用于通讯滤波器基片精密制造的产业化项目环境影响报告表

(公示本)建设单位(盖章)：成都泰美克晶体技术有限公司一、建设项目基本情况 -1-二、建设项目工程分析 -15-三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 -51- -五、环境保护措施监督检查清单 -85-六、结论 -87- -1-基本情况制造的产业化项目10109-07-02-530450(103°54′39.208′′，30°45′57.405′′)C子材料制造□新建(迁建)(核准/备案)部门 项目审批(核准/备案)文号(选填)川投资备【2204-510109-07-02-530450】JXWB-0295号总投资(万环保投资(万元)环保投资占比(%)用地(用海)面积(m2)，不新增用地本项目废气主要为酸雾和有机废气，不涉及有毒有害污染物、二噁m需设置地表水专项评价；本项目不涉及有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量的情；成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)境科学研究院-2-规划环境影响评价文件名称：《成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环境影响报告书》关于《成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环境影响报告21〕31号)1、与成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)符合性分析中华人民共和国生态环境部下达的“关于《成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环境影响报告书》审查意见”(环审〔2021〕31根据《成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环境影响报告书》和《成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环境影响报告书》审查意见”(环审〔2021〕31号)，本项目与《成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环境影响报告书》规划符合性分析见下表：位与《成都市城市总体规划(2016-2035年)》相衔接，高新西区围绕集成电形成“4+1”产业生态体系，拟形成“一校一带一廊”的空间结构。-3-业应采用先进的生产工艺和污染治理技术，从源头降低单位产相应标准排放；按国家、四川省、成都市相关挥发性有机物防治要求和3.固废处置措施：入区企业生的工业固废按“减量化、资源化、无害化”合利用和处置措施；危险废物应送具有相应资质的单位限制引入向环境排放汞、铬、铅、砷、镉等重金属的生产性企业。险防范措施：构建政府、园区管委会、企业三级防范体系，配备故应急设施、设备，确保事故废水不下河。园区和入园企业均应环境事件应急预案，报环境保护主管部门和有关部门备案，定期ta业政策和规划的行业。1.不符合国家业政策和行业准入条件的项目。2.项目清洁生产水平不能达到行业清洁生产标准二级标准要求或低于全国产工艺业；止新引入不符合主导产业的项目；③禁止引入单纯原料药、中间体生产(以原料药或中间体为最终产品)、抗生素西区禁止新引入排放铅、汞、镉、铬和砷污染物的项目，重金属辅币制造产业外的项目，其重金属污染物排放量不得新增。业项目，项目不属于《成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环因此，本项目符合成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)产业发-4-其他符合性分析产生含挥发性有机物废气的生产生含挥发性有机物废气的生新西体和s使用低(无)VOCs含量的原辅发性有机物污染防治工作方案》(环大气〔2017〕本项目投资5600万元，其中RakonInvestmentHKLimited占股60.76%，深三、制造业中(二十二)计算机、通信和其他电子设备制造业的294.新型电子不属于《产业结构调整指导目录(2019年本)》(中华人民共和国国家发展和改革委员会令第29号)中落后和淘汰设备之列。09-07-02-530450】JXWB-0295号。2、用地符合性分析制造项目，项目位于成都高新区西部园区天映路已取得土地使用证(成高国用〔2010〕第11599号)，情况规范求符合新、改、扩建涉及VOCs排放项符合-5-案》(川府发案》(川府发推广使用低(无)VOCs含量的化、化工、包装印刷、工业装推广使用低(无)挥发性有机物质含量的环境友好型原辅材料和低(无)挥发性有机物排放的生(2018-2027年)》(成府函〔2018〕新建涉大气污染物排放的工业作行方案》新建排放大气污染物的工业项第三十条企事业单位和其他生应当符合本市执行的大气污染控制要求。第三十九条工业生产及科研实安装净化装置或者采取其他措13、与《长江经济带发展负面清单指南(试行)》的符合性分析。负面清单要求情况1设不符合全国和省级港口布局规划以及头-6-2区的岸线和河段范围内投资建自然胜饮用水水源一级保护区的岸线和河段范投资建设项目。用4水产种质资源保护区岸线和河段范围内水产5定以及保护生态环境以外的项目。禁止在河湖6生态保护红线和永久基本农田范围内投态保基本7器8禁止新建、扩建不符合国家石化、现代煤化等划的项目。目9政的项目。器的严重过4、“三线一单”符合性分析结合《四川省生态环境厅关于印发<产业园区规划环评“三线一单”符合-7-性分析技术要点(试行)>和项目环评“三线一单”符合性分析技术要点(试行)的通知》，本项目“三线一单”符合性分析如下：都市普适性清单情况性求须3.禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、有色等高污项目；新建、扩建使用燃煤设施的工业在本市规划已确定的通风廊道区；7.绕城高速公路(G4202)以内禁止新8.绕城高速公路(G4202)以内区域，元器件求.控制水泥、平板玻璃、日用玻璃、涂.严控列入国家产能过剩的项目，继续。元器件原则上限制发展，污染物排放只降不业升入工.工业生产中可能产生恶臭气体但未按单位，引企业适时搬迁。都高新-8-造据流域及其水质现状等提出相应标准。区污流域.加快推进钢铁、平板玻璃、水泥等重挥发3.推广低(无)VOCs含量原辅材料。VOCs含量的原辅料；进一步提高木质家具制造、包装印刷、 (DB512672-2020)要求。作污(DB51/2311-2016)标.本项目不属于重点制造涉及4.本项目锅炉已完成求参考执行成都市电子信息行业资源环源环境绩效指标；3.推进老旧燃气锅炉和成型生物质锅炉低氮燃烧改造或改电工作；4.推进低(无)VOCs含量源头替代。聚焦工业和服务业、溶剂使用源等VOCs重点来源，出台源头替代实施方应活性等环境友好型原辅材料和产品的替代；5.参照《关于加强重点行业建设项目区域削减措施监督管理的通知》(环办环评〔2020〕36号)执行；6.严格执行废气、废水、噪声、固体废物等国家、行业和地方污染物排放标信息效指2.项目一般工业固废置率达锅炉已完；项目生产制造不涉气、废2.严格涉重金属(铅、汞、镉、铬、砷)实施“等替代”或“减量替代”。.园区风险防控体系要求：构建三级环应急有毒有-9-4.针对化工园区建立有毒有害气体环境工、电镀等行业企业拆除生产设施案，格按照有关规定实施安全处理处序。有色金属冶炼行业、金属表面处理池制造行业等应满足重点重金属业清洁生产总体上达到国内先进求.鼓励引导新建、改建、扩建工业园区按照有关要求统筹建设工业废水集中串联用，建节水型工业园区。3.鼓励火力发电、纺织、造纸、化工、食品和发酵等高耗水企业对废水进行行业项具备使用再生水条件但未有效利用厂区污入合处理达(DB51/2311-2016)标求1.除威立雅三瓦窑热电(成都)有限公2.禁止新建、改建(已有锅炉配套治理煤、生物质锅炉(含成型生物质锅炉)；3.工业企业单位工业增加值能耗对标国染能耗物耗水耗指标满足省级生态工业园区到先进电和天-10-禁止原料药或中间体为最终产品)、抗生素开发类发酵、维生素类发酵及合成制药、激元器件空禁止原料药或中间体为最终产品)、抗生素开发类发酵、维生素类发酵及合成制药、激元器件空建设素类等制药类项目(满足自用和其他非间活动销售用途的原料药、中间体和生物制品布的要发酵项目除外)等；局求2.其余执行工业重点管控单元普适性管约控要求束限制1.电子信息产业限制使用含铅电镀工本项目为电子元器件囊填充工艺，不属于限制开发动工艺、软木塞烫蜡包装药品工艺；行业备应当拆除或者本项目位于成都市环境综合管控单元工业重点管控单元(管控单元名称：与管控单元相对位置如下图所示：(图中▼表示项目位置)。元特性管控要求情况性-11-的要3.其余执行工业重点管控单元普适性管求的要3.其余执行工业重点管控单元普适性管求控要求。进行有序退出；.其余执行工业重点管控单元普适性管要求。都高新造kgD生量≤0.3m3/10000tables(片剂)，≤0.15m3/10000tables(针剂)；3.中药饮片加工：单位产品废水产生量.5kg/t；4.其余执行工业重点管控单元普适性管控要求。排放强度≤0.005kg/求成都市电子信息行业资源环境绩效准门槛；.其余执行工业重点管控单元普适性管要求。信息行境绩效指标。.强化危化品泄漏应急处置措施，确保.其余执行工业重点管控单元普适性管要求。害、求1.电子信息(12英寸集成电路制造、平造)：清洗水品新鲜水消耗≤2m3/t；2.其余执行工业重点管控单元普适性管控要求。低氮燃烧装置；2.加快发展太阳能、氢能等清洁能源，执行工业重点管控单元普适性管求成都市生态环境分区管控的符合性-12-清单实施生态环境分区管控的通知》川府发〔2020〕9号和成都市人民性情况性中，针对环境质量是否达标及经济社会发展水平等因素，制定差别化的生态环境准入要求，对环境质量不达标区域，提出污染物削减于成都高新区西部园区天映路建议排放指标见(评价适用标准)—总。调整产业结构，实施最环境准入要求。②加快地区生产总值(GDP)、污染排放强度大的产业(如建材、家具等产业)替药等产业提出最严格的、沱江流域执行《四川、沱江流域水污染物排涉危险废物涉危险化学属于电子元器件制造，项目所被列入《四川省国家重点生态功能区产业准入负面清单(第一批)(试行)》内；项目不属于污染排放强度大的产项目符合园区环境准入要求；目所在地属于岷江、沱江流域，水自建污水处理站预处理后汇合作污水处理厂处理达《四川放标准》 (DB51/2311-2016)规定限值后排入清险防范措施有效可靠，从环性情况性都高新区西部园议排放指标见(评价适用标准)控制指标。为电子元器件制造项-13-全。地规模，严格保障人居粮食安全。国家生态保护红线的管控要求严制造业产业园区不能突破城镇开。镇品质，推动农商文旅体融合发展。入成都市合目不涉及耕地；目位于成都高新技术产区，符合要求；目不涉及文化资源；电子信息行业资源环境门槛。5、与《成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制改革试点方案》(成环发〔2018〕449号)、《成都市生态环境局关于印发<成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制正面清单(2021年版)>的通知》(成环发〔2021〕36号)和四川省生态环境厅关于进一步改进环评审批和监督执法服务高质量发展的通知(川环函〔2020〕220号)符合性根据《成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制改革试点方案》(成环发〔2018〕449号)、《成都市生态环境局关于印发<成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制正面清单(2021年版)>的通知》(成环发〔2021〕36量发展的通知(川环函〔2020〕220号)，本项目与审批承诺制符合性分析见表。求情况本项目位于成都高新技术产业开发区(西区)。2021年于《成都高新技术产业开发区分区规划(2017-2035年)环境影响报告书》的审查意见(环审〔2021〕31号)”-14-类管理名类管理名设项目环境专用材料制造应编制环境影实施响报告表的项目、产业园对象区按照《建设项目环境影主管工商注册(统一社会信用代码为：91510100748076187W)本项已完成规划环评(环审成都高新区生态管理局。本项目系国际安全、不涉共利益项目。(2021年知目成都市建设项诺制正面清单》(成环发清单中“81造”诺制审与服务制审批改革。疫情防控期，对需使用的料制造”影响报告表审批可实施承诺制。-15-工程分析本项目在现有厂房内新建一条钽酸锂声表晶片生产线，包括十万级净化生产率片(带电极)2.4亿片/年和钽酸锂声表晶片24万片/年。产规模见下表称新增石英晶体频率片(不带电极)2亿片/年02亿片/年石英晶体频率片(带电极)亿片/年0亿片/年表晶片4万片/年0万片/年4万片/年容及规模可能产生的环境问题-16-区域内新建钽酸锂声(委外)→修边后研磨后清洗(委外)→腐蚀→腐→抛光→抛光后清洗最终清洗→挑片检验库”。在区域为千级洁净酸碱废气(含、酸碱石英晶片清洗、镀膜、光刻、蚀刻工艺所在区域为百级洁净万级洁净区。钽酸锂晶片酸蚀抛光工艺所在废燃气热水锅炉(低氮燃烧)。/南角，并配设储油线/水管线/统EDI床”工艺。楼三层已建空压统系统mh+1×450m3/h，总循环。-17-施房装材料。库品。物质。。池2个(容积均为1m3)。泥混凝沉淀”工艺。泥100m3/d。系统：采用2.5m3/d。子吸附+生化处理(水解酸化+接工艺，处理能力水目钽酸锂生产线产生10000m3/h，采用两级活性炭吸 -18-排放(DA005排气筒)。氟废气处理装置，主要处气淋→酸液喷淋→水喷淋；10000m3/h，采用碱液喷淋→酸声统DA006气筒排放。声声声间(1)主要原辅材料及能源消耗称量12F3HNO3tt45t6t7H2O2tt8t9布电/////水H2O///(2)项目主要设备-19-型号数量(台/套)1423洗机84机352清6272石英晶片132354JT0065361738292126酸锂声表晶片洗机544腐清洗2洗机4实验室4(1)供电(2)供水-20-水箱水泵ROEDI置EDI加压泵C水箱水泵ROEDI置EDI加压泵CRO循环水 (3)排水网。生产废水：生产废水主要为清洗废水，经处理后通过总排口排入园区管生产废水、生活污水经处理达标后由公司废水总排口排入高新西区市政污。-21-(4)天然气本项目生产不新增天然气消耗，天然气主要用于采暖锅炉以及职工餐厅，全厂主供气系统为城市管网双路供气，城市燃气管道进厂区的分成两根管(5)净化、空调系统本项目在主厂房内闲置区域内建设，空调净化系统依托现有机组，净化空调系统采用新风机组、干冷却盘管与风机滤网单元(FFU)相结合的方式。新风空调器设置变频器，通过设置在送风集管内的静压传感器控制变频器变频运行。每个区由单独的新风支管将新风送入，每个区的房间压力由设置在房间内的压力传感器控制新风支管上电动风阀的开度，以保证房间的压力要求。各房间的温度由设置在房间内的温度传感器控制房间干盘管，以保证房间温度要合式空调器上送下侧回，送风经高效送风口送入室内，经侧墙下部回风口回至冷却除湿盘办公楼等房间风冷热泵多联机空调加独立新风的空调形式，新风由新风机净化系统和舒适性空调系统均设置自动控制系统，根据房间负荷的变化调(6)冷冻站本项目冷冻水依托现有冷冻站，冷冻站位于生产厂房一层，由低温冷冻水系统﹑中温冷冻水系统及热回收温水系统组成，为新风空调机组、空调机组、循环风机组、工艺设备冷却水换热器的冷媒、压缩空气除湿等提供冷冻水。为冷冻水系统：采用闭式系统，分为空调冷冻水系统和工艺冷却水系统。系-22-统由冷水机组、冷冻水一次泵、冷冻水二次泵(VFD)、闭式膨胀水箱补水装空调机组、板式换热器，各用户的回水再经冷冻水一次泵加压后送回冷水机组，如此循环。设置在中央动力厂房内闭式膨胀水箱补水装置提供冷冻水系统的定压补水。补水采用软化水。冷水机组将根据负荷的大小提供不同的冷量。m能够有效避免废-23-施依托可行性分析备安备安h0mmin(综合楼三层)m/minmin0minmin000m3/h8m3/h00力0000m/d0048m3/d46.7m3/dmd45m3/dd42.2m3/d7.8m3/d240m3/dm3/d0池3m3一3m3/d0m205m20-24-本项目租用已建厂房进行内部改造装修，新建一条钽酸锂声表晶片生产线，材料等。(1)厂房改造气、生活污水、施工噪声、生活垃圾、建筑垃圾等。(2)设备安装废包装材料等。(3)设备调试污环节见下图。扬尘、装修废气、施扬尘、装修废气、施工废水、噪声、生活垃圾、建筑垃圾等生活污水、施工噪声、生活垃圾、废包装材料生活污水、噪声、生活垃圾生活污水、施工噪声、生活垃圾、废包装材料生活污水、噪声、生活垃圾(1)修边(委外)：通过砂浆将晶片边缘表面毛刺去除，使其表面光滑平(2)清洗(委外)：使用清洗剂超声将晶片表面的砂浆残留及其它污染颗(3)研磨(委外)：通过研磨机以及研磨砂液(绿碳化硅：亚硝酸钠：三-25-乙醇胺：水配比为40kg：1.5kg：0.5L(0.4kg)：120L(120kg)，三乙醇胺质(4)清洗(委外)：用磷酸溶液超声将研磨后晶圆表面所附着的研磨砂液(5)腐蚀：通过腐蚀机及腐蚀液将晶圆表面的某些附着物腐蚀掉，并且去(6)腐蚀后清洗：通过纯水漂洗将晶片上多余的腐蚀液残留清洗干净；(7)抛光：通过抛光机以及抛光液来抛光，降低晶圆表面粗糙度；(8)抛光后清洗：碱性清洗剂采用超声波清洗的方式将抛光后晶片表面附(9)碱洗：通过碱性清洗液采用超声波清洗的方式将晶片表面的附着物进污；(12)包装入库：将检验合格的晶片进行包装处理，得到最终成品。-26-氢氟酸、硝酸酸性废气纯水酸性含氟废水SAW抛光液碱性清洗液弱碱性二氧化硅废水氢氧化钾碱性废水酸性废水、碱性废水、氨气硫酸、氨水无尘布废布包装盒、铝箔袋废包材晶片原料氢氟酸、硝酸酸性废气纯水酸性含氟废水SAW抛光液碱性清洗液弱碱性二氧化硅废水氢氧化钾碱性废水酸性废水、碱性废水、氨气硫酸、氨水无尘布废布包装盒、铝箔袋废包材修修边(委外)清洗(委外)研研磨(委外)清清洗(委外)腐蚀腐蚀腐蚀后清洗抛光抛光后清抛光后清洗碱洗碱洗最终清洗挑片检验包包装入库成品-27-求，(3)固体废物：废无尘布、废电子元器件、废包装材料、生活垃圾、废离成都泰美克晶体技术有限公司“石英晶体频率片生产项目”，该项目设计生产能力为年产石英晶体频率片24亿片(36吨)，于2010年8月取得《成都高新区城市管理和环境保护局关于对成都泰美克晶体技术有限公司石英晶体频率片生产项目环境影响报告表的批复》(成高城环函〔2010〕287号)，现已建年1月完成一阶段(年产石英晶体频率片环境保护局关于对成都泰美克晶体6亿片)竣工环境保护验收的意见》(成高环字〔2013〕74号)。根据成都泰美克晶体技术有限公司出具的说品配套建设研发实验室，项目建成后形成年产压电石英频率片18.4亿片(含带金属电极的石英晶片2.4亿片)、年产钽酸锂声表晶片24万片的生产能力。该批复》(成高环字〔2020〕43号)。验石英晶体频率片生产项目新建生产线且配套建设研-28-为年产石英晶亿片(含带金属电极的石英晶片2.4亿片)、年产钽酸锂声表晶片24万片，一设计研究业电子第十一设计研究院科技理和环境保生态环境和城市管理局文成高环字〔2020〕43号理和环境保///大纲称石英晶体频率片(不带电极)2亿片/年石英晶体频率片(带电极)亿片/年表晶片4万片/年2、现有工程项目组成容及规模产生的环境问题产线(不带、光刻、蚀刻工艺所在、包装工艺所在区域为酸废水(铬、镍、银)、废光刻废属银)、去胶废碱、格品频率片(带线电极两大工段。频率片工段主要工艺为酸废、废光刻废-29-、光刻、蚀刻工艺所在工艺所在区域为十万级、光刻、蚀刻工艺所在百级洁净区，包装工艺所银)、去胶废碱、格品24万片/年。主要工艺为“切片(委外)→倒边(委外)→黑化(委外)研磨→酸蚀→抛光→清洗→挑片检”。域为非洁净区，酸蚀抛在区域为十万级洁净区，所在区域为千级洁净区，工艺所在区域为百级洁净含氟废角石英晶片清洗、镀膜、光刻、蚀刻工艺所在区域为百级洁净区，腐蚀、分选、包装工艺所在区域为十区。钽酸锂晶片酸蚀抛光工艺所在区域为十万级洁净区，清洗工艺所在区域为千级洁净区，挑片分检工艺所百级洁净区。炉(低氮燃烧)。/东南角，并配设储油间。///统位于综合楼一层，现有制备能力工艺。统系统m/h。-30-施房库水。个(容积均为1m3)。泥凝沉淀”工艺。泥系统：采用2.5m3/d。吸附+生化处理(水解酸化+接触氧废、废水处 (利用原有机废气排气筒)。氟 酸液喷淋两级处理后-31-统声声声间3、现有工程生产工艺流程及产污现有工程包括石英晶体频率片(不带电极)、石英晶体频率片(带电极)以(1)石英晶体频率片(老工艺)-32-砂RO水清洗-33-磷酸、纯水化化胶有机废气清洗废水废砂、噪声含磷清洗废水清洗废水含氟废气、清洗废不合格品废包装腐蚀图2-3现有工程石英晶体频率片(老工艺)工艺流程及产污环节-34-粘棒：根据工艺上的角度要求，使用厌氧胶把晶棒粘到料板上，以保证后割，为后续工序准备角度、厚度符合要求的长方片。每次使用后油砂分离，油研磨准平行度。一般说来，这是最终研磨，本工序的工作质量直接影响晶片的质量。 (备注：根据客户产品需要，有的工序需要6000#研磨或者抛光)。⑧4000#研磨清洗：用自来水洗掉研磨砂，洗净晶片，便于准确测量频率和研磨清洗(分三步骤)：对石英晶片表面进行清RORO洗，清洗废水处-35-③超声波清洗：最后将晶片放入超声波清洗筒内进行超声波清洗，介质为1：20)腐蚀掉研磨产。角度分选：使用仪器逐片测量晶片的角度并按要求分档，选出角度合格(2)石英晶体频率片(不带电极)片NaOH[腐蚀机]剂[清洗膜机]→→→→↓↓腐蚀↓清洗↓4溅射镀膜4.1镀铬→→→性废水、废碱-36-金靶[镀膜机]→4.2镀金→纯水[蚀刻机]NaOH[蚀刻机]氨[腐蚀机][蚀刻机]↓→5光刻↓蚀刻→6.1金蚀刻→6.2清洗→6.3铬蚀刻→6.4清洗↓7去胶7.1去胶7.2清洗↓→8.1腐蚀8.2清洗↓去膜→9.1去金膜→9.2清洗→9.3去铬膜→9.4清洗↓频率分选↓片↓→→→→→→→→→→→→→→→光刻胶金蚀刻废液水铬蚀刻废液水废碱机废水废槽液(进废水处理)金蚀刻废液水铬蚀刻废液含铬蚀废水金蚀刻废液包材[真空包装机]→10包装入库A进行腐蚀处理，改善石英片表面结构\厚度。反应方程式:2NaOH+SiO2=Na2SiO3+H2O，主要污染物为表面清洗，去除石英片表面油污、颗粒等其他污染物。要求清洗后石英片表面无颗-37-镀膜：使用金属磁控溅射方式对石英片表面镀膜，膜层厚度控制在100nm~1um。镀膜膜层材料为铬、金的两种材料组合(铬+金)。铬为衬底材料，刻胶覆盖在石英片表面；光刻胶层厚度控制在1~2um，涂胶后使用热板对光刻胶层进行烘干处理，将光刻胶层固化。主要污染物为光刻胶废液、光刻胶蒸汽。曝光：使用光刻机将掩至光刻胶层上，光刻机可实现图形与图形间对准。使用TMAH显蚀刻：通过化学蚀刻液，将未被光刻胶图形保护区域的金属膜蚀刻反应去除；将石英片浸入碘化钾\碘-金蚀刻液中对金材料进行蚀刻，再将石英片浸入硝酸\硝酸铈铵-铬蚀刻液中对铬材料进行蚀刻，蚀刻后使用纯水对石英片进行清3Ce(NH4)2(NO3)6+Cr=Cr(NO3)3+3Ce(NH4)2(NO3)5；2Au+2KI+I2=2K[AuI]2；去胶：将石英片浸泡在氢氧化钠碱性去胶液中，光刻胶与氢氧化钠反应溶钠。氢氧化钠去胶液通过管道输送至污水处理站进行酸碱中合处理，清洗废液通过腐蚀机B，使用氢氟酸类腐蚀液，对石英片进行腐蚀。反应原金属层覆盖区域受到保护不被氢氟酸\氟化铵腐蚀液腐蚀；主要污染物为氢氟氟酸\氟化氢氨。氢氟酸\氟化氢氨废液通过管道输送至污水处理站进行氟离子处理及酸碱中合处理，清洗废液通过管道输送至污水处理站进行氟离子处理及酸-38-↓片去金属膜：通过化学蚀刻液，将石英晶体材料表面的金属膜蚀刻反应去除；将石英片浸入碘化钾\碘-金蚀刻液中对金材料进行蚀刻，再将石英片浸入硝清洗。硝酸\硝酸铈铵-铬蚀刻液、清洗废水通过专用管道排入重金属处理设备中，碘化钾\碘-金蚀刻液通过废液回收桶收集，外送回收金材料及处理。主要化↓片3Ce(NH4)2(NO3)6+Cr=Cr(NO3)3+3Ce(NH4)2(NO3)52Au+2KI+I2=2K[AuI]2(3)石英晶体频率片(带电极)现有工程部分石英晶体频率片根据市场需求增加后序电极制作工艺，电极制作主要工艺为“清洗→镀膜→光刻→蚀刻→包装”，其工艺流程及产污环节剂[清洗剂[清洗→↓溅射镀膜膜机]→1镀铬/镍→镍靶→机]→2镀银/金→金靶→玷污镀机腔体↓纯水→→光刻→光刻胶→↓4蚀刻化钾[蚀刻机]→.1银/金蚀刻→→含金蚀刻废液→4.2清洗废水-39-硝酸铈铵/硝酸[蚀刻机]→.3铬/镍蚀刻物、含镍蚀刻废液物、含镍蚀刻废液→→4.4清洗→含铬/镍蚀刻废水↓去胶NaOH[蚀刻机]→去胶→废碱→洗→机废水↓空包装机]→6→↓片率片 (不带电极)进行表面清洗，去除石英片表面油污、颗粒等其他污染物。要求清\有机物污染物100nm~1um。镀膜膜层材料为铬、金、镍、银之中的两种材料组合(如:镍+金、、镍为衬底材料，金、银为顶层材料覆盖在石英片表面；光刻胶层厚度控制在1~2um，涂胶后使用热板对光刻胶层进行烘干处理，将光刻胶层固化。主要污染物为光刻胶废液、光刻胶蒸汽。曝光：使用光刻机将掩膜版图形转移至光刻胶层上，光刻机可实现图形与图形间使用TMAH显影液将光刻胶曝光区域反应溶解，光刻胶溶解后剩蚀刻：通过化学蚀刻液，将未被光刻胶图形保护区域的金属膜蚀刻反应去液中对金材料进行蚀刻，再将石英片浸入硝酸-镍蚀刻液中对镍材料进行蚀刻，蚀刻后使用纯水对石英片进行清洗。硝酸-镍蚀刻液、清洗废水通过专用管道排材Ni+4HNO3=Ni(NO3)2+H2O，2Au+2KI+I2=2K[AuI2]。-40-铬+银电极(铬为底层材料、银为顶层材料)：将石英片浸入硝酸-银蚀刻液中刻，蚀刻后使用纯水对石英片进行清洗。硝酸\硝酸铈铵-铬蚀刻液、清洗废水通过专用管道排入重金属处理设备中，硝酸-银蚀刻液通过废液回收桶收集，外送3Ce(NH4)2(NO3)6+Cr=Cr(NO3)3+3Ce(NH4)2(NO3)5Ag+2HNO3=AgNO3+NO2+H2O去胶：将石英片浸泡在氢氧化钠碱性去胶液中，光刻胶与氢氧化钠反应溶钠。氢氧化钠去胶液通过管道输送至污水处理站进行酸碱中合处理，清洗废液(4)钽酸锂声表晶片清洗→分检”，其中()内工艺外协。其工艺流程及产污环节如图所示。原辅料[机台]工艺过程产污棒↓(委外加工)↓粘棒(委外加工)↓(委外加工)↓4倒边(委外加工)↓(委外加工)升温保温-41-5.3降温↓研磨→→研磨→浆→磷酸[超声波清洗机]→清洗→→↓腐蚀硝酸[腐蚀机]→1腐蚀→酸→2清洗→↓硅溶胶抛光液[抛光机]→→→粉[超声波清洗→→→水→↓清洗→→1酸洗→酸→→水→碱洗→氨气、碱性氧化性废水↓→→↓包材包材[真空包装机]→11包装入库粘棒(本工序外协)：根据工艺角度的要求，使用厌氧胶把晶棒粘到料板合格的晶片切片(本工序外协)：使用切割机、采用煤油、润滑油和硅砂配置成的切割倒边(本工序外协)：将晶圆边缘进行倒边处理使晶片边缘呈弧形；黑化(本工序外协)：主要工序包括升温、保温和降温三个步骤。升温：将-42-比为40kg:1.5kg：0.5L(0.4kg)：120L(120kg)，三乙醇胺质量占比仅0.25%，；最终清洗：通过低浓度酸性清洗液及低浓度碱性清洗液对晶圆进行清洗，4、现有工程污染物排放及治理(1)废水污染物的排放及治理运营期生产废水主要包括含氟废水、含磷研磨废水、含氨废水、酸碱废水、重金属废水、公用辅助设施排水(纯水制备排污水、常温循环冷却塔排污水、工艺设备冷却排污水)等。生活污水主要为员工办公生活用水。①含氟废水：此股废水主要源自石英晶片腐蚀清洗和钽酸锂晶片腐蚀清洗、研磨后清洗和最终酸洗以及含氟酸碱废气喷淋洗涤废水，主要污染物为氟化物、磷酸盐、氨氮，废水量约33.9m3/d，排入污水处理站含氟废水处理系统产生量约47.9m3/d，氟化铵腐蚀清洗废水经含氟废水处理系统除氟后与显影废水和钽酸锂晶片最终碱洗废水一并排入污水处理站含氨废水处理系统除氨脱氮③酸碱废水：此股废水主要源自石英晶片液碱腐蚀、石英晶片前处理清洗(使用盐酸和碱性清洗剂)、钽酸锂晶片抛光清洗和NaOH去胶，主要污染物为-43-④重金属废水：此类废水主要包括含铬废水、含镍废水、含金废水、含银废水，其中含铬废水源自铬蚀刻去膜清洗，废水量约1.5m3/d，主要污染物为铬；含镍废水源自镍蚀刻清洗，废水量约0.6m3/d，主要污染物为镍；含金废水源自蚀刻去膜清洗、废水量约0.3m3/d，主要污染物为金；含银废水源自蚀刻清MVR处理系统零排放处理；含金(银)蚀刻槽液、蚀刻清洗废水直接桶装收集⑤公用辅助设施排水：此类废水主要包括纯水制备排污水、常温循环冷却塔排污水、工艺设备冷却排污水，循环冷却系统添加无磷阻垢剂，此类废水主要污染物为浓缩盐水和悬浮物，废水量约50.9m3/d，部分纯水制备排污水回用于废气喷淋洗涤，剩余排入污水处理站最终中和处理系统；其他废水直接经企含氟废水进入含氟废水处理系统经投加氢氧化钙化学混凝沉淀除氟处理后与其他含氨废水一并进入含氨废水处理系统采用“铵离子吸附+生化处理”工艺上述各废水处理系统出水与其他酸碱废水汇入现有最终中和处理系统采用化粪池预处理。》(GB8978-1996)三级标准，其中氨氮、总磷达到《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)后，由公司废水总排口进入市政污水管网，经合作污水处理厂进一步处理后排入清水-44-根据建设单位委托四川凯乐检测技术有限公司进行的废水例行检测报告(凯乐检字(2022)第031256W号)，检测结果见下表。位HBOD5NH3-N22.3.316.70GBT中B级标准限值，其余指标均低于《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中三级标准限值。(2)废气污染物的排放及治理现有工程废气主要有含氟工艺废气、含氨工艺尾气、酸性废气(主要为氯化氢、氮氧化物)、碱性废气(主要为氨)、有机废气(包括涂胶、前烘、后烘、坚膜废气)、实验室废气(氟化物、氮氧化物)、氯化氢)、污水处理酸碱恶臭废气(氨、硫化氢)。废气来源、主要污染物及采取的治理措施如表所示。物碱腐蚀洗机、+酸液喷淋+TMAH显影氨刻刻胶闭集气闭集气VOCs气(包括涂胶、钽酸锂钽酸锂晶片腐蚀氟化氢、氮氧与最终酸洗化物+酸液喷淋氨片最终氨片最终气抽排DA抽排理系统氟化物池体加盖负压集气氟化物池体加盖负压集气-45-气理系统压集气性炭。炉物/24米高DA007排气筒排放MVR发冷凝物表晶片产线根据建设单位委托四川凯乐检测技术有限公司进行的废气例行检测报告(凯乐检字(2022)第020660W号)，检测结果见下表。源h间2.2.17物mgm329026×4.9×.79×/mgm326×59×.10×/NOXmgm3/级物mgm3NOXmgm340物mgm3氢mgm3NOXmgm340物mgm3氢mgm309×NOXmgm340烃mgm384×64×源2.2.17氨mgm3/-46-间02×05×9氨mgm3/9站氢mgm3/08×08×氨mgm3/9纲161600《成都市锅炉大气污染物排放标准》(DB51/2672-2020)表2中高污染物燃料禁臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2中标准限值；氟化物、氯化氢、氮氧化物符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中二级标准限值； (DB51/2377-2017)表3中的标准限值。(3)噪声排放及治理现有工程运营期噪声主要来自光刻机、蚀刻机、研磨机、清洗机、制水系统、空压系统、废气处理系统、污水处理站等机泵设备噪声，噪声级在统2114机泵2站-47-通过项目设备的合理布置，使项目的产噪设备布置于车间内并尽可能布设在车间中部，最大限度降低本项目噪声对周边影响。选用低噪声设备等。采取声学控制措施，如对声源采用消声、隔声、隔振和减振等措施。维持设备处于声措施：公司根据周边外环境关系，制定合理的工作方案，在厂界四周墙内种植常绿防护树林，减少车间噪声对声环境的影响；制定噪声监测方案，并对降噪减监测结果[dB(A)]结果(GB3096-2008)3类标准，区域声环境质量良好。(4)固废产生及治理(t/a)1川蓝环保科技有限-48-23456789换树脂废液和滤渣废液和滤渣及其包装桶水水及其包装桶险3样品材片1险废物的废2站收购5源环保科技有限理污泥用水预处理系统料资源他由环卫部门清运2.75运(5)现有工程地下水污染防治措施。现有工程将全厂按物料或者污染物泄漏的途径和生产功能单元所处的位置油库(机油、切割油等油类物质)、危险废物暂存间、污水处理站。-49-HDPE用“防渗钢筋混凝s采取的防渗措施坪地面cms池混凝土硬化地面HDPE渗土cms站HDPE渗土HDPE渗土工膜 HDPE渗土(6)现有工程卫生防护距离放处理系统)外100米卫成的包络线。经现场踏勘，目前(7)现有工程污染物总量控制指标根据现有工程环境影响评价报告及批复，现有工程总量控制指标如下表所-50-称现有工程污染物排放总量排入污水处理厂清水河a6.875NH3-Na.2191a07a9NOx4a9机物a(8)现有工程存在的问题与“以新带老”措施，现有工程未发现重大环境遗留问题，。完成现有工程二期项目的验收手续。-51-三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准(1)项目所在区域达标判断响评价导则大气环境》 方生态环境主管部门公布的评价基准年(近3年中1个完整日历年)环境质量公良物指标(ug/m3)标准值(ug/m3)PM2.5度PM10度度6NO2度000O数 -52-(2)区域环境质量达标规划根据2018年9月成都市人民政府发布的《成都市空气质量达标规划 染，实施空气质量全面达标战略。一是通过升级产业结构、优化空间布局、调整能源结构、推行清洁生产、引导绿色生活，加强大气污染源头控制；二是以工业布局与产业结构；②提高清洁能源利用比重；③OCs染整治；⑦全面推进其他面源污染治理；⑧加强重污染天气污染联防联控机制；⑩加强环保能力建设等措施。达标期物浓度稳定达到国家环境空气质量二级标准，全面消除重(3)补充监测-53-率氨、硫酸雾、TVOC环境评价执行标准为《环境影响评价技术导则大气环境》 (HJ2.2-2018)中附录D，氟化物执行《环境空气质量标准》(GB3095-2012)中二级标准。位子采样日期及结果514441氨.0005.0005.0005.005.005.005大气环境》(HJ2.2-2018)中附录D标准，氟化物满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)中二级标准，说明区域环境空气质量较好。(1)区域污染源调查活污后达《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准后排入市政污水管网，经-54-准》(DB51/2311-2016)规定限值后排入清水河，属于间接排放，根据《环境影响评价技术导则地表水环境》(HJ2.3-2018)，评价等级为三级B，可不开展区(2)水环境质量现状调查019年成都市郫都区环境质量公报》 httpwwwpidugovcnpiduc/2020-06/09/content_e96d98ebd39a443396c3c个市控地表水断面(清水河-永宁断面、府河-石堤堰断面、府河-罗家村断面)实到划定的《地表水环境质量标准(GB3838-2002)》Ⅲ类水域标准。为了解区域声环境现状，本次环评委托达州恒福环境监测服务有限公司于(1)声环境质量现状监测执行《声环境质量标准》(GB3096-2008)3类标准。-55-监测结果[dB(A)]结果(GB3096-2008)3类标准，区域声环境质量良好。4、地下水质量现状5、土壤环境质量现状根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)》(试行)的铬(六价)、镍、银、间二甲苯+对二附近、1,1-二氯乙、三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、氯乙烯、苯、氯苯、苯+对二甲苯、邻二-56-a并[b]荧蒽、苯并[k]附近铬(六价)、镍、银、间二甲苯+对二注：同时作为表层样点及柱状样点的点位表层样采样深度监测时间、点位及结果1#表层样(20cm)层样(20cm)3#表层样(20cm)砷g//7//kg镉g//4//kgg555铜g//2//铅g//9//汞g//63//gkg镍g//3//银g/////g////g//E6//烯g//E6//g////g////烷g//E//9g////g////g//E7//g//21E-04//8苯g//75E-04//4烷g////5-57-g////8烷g////5g////g////8g////g//22E-06//0g//E//g////苯ggEE7g//264E-07//g////g////g//E//g////g//E5//0kgg////56kgg////kg萘g//E//kgg//E//䓛g//E//蒽g//67//蒽g//03//g//33//芘g//33//g//33//Si土壤污染风险管控标准(试行)》(GB36600-2018)第二类用地筛选值根据引用监测评价结果表明，项目所在区域土壤各监测指标均低于《土壤环境质量建设用地土壤环境污染风险管控标准(试行)(GB36600-2018)》中风-58-险筛选值(第二类用地)，表明项目所在区土壤环境质量较好。珍稀植物，无文物古迹等需要特殊保护的目标。环境保护目标厂位于成都电子信息产业功能区，项目外环境关系情况见附图。经现场m保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域，应符合《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准。地表水环境本项目地表水环境保护目标为项目废水受纳水体清水河，应符合《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)III类水域标准。3、地下水环境声环境合《声环境质量标准》(GB3096-2008)中3类标准。-59-环境/mm内无大气环境保护目标(GB9035-2012)二类m环境保护目标(GB3096-2008)3类(GB3838-2002)III类污染物排放控制标准排放标准》(GB8978-1996)三级标准，其中氨氮、总磷、总氮执行《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)。目值污染物排放监控位置1234567pH值0889设施排放口2、废气：施工期扬尘执行《四川省施工场地扬尘排放标准》(DB51/2682-2020)称阶段点污染物值准方mgm(DB51/2682-2020)表1标准限值mgm3-60-营运期项目氟化物、H2SO4、NOX执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级标准。排放浓度(mg/m3)最高允许排放速率(kg/h)排放度限值(mg/m3)排气筒高度(m)9NOX04营运期项目恶臭污染物氨、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》(GB14544-93)。项目恶臭污染物排放标准值恶臭污染物厂界标准浓度(mg/m3)氨90(无量纲)营运期热水锅炉燃气烟气执行《成都市锅炉大气污染物排放标准》(DB51/2672-2020)表2标准。料禁燃区内污染物排放监控位置物烟气黑度(格林曼黑度，级)营运期执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准。施工期排放标准[dB(A)]放标准[dB(A)]行《中华人民共和国固体废弃物污染环境防治法》的相关规定，危险废物贮存、处置执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)标准及2013年修改-61-总量控制指标预测排放量(污水站+预处理池处理后)：CODma500mg/L/106=21.3t/a，0m3/a×45mg/L/106=1.917t/a，mamgL/106=0.3408t/a；核定排放量(三级标准)：CODma00mg/L/106=21.3t/a，m3/a×45mg/L/106=1.917t/a，mamgL/106=0.3408t/a；排入环境的量(成都市合作污水处理厂处理后)：CODm/a×30mg/L/106=1.278t/a，0m3/a×1.5mg/L/106=0.0639t/a，ma×0.3mg/L/106=0.0128t/a。称有工程污染物排放总量项目污染物排扩建后全厂污染放总量污水厂水河a6.875.35NH3-Na.21913949a07082898物a909NOxa4a909VOCsa0-62-施工期环境保护措施施工期大气污染物治理环保措施(1)施工扬尘技术规范》(HJ/T393-2007)、《成都市城乡建设委员会关于建筑工地推行绿色空气质量达标规划(2018-2027年)》(成府函〔2018〕120号)、《关于印发四川省建筑工程扬尘污染防治技术导则(试行)的通知》(川建发〔2019〕16号)以下扬尘防治措施：水，②施工车辆实施限速管理，运输车辆做到卸(装)货即走，装卸设备时轻拿采取上述措施后，可确保施工场地扬尘达到《四川省施工场地扬尘排放标准》 (DB51/2682-2020)中相关限值要求。(2)施工废气总局颁布的《室内装修材料10项有害 2、施工期废水处理环保措施-63-3、施工期噪声环保措施(1)施工噪声车间改造过程使用的机械(如电钻、手工钻等)噪声值在75dB(A)以上，定期对设备进行检修，降低噪声的排放。运间，加快施工进度，缩短施工周期。(2)设备调试噪声4、施工期固体废物环保措施项目施工期固体废弃物主要包括施工人员生活垃圾和装修垃圾(主要为设备包装材料)。；装修过程产生的危险废物(废油漆桶、废乳-64-运营期环境影响和保护措施产产生量染废气收集理产产生量染废气收集理处理效排气排放量排放速排放浓度排放速排放浓度污(t/a)因装置装率筒(t/a)率(kg/h)(mg/m3)子置硝酸、硫酸和氨水，其中氢氟酸和硝酸用根据业主提供资料，本项目主要涉及易挥发酸碱类原辅料年用量：氢氟酸(23t/a)、浓硝酸(46t/a)、硫酸(8t/a)和氨水(20t/a)。氨水(30%)试剂挥发率取10%计，硫酸(98%)由于不易挥发，本项目取挥发雾(0.08t/a)、氨气(0.6t/a)。本项目废气经设备槽体加盖负压密闭集气(集气效率100%)，经管道进入 项目废气经处理后排放量为氟化物(0.113t/a)、NOX(0.228t/a)、硫酸酸雾 (0.008t/a)、氨气(0.12t/a)，项目设备每天工作时间按24h、7200h/a，废气处理系统设计风量为25000m3/h，则废气排放速率为氟化物(0.016kg/h)、NOX (0.032kg/h)、硫酸酸雾(0.001kg/h)、氨气(0.017kg/h)，废气排放浓度为氟硫酸酸雾：45mg/m3、氨气：1.5mg/m3)，因此，采取上述措施后项目废气可实组织排放情况准污处-65-车间外25000m3/h率DA0928NOX069(2)监测要求源准织DA09酸雾、NOX准》(GB16297-1996)氨织氨酸雾、NOX准》(GB16297-1996)(3)影响分析区域环境空气中的SO2、NO2、CO、PM10浓度达到《环境空气质量标准》 民政府发布的《成都市空气质量达标规划(2018-2027年)》(成府函【2018】-66-废气经设备槽体加盖负压密闭集气(集气效率100%)，经管道进入废气净化系统采用“二级碱液喷淋”处理工艺，最后经一根新建的15m高排气筒 (DA009)，项目废气经处理后排放量为氟化物(0.113t/a)、NOX(0.228t/a)、硫酸酸雾(0.008t/a)、氨气(0.12t/a)。废气排放能够满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)标准和《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)限值H量标准》(GB3095-2012)中二级标准；区域环境空气质量较好。运营期废水-67-本项目废水包括生产废水和生活污水，其中生产废水主要来自腐蚀清洗废(1)产生情况水洗和工器具的清洗。微电子级石英晶片基本采用晶片清洗同样的方法。清洗过程清洗水回收系统废液收集系统清洗废水及清洗废气产生。经多次清洗后。其中前段清洗废水进入废水处理系24万片/年，现有工-68-酸锂声表晶片生产线清洗废水产生量为腐蚀清洗废水210m3/a，抛光清洗废水此不考虑废水损耗。塔废水一次换水，换水量约为4m3/次(48m3/a)，喷淋塔损耗主要为蒸发损耗，排水系和处理系统后排放。污水d纯水制备废水项目生产用水使用纯水，纯水制备效率约65%，本项目纯水用量为-69-新鲜水酸洗碱洗43.7547.587中和处理系统浓水损耗1.0355.8656.9生活用水企业总排口 5.865清水河26.25含氟废水处理系统含氨废水处理系统喷淋塔用水142损耗0.016酸洗碱洗43.7547.587中和处理系统浓水损耗1.0355.8656.9生活用水企业总排口 5.865清水河26.25含氟废水处理系统含氨废水处理系统喷淋塔用水142腐腐蚀清洗135.96288.375抛光清洗12.25纯水制备纯水 抛光清洗12.25纯水制备纯水44.62544.76988.519隔隔油池+预处理池合合作污水处理厂(2)治理措施本项目生产废水依托厂区现有的废水处理系统(含氟废水处理系统、含氨废。外排废水处理达到《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准，其中氨氮、总磷达到《污水排入城镇下水道中工业园区集中式污水处理厂排放标准)后，最终排入清水河。“铵离子吸附+生化处理”工艺，其中铵离子吸附-70-石法。学名为磷酸铵镁(MgNH4PO4·6H2O)，英文简称MAP，白色粉末无机晶PO活度积大于鸟粪石的溶度积时(鸟粪石的溶度积常数为3.89×10-10~7.08×10-14)，-71-淀反应器pH回调池池脱氟后的原水经提升泵进入铵离子吸附沉淀反应器，加到高液位时停止加。铵离子反应器为2套，批次交替运行，出水进入pH回调池，调节pH值至分难降解的高分子有机物在厌氧菌/兼性菌的作用下降解为低分子有机物；然后自流到接触氧化池，池内悬挂大量的纤维填料，填料表面附着大量的微生物，-72-在提供充足氧气的条件下氧化对废水中的有机物和剩余的磷酸盐进行去除。老化的生物膜从填料脱落下来，随水流入混凝反应池，在混凝反应沟中，通过投加混凝剂、絮凝剂，使废水的污染物质形成较易沉降的絮体，并在二沉池中实现固液分离，出水经排放口达标排放，若出水不达标则进入应急水池，再提升铵离子吸附沉淀反应器产生的污泥通过压滤机直接压滤，结晶体可作为肥料处理，二沉池产生的污泥排入污泥浓缩池进行浓缩，提高污泥的含固率，使污泥含水率低于95％。污泥经浓缩后进入污泥脱水间进行机械脱水，产生的泥废水量主要处理前处理后综合处理废水量主要m3/d污染物废水类别排放量排放浓度排放量m3/d污染物 kg/dmg/Lkg/dmg/L%pH*4~56~9/COD6.7151506.7151500.00%BOD52.238502.238500.00%44.769NH3-N59.72133459.7213340.00%总氮61.38137161.3813710.00%氟化物157.4535170.811899.50% SS4.4771002.2395050.00%pH*7~106~9/COD35.4140013.2815062.50%BOD522.132508.85210060.00%88.519NH3-N93.3910553.7184296.00%总氮95.6910814.7805495.00%氟化物1.151131.151130.00% SS4.426504.426500.00%pH*7~116~9/COD34.0325034.032500.00%BOD513.6110013.611000.00%136.106中和沉淀NH3-N3.63426.73.63426.70.00%136.106处理系统总磷0.1771.30.1771.30.00%总氮4.66834.34.66834.30.00%氟化物1.08981.08980.00% SS14.92003.75075.00%pH*6~96~9/-73-639063900%BOD50%NH3-N770%95950%220%0%现有项目企业废水总排口2022年度例行监测数据见表2-10。由表可知，成都泰美克企业废水总排口主要水污染物排放浓度均满足《污水综合排放标准》 (GB8978-1996)三级标准，氨氮、总磷均达到《污水排入城镇下水道水质标准》 (GB/T31962-2015)，现有工程废水处理措施可行，能够达标排放。别排放口基本情况准标等DW01口105′′放镇GBT-2015)(3)合作污水处理厂简介污水处理厂的服务范围包括郫都区郫筒镇城区(生活污水)、成都现代工业港(含南北片区及拓展区，以生活污水为主，少量生产废水)、红光片区(生活污水)、德源镇、友爱镇、花园镇等(生活污水)；高新西区西部园区(绕城以外，生产废水、生活污水)、5+2园区(生产废水、生活污水)等。详见下表。表废水来源(收水范围)1区2期废水来源主要集中于北片区，少量南片区(生活污水)北区高新西区西北片区(绕城外)德源镇2废水依托园区市政管网收集至处理厂，达标排放区郫都区新经济产业园(规划)区以及南片区其他排水-74-本项目废水进入合作污水处理厂三期工程进行处理。目前，成都合作污水①成都合作污水处理厂一期、二期工程水达《四川省岷江、沱江流域水污染物排放标准》(DB51/2311-2016)中“工业河。②成都合作污水处理厂三期工程三期工程与一期、二期进水共用一根管道，采用“收集、预处理→水解酸江、沱江流域水污染物排放标准》(DB51/2311-2016)中“工业园区集中式污水(4)废水纳管可行性分析项目废水在厂区废水总排口达到《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准(其中氨氮、总氮、总磷达到《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T5)B等级标准限值)，能满足进入合作污水处理厂管网接管水质的要析管网建设情况该范围内的高新区西部园区企业生产废处理厂进一步-75-综上所述，成都市合作污水处理厂满足本项目水量水质处理要求。(5)监测要求准口DW01总铜、总锌、总氰(GB18978-1996)中的三级3、营运期噪声(1)噪声源强机、制水系统、空压与厂界距离(m)ENW统2114机泵2