新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件

新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学1新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus新一代工艺及器件仿真工具2TCAD概述口什么是TCAD?口TCAD计算机辅助技术(TechnologyComputerAidedDesign)aProcesssimulation:DeviceSimulation口TCAD工具有哪些?aSentaurusWorkbench(SWB)nSentaurusProcess(sprocessaSentaurusStructureEditor(sde)aSentaurusDevice(seviceaTecplotSv/InspectTCAD概述3Synopsys公司简介口Synopsys公司总部设在美国加利福尼亚州Mountainview,有超过60家分公司分布在北美欧洲与亚洲。口2002年并购Avant公司后,Synopsys公司成为提供前后端完整C设计方案的领先EDA工具供应商。口Sentaurus是Synopsys公司收购瑞士lSE(IntegratedSystemsEngineering)公司后发布的产品,全面继承了ISETCAD,Medici和Suprem4的所有特性及优势。Synopsys公司简介4TCAD概述sprocessfps.cmdbnd.tdrT4/MedicifpstdrsdedvscmdSentaurusTCADmshtdrISEsevicedescmdpltSilvacotdrWorkbench(swB)TCAD概述5TCAD概述sprocessfps.cmdbnd.tdrT4/MedicifpstdrdvscmdSentaurusTCADmshtdrISEsevicedescmdpltSilvacotdrWorkbench(SwB)TCAD概述6SentaurusWorkbench介绍与使用口GettingStartedaCreatingProjects口BuildingMultipleExperimentsSentaurusWorkbench介绍与使用7SWB的工具特征7/10口Workbench基于集成化架构模式来组织、实施TCAD仿真项目的设计和运行,为用户提供了图形化界面,可完成系列化仿真工具软件以及诸多第三方工具的运行,以参数化形式实现TCAD项目的优化工程SWB的工具特征8SWB的工具特征口SWB被称为“虚拟的集成电路芯片加工厂”口SWB环境科集成Synopsys公司的系列化TCAD仿真工具,使用户在集成环境下实现TCAD仿真及优化口SWB基于现代实验方法学和现代实验设计优化的建模。用户可根据进程进行实验结果的统计分析、工艺及器件参数的优化。口SWB支持可视化的流程操作,用户可方便地安排和检测仿真的动态过程。SWB的工具特征9Gettingstarted口安装在137服务器下口利用puty软件在137中取得端口号:vePuTTY=uvncserver-geometry1280x960t1cgin:Msep918:54:352013Exam192.16a,83.232zhong10ZUEDA7JEDI7:7(zhong)desktopis2UEDA7:7tartingapplicationsapecifiedin/hael/zhong/vnc/xatartupfile/hormel/zhong/.vIc/ZUEDA7:7.lag[zhong132MC户端:连接详细资料口利用VNC软件登陆137服务器联多器:192.16883137:7加密:让服务器择(默试)于([选匚味起□Gettingstarted10Gettingstarted10/110口打开软件指令:source/lopt/demo/sentaurus.envGENESISe&LzhongleZUEDA7]ssource/opt/demo/sentaurus,eny重装license指令Eeb口5u-(进入root,密码向机房管理员索取)n/opt/sentaurus09/linux/bin/Imdown-c/opt/license/synopsys.dat(关闭license)n/opt/sentaurus09/linux/bin/Imgrd-c/opt/license/synopsys.dat(安装license口exit(退出root权限)Gettingstarted11新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件12新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件13新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件14新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件15新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件16新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件17新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件18新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件19新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件20新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件21新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件22新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件23新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件24新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件25新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件26新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件27新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件28新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件29新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件30新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件31新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件32新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件33新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件34新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件35新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件36新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件37新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件38新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件39新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件40新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件41新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件42新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件43新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件44新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件45新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件46新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件47新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件48新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件49新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件50新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件51新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件52新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件53新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件54新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件55新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件56新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件57新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件58新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件59新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件60新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件61新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件62新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件63新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件64新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件65新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件66新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件67新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件68新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件69新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件70新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件71新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件72新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件73新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件74新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件75新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件76新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件77新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件78新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件79新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件80新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件81新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件82新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件83新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件84新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件85新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件86新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件87新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件88新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件89新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件90新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件91新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件92新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件93新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件94新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件95新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件96新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件97新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件98新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件99新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件100新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件101新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件102新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件103新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件104新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件105新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件106新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件107新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件108新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件109新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件110新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件111新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件11231、只有永远躺在泥坑里的人，才不会再掉进坑里。——黑格尔

32、希望的灯一旦熄灭，生活刹那间变成了一片黑暗。——普列姆昌德

33、希望是人生的乳母。——科策布

34、形成天才的决定因素应该是勤奋。——郭沫若

35、学到很多东西的诀窍，就是一下子不要学很多。——洛克31、只有永远躺在泥坑里的人，才不会再掉进坑里113新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学114新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus新一代工艺及器件仿真工具115TCAD概述口什么是TCAD?口TCAD计算机辅助技术(TechnologyComputerAidedDesign)aProcesssimulation:DeviceSimulation口TCAD工具有哪些?aSentaurusWorkbench(SWB)nSentaurusProcess(sprocessaSentaurusStructureEditor(sde)aSentaurusDevice(seviceaTecplotSv/InspectTCAD概述116Synopsys公司简介口Synopsys公司总部设在美国加利福尼亚州Mountainview,有超过60家分公司分布在北美欧洲与亚洲。口2002年并购Avant公司后,Synopsys公司成为提供前后端完整C设计方案的领先EDA工具供应商。口Sentaurus是Synopsys公司收购瑞士lSE(IntegratedSystemsEngineering)公司后发布的产品,全面继承了ISETCAD,Medici和Suprem4的所有特性及优势。Synopsys公司简介117TCAD概述sprocessfps.cmdbnd.tdrT4/MedicifpstdrsdedvscmdSentaurusTCADmshtdrISEsevicedescmdpltSilvacotdrWorkbench(swB)TCAD概述118TCAD概述sprocessfps.cmdbnd.tdrT4/MedicifpstdrdvscmdSentaurusTCADmshtdrISEsevicedescmdpltSilvacotdrWorkbench(SwB)TCAD概述119SentaurusWorkbench介绍与使用口GettingStartedaCreatingProjects口BuildingMultipleExperimentsSentaurusWorkbench介绍与使用120SWB的工具特征7/10口Workbench基于集成化架构模式来组织、实施TCAD仿真项目的设计和运行,为用户提供了图形化界面,可完成系列化仿真工具软件以及诸多第三方工具的运行,以参数化形式实现TCAD项目的优化工程SWB的工具特征121SWB的工具特征口SWB被称为“虚拟的集成电路芯片加工厂”口SWB环境科集成Synopsys公司的系列化TCAD仿真工具,使用户在集成环境下实现TCAD仿真及优化口SWB基于现代实验方法学和现代实验设计优化的建模。用户可根据进程进行实验结果的统计分析、工艺及器件参数的优化。口SWB支持可视化的流程操作,用户可方便地安排和检测仿真的动态过程。SWB的工具特征122Gettingstarted口安装在137服务器下口利用puty软件在137中取得端口号:vePuTTY=uvncserver-geometry1280x960t1cgin:Msep918:54:352013Exam192.16a,83.232zhong10ZUEDA7JEDI7:7(zhong)desktopis2UEDA7:7tartingapplicationsapecifiedin/hael/zhong/vnc/xatartupfile/hormel/zhong/.vIc/ZUEDA7:7.lag[zhong132MC户端:连接详细资料口利用VNC软件登陆137服务器联多器:192.16883137:7加密:让服务器择(默试)于([选匚味起□Gettingstarted123Gettingstarted10/110口打开软件指令:source/lopt/demo/sentaurus.envGENESISe&LzhongleZUEDA7]ssource/opt/demo/sentaurus,eny重装license指令Eeb口5u-(进入root,密码向机房管理员索取)n/opt/sentaurus09/linux/bin/Imdown-c/opt/license/synopsys.dat(关闭license)n/opt/sentaurus09/linux/bin/Imgrd-c/opt/license/synopsys.dat(安装license口exit(退出root权限)Gettingstarted124新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件125新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件126新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件127新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件128新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件129新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件130新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件131新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件132新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件133新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件134新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件135新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件136新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件137新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件138新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件139新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件140新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件141新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件142新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件143新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件144新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件145新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件146新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件147新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件148新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件149新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件150新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件151新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件152新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件153新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件154新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件155新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件156新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件157新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件158新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件159新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件160新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件161新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件162新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件163新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件164新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件165新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件166新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件167新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件168新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件169新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件170新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件171新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件172新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件173新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件174新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件175新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件176新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件177新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件178新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件179新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件180新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件181新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件182新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件183新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件184新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件185新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件186新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件187新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件188新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件189新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件190新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件191新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件192新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件193新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件194新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件195新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件196新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学共课件197新一代工艺及器件仿真