12英寸凸点加工扩能（扩能至2365片-天）项目环境影响报告表

(污染影响类)(承诺制项目公示本)项目名称:德州仪器半导体制造(成都)有限公司12英寸凸点加工扩能(扩能至2365片/天)项目建设单位(盖章):德州仪器半导体制造(成都)有限公司一、建设项目基本情况 1二、建设项目工程分析 31三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 87响和保护措施 109五、环境保护措施监督检查清单 146六、结论 1481德州仪器半导体制造(成都)有限公司12英寸凸点加工扩能(扩能至2365片/天)项目/(C3973)算机、通信和其制造业□新建(迁建)项目审批(核准/备案)部门(选填)项目审批(核)文号(选填)09-07-97915】JXWB-0232号总投资(万元)(万元)5环保投资占比(%)用地(用海)面积(m2)占地取水口下游500米范围本项目用水来自市政管网，不涉及取否根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南》(污染影响类)(试行)，具取水口下游500米范围本项目用水来自市政管网，不涉及取否情况毒有害污a化物、氯气且范围内有过程中产生的废气不包含染物。否排建设项目(槽罐车外送污水污水集期废水经污水处理站处理准》 (GB39731-2020)表1中“半导体器 (DB51/2311-2016)中“工业园区集否险易爆危超过临界Q.45614＞1，原辅料最大储过《建设项目环境风险评价技HJ/T169-2018)中附录B规物质临界量。是2饵场、越道的新增染类建设物的建设项目否无况《成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环境影响报告书》件名称及文号：环审[2021]31号本项目位于成都高新技术产业开发区西区。成都高新技术产业开发区于1988年开始筹函高字〔2001〕24号文，确定将成都现代工业港调整为国家级成都高新技术开发区的一部分，称为高新西区，规划面积为7平方公里，成都高新区由此形成一南一西两个园区，即成都高新西区的产业发展定位为：打造世界级电子信息产业主体功能区和产学研协同发展方向为：(1)集成电路产业：聚焦IC设计领域，重点支持5G通信芯片、人工智能芯片、军品圈增加先进工艺引进力度。材料方面重点发展和引进硅材料、加工材料企业入驻，重点聚焦心技术与生产环节，吸引高端人才聚集。(2)新型显示产业：聚焦OLED领域。重点聚焦下游应用领域。坚持以市场应用需求为导向，增强面板企业与消费电子整机、汽车、智能硬件等下游终端产业的协同发展和深度合(3)智能终端产业：聚焦智能手机领域。依托京东方6代AMOLED柔性产线，大力发率及8K+5G产品高清产业链。重点聚焦VR/AR为代表的新型终端产业领域。依托本地良好(4)网络通信产业：聚焦5G技术和产品研发领域。以5G技术为引领，加快布局天线、射频模块、小微基站等产业链环节的研发制造，重点发展高性能分布式存储技术，包括3分布式存储系统技术。重点聚焦光通信产业领域。增强产业链上游光预制棒等关键原材料的本地生产能力，占领价值链高端；进一步发展物联网无线传感网络技术、敏感元器件与传感器制造技术，大力推动物联网行业应用，积极引进物联网领域的软件开发商及系统集成商，联网技术及产品在民生、农业、制造、家居、医疗等领域的应用。高新西区生态环境准入负面清单的符合性对比见下表：空间布局禁止开发建设活动的要求：-禁止新引入的产业：钢铁、水泥、平板玻璃、石化、化工 (与电子信息产业配套的且不含化学合成的项目除外)、火电、黑色及有色金属冶炼、印染、化学合成药、屠宰、专业电镀、制浆(含废纸制浆)造纸、橡胶制造、制革、石墨碳素 -新、改、扩建涉重金属重点行业建设项目必须遵循重点重金属污染物排放“减量置换”或“等量替换”的原则，应在高新体的重金属污染物排放总量来源。造：禁止引入单纯原料药、中间体生产(以原料药或中间体为最终产品)、抗生素类发酵、维生素类发酵及合成制药、激素类等制药类项目(满足自用和其他非销售用途的原料药、中间体和生物制品发酵项目除外)。新建项目以生物医药类项目为主，主要涉及(1)化学药品、制剂制造；(2)中药材及中成药加工；(3)新药研发、检测；(4)动物药品制造业；(5)生物制品制造业。路制造项目，且排放的污染物中含氟化物，为严于园区禁止新引属于新建涉重金制程工序为工序污染物排放管控现有源提标升级改造：-污水收集处理率达100%；排放标准根据流域及其水质现状等指标COD、BOD5、氨氮、总磷指标执行对应水体功能水质保护的要求，达标区域执行《岷江、沱江流域水污染物排放标准》工业园区污水处理厂标-工业固体废弃物利用处置率达100%，危险废物处置率达-新、改扩建项目污染排放指标满足《四川省省级生态工业园电子信息：限制使用含铅电镀工艺，该类项目清洁生产水平须达到同行业先进水平，COD排放强度≤006kg/万元，氨氮排废等收集处置率排放强度为氨氮排放强度为项目周边500m范围不紧邻人群聚险水平低(环境风险潜势为II)，4≤0.005kg/万元，现有此类企业整改达标或关闭退出。工艺以及发酵工序，推广低VOCs含量、低反应活性的原辅材料和产品，该类项目清洁生产水平须达到同行业先进水平，企业整改达标或关闭退出。目清洁生产水平为I级，符合规划环评要求，生产过程产生的污染物经对应的处理设施处理达到对应标准后排放，对周边环境环境环境风险-涉及有毒有害、易燃易爆物质新建、改扩建项目，严控准入：构建三级环境风险防控体系，强化危化品泄漏应急处置措施，确保风险可控。针对化工园区进一-化工、电镀等行业企业拆除生产设施设备、构筑物和污染治规定实施安全处理处置，防范拆除活动污染土壤。本项目涉及有毒物质，项目通过案等，严格控制生产过程中的环电镀等行业，符另根据《成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环境影响报告书》中要求：“强化园区氟化物控制。对高新西区的电子企业，应严格按“分类收集、分质处理、源头控制”的原则进行源头控制，涉氟化物排放的重点企业应强化厂内处理。严格控制新引入涉氟化物排放的项目，确需引入的，要深入拟建项目厂区总排口氟化物排放浓度的限值要求的环民共和国生态环境部关于<成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环境影响报告书>的审查意见》(环审〔2021〕31号)中“(二)……严控涉及重金属等特征污染物排放的产业发西区排放氟化物建设项目的引入……”。化局完成了备案，备案号：川投资备【2203-510109-07-02-297915】JXWB-0232号(附件2)，属确需引入项目，因此需深入本项目厂区总排口氟化物排放浓度的限值要求的环境合理理，能够稳定达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中间接排放标准，且项目严格执行例行监测制度，本项目单位产品基准排水量为0.241m3/片，满足《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》(HJ1030-2019)中表4要求(12英寸芯片，掩膜层数35层以上基准排水量≤20m3/片)，因此本项目引入后能够确保合作污水处理厂氟化物的达标排放。本项目不涉及铅(Pb)、汞(Hg)、镉(Cd)、铬(Cr)、类金属砷(As)元素等第一类重金属污染物排放，在营运期会排放少量的铜(Cu)、镍(Ni)，但本项目属于园区鼓励发展的产业，且经过本项目设置的污水站处理后排放量很小，因此对水环境影响很小。5综上，本项目位于规划区西区，主要进行集成电路生产，属于集成电路制造(C3973)，6序一级指号标二级指标单位级I级基准值II级基准值III级1工艺民用产品采用无氰镀锌使用金属回收工艺民用产品采用无氰镀锌回收工艺电子元件采用无铅镀层1.镀镍、锌溶液连续过滤1.镀镍溶液连续过滤项目镀镍连续过滤，不涉2制及时补加和调整溶液溶液中的杂质溶液中的杂质3化生产线4II等节施5L/m21≤8≤24≤56%/7%0.8/n80%8%0.8/n80%I9%/率%/%0.8/n/%/电镀用水重复利用%0I7率II标%使用四项以上(含四项)减少镀液带出措施险废物转移联单送施1定量检产品质检测记录备和产品检测记录质定记录；产标声等污染物排放符合国家和地方排放标准；主要污地方污染物排放总量控制指标均国家和地方相关产业政策符合度核情况，环境业文件地方要产审核理体系和完备的管和地方要求，开展全管理条例》相关要求按照行设混入运行中控系设施运有良定期检测废建行加口气装测处气检测树式，且有废统及加药装立污染设施运行8预案并开展环境应急演练号的指标为限定性指标综上，本项目清洁生产指标基本能够达到二级，处于较高清洁生产水平，符合规划环评中提出的“清洁生产水平应达到国内先进水平，即二符合循环经济要求。”9合性根据《国民经济行业代码》(GB/T4754-2017)可知，本项目属于“集成电路制造 路设计，线宽0.8微米以下集成电路制造，及球栅阵列封装(BGA)、插针网格阵列封装 (PGA)、芯片规模封装(CSP)、多芯片封装(MCM)、栅格阵列封装(LGA)、系统级封装 (SIP)、倒装封装(FC)、晶圆级封装(WLP)、传感器封装(MEMS)等先进封装与测本项目为外商投资项目，主要从事模拟、数模集成电路的制造等。属于《鼓励外商投资产业目录(2020年版)》“全国鼓励外商投资产业目录”中第二十二类“计算机、通信和其他电子设备制造业”第321条“集成电路设计，线宽28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，MEMS和化合物半导体集成电路制造及【2203-510109-07-02-297915】JXWB-0232号(附件2)。、其他符合性分析1、与大气污染防治行动计划、水污染防治行动计划、土壤污染防治行动计划的符合性根据《大气污染防治行动计划》(国发〔2013〕37号)和《四川省大气污染防治行动计有机物削减和控制无经济可行性的工艺和产品；地级及以上城市建成区基本淘汰每小时10蒸吨及以下的燃煤锅炉，禁止新建每小时20蒸吨以下的燃煤锅炉。本项目对产生的挥发性有机物进行收集处理，并设置了“RCTO燃烧装置”对其进行处理，处理措施有效，项目不根据《水污染防治行动计划》(国发〔2015〕17号)和《水污染防治行动计划四川省工开展节水诊断、水平衡测试、用水效率评估，加大节水改造力度。本项目选用国内外先进仪器及设备，均符合国家规定，不属于淘汰类设备，项目设置了有机废水处理系统、无机废水处理系统，对项目产生的废水进行处理后达标排放，项目建设符合水污染防治行动计划的要根据《土壤污染防治行动计划》(国发〔2016〕31号)和《土壤污染防治行动计划四川影响的评价内容，并提出防范土壤污染的具体措施。本次环评引用项目所在区域的土壤环境质量现状监测报告，报告数据表明，各项指标均能满足《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准》(GB36600-2018)第二类用地筛选值要求；项目涉及土壤的途径可能有废气的大气沉降，废气通过本项目设置的对应处理设施处理后达标排放，并对可能污染土壤的区域进。2、与《四川省人民政府办公厅关于进一步规范电镀行业发展的意见》的符合性分析本项目与《四川省人民政府办公厅关于进一步规范电镀行业发展的意见》(川办发[2018]83号)相关要求对比如下表所示：表18]83号文相关要求情况性1序电镀项目入电镀集中区或保手续和环保基集成电路的生产，生产过程中进行了园区规划环评，并取得中华人态环境部下发的《关于<成都业开发区分区规划(2017-2035影响报告书>的审查意见》(环审1]31号)，园区雨、污水管道等环保基完善，且本项目位于园区污水处理2净化装置和废废气、废水排家相关标准要求废水经对应治理措施处理达标后排入园区步处理后排放。项目运营过程中有机废气RCTO处理后，其排放浓度及排放速率达到《四川省固定污染源大发性有机物排放标准》(DB51/2377-2017)表3标准，做到达标排放。硫酸雾、盐酸雾等采用“碱液洗涤”的方式进染物排放标准》(GB21900-2008)表5标3物要通过规范质的机构进行处置产生的所有固体废物经对应的容器(罐装、袋装、盒装等)收集暂中一般废物暂存后经市政统一清运家及废品收购站回收，危险废弃物交有资质单位统一处置。固体废弃明确，做到妥善处置，不会造成二设，与《四川省人民政府办公厅关于进一步规范电镀行业发展的意见》(川办发【2018】83号)相关要求相符。3、与《四川省“十三五”重金属污染防治实施方案》符合性分析以铅(Pb)、汞(Hg)、镉(Cd)、铬(Cr)、类金属砷(As)等元素为重点防控的重金属污染物，兼顾镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)等其他重金属污染物。点行业重有色金属矿采选业(铅锌矿采选、铜矿采选、锑矿采选、金矿采选)、重有色金属冶炼业(铅锌冶炼、铜冶炼等)、金属表面处理及热处理加工业(电镀)、铅蓄电池制造业、皮革制造业、化学原料及化学制品制造业(聚氯乙烯、铬盐等基础化学原料、硫化物矿制酸国家控制重点区域：德阳市什邡市、绵阳市安州区、内江市隆昌市、宜宾市翠屏区、凉枝花市东区、德阳市旌阳区、德阳市绵竹市、德阳市广汉市、德阳市罗江县、宜宾市江安市青川县、凉山州甘洛县、凉山州冕宁县等。主要任务业准入条件，禁止新建落后产能或产能严重过剩行业的建设项目。强化涉重金属污染行业建业园区，实现园区集聚发展，原则上不得在工业园区外新(改、扩)建增加重金属污染物排为镍和铜，本项目不属于国家及四川省重金属污染防治重点区域和重点行业，本项目所在区4、与《四川省重点行业重金属污染物排放指标管理办法(试行)》符合性分析根据《四川省重点行业重金属污染物排放指标管理办法(实行)》，第三条：重点行业包括重有色金属矿(含伴生矿)采选业(铜、铅锌、镍钴、锡、锑和汞矿采选等)、重有色金属冶炼业(铜、铅锌、镍钴、锡、锑、汞冶炼和前述金属再生冶炼等)、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业(皮革鞣制加工等)、化学原料及化学制品制造业(电石法聚氯乙烯制造、制造、以工业固废为原料的锌无机化合物工业等)、电镀行业。第四条：新、改(扩)建重点行业建设项目应遵循重金属污染物排放“减量置换”或“等量替换”的原则。建设单位提交环境影响评价文件时，应明确新增重金属污染物排放指本项目属于集成电路制造行业，涉及工序电镀，但不属于“办法”中规定的电镀行业，5、与《关于进一步加强重金属污染防控的意见》(环固体〔2022〕17号)符合性分析根据《关于进一步加强重金属污染防控的意见》(环固体〔2022〕17号)中“二、防控重点重金属污染物：重点防控的重金属污染物是铅、汞、镉、铬、砷、铊和锑，并对物排放量实施总量控制。重点行业：包括重有色金属矿采选业(铜、铅锌、镍钴、锡、锑和汞矿采选)，重有色金属冶炼业(铜、铅锌、镍钴、锡、锑和汞冶炼)，铅蓄电池制造业，电镀行业，化学原料及化学制品制造业(电石法(聚)氯乙烯制造、铬盐制造、以工业固体废物为原料的锌无机区域。为镍和铜，不属于国家及四川省重金属污染防治重点区域和重点行业，因此符合该意见要6、与有机废气相关政策符合性分析本项目主要进行12英寸闪存芯片生产，属集成电路生产项目。运行过程中会产生有机表。析名称本项目针对工序产生的有机废气全部进行收集后(收集RCTO焚烧的方进行处理。准入门槛，严格控制新增污染物排放量。格限制石化、化工、包装印刷、工VOCs排放建设项目。新建涉VOCs排。(2018-2020年)》物排放量。重点地区要严格限制石装印刷、工业涂装等高VOCs排放VOCs排放的工业企业要入园s实到企业排污许可证中，纳入环境执法扩建涉VOCs排放项目，应从源头加强控制，使用低(无)VOCs含量的原辅材处理。对有机原辅材料调配和使用等，(一)深化工业源污染防治：控制挥发性有机物 (VOCs)排放。严格控制VOCs排放总量，新建VOCs项目应实施等量或倍量替代。强化VOCs源头削减，以工业涂装、家具制造、包装印刷等行业为重点，大力推进低(无)VOCs含量原辅材料替代。严格控制生产和使用高VOCs含量溶剂型涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等建设项目。强化VOCs综合治理，以石化、化工、工业涂装、包装印刷、电子、纺织印染、制鞋、家具制造、，提升废气收集率、治污设施同步运行率和去除率，科学合理选择治理标升级改造。强化无组织排放管控，加大含VOCs物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散等管控力度，开展泄漏检测与修复工作。强化企业VOCs排放达标监管，实施季节性调控。完善挥，建立低挥发性有机物本项目不属于新建项目，无需执行等量或倍量替代，也不属于工业涂造、包装印刷等重点行业；本项目有机废气收集效率为合“规划”中、生物医药等先进制造业，提升高技术制建材、石化等重点高耗能产业占比。推动本项目行业类别为电子信息“方案”中大力发展的行业建项目严格落实污染物排放区域削减要据环境质量改善需求及“三线一单”要格限制高耗能、高排放和资源型行业准本项目不属于高耗能、高排扩建需编写建设项目环境影响报告点行业企业原则上应满足《重污染天气重点行业应急减排措施制定技术指南(2020年绩效分级A级或引领性企业对原辅材排放水平、污染治理技术、监测监控本项目环境影响报告编写形式为报告表，案”中要求的应编制报告书(环大气具园区、温江医药园区、双流蛟龙工业港企业本项目不位于“方案”中提到的园区中0、推动重点企业废气治理提升：以铸造、涂料业涂装、人造板、汽车零部件、包装印重点行业应急减排措施制定技术指南(2020年修效分级中B级及以上企业要求开展提标本项目不属于“方案”中提到的重点行业、邯郸、邢、沧州、廊坊、衡水市以及雄安新区，、济宁、德州、聊城、滨州、菏泽市，州、开封、安阳、鹤壁、新乡、焦作、濮阳市(含河北省定州、辛集市，河南省济源、常州、苏州、南通、连云港、淮安、、温州、湖州、嘉兴、绍兴、金华、衢、台州、丽水市，安徽省合肥、淮北、芜湖、宣城、铜陵、池州、安庆、黄山市，河南省洛阳、三门峡市，陕西省西安(含西咸新区)、铜川、宝鸡、咸阳、渭南(含韩城省淮北、亳安、日照、临沂市，河南省平顶山、许河、南阳、商丘、信阳、周口、驻马店刷、油品储运销等行业。二、企业在无组织排放排查整治过程中，在保证安全的前提下，加强含罐，封闭式储库、料仓等。装卸、转移和输送环节应采用密闭管道或密闭容器、罐车等。生产和使用环节应采用密闭设备，或在密闭空间中操作状态时容器应密闭。处置环节应将盛装过VOCs物料的包装容器、含VOCs废料(渣、液)、废吸本项目所在地不属于该文件提到的重点区域。本项目对工艺上产生的VOCs收集率为RCTO焚烧的方式进行处理。VOCs物料的容器或包装袋应存放本项目有机物(GB37822—的专用场地；盛装VOCs物料的容器或包装袋在s密闭良好，其中挥发性有机液体储罐围护结构将污染物质、作业场所等于阻隔所形成的封闭区域或封闭式建筑区域或封闭式建筑物除人员、车辆、风口外，门窗及其他开口(孔)部位应随时保持(GB37822—的专用场地；盛装VOCs物料的容器或包装袋在s密闭良好，其中挥发性有机液体储罐围护结构将污染物质、作业场所等于阻隔所形成的封闭区域或封闭式建筑区域或封闭式建筑物除人员、车辆、风口外，门窗及其他开口(孔)部位应随时保持“三大战役”10二、重点任务：(一)加强工业源污染治理，建立工业企业分类综合评价制度，明确重点支持类企业、技术提升类企业、重点整改类企业和关停类企业，促进企业运用新技术、新工艺、新的管理办法，从源头上减少VOCs排放；针对重点园区污染治理，制定完善奖励政策和措施，有效减少园区VOCs排放对环境的污染。第六条企事业单位和其他生产经营者对本单位的防止、减，对造成的损害依法承担责任。第二十九条本市禁止新建、扩建使用燃煤设施的业项目，应规定进入产业功能区或者其他指定区域。第三十条企事业单位和其他生产经营者向大气排放污染物的，应当符合本市执行的大气污染物排放标准，遵守重点大气污染物排放总量控制要求。大气污染物重点排放企业应当按照要求安装本项目酸性废气及有机废气分别经收集、处理后排放，均能达到相应的排放标准，本项目不使用燃煤设施，且位于高新区综内，属于产业功能区内，本项目有机废气安装了在线监都市2022年大气污染防治工作方案》、《2020年挥发性有机物治理攻坚方案》、《成都市2021挥发性有机物综合整治攻坚行动方案》、《成都市大气污染防治条例》等相关政策要7、与成都市人民政府《关于落实生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线制定生态环境准人清单实施生态环境分区管控的通知》(成府发〔2021〕8号)符合性分析根据成都市人民政府《关于落实生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线制定生态环境准人清单实施生态环境分区管控的通知》(成府发〔2021〕8号(以下简称“通知”)中分区要求，本项目所在的高新西区为工业重点管控单元(详见附图12)及“西控”区域，本项目不在长江干流及主要支流本项目不在长江干流及主要支流岸线1km范围内，且不属于化不生产高VOCs含量的有机溶剂求重点管控单元要求：重点管控单元中，针对环境质量是否达标以及经济社会发展水平等(1)严格执行《中华人民共和国水污染防治法》《四川省饮用水水源保护管理条例》格保障人居粮食安全。(3)提升生态功能，优化城乡空间布局。按照国家生态保护红线的管控要求严格管控为；城镇建设区及制造业产业园区不能突破城镇开发边界。(4)强化文化资源的保护和利用、提升城镇品质，推动农商文旅体融合发展。(5)新、改、扩建电子信息企业应满足成都市“三线一单”生态环境分区管控中电子资源环境绩效准入门槛。普适性管控要求(1)严禁在长江干流及主要支流岸线1公上述项目可进行节能环求。(2)禁止在长江干支流1公里范围内新 (3)禁止生产高VOCs含量有机溶剂型涂求2(1)控制水泥、平板玻璃、日用玻璃、涂 (2)继续化解过剩产能，严禁钢铁、水必要新建的必须实施等量或减量置要3(1)现有属于禁止引入产业门类的企业，提升安全、生态环境保护水平为目 企业向园区集中，鼓工业项目、化工项目分别搬入工业化工产业集聚区。都门类造4(1)污水收集处理率达100%：排放标准。沱江流域现有及扩建工业园区污水执行《四川省岷江、沱江流域水污 (2)开展火电、钢铁、建材、玻璃、砖燃煤锅炉及挥发性有机物重点行业超水泥行业深度治理。推动平板玻璃企消烟气旁路设施，引导建设备用废气 (3)推广低(无)VOCs含量原辅材料。)VOCs含量的 (4)现有锅炉按期执行《成都市锅炉大气DB020) (5)进一步提高木质家具制造、包装印本项目生产废水及生活污水均得污水厂排放标准执行沱江流域水污染 2016)；本项目不业，本项目有机废气经收集(收集率100%)后由一套RCTO焚烧装置进行处理后达标排放；本项目不涉及锅炉的5(1)电子信息行业、汽车制造行业分别需指标、汽 (2)工业固体废弃物利用处置率达子源环废均的处求(3)力争2022年底完成区域燃煤锅炉淘生物质锅炉低氮燃烧改造或改电 (4)推进低VOCs含量源头替代。聚焦移料、胶粘剂和油墨产品的生原辅材料和产品的替代。置率达炉及的6(1)涉及有毒有害、易燃易爆物质新建、 (2)严格涉重金属(铅、汞、镉、铬、砷)企业和园区环境准入管理，新(改、扩)建涉重金属重点行业建设项目实施“等量替代”或“减量替代”。上金属“等“减7(1)园区风险防控体系要求：构建三级环险防控体系，强化危化品泄漏应急处 (2)针对化工园区建立有毒有害气体环境成求8(1)化工、电镀等行业企业拆除生产设施 (2)已污染地块，应当依法开展土壤污染 (3)重有色金属冶炼行业、金属表面处理加工行业、皮革及其制品制造学原料及化学制品制造业、铅酸蓄造行业等应满足重点重金属排放行治理相关要求，重金属重点行业清总体上达到国内先进水平，重金属专行拆除全处；项目针域分别同的防大止项目可能表面处求9(1)到2022年，万元国内生产总值用水 (2)鼓励引导新建、改建、扩建工业园区关要求统筹建设工业废水集中处理、水、一水多用，实现水循环梯级优和废水集中处理回用，创建节水型 (3)鼓励火力发电、纺织、造纸、化工、发酵等高耗水企业对废水进行深度造纸、印染等高耗水行业项目具备生水条件但未有效利用的，要严格火等高耗项目对水全部站处理放入市网。(1)在禁燃区内，禁止销售、燃用高污染的各类设备应当拆除或者改用管道、页岩气、液化石油气、电或者其源。(2)工业企业单位GDP能耗对标国内先标满足省级生态工业园区或更高要求(3)电力、钢铁、纺织、造纸、石油石化工、食品发酵等高耗水行业达到先标准。高、建设综上，本项目为集成电路生产类项目，位于不达标区域内，应执行污染物削减量及比例用基本农田，项目位于成都市高新西区科新路8-8门槛要求。符合“通知”要求。6、与成都市生态环境局关于印发《成都市生态环境准入清单(2022年版)》的通知(成环发〔2022〕8号)相关要求的符合性分析根据《成都市生态环境准入清单(2022年版)》，及查询川省政务服务网四川生态环境。环境管控单元编码管控单元(州)县ZH005(高新区)成控YS210031YS310040YS540005区(政策文件)YS550001区环境管控单元编名称应管控要求情况(1环境管控单元编名称应管控要求情况(1)本项目不属于新建石油化工、煤化工、涉磷、造纸、印染、制革、混凝土(砂浆)、沥青搅拌站、大型物流基地、物流集散中心或者商品批发市场、新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等高污染项目；(2)本项目不涉及；(3)本 (4)本项目不生产高VOCs含量涂料等；(5)本项目不使用燃煤； (6)本项目不位(1)禁止在长江干流及主要支流岸线1公里范围内新建石油化工、煤 (2)禁止在长江干支流1公里范围内新建、扩建化工园区和化工项(3)禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建 (4)禁止生产高VOCs含量有机溶剂型涂料、油墨和胶黏剂的新、扩(5)禁止新建、扩建使用燃煤设施的工业项目；(6)禁止在本市规划已确定的通风廊道区域内新建、改建、扩建排物的工业项目；(7)绕城高速公路(G4202)以内禁止新建、扩建混凝土(砂浆)、沥青搅拌站；(8)绕城高速公路(G4202)以内区域，禁止新建大型物流基地、中心或者商品批发市场。(高新区)成都ZH51011720005(1)严控列入产业结构指导目录限制类行业的项目；(2)控制水泥、平板玻璃、日用玻璃、涂料、铸造、砖瓦等行业产(3)严控列入国家产能过剩的项目，继续化解过剩产能，严禁钢泥、电解铝、平板玻璃等行业新增产能，对确有必要新建的必限制及不属、涂砖瓦等求入产业门类的企业，原则上限制发展，污染物(2)加快布局分散的企业向园区集中，鼓励现有工业项目、化工项(3)工业生产中可能产生恶臭气体但未按要求设置合理防护距离的高高新西区禁止引入及恶臭气体产生，原厂区已以化学品库为中心设置半径(1)污水收集处理率达100%；排放标准根据流域及其水质现状等提准。岷江、沱江流域现有及扩建工业园区污水处理厂执行《四川省岷江、沱江流域水污染物排放标准》(DB512311-2016)；(2)加快推进钢铁、平板玻璃、水泥等重点行业超低排放改造；加挥发性有机物重点行业深度治理；(3)推广低(无)VOCs含量原辅材料。新建、改建、扩建涉VOCs目，推广使用低(无)VOCs含量的原辅料；进一步提高木Cs(4)全面推进在用锅炉提标改造，按期执行《成都市锅炉大气污染物排放标准》(DB512672-2020)要求。集率作放标重点行目使用的Cs，且本(1)电子信息行业、汽车制造行业应分别参考执行成都市电子信息环境绩效指标、汽车制造行业资源环境绩效指标； (2)工业固体废弃物利用处置率达100%，危险废物处置率达100%； (3)推进老旧燃气锅炉和成型生物质锅炉低氮燃烧改造或改电工(4)推进低(无)VOCs含量源头替代。聚焦工业和服务业、溶剂使剂、低VOCs含量型的涂料、胶粘剂和油墨产品的生VOCs含量、低反应活性等环境友好型原辅材料和产品的市资源不涉及锅炉使用，本项目原辅料已尽s(5)参照《关于加强重点行业建设项目区域削减措施监督管理的通知》(环办环评〔2020〕36号)执行；(6)严格执行废气、废水、噪声、固体废物等国家、行业和地方污行等排放标准求(1)涉及有毒有害、易燃易爆物质新建、改扩建项目，严控准入要(2)严格涉重金属(铅、汞、镉、铬、砷)企业和园区环境准入管理，新(改、扩)建涉重金属重点行业建设项目实施“等量替代”或代”。(3)园区风险防控体系要求：构建三级环境风险防控体系，强化危 (4)针对化工园区建立有毒有害气体环境风险预警体系，建立区(5)化工、电镀等行业企业拆除生产设施设备、构筑物和污染治理(7)重有色金属冶炼行业、金属表面处理及热处理加工行业、皮革品制造业、化学原料及化学制品制造业、铅酸蓄电池制造行业总体上达到国内先进水平，重金属重点排污企业达标排放率达全厂急预行执行等量照相应要(1)到2022年，万元国内生产总值用水量、万元工业增加值用水量分别降低30%和28%。(2)鼓励引导新建、改建、扩建工业园区按照有关要求统筹建设工集中处理和回用设施，适时推进企业间串联用水、分质用水、区。(3)鼓励火力发电、纺织、造纸、化工、食品和发酵等高耗水企业度处理回用，降低单位产品耗水量。火电、有色、造火力和建设有污YS5101172210031/符合符合符合符合求//(1)除威立雅三瓦窑热电(成都)有限公司外，禁止贮存、使用燃染燃料；(2)禁止新建、改建(已有锅炉配套治理设施升级改造除外)、扩建燃煤、生物质锅炉(含成型生物质锅炉)；业增加值能耗对标国内先进水平及以上；工业(4)电力、钢铁、纺织、造纸、石油石化、化工、食品发酵等高耗额标准。电纺织、石化、发酵等，不涉高污染。区内，禁止销售、燃用高污染燃料，禁止新建、改建、扩建任污染燃料的项目和设备，已建成使用高污染燃料的各类设备或者改用管道天然气、页岩气、液化石油气、电或者其他清用设活动的要求要求活动的退出要求约束要求优先控染控制措施要求措施要求工业企业污水处理设施升级改造，全面实现工业废水达标排集系统建设与提标升级改造，推进工业园区“零直排区”建设。加强23个省级以上工业园区集中污水处理设施运行监管，对66个市级产业功能区污水收集、处理设施存在问题开展整治。污染控制措施要求处YS5101172310040污染控制措施要求源和其它特殊水体保护要求//符合符合控险评估，开展沿江石化、化工、医药、纺织、印染、化纤、和石油类仓储、涉重金属和危险废物等重点企业环境风险评工业、企业集中分布区环境风险管控，加快建设规范的工业沿江/设活动的要求要求活动的退出要求约束要求优先控标准《环境空气质量标准》(GB3095-2012)：二级排放的工业项目实行2倍削减量替代。其他能源大气污染控制要求要求平板玻璃、砖瓦等传统行业的产能新增；三是通过打造特色产入、环保标准、环境监管，执行大气污染物特别排放限值。五绿色绩效考核、重污染天气“一厂一策”等实行重点行业差异建，不涉，营运及酸性相应处后达标料禁燃区(政策YS5101172540005YS5101172550001精准管控，促进行业整体提效升级。大气污染控制要求控制要求污染防治管理办法和各类扬尘污染控制标准，明确治理目措施、责任主体和考核模式，落实扬尘治理和监管责任。积极推行绿色施工，强化建筑、市政交通、拆迁(除)、绿化“四大工明施工标准化建设技术标准》要求。提高道路清扫机械化和业水平，增加清扫频次，落实道路分级清扫保洁要求，建成经营活动大气污染控制要求专项治理要求物排放管控要求/////符合符合///控//////控//控//效率要求得超过能源利用上线控制性指标效率要求能源性指标控//控//效率要求效率要求/置入清单(2022年版)》及相关要求。科新路8-8号，8-10号厂区现目出具的不动产权证书(川(2018)成都市不动产权第0394130号)(附件4)，明确其用红线符合性分析“生态保护红线”是“生态空间范围内具有特殊重要生态功能必须实行强制性严格保护的区域。相关规划环评应将生态空间管控作为重要内容，规划区域涉及生态保护红线的，在规划环评结论和审查意见中应落实生态保护红线的管理要求，提出相应对策措施。除受自然条件限制、确实无法避让的铁路、公路、航道、防洪、管道、干渠、通讯、输变电等重要基础设施项目外，在生态保护红线范围内，严控各类开发建设活动，依法不予审批新建工业项目和矿产开发项目的环评文件”。根据《关于印发四川省生态保护红线方案的通知》(川府发[2018]24号)，四川省生态保护红线方案对全省各市区的生态保护红线进行了划定。本项目位范围内。源利用上限符合性分析，区分不同行业，从能源资源开发等量或减量替代、开采方式和规模控制、利用效率和保护措施等方面提出建议，为规划编制和审批决策提供重要依据。本项目为集成电路制造，项目占地性质为工业用地，用地已取得成都市国土资源局为本项目出具的不动产权证书(川 (2018)成都市不动产权第0394130号)(附件4)，因此本项目符合成都市高新区资源利用境质量底线分析“环境质量底线”是国家和地方设置的大气、水和土壤环境质量目标，也是改善环境质量的基准线。有关规划环评应落实区域环境质量目标管理要求，提出区域或行业污染物排放总量管控建议以及优化区域或行业发展布局、结构和规模的对策措施。项目环评应对照区域环境质量目标，深入分析预测项目建设对环境质量的影响，强化污染防治措施和污染物排放控制要求。项目选址区域为环境空气功能区二类区，执行二级标准。根据成都市生态环境局发布的《2020成都生态环境质量公报》，项目选址区域环境空气质量不满足《环境空气质量GB标准要求，为不达标区，其余污染物：氟化物满足《环境空气质OC影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2-2018)附录D中的要求。本项目对工艺上产生的VOCs收集率为100%，并采用RCTO焚烧的方式进行处理，对所在区域环境空气影响很小。本项目所在区域为3类声环境功能区，本项目建成后通过距离衰减、降噪措施后噪声排放量小，能满足《工业企业厂界噪声排放标准》3类标准要求。清水河为本项目污水最终受纳水体，适用地表水环境质量为III类的水域。根据成都市生态环境局发布的2020年环境质量公报可知，清水河监测断面水质较好。本项目生产过程中废水处理达《电子工业水污染物GB”标准，BOD5处理达《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准后排入市政管网。因此项目建成后对清水河环境质量影响较生态环境准入负面清单符合性分析“生态环境准入负面清单”是基于生态保护红线、环境质量底线和资源利用上线，以清单方式列出的禁止、限制等差别化环境准入条件和要求。要在规划环评清单式管理试点的基础上，从布局选址、资源利用效率、资源配置方式等方面入手，制定环境准入负面清单，充分发挥负面清单对产业发展和项目准入的指导和约束作用。根据《四川省国家重点生态功能区产业准入负面清单(第一批)(试行)》，其中共有56个县(市)纳入国家重点生态功能区，《负面清单》实施范围涵盖甘孜州、阿坝州全域以及凉山州、绵阳市、广元市、乐山市、达州市、雅安市、巴中市部分县(市)；第二批实施范围为沐川县、峨边彝族自治县、马边彝族自治县、石棉县、宁南县、普格县、布拖县、金阳县、昭觉县、喜德县、越西县、甘洛县、川省人民政府关于落实生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线制定生态环境准入清单实施生态环境分区管控的通知》(以下简称1)针对突出生态环境问题，大力优化调整产业结构，实施最严格的环境准入要求；2)加快地区生产总值(GDP)贡献小、污染物排放强度大的产业(如建材、家具等产升级，结构优化；3)对重点发展的电子信息、装备制造、先进材料、食品饮料、生物医药等产业提出最严行《四川省岷江、沱江流域水污染物排放标准》；5)优化涉危险废物涉危险化学品产业布局，严控环境风险，保障人居安全。有厂区内，均不在《四川省国家重点生态功能区产业准入负面清单(第一批)(试行)》和第二批当中，项目营运期主要进行集成电路制造，符合国家当前产业政策，符合成都市高新区规划，项目不处于四川省生态红线范围内，有一定环境容量。废气及废水均执行最严格的环境准入要求，符合“通知”要9、承诺制符合性分析本项目选址于成都高新技术产业开发区西区，所在区域已取得中华人民共和国生态环境部出具的《关于<成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环境影响报告书>的审查意见》(环审[2021]31号)。本项目符合《成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制改革试点方案的通知》(成环发[2018]449号)和《成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制正面清单(2021年版)》的通知(成环发[2021]36号)要求，项目满足审批承诺制条件。情况1《成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制改革试知》(成环发8]449实施范围：市域行政区内已完成规划环评或跟踪环评的自贸区、产业目环境影响评价分类管理名录》规定应当编制环境影响报告表的所有项目，产业园区内按照《建设项目环境影响评价分类管理名录》规定应当编制环境影响报告表的部分项实施条件：建设单位完成工商注册﹔项目地块位于自贸区、产业园区内﹔自贸区和产业园区已完成规划环评或跟踪环评﹔项目的环境影响评价审批权限属于市级及县级环保行政主管部门。不包括关系国家安本项目所在成都高新技术产业开发区西区已完成规划环评，应编制报告表，建设单位已完成工商注册，位于产业园区内，审批级别属于成都高新区生态环境和城市管理局，不关涉及重大公共利2《成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制正面清单(2021年版)》(成环发根据产业功能区内应编制环境报告表的承诺制项目正面清单：三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39中的80电子器件制造397，文件类别为报告表，属于承诺面清单本项目为凸点加工扩能项目，属报告表，位于成都高新技术产业开发区西区现有建设内容由来随着电子信息产业的迅速发展，作为电子信息产业的核心技术——半导体集成电路的设计和制造的发展已成为必然趋势。其深远影响，不但已渗透到国民经济的各个领域，而且已被公认为是评估一个国家综合国力的重要指标。受益于扶持政策，随着我国经济的持续发展，电子信息产业已经发展成为国民经济和社会发展的第一大支柱产业，在整个国民经济中为了加快信息产业发展进程，我国各级政府都把集成电路产业作为重点支持和扶持的行业，制定和颁布了许多特殊优惠政策，为集成电路及相关企业创造良好的发展环境。作为全球发展速度最快、潜在市场最大的国家，鼓励发展的产业政策及大量高素质的技术人才，使德州仪器有限公司(TexasInstruments，简称TI)是全球领先的半导体公司，可提供创新的数字信号处理(DSP)及模拟器件技术。除半导体业务外，还提供包括传感与控制、教育展。在北京、上海、深圳及香港设立了办事处及技术支持队伍，提供许多独特的产品及服核准德州仪器香港有限公司并购及增资成都成芯半导体有限公司项目的批复》)原则同意德州仪器香港有限公司(TI子公司)收购成芯公司。2010年10月，并购顺利完成，并在成都高新区西部园区成立了“德州仪器半导体制造(成都)有限公司”(以下简称“德州仪器成都公2013年，德州仪器成都公司收购了中芯国际集成电路制造(成都)有限公司土地所有权、厂房及其设施，形成了德州仪器成都公司封装测试厂，并实施了德州仪器半导体制造(成都)有限公司集成电路封装测试生产项目。目前，德州仪器集成电路制造厂现有工程满产产能为8英寸芯片60万片/年(含前工149亿只集成电路，其中常规封装QFN(涉及引线键合，英文全称为QuadFlatNo-leadsHotRod凸点，英文全称为FlipChiponLeadframeQFN(HotRodM)Package，即框架上倒装芯age为适应市场需求，德州仪器半导体制造(成都)有限公司拟投资57914万元人民币实施进行内部装修改造，并增加凸点加工生产设备48台/套，实现新增凸点加工产能30.1125万片/年(825片/天)，其中5.4385万片/年(149片/天)为HotRod凸点，24.674万片/年(676片/天)为常规凸点。扩能后，凸点加工总产能将达到86.3225万片/年(2365片晶圆/天)，其中72.6715万片/年(1991片/天)为普通凸点，13.651万/年(374片/天)为HotRod凸点。为对建设项目施工期和营运期可能造成的环境影响进行分析、预测和评估，根据《中华路制造(C3973)，应属于该名录“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业”中的“80、电子器件制造397”中的“显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的(以上均不含仅分割、焊接、组装的)”。应编制环境影响报告表。为此，德州仪器半导体制造(成都)有限公司特委托四川众望安全环保技术咨询有限公司(以下简称“评价单位”)承担该项目的环境影响评价工作。接受委托后，评价单位立即组织技术人员进行了现场调查导则”以及《建设项目环境影响报告表编制技术指南》(污染影响类)(试行)等技术规范要求，编制完成了《德州仪器半导体制造(成都)有限公司12英寸凸点加工扩能(扩能至项目名称：德州仪器半导体制造(成都)有限公司12英寸凸点加工扩能(扩能至2365目州仪器半导体制造(成都)有限公司根据《中华人民共和国放射性污染防治法》，本项目所涉及的辐射部分应委托有资质的(1)班制(2)定员本项目不新增劳动定员，全厂员工人数维持约2890人。本项目对凸点加工进行扩能建设，项目建成后，凸点加工总产能将达到86.3225万片/年(2365片晶圆/天)。序号称1234/56本项目凸点加工涉及晶圆凸点电镀工艺，扩能前后电镀镀种及规模如下表所示，普通凸CopperonAnything)等电镀面积大的晶圆片数量变小，电镀面积与电镀晶圆片数量不呈线性电镀面积(m2/a)镀层厚度(μm/片)HotRod1540片/天2365片/天件(SMD)晶圆8//6///(PS4b)(PS4b)三、建设项目组成及主要环境问题称容及规模造成的环境面积44163.17m2，钢筋混凝土框架主厂房(FabB)主厂房(FabB)施层。现建设有12英寸晶圆凸点加工生产线，产能为56.21万片/年。本项目新增凸点加工设备，新增30.1125万片/年(825片/天)凸点加工产能，扩能后全厂凸点加工产能达到86.3325万片/年(2365片/天)。(CUB(CUB510983m2。局部3层，内部布置有蓄水池、水泵房、废水处理系统、纯水系统、配电室、冷水机组、空调机房和动(1)一套DI去离子水处理系统，设计施工噪中央动处理能力为75m3/h，供给AT1生产厂房声、建筑垃圾 ( (CUB5(2)一套纯水制备系统，采用“紫外杀辅d)菌+抛光混床+滤芯过滤”工艺，制备能公用110KV工程变电站4层框架结构，占地面积932.3m2，建筑(PS4a面积2625.30m2。)柴油发电机，用于临时停电时应急发 油泵房1层，建筑面积18m2，用于为锅炉房和(OPH柴油发电机房供油系统的控制，螺杆油依托(1)FabB凸点加工生产车间新风能力(2)FabB内电镀锡生产线设置2套新风m3h统4台1200RT低温(5/11℃)水冷离心式水冷离心式冷冻机组，1台1400RT中温封装厂锅炉房CUB5b，设2台燃气冷水供水系统/螺杆式多级真空泵2套，设计真空量统5套12837KW冷却塔，供回水温度初纯水系统全厂共用，采用RO艺，CUB5c中纯水系统的纯水制备能力0m3/d。超纯水系统由各厂房单独制备，其中林德气体供气，离心式水冷空压机3台 (2用1备)，单台3600Nm3/h，Mpa。水冷水环式真空泵4台(3用1备)，单包括压缩空气、氮气、氧气、氢气、氩气、氦气等大宗气体，部分由专业气体/包括惰性含氟气体CF4，CHF3，SF6有机废气排风系统、酸性废气排风系统统。统统统FabB包括显影液、异丙醇、光阻剥离剂、双氧水、硫酸、磷酸等化学品供应统设计装设容量100MVA，设2路10KV/1600KW×4。统/活心(OS5)1/7层：占地面积6823.7m2，建筑面积40136.7m2，目前一层至三层布置为行政的针测工序，四楼正在建设针测工序。(GH2)(GH3)库(CW5)1层，建筑面积2076m2。储存常用化学/(GY)(OW)1层，建筑面积360m2，用于存放锅炉房、应急发电机用的轻质柴油，现有工个过氧化氢储罐、1个脱模剂储罐、废异丙醇回收罐1个，废有机溶剂回收罐1个。储罐为固定立式，最大容积为43立正在建设第2个双氧水储罐，本项目拟本项目酸性废气主要来源于刻蚀、电镀及电镀实验室等工序。主要成分是硫酸、盐酸等。项目新增的等离子刻蚀会产生含氟废气，接入现有的酸性废气处理系统。另，电镀锡工艺产生的电镀废气也接入现有的酸性废气处理系统，采用碱液喷淋处理，废气经40m高排放。本项目挥发性有机废气主要来源晶圆光刻胶涂布、光阻去除、干燥等工序，主要污染物物，废气经设备机台管道接入FabB现有的一套沸石转轮浓缩焚烧系统处理(风量45000m3/h)，另设置两套备用活45000m3/h)，尾气经4根40m灰化工艺排气、设备热排气等，经2根一般排气系统40mRCTO气与有机废气同用一根排气筒(40m)排放。CUB5c内建有含氟处理系统，采用“物化+投加除氟剂”处理FabB一楼建有2套废水处理系统用于处理电镀后产品清洗废水和电镀实验室废水，采用离250m3/d，电镀重金属废水分铜、镍废水和锡、银废水两大类收集处理，镍铜废水处理能力150m3/d，锡银废水处理能力00m3/d。声设备，安装减震垫、建筑隔声(RH)616m2为危废暂存间，负责全厂危险废物物一般固废暂存间：位于厂区西北角，1层，建筑面积500m2，负责全厂一般固废房建筑面积30m2，生活垃圾由各环卫部门处理圾(1)在大宗化学品罐区设置了废有机溶物物(2)在FabB一层设电镀废液收集系险(2)重点部位如化学品仓库CW险进入地表(3)废气处理系统均设置有备用系统，理能不间断稳定运行。(FabB、AT1)、化学品库、锅炉房、Bd地下水锡废水处理站、电镀废液暂存区等为重生活污水处理站为一5m2。/目前德州仪器成都公司总计有4个生产厂房，分别为FabA(负责8英寸晶圆加工前工序，生产线已建成)，FabB(负责12英寸晶圆凸点加工)，AT1(负责全厂封装工序)，AT2 环保设施。现有工程全厂均在行政中心办公楼内办公，本项目不改变现有工程办公情况。本建筑物之间的依托关系如下：表0涉及，不予公示1替代的更为低毒、环保原辅材料。本项目主要危化品理化性质介绍详见环境风险专项评价内台、公用工程及辅助设施(1)给水系统与消防给水系统。现有工程给水水源为城市自来水，建设场地四周均铺设有市政给水管网，自来水通过城市等供水。(2)一级纯水、超纯水终端系统在动力厂房。超纯水原水供水来自生产消防两用万吨水池。超纯水制备工艺是：原水→砂滤→炭滤→热交换→预过滤→一级反渗透→脱气→二级反渗透→离子交换→UV(紫外除总有机碳)→抛光混床→终端过滤→配送回路①原水首先由管网至纯水站，经多介质过滤、活性炭过滤、二级反渗透，制成初纯水(电过滤器(电阻率>17.5MΩ·cm)后供应到生产线。(3)回用水系统所示。(4)常温循环冷却水系统用于冷冻站冷水机组及空压机组冷却水。系统组成：冷却水循环泵、组合式冷却塔、加药统。(5)工艺设备循环冷却水系统供工艺设备冷却用水，为闭路循环系统，为保证进水温度，在循环管路上加设水温控制装置。系统组成：工艺设备冷却水循环泵、板式换热器、开式膨胀水箱补水装置、水温控制装门、管道系统。3(6)冷冻水系统现有工程冷冻站为空调系统等用户供给低温冷冻水。系统组成：低温离心式冷水机组、中温离心式冷水机组、冷冻水一次泵、冷冻水二次泵、闭式膨胀罐、加药装置、管道及阀门附统。组、中温离心式冷水机组、冷冻水一次泵、冷冻水二次泵、闭式膨胀罐、加药装置、管道及阀非洁净室风机盘管(FCU)和工艺设备冷却水(PCW)所需冷负荷。选择低温(5/11℃)水冷系统的冷媒用水，循环使用，不排放，只需补充损耗的水。制造厂厂区排水体制实行雨污分流制：(1)雨水经厂区雨水管网汇集后排入园区市政雨水管网；(2)生产废水经厂区内生产废水处理站处理，生活污水经预处理池、隔油池预处理后进污水供应Fab厂房和CUB动力站使用。专线为双电源供电、两路电源供电方式拟采用“同时供用的热备用方式”。(1)锅炉成都高新区西部园区无集中供热系统，德州仪器成都工厂供热全部由位于封装测试厂的锅然气供应最丰富的地区之一，具有较丰富的天然气资源提供项目使用。封装测试厂目前设有5台燃气热水锅炉，两台为6100KW，两台为8400KW，一台为KW。4(2)天然气(3)柴油系统油发电机房及柴油消防水泵。柴油储罐位于室外动力区，由油泵供应至应急柴油发电机日用油现有工程热水供给空调净化系统、纯水系统加热。系统由燃气热水锅炉、高温热水0/70℃)循环水泵、热回收系统热交换器、闭式膨胀罐、管道及阀门附件、保温材料等组成。集成电路制造厂不设锅炉房，燃气热水锅炉全部位于封装测试厂。封装测试厂目前设有5共同提供工厂热水。5六、本项目依托现有厂区公辅设施可行性分析置有工程所需能力(包括所有在建、程拟及置余能力CUB5c：5160m3/dFabA：2373m3/d(根据水平衡做了变更)FabB:404m3/dATm3/dmdmd能CUBd2880m3/d(目FabB:2400m3/dFabB：178m3/d能统FabB:2×65000m3/h82m3/h系统m3/h作82m3/h能统FabB:35000m3/h×2FabB:36331m3/h(含电镀锡)9m3/h9m3/h能CUBc000m3/dabAFabB4874.3m3/dBc能CUBc0m3/dFABa：269m3/dFABb3m3/d437m3/d437m3/d能BUMP电镀处理能BUMP电镀处理m/d能罐///能6库率约为///能库用率约为50%///能///能品罐///能品罐///能注：废液等固体废物收集暂存设施能力与废物转运周期频次相关，废物转运周期频次可根据生产情况进行调节，当收集暂存设施达到设定装载量时即应及时转运所装载废物。7七、总图布置合理性分析(1)平面布置合理性分析面的要求，采用将功能相近、生产联系紧密的建筑就近分区布局形式。根据各类用地性质分区的生产区是整个项目的核心，位于厂区中部。生产区主要由4栋生产厂房FabA、FabB和助动力工程气站区、硅烷站、化学品库、动力站房、110KV变电站以及废物库沿生产厂房西侧及南侧布置，靠近主要生产单元，可缩短物流运输距离，减小能源动力的运输损东厂界和西厂界。办公大楼的东北面设员工小车停车场和访客停车场，东、西两侧设大巴停车位。厂房的四周设计6-8m的环形道路，形成一个畅通的环形路网，既满足物流要求，同时满料流程短；通道间距能满足运输和管线布置的条件，并符合防火、抗震、安全、卫生、环保、噪声等规范；合理使用场地，并考虑将来发展生产留有余地，厂区绿化率高，可净化厂区空本项目在现有FabB厂房内进行扩能，废气可依托FabB酸性废气处理系统统与有机废气处理。(2)环保设施布局合理性分析气排气筒、有机废气排气筒等，其中酸性废气排气筒、有机废气排气筒、均布置在FabB厂房现有厂区内集成电路制造区和封装测试区排水系统独立，集成电路厂区内污水处理站位于厂区西南侧靠近成灌高速处，污水于西南侧临成灌高速厂区围墙处接入市政污水管网，封装测8试厂区污水处理站位于厂区东南侧靠近保税区内部道路处，污水接管处位于厂区东侧靠近1#项目厂区办公、生活区位于厂区东北侧，均不在废气排放点下风向，主要产噪设备均布置在厂综上所述，厂区总图布置做到工艺流程合理，物流顺畅，功能分区明确，人物分流、道路网络和宽度满足工厂内外运输及消防要求，且厂界周边均为对环境无特殊要求的企业，总图布。工艺流程和产排污环节一、施工期工艺流程及产污位置本项目主要在现有FabB厂房内新增凸点加工设备。施工期主要为设备的安装和调试过项目在施工期以施工噪声、设备废包装、设备调试废气、废水以及废弃物料(主要为包装材料等)为主要污染物。本项目施工期间产生的污染物可依托现有工程已建污染物治理设施处二、营运期工艺流程及产污环节(一)生产工艺流程及产污环节集成电路是通过一定的工艺技术，将一些元器件(如晶体管、电阻、电容等)制作在一块晶片上，并在相互之间接线，做成电路，能实现一定功能的电子器件。集成电路的生产是一个工、芯片封装、芯片测试等工序。本项目新增12英寸晶圆凸点加工生产能力30.1125万片/年 (825片/天)的生产能力，生产过程主要涉及芯片后加工工序(即图2-2中红色虚线框内所示部分)。造流程如下图所示。程图本项目对进口于TI国外芯片厂的12英寸晶圆首先在集成电路制造厂FabB厂房进行凸点加工，并在OS5进行针测，然后在封装测试厂AT厂房进行晶圆级芯片尺寸封装及测试。本项目主9在凸点完成后，晶圆上就形成了一个个的小格，即晶粒。针测(Probe)是对每个晶粒检测其电气特性，并将不合格的晶粒标上记号。如果是不良品，在接下来的封装和测试流程中将晶圆凸点是在封装之前完成的制造工艺，属于先进的封装技术。该工艺通过在晶圆级器件凸点加工制程即从晶圆加工完成基体电路后，利用涂胶、黄光、电镀及蚀刻制程等制作技术通过在芯片表面制作铜锡凸点，提供了芯片之间、芯片和基板之间的“点连接”，由于避免面，引脚密度可以做得很高，便于满足芯片性能提升的需求，并具有较佳抗电迁移和导热能力本项目凸点包括普通凸点和HotRod凸点两种，其主要区别在于凸点制作所采用的焊锡淀HotRod锡银工艺，工艺流程如图2-6所eronAnything)、BOP(BumponPad)、BOAC(BondOverActiveCircuit)、BOACPI(BondOverActiveCircuitwithPolyimide)、Pb-freeHotRod，上述各类凸点结构如下图所示，主要区别为层次结构和凸点类型不同。工艺流程及产污环节注：普通凸点产品中的BOAC不含灰化、回流焊与助焊剂去除工艺HotRod流程及产污环节2、等离子切割(PlasmaDicing)工艺本项目在新增凸点加工产能825片/天的同时，拟在FabB生产厂房内增加等离子切割(划片)工艺。本项目建成前，晶圆凸点加工生产线产能为1540片/天，晶圆划片工序使用传统的机械划片与激光切片。本项目建成后拟将晶圆凸点加工生产线产能提升至2365片/天，同时封机械划片、激光切片与等离子切割三种方式同时进行。项目不改变现有芯片生产前工序、凸点加工和晶圆级封装生产线的工艺流程和产品方FNQFN艺详细描述：3、污染物产生情况小结置序物征集成电路VOCs生产厂房(FabB)VOCsVOCsVOCsVOCsSO2NOx气FABb电镀PMP电镀酸清橱清洗废水蚀刻(硫酸)废水蚀刻(磷酸)水pH等bB塔泵/水渣镍剂环戊酮等擦拭、电镀池灯料等废靶材物理气相沉积金属间歇产生废阳极电镀金属间歇产生 废芯片检测、分类硅片、金属间歇产生(二)物料、水平衡平衡5、挥发性有机物平衡与项目有关原有污染情况及主要环境问题(一)、现有工程环保手续履行情况介绍厂，情况如下：现有厂区来历1、集成电路制造厂(原成芯半导体)省发展和改革委员会以“川发改外〔2010〕882号”文(《关于核准德州仪器香港有限公司并购及增资成都成芯半导体有限公司项目的批复》)原则同意德州仪2、封装测试厂(原中芯国际成都)2013年，德州仪器成都公司收购中芯国际集成电路制造(成都)有限公司“土地使用权、厂房及相关厂房设施”后，在中芯国际成都(UTAC)厂区内实施了集成电路封装测试生产项二、德州仪器现有项目及环保手续情况收购成芯半导体前，集成电路制造厂项目包括8英寸芯片厂项目、8英寸芯片厂二期项目能。前项目具体介绍如下：电路芯片代工生产线。成都成芯公司集成电路制造厂总建筑面积99473m2，建筑占地面积31351m2，建设有生产厂房、动力厂房、建筑服务系统、工艺服务系统、环保与安全消防设英寸芯片生产厂项目环境影响报告书》，同年12月，原国家环保总局以“环审〔2005〕1011通过竣工环境保护验收。基础上，造有限公司8英寸芯片生产厂二期项目环境影响报告书》，同年取得原国家环保总局批复同意该3、MEMS(微机械电子系统)项目成都成芯半导体制造有限公司MEMS(微机械电子系统)项目计划从已投产的2万片/月2008年12月，信息产业电子第十一设计研究院有限公司完成《成都成芯半导体制造有限区环境保护局批复(成高环函〔2009〕25号)同意该项目建设。购成芯半导体后未实施该项目。4、德州仪器集成电路技术改造项目德州仪器集成电路技术改造项目在原成芯半导体8英寸芯片项目基础上，增加部分工艺，提升产品性能，投片量由2万片/月提升到2.1万片/月。产品规格仍为8英寸，制程0.35-器半导体制造(成都)有限公司集成电路技术改造项目环境影响报告书》，同年取得高新区城目于2013年4月16日成高环字〔2013〕184收。技术改造2台机台，在集成电路技术改造项目每月2.1万片的产能中，调整2000片用于器半导体制造(成都)有限公司集成电路技术改造项目(增加LBC3/4产品)环境影响报告书》，同年取得高新区城市管理和环境保护局批复(成高环字〔2012〕154号)同意该项目建器半导体制造(成都)有限公司集成电路技术改造项目项目中增加V-diode产品环境影响报告书》，同年2月取得高新区城市管理和环境保护局批复(成高环字〔2012〕154号)同意该项目7、德州仪器半导体制造(成都)有限公司餐厅工程该项目取消德州仪器原有位于办公楼四楼的员工餐厅，移到一楼的办公区重新装修为员工餐厅。由原来配餐改为自行做餐方式，餐厅装修后就餐人员包括集成电路厂现有工作人员580咖啡区、小卖部及卫生间。器半导体制造(成都)有限公司新增餐厅工程项目环境影响报告表》，同年4月取得高新区城市管理和环境保护局批复(成高环字〔2013〕171号)同意该项目建设。该项目于2014年4月保护验收。8、集成电路封装测试生