石英玻璃行业现状：石英砂提供较好供应基础 半导体产业带来广阔需求_第1页
石英玻璃行业现状：石英砂提供较好供应基础 半导体产业带来广阔需求_第2页
石英玻璃行业现状：石英砂提供较好供应基础 半导体产业带来广阔需求_第3页
石英玻璃行业现状：石英砂提供较好供应基础 半导体产业带来广阔需求_第4页
石英玻璃行业现状：石英砂提供较好供应基础 半导体产业带来广阔需求_第5页
已阅读5页，还剩4页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

石英玻璃行业现状：石英砂提供较好供应基础半导体产业带来广阔需求石英玻璃可由天然石英（水晶等）经高温熔融炼制，也可由硅的化合物经化学气相沉积合成。石英玻璃可分为天然石英玻璃以及合成石英玻璃，目前市场上较主流的制备石英玻璃的工艺包括电熔法和气炼法制备天然石英玻璃，化学气相沉积法制备合成石英玻璃。石英玻璃的制备工艺

制备工艺

电熔工艺

气熔工艺

合成工艺(CVD)

合成工艺(PCVD)

石英玻璃类型

天然石英玻璃

合成石英玻璃

原料

石英砂

SiCl4

金属杂质含量

~20

<1

羟基含量

<10

~200

~1000

~5

光谱透过波段

400~4000

400~2000

190~2000

190~4000

光学均匀性

差

差

良好

良好

石英砂和硅化物是生产石英玻璃的主要原材料。2016-2020年，我国石英砂产量及需求量呈持续增长趋势，为国内石英玻璃市场发展提供了较好的发展基础。根据观研报告网发布的《中国石英玻璃行业市场现状深度研究与发展前景分析报告（2022-2029年）》显示，2020年，我国石英砂行业产量达到8765万吨，需求量为9093万吨；预计2021年石英砂产量可达9200万吨，需求量可达9572万吨。

目前，我国石英玻璃凭借着高纯度、无污染、耐高温等的优良特性，应用范围广泛，尤其是半导体领域，应用占比最大，达65%；其次是光纤和光学，占比分别是14%和10%。以半导体领域为例，石英玻璃在半导体领域主要产品为半导体石英器件、半导体石英基板、半导体石英玻璃（含坩埚），其市场规模分别占比41%、31%与28%。主要石英制品在半导体制造过程中的应用

石英制品

作用

应用工序

趋势/要求

生产厂家举例

石英坩埚

提炼、清洗容器以及制作晶圆IC载体

清洗、晶圆制造

增大尺寸、提高纯度、改善抗高温形变性能

东科石英、石英股份

高精度石英玻璃基片

光掩膜基板主要基础材料

光刻

精细化

石英玻璃扩散管

将半导体中杂质原子扩散(用量最大的石英玻璃制品)

扩散、氧化

纯度、抗高温的变形性、几何尺寸都会直接影响集成电路和器件的质量、成本和生产效率，要求大规格、高纯度、长寿命

东科石英

石英环

主要应用于半导体硅片刻蚀等工艺，对尺寸精度、洁净度、外观状态等方面的要非常高，部分产品不允许返修，必须一次成型，所以对加工能力要求高。

刻蚀

精度、洁净度、外观状态；部分要求一次成型

杭州大和、沈阳汉科

石英法兰

单晶硅片扩散、氧化、CVD沉积炉中与石英玻璃扩散管配套使用，主要起连接作用

单晶硅片扩散、氧化、CVD

/

菲利华

石英舟、支架等

单晶硅片扩散、氧化、CVD沉积、退火处理、硅片酸洗和超声波清洗的承载器具，与单晶硅片直接接触

硅片清洗

和单晶硅在高温下直接接触，对石英玻璃的纯度、耐温性要求较高

东科石英、凯德石英、杭州大和

石英钟罩

主要用作多晶硅的还原炉罩

多晶硅还原

/

凯德石英

球形硅微粉

封装

晶圆封装

超细、高纯度，对颗粒形状的球形化

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论