分析本厂通风系统的问题点

现象原因3.车间时有正、负压超标现象4.洁净室技术管理不到位2.车间尘埃超标现象1.时有布毛现象末端风速过大通风系统缺陷人员、物流產生生产环境有待改善无尘室发生源占百分比（%）发生源占百分比（%）从空气中漏入7从生产过程中产生25从原料中带入8由人员因素造成35从设备运转中产生25⑵洁净室内尘埃粒子来源分析尘埃粒子来源比例图尘埃粒子大小比例资料来源：《中国洁净室工程师学习指南》P34发生源占百分比（%）发生源占百分比（%）从空气中漏入7从生产2、改善无尘室现状，提出四点建议123

4完善空气系统，在末端增加“立体胶”过滤均流层

目的：使送风更均匀，防止高风速下产生的布毛现象调整“初、中、亚高效、高效更换频率

目的：延长末端高效使用寿命，调节送风系统的风阻风压在正常范围采用远距离工位送风空调系统

目的：改善作业环境，为实施“7S”创造条件加强无尘室“7S”管理

目的：通过管理培训及强化员工无尘室意识，从管理上保障车间洁净度2、改善无尘室现状，提出四点建议1234完善空气1、“立体胶”均流层改善方案1、“立体胶”均流层改善方案①特点：阻力低、透气性能好,

此棉经过立体浸胶处理，用在喷涂行业起到末端均流和拦截脱落的纤维用途：可适用于涂装线、烤漆房、喷漆房、电子涂装通风系统的空气过滤技术参数处理粒径：1um效率：60%（F5）初阻力：35Pa容尘量600g/m2在末端增加“立体胶过滤棉”均流，防止布毛现象发生①特点：用途：技术参数在末端增加“立体胶过滤棉喷涂无尘车间拟改造前通风系统图示

喷涂无尘车间拟改造前通风系统图示

喷涂无尘车间拟改造后通风系统图示

喷涂无尘车间拟改造后通风系统图示某眼镜厂“立体胶”过滤均流层安装图示

某眼镜厂“立体胶”过滤均流层安装图示加装“立体胶”过滤均流层效果比较序号

项目现有状况加装“立体胶”过滤均流层效

果1风速1.2-2.1m/s均流、降低风速平均风速0.8-1.2m/s2布毛现象时有防止、拦截减少或降低3改造后层高3米2.4米不影响员工作业环境4改善费用—2000-2500元/m25运行费用高效过滤器800元3次/年亚高效600元+立体胶过滤器150