集成电路制造工艺及常用设备课件

集成电路制造工艺及常用设备1、不要轻言放弃，否则对不起自己。2、要冒一次险!整个生命就是一场冒险。走得最远的人，常是愿意去做，并愿意去冒险的人。“稳妥”之船，从未能从岸边走远。--戴尔．卡耐基。3、人生就像一杯没有加糖的咖啡，喝起来是苦涩的，回味起来却有久久不会退去的余香。4、守业的最好办法就是不断的发展。5、当爱不能完美，我宁愿选择无悔，不管来生多么美丽，我不愿失去今生对你的记忆，我不求天长地久的美景，我只要生生世世的轮回里有你。集成电路制造工艺及常用设备集成电路制造工艺及常用设备1、不要轻言放弃，否则对不起自己。2、要冒一次险!整个生命就是一场冒险。走得最远的人，常是愿意去做，并愿意去冒险的人。“稳妥”之船，从未能从岸边走远。--戴尔．卡耐基。3、人生就像一杯没有加糖的咖啡，喝起来是苦涩的，回味起来却有久久不会退去的余香。4、守业的最好办法就是不断的发展。5、当爱不能完美，我宁愿选择无悔，不管来生多么美丽，我不愿失去今生对你的记忆，我不求天长地久的美景，我只要生生世世的轮回里有你。集成电路制造工艺及常用设备1.高温氧化工艺11硅的热氧化硅的热氧化是指在高温下,硅片表面同氧气或水进行反应,生成O氧、水汽氧化三硅的热氧化有:千氧、湿种。一、初中体育教学困境在目前的初中体育教学的过程中，因为学校、学生、家长等方面的种种原因，所以使得实际体育教学中表现出许多的问题。第一，初中体育教学不够重视，虽然体育早已经成为了初中教学的重要学科，但是初中的教学模式并没有发生什么改变，学校主要以学生体育的各个项目的达标率以及学生的学习成绩作为主要的教学目标。这样的模式导致初中体育教学地位不够，不受重视，而体育学科的不受重视就使得体育老师在学生中的地位严重不足，体育老师的教学活动很难开展开。一些学校甚至将体育作为副科，为了提高其他某些科目的成绩便任意的取消体育课程。这样的做法让体育老师开展教学工作的积极性大打折扣，同时也导致学生丧失了学习体育的兴趣。从而导致初中体育教学质量低的问题。第二，初中体育不够规范，体育的教学方法对于体育教学的效果有着非常重要的作用。但是即便如此，很多初中学校的体育教学活动仍然采取“放羊式”教学，即自由活动。自由活动是许多的体育老师经常采取的体育教学方法，但是这样的教学方法并不能达到体育的教学目标教学要求，更是不可能达到专业体育训练的标准。这样不重视的、懒散的教学方式会导致学生难以认识学习体育知识的重要性，并且慢慢的对学习体育失去兴趣，严重的还会造成老师与学生之间的关系不和。第三，老师教授的内容与学生感兴趣的内容之间的冲突越发的尖锐。虽然说学生是体育教学课堂中的主体，但是许多的老师仍然以教师为主体。老师往往按部就班的按照学期计划制定相关学时以及教学任务，极少开展针对性的体育教学。学生很容易对这些内容产生厌学情绪，学生对于体育课程的兴趣逐渐消失。随着时间的推移，老师更加难以了解学生的兴趣，而学生也不想更加了解体育知识。即便学生对某些体育知识或内容有兴趣，也许因为老师的原因而使学生能在体育课中学到自己感兴趣的事物的概率大幅度降低。体育老师自己学生都慢慢的对体育这门学科的教学产生了抵触情绪，老师的态度冷漠而且敷衍，而学生则会认为体育课就是一门让你玩的课程，学不学都无所谓。二、解决的对策第一，让学生、家?L等了解学习体育知识的重要性。国家计划生育的措施使得现在的大多数家庭都是独生子女，学生的家长太过于呵护孩子，舍不得让孩子吃一点苦。现代社会观念的改变使得学校对学生的安全问题越加重视。在体育课外活动中，学生在上课的过程中极有可能会发生意外，尤其是剧烈的体育活动。然而学校由于害怕承担责任，所以，部分学校直接取消了体育教学中相对剧烈的体育活动。这样的状况严重阻碍了体育的教学进程，这也是目前初中学生的身体素质日益变差的重要原因。所以，要想解决初中体育教学的问题，首先要将学生、家长等的错误的思想观念改变。然而家长对孩子过分保护的思想观念是阻碍学生身体素质提升的主要原因，由此可知，想要提升学生的身体素质首要的措施是要让家长们充分的认识到学生身体素质提升的重要性、锻炼身体以及学习体育的重要性。第二，有针对性的教学，初中学生对于体育的理解不相同，就导致其对于参与体育活动的想法也会不相同。学生在各方面的能力上都不相同，每个学生的体育基础也不相同。所以，在进行体育教学活动时，就要尽力做到因材施教，根据不同学生不同的情况来确定所教学的内容。假如是集体统一进行教学，那么就会导致体育基础较好的学生得不到较好的锻炼或者是基础较差的同学感到体育太难，很快的便会失去学习体育的信心以及兴趣。因此，体育老师应当要在了解学生的基础上制定合适学生的教学目标真正做到因材施教。第三，兴趣教学，初中学生对自己的兴趣也能有一个较为清晰的认知，知道自己喜欢什么不喜欢什么。有的学生喜欢羽毛球；有的学生喜欢篮球；有的学生喜欢乒乓球等等。学校的领导可以根据学生的兴趣开设专门的课程，教羽毛球的、篮球、乒乓球等的老师都有，让学生在开学的第一课就自己选好想要上的课程。这样的教学方式，使得学生在快乐中学习，能够更加充分的了解学生感兴趣的体育活动，将自己擅长的体育活动练习得更厉害，也可以涉足自己不熟悉的体育活动领域，学习新的体育活动。如此一来在推动不同的体育教学活动的同时，满足了学生的个性化发展。第四，提升老师的专业化水平，初中体育教学活动对教师的要求日益提高，不仅要求老师有足够的专业知识，而且还要能够熟悉掌握学生的心理。所以，打破初中体育教学的困境还需要提升初中体育老师的专业素养。为解决这一问题，学校应引进专业体育师范学校的优秀教师，提高教师的工资待遇，组织老师们进行定期的培训。还要对体育老师进行各方面的考核，督促老师积极提升自我的专业素养。其次，学校还要采取相应措施监督促进体育老师认真负责的开展教学活动。三、结语初中的体育教学常常不被重视，这不光阻碍学生身体素质的提升，更加影响其他文化课程的学习情况以及身心的健康发展。所以，解决初中体育不受重视的问题势在必行。创新创业教育是一种旨在培养学生的创新精神、创业意识和创业能力的教育，是解决大学生就业难和建立创新型国家的必然选择。在高职院校大力开展创新创业教育是高职教育教学改革的重要途径，通过改革人才培养模式，促进专业改革与建设，带动课程体系、教学内容和教学方法的改革，为我国社会主义现代化建设培养高素质、高技能、应用创新型人才。一、创新创业课程体系的界定创新创业课程体系既包括独立开设的创新创业类实体课程，又融入包括公共基础课、专业课的渗透性课程；既包括创新创业基础理论课程，又包括创新创业的模拟性、体验性实训课程。此外，还包括以在校大学生为主体的有组织、面向社会的创新创业实践活动和校园科技文化活动中的创新创业部分。二、创新创业课程建设中存在的问题课程建设是创新创业教育中的一个核心问题，是实现人才培养目标的基本保障。目前许多高职院校都在大力开展创新创业教育，但是，多数院校仅仅是增设“职业生涯规划”、“就业指导”课程，或者组织个别有较强创新意识的学生参加各省、国家“挑战杯”大学生创新创业计划竞赛，这导致创新创业教育不规范、不系统、针对性不强，大部分学生很难得到训练。究其原因，是大多数高职院校没有将创新创业教育理念贯穿到整个专业人才培养目标中去，开设的创新创业课程也没有真正融入到专业课程体系中，没有形成以创业为主线的系统的、完善的创新创业课程体系。三、高职会计专业创新创业课程体系的建设全面提高高职会计专业学生的素质，培养学生的创新意识和创业能力以适应时代发展的需要是当前高职会计教学改革的趋势。在高职院校会计专业开展创新创业教育，其课程体系应围绕会计专业人才培养目标与专业课程体系来设置，建立一套完善的创新创业教育课程体系，将创新创业教育融入到专业课程体系中，并考虑课程内容的前后衔接、连贯及过渡关系，其设置可分为理论课模块和实践课模块。1.理论课模块。（1）创新创业基础理论课创新创业基础理论课是对创新创业知识做一个全面系统的了解并向学生传授与创新创业相关的核心知识的课程，属于独立开设的课程，可以通过讲座和专题等多种方式开展教学，由会计专业的老师和会计专家进行讲授会收到较好的教学效果。如在第一学期安排《专业教育》的学习，让新生对自己的专业和未来的职业有所了解，以便合理地制定大学学习目标和学习计划；开设《职业生涯与发展规划》、《创新性思维》、《就业指导与创业教育》课程，通过讲授创新创业基本知识、介绍成功人士创业经历等培养学生创新创业的思维意识；开设《创新与创业精神》、《创业心理与技能》、《创业管理》等课程，着重培养学生的创新精神、加强学生对创新创业构想设计和技能的训练；开设《现代企业管理》、《市场营销》等课程，传授给学生与创业有关的知识。（2）融入专业理论课程教学过程中的创新创业教育这种方式不需要打破现有的课程体系，主要是在已开课程中挖掘开发、增强和融入创新创业教育的内容。将与创新创业有关的道德和品质课程融入两课的教学过程中；将与创新创业知识与能力有关的课程融入会计专业课（会计实务、财务管理等）的教学中。2.实践课模块。（1）融入会计实训课程教学过程中的创新创业教育传统的会计专业实训课程主要是以专业核算技能为主，会计实训的动态仿真性差，无法体现出会计是如何参与企业的管理，而且会计实训多数是独立的实训，无法培养学生的团结合作精神。解决这一问题行之有效的办法是引入ERP沙盘模拟实训，即在基础会计实训、财务会计实训、管理会计实训、财务管理实训、会计综合实训课程中增添ERP沙盘实训内容，创建一个仿真的企业环境，建立起动态的实训体系，帮助学生建立创新创业教育所需的知识体系，促进、激发和增强学生的创新创业能力，以及学生的团队协作能力和沟通能力。（2）赛事和活动在第四学期，也就是大二的下学期，可结合省、国家“挑战杯”大学生创新创业活动竞赛来开展大学生模拟创业活动，主要采取模拟演练、专题讲座的形式，培养学生创新创业的心理品质、增强学生的创新意识、锻炼学生的各种能力，包括理论联系实际并运用专业知识处理相关问题的能力、分工合作能力、组织能力、书写及作品包装能力、形象和语言表达能力和心理承受能力等。而学生模拟创业活动的最终成果—“创业计划书”正是对会计专业学生所学专业知识的一个综合运用，内容包括了创业背景、创业团队、市场调研、营销策略、资金计划、财务分析与预测、风险评估、退出计划等，动态的、仿真的创业情景加深了学生对企业会计工作的感性认识，通过对学生进行相应的岗位锻炼，使其对于维持企业正常运作的供应、采购、生产、库存管理、销售及物流配送等完整供应链系统有大致的了解，更加深入理解企业的实际运作过程，清楚感受到企业和企业之间的竞争，大大激发学生的创业激情，提高创新创业水平。（3）企业实践教学目前高职院校大力开展了实践教学改革，加强了与企业的合作，建立了校外实训基地。会计专业在创新创业教育中，应充分利用这一平台，进一步深化校企合作，开展多种形式的实践教学。如安排学生进行企业调研，对企业进行全程跟踪，在专业教师的指导下要求学生综合会计核算、企业管理、企业理财、营销策划等多种专业知识与创新思维、探究方法等内容相结合，以分析和帮助解决对应企业生产经营中存在的问题为实践项目，实现专业能力的交叉融合，从而提高高职学生自主思考、自主分析、自主学习等创新能力，从而分析和解决企业实际工作中的问题或者提供解决问题的思路和建议。另外，有条件的学校还可设立会计服务公司，给学生提供更多的实践机会，通过丰富的实践活动，培养学生的创业技能。集成电路制造工艺及常用设备1、不要轻言放弃，否则对不起自己。1集成电路制造工艺及常用设备集成电路21.高温氧化工艺11硅的热氧化硅的热氧化是指在高温下,硅片表面同氧气或水进行反应,生成O氧、水汽氧化三硅的热氧化有:千氧、湿种。1.高温氧化工艺312硅热氧化的厚度计算如果氧化前已存在厚度为t0的氧化层,则(3-11)微分方程的解为:(tox:是总的氧化层厚度)OX+Atoy=b(t+r)(4-12)2DHP式中A=2D+B2z=50+A(3-13)B在各种工艺条件下,参数A和B都是已知的,t是氧化时间。τ是一个时间参数,单位是小时(h)。12硅热氧化的厚度计算432热氧化原理和方法硅的热氧化分干氧和湿氧两种。干氧是在高温下氧分子与硅表面的原子反应生成SO2SiO反应扩散SiSi+o=sio32热氧化原理和方法513不同的热氧化方式生长的SiO,膜性质比较●干氧氧化的SiO2膜结构致密,干燥、均匀性和重复性好、掩蔽能力强、钝化效果好,与光刻胶的接触良好,光刻时不易浮胶●水汽氧化的SiO2膜结构疏松,表面有斑点和缺陷,含水量多,对杂质的掩蔽能力差,所以在工艺中很少单独采用。13不同的热氧化方式生长的SiO,膜性质比较6●湿氧氧化生长的膜致密性略差于干氧生长的SiO2膜,但它具有生长速率快的优点,其掩蔽能力和钝化效果都能满足一般器件的要求。其缺点是表面有硅烷醇存在,使SiO,膜与光刻胶接触不良,光刻时容易浮胶。同时,湿氧氧化后的Si片表面存在较多的位错和腐蚀坑。●湿氧氧化生长的膜致密性略差于干氧生7在实际工艺应用中,生长高质量的几百A的SO2薄膜一般采用干氧的方式SiO2薄膜厚度需要几千A以上时,一般采用干氧一湿氧一干氧的方式,既保证了所需的厚度,缩短了氧化时间,又改善了表面的完整性和解决了光刻时的浮胶问题。●热氧化生长的SO2薄膜质量好,但是反应温度比较高。衬底只能用于单晶硅表面。在实际工艺应用中,生长高质量的几82.离子注入离子注入的优点●离子注入可以通过分别调节注入离子的能量、数量,精确地控制掺杂的深度和浓度,所以可以制备理想的杂质分布。2.离子注入9●扩散法掺杂时受到化学结合力、扩散系数及固溶度等方面的限制,而离子注入是一个物理过程,所以它可以注入各种元素●扩散法是在高温下掺杂,离子注入法掺杂般在室温下进行(也可以在加温或低温下进行)●扩散法掺杂时受到化学结合力、扩散系数及10●离子注入法可以做到高纯度的掺杂,避免有害物质进入硅片。●热扩散时只能采用SiO2等少数耐高温的介质进行局部掺杂,但是离子注入法可以采用光刻胶作为掩蔽膜,进行局部注入掺杂。●热扩散时,杂质在纵向扩散的同时进行横向扩散,两者几乎一样,而离子注入的横向扩散很小。●离子注入法可以做到高纯度的掺杂,避免有11集成电路制造工艺及常用设备课件12集成电路制造工艺及常用设备课件13集成电路制造工艺及常用设备课件14集成电路制造工艺及常用设备课件15集成电路制造工艺及常用设备课件16集成电路制造工艺及常用设备课件17集成电路制造工艺及常用设备课件18集成电路制造工艺及常用设备课件19集成电路制造工艺及常用设备课件20集成电路制造工艺及常用设备课件21集成电路制造工艺及常用设备课件22集成电路制造工艺及常用设备课件23集成电路制造工艺及常用设备课件24集成电路制造工艺及常用设备课件25集成电路制造工艺及常用设备课件26集成电路制造工艺及常用设备课件27集成电路制造工艺及常用设备课件28集成电路制造工艺及常用设备课件29集成电路制造工艺及常用设备课件30集成电路制造工艺及常用设备课件31集成电路制造工艺及常用设备课件32集成电路制造工艺及常用设备课件33集成电路制造工艺及常用设备课件34集成电路制造工艺及常用设备课件35集成电路制造工艺及常用设备课件36集成电路制造工艺及常用设备课件37集成电路制造工艺及常用设备课件38集成电路制造工艺及常用设备课件39集成电路制造工艺及常用设备课件40集成电路制造工艺及常用设备课件41集成电路制造工艺及常用设备课件42集成电路制造工艺及常用设备课件43集成电路制造工艺及常用设备课件44集成电路制造工艺及常用设备课件45集成电路制造工艺及常用设备课件46集成电路制造工艺及常用设备课件47集成电路制造工艺及常用设备课件48谢谢！21、要知道对好事的称颂过于夸大，也会招来人们的反感轻蔑和嫉妒。——培根

22、业精于勤，荒于嬉；行成于思，毁于随。——韩愈

23、一切节省，归根到底都归结为时间的节省。——马克思

24、意志命运往往背道而驰，决心到最后会全部推倒。——莎士比亚

25、学习是劳动，是充满思想的劳动。——乌申斯基供娄浪颓蓝辣袄驹靴锯澜互慌仲写绎衰斡染圾明将呆则孰盆瘸砒腥悉漠堑脊髓灰质炎(讲课2019)脊髓灰质炎(讲课2019)谢谢！21、要知道对好事的称颂过于夸大，也会招来人们的反感轻49集成电路制造工艺及常用设备1、不要轻言放弃，否则对不起自己。2、要冒一次险!整个生命就是一场冒险。走得最远的人，常是愿意去做，并愿意去冒险的人。“稳妥”之船，从未能从岸边走远。--戴尔．卡耐基。3、人生就像一杯没有加糖的咖啡，喝起来是苦涩的，回味起来却有久久不会退去的余香。4、守业的最好办法就是不断的发展。5、当爱不能完美，我宁愿选择无悔，不管来生多么美丽，我不愿失去今生对你的记忆，我不求天长地久的美景，我只要生生世世的轮回里有你。集成电路制造工艺及常用设备集成电路制造工艺及常用设备1、不要轻言放弃，否则对不起自己。2、要冒一次险!整个生命就是一场冒险。走得最远的人，常是愿意去做，并愿意去冒险的人。“稳妥”之船，从未能从岸边走远。--戴尔．卡耐基。3、人生就像一杯没有加糖的咖啡，喝起来是苦涩的，回味起来却有久久不会退去的余香。4、守业的最好办法就是不断的发展。5、当爱不能完美，我宁愿选择无悔，不管来生多么美丽，我不愿失去今生对你的记忆，我不求天长地久的美景，我只要生生世世的轮回里有你。集成电路制造工艺及常用设备1.高温氧化工艺11硅的热氧化硅的热氧化是指在高温下,硅片表面同氧气或水进行反应,生成O氧、水汽氧化三硅的热氧化有:千氧、湿种。一、初中体育教学困境在目前的初中体育教学的过程中，因为学校、学生、家长等方面的种种原因，所以使得实际体育教学中表现出许多的问题。第一，初中体育教学不够重视，虽然体育早已经成为了初中教学的重要学科，但是初中的教学模式并没有发生什么改变，学校主要以学生体育的各个项目的达标率以及学生的学习成绩作为主要的教学目标。这样的模式导致初中体育教学地位不够，不受重视，而体育学科的不受重视就使得体育老师在学生中的地位严重不足，体育老师的教学活动很难开展开。一些学校甚至将体育作为副科，为了提高其他某些科目的成绩便任意的取消体育课程。这样的做法让体育老师开展教学工作的积极性大打折扣，同时也导致学生丧失了学习体育的兴趣。从而导致初中体育教学质量低的问题。第二，初中体育不够规范，体育的教学方法对于体育教学的效果有着非常重要的作用。但是即便如此，很多初中学校的体育教学活动仍然采取“放羊式”教学，即自由活动。自由活动是许多的体育老师经常采取的体育教学方法，但是这样的教学方法并不能达到体育的教学目标教学要求，更是不可能达到专业体育训练的标准。这样不重视的、懒散的教学方式会导致学生难以认识学习体育知识的重要性，并且慢慢的对学习体育失去兴趣，严重的还会造成老师与学生之间的关系不和。第三，老师教授的内容与学生感兴趣的内容之间的冲突越发的尖锐。虽然说学生是体育教学课堂中的主体，但是许多的老师仍然以教师为主体。老师往往按部就班的按照学期计划制定相关学时以及教学任务，极少开展针对性的体育教学。学生很容易对这些内容产生厌学情绪，学生对于体育课程的兴趣逐渐消失。随着时间的推移，老师更加难以了解学生的兴趣，而学生也不想更加了解体育知识。即便学生对某些体育知识或内容有兴趣，也许因为老师的原因而使学生能在体育课中学到自己感兴趣的事物的概率大幅度降低。体育老师自己学生都慢慢的对体育这门学科的教学产生了抵触情绪，老师的态度冷漠而且敷衍，而学生则会认为体育课就是一门让你玩的课程，学不学都无所谓。二、解决的对策第一，让学生、家?L等了解学习体育知识的重要性。国家计划生育的措施使得现在的大多数家庭都是独生子女，学生的家长太过于呵护孩子，舍不得让孩子吃一点苦。现代社会观念的改变使得学校对学生的安全问题越加重视。在体育课外活动中，学生在上课的过程中极有可能会发生意外，尤其是剧烈的体育活动。然而学校由于害怕承担责任，所以，部分学校直接取消了体育教学中相对剧烈的体育活动。这样的状况严重阻碍了体育的教学进程，这也是目前初中学生的身体素质日益变差的重要原因。所以，要想解决初中体育教学的问题，首先要将学生、家长等的错误的思想观念改变。然而家长对孩子过分保护的思想观念是阻碍学生身体素质提升的主要原因，由此可知，想要提升学生的身体素质首要的措施是要让家长们充分的认识到学生身体素质提升的重要性、锻炼身体以及学习体育的重要性。第二，有针对性的教学，初中学生对于体育的理解不相同，就导致其对于参与体育活动的想法也会不相同。学生在各方面的能力上都不相同，每个学生的体育基础也不相同。所以，在进行体育教学活动时，就要尽力做到因材施教，根据不同学生不同的情况来确定所教学的内容。假如是集体统一进行教学，那么就会导致体育基础较好的学生得不到较好的锻炼或者是基础较差的同学感到体育太难，很快的便会失去学习体育的信心以及兴趣。因此，体育老师应当要在了解学生的基础上制定合适学生的教学目标真正做到因材施教。第三，兴趣教学，初中学生对自己的兴趣也能有一个较为清晰的认知，知道自己喜欢什么不喜欢什么。有的学生喜欢羽毛球；有的学生喜欢篮球；有的学生喜欢乒乓球等等。学校的领导可以根据学生的兴趣开设专门的课程，教羽毛球的、篮球、乒乓球等的老师都有，让学生在开学的第一课就自己选好想要上的课程。这样的教学方式，使得学生在快乐中学习，能够更加充分的了解学生感兴趣的体育活动，将自己擅长的体育活动练习得更厉害，也可以涉足自己不熟悉的体育活动领域，学习新的体育活动。如此一来在推动不同的体育教学活动的同时，满足了学生的个性化发展。第四，提升老师的专业化水平，初中体育教学活动对教师的要求日益提高，不仅要求老师有足够的专业知识，而且还要能够熟悉掌握学生的心理。所以，打破初中体育教学的困境还需要提升初中体育老师的专业素养。为解决这一问题，学校应引进专业体育师范学校的优秀教师，提高教师的工资待遇，组织老师们进行定期的培训。还要对体育老师进行各方面的考核，督促老师积极提升自我的专业素养。其次，学校还要采取相应措施监督促进体育老师认真负责的开展教学活动。三、结语初中的体育教学常常不被重视，这不光阻碍学生身体素质的提升，更加影响其他文化课程的学习情况以及身心的健康发展。所以，解决初中体育不受重视的问题势在必行。创新创业教育是一种旨在培养学生的创新精神、创业意识和创业能力的教育，是解决大学生就业难和建立创新型国家的必然选择。在高职院校大力开展创新创业教育是高职教育教学改革的重要途径，通过改革人才培养模式，促进专业改革与建设，带动课程体系、教学内容和教学方法的改革，为我国社会主义现代化建设培养高素质、高技能、应用创新型人才。一、创新创业课程体系的界定创新创业课程体系既包括独立开设的创新创业类实体课程，又融入包括公共基础课、专业课的渗透性课程；既包括创新创业基础理论课程，又包括创新创业的模拟性、体验性实训课程。此外，还包括以在校大学生为主体的有组织、面向社会的创新创业实践活动和校园科技文化活动中的创新创业部分。二、创新创业课程建设中存在的问题课程建设是创新创业教育中的一个核心问题，是实现人才培养目标的基本保障。目前许多高职院校都在大力开展创新创业教育，但是，多数院校仅仅是增设“职业生涯规划”、“就业指导”课程，或者组织个别有较强创新意识的学生参加各省、国家“挑战杯”大学生创新创业计划竞赛，这导致创新创业教育不规范、不系统、针对性不强，大部分学生很难得到训练。究其原因，是大多数高职院校没有将创新创业教育理念贯穿到整个专业人才培养目标中去，开设的创新创业课程也没有真正融入到专业课程体系中，没有形成以创业为主线的系统的、完善的创新创业课程体系。三、高职会计专业创新创业课程体系的建设全面提高高职会计专业学生的素质，培养学生的创新意识和创业能力以适应时代发展的需要是当前高职会计教学改革的趋势。在高职院校会计专业开展创新创业教育，其课程体系应围绕会计专业人才培养目标与专业课程体系来设置，建立一套完善的创新创业教育课程体系，将创新创业教育融入到专业课程体系中，并考虑课程内容的前后衔接、连贯及过渡关系，其设置可分为理论课模块和实践课模块。1.理论课模块。（1）创新创业基础理论课创新创业基础理论课是对创新创业知识做一个全面系统的了解并向学生传授与创新创业相关的核心知识的课程，属于独立开设的课程，可以通过讲座和专题等多种方式开展教学，由会计专业的老师和会计专家进行讲授会收到较好的教学效果。如在第一学期安排《专业教育》的学习，让新生对自己的专业和未来的职业有所了解，以便合理地制定大学学习目标和学习计划；开设《职业生涯与发展规划》、《创新性思维》、《就业指导与创业教育》课程，通过讲授创新创业基本知识、介绍成功人士创业经历等培养学生创新创业的思维意识；开设《创新与创业精神》、《创业心理与技能》、《创业管理》等课程，着重培养学生的创新精神、加强学生对创新创业构想设计和技能的训练；开设《现代企业管理》、《市场营销》等课程，传授给学生与创业有关的知识。（2）融入专业理论课程教学过程中的创新创业教育这种方式不需要打破现有的课程体系，主要是在已开课程中挖掘开发、增强和融入创新创业教育的内容。将与创新创业有关的道德和品质课程融入两课的教学过程中；将与创新创业知识与能力有关的课程融入会计专业课（会计实务、财务管理等）的教学中。2.实践课模块。（1）融入会计实训课程教学过程中的创新创业教育传统的会计专业实训课程主要是以专业核算技能为主，会计实训的动态仿真性差，无法体现出会计是如何参与企业的管理，而且会计实训多数是独立的实训，无法培养学生的团结合作精神。解决这一问题行之有效的办法是引入ERP沙盘模拟实训，即在基础会计实训、财务会计实训、管理会计实训、财务管理实训、会计综合实训课程中增添ERP沙盘实训内容，创建一个仿真的企业环境，建立起动态的实训体系，帮助学生建立创新创业教育所需的知识体系，促进、激发和增强学生的创新创业能力，以及学生的团队协作能力和沟通能力。（2）赛事和活动在第四学期，也就是大二的下学期，可结合省、国家“挑战杯”大学生创新创业活动竞赛来开展大学生模拟创业活动，主要采取模拟演练、专题讲座的形式，培养学生创新创业的心理品质、增强学生的创新意识、锻炼学生的各种能力，包括理论联系实际并运用专业知识处理相关问题的能力、分工合作能力、组织能力、书写及作品包装能力、形象和语言表达能力和心理承受能力等。而学生模拟创业活动的最终成果—“创业计划书”正是对会计专业学生所学专业知识的一个综合运用，内容包括了创业背景、创业团队、市场调研、营销策略、资金计划、财务分析与预测、风险评估、退出计划等，动态的、仿真的创业情景加深了学生对企业会计工作的感性认识，通过对学生进行相应的岗位锻炼，使其对于维持企业正常运作的供应、采购、生产、库存管理、销售及物流配送等完整供应链系统有大致的了解，更加深入理解企业的实际运作过程，清楚感受到企业和企业之间的竞争，大大激发学生的创业激情，提高创新创业水平。（3）企业实践教学目前高职院校大力开展了实践教学改革，加强了与企业的合作，建立了校外实训基地。会计专业在创新创业教育中，应充分利用这一平台，进一步深化校企合作，开展多种形式的实践教学。如安排学生进行企业调研，对企业进行全程跟踪，在专业教师的指导下要求学生综合会计核算、企业管理、企业理财、营销策划等多种专业知识与创新思维、探究方法等内容相结合，以分析和帮助解决对应企业生产经营中存在的问题为实践项目，实现专业能力的交叉融合，从而提高高职学生自主思考、自主分析、自主学习等创新能力，从而分析和解决企业实际工作中的问题或者提供解决问题的思路和建议。另外，有条件的学校还可设立会计服务公司，给学生提供更多的实践机会，通过丰富的实践活动，培养学生的创业技能。集成电路制造工艺及常用设备1、不要轻言放弃，否则对不起自己。50集成电路制造工艺及常用设备集成电路511.高温氧化工艺11硅的热氧化硅的热氧化是指在高温下,硅片表面同氧气或水进行反应,生成O氧、水汽氧化三硅的热氧化有:千氧、湿种。1.高温氧化工艺5212硅热氧化的厚度计算如果氧化前已存在厚度为t0的氧化层,则(3-11)微分方程的解为:(tox:是总的氧化层厚度)OX+Atoy=b(t+r)(4-12)2DHP式中A=2D+B2z=50+A(3-13)B在各种工艺条件下,参数A和B都是已知的,t是氧化时间。τ是一个时间参数,单位是小时(h)。12硅热氧化的厚度计算5332热氧化原理和方法硅的热氧化分干氧和湿氧两种。干氧是在高温下氧分子与硅表面的原子反应生成SO2SiO反应扩散SiSi+o=sio32热氧化原理和方法5413不同的热氧化方式生长的SiO,膜性质比较●干氧氧化的SiO2膜结构致密,干燥、均匀性和重复性好、掩蔽能力强、钝化效果好,与光刻胶的接触良好,光刻时不易浮胶●水汽氧化的SiO2膜结构疏松,表面有斑点和缺陷,含水量多,对杂质的掩蔽能力差,所以在工艺中很少单独采用。13不同的热氧化方式生长的SiO,膜性质比较55●湿氧氧化生长的膜致密性略差于干氧生长的SiO2膜,但它具有生长速率快的优点,其掩蔽能力和钝化效果都能满足一般器件的要求。其缺点是表面有硅烷醇存在,使SiO,膜与光刻胶接触不良,光刻时容易浮胶。同时,湿氧氧化后的Si片表面存在较多的位错和腐蚀坑。●湿氧氧化生长的膜致密性略差于干氧生56在实际工艺应用中,生长高质量的几百A的SO2薄膜一般采用干氧的方式SiO2薄膜厚度需要几千A以上时,一般采用干氧一湿氧一干氧的方式,既保证了所需的厚度,缩短了氧化时间,又改善了表面的完