京运通TRDL-800维护手册

TRDL-800型软轴单晶炉维护手册

文件编号：受控状态：发放编号：

刘磊庞志刚徐涛杨乐

批准：阎伟

日期：2022.05.01

一、概述

TRDL-800型单晶炉，是软轴提拉型单晶炉。在以惰性气体为根底的环境中，以石墨电阻加热器，将硅材料熔化用直拉法生长无错位单晶的设备。它可生产大规模集成电路所需的高质量单晶。并承受18”热系统，以投料为60KG为标准的根底下拉制6-8寸的单晶。其炉体构架包括：提拉系统，液压系统，真空系统，加热系统，旋转系统及水系统。在机械构造方面承受了先进的磁流体密封技术、型翻板阀结构、拱形封头式炉盖构造及合理的主、副室提升机构。副室及炉盖都是应用浮动式提升机构，避开了因热变形及抽真空变形引起的卡死现象。单晶的提升承受的是承受170Kg的不锈钢丝编织的软轴。炉室构造为顶开式，主炉室和副炉室开启时由液压传动装置实现上移，上升到位后对称旋出，保证主机稳定牢靠，并便于机动取出晶体，拆装热场系统和清理炉内各部。主炉室和副炉室之间，设有浮动式翻板阀，可在热场维持工艺温度的状况下取出晶体，更换籽晶，连续拉晶。电把握系统承受微机把握，功能全、精度高、稳定性好。埚升、埚转、晶升、晶转均承受性能稳定牢靠的进口电机系统。并承受了多楔带传动，这样既可传大扭矩，又运动平稳无震动。其设备主要组成局部和参数如下：

序号

工程

参数

1

型号

JRDL-800CCD

2

名称

单晶硅炉

3

电源电压

380V

4

电源频率

50Hz

5

电源相数

3相

6

加热方式、加热元件

电阻加热、石墨加热器

7

主变压器容量

190KVA

8

主加热器最大功率

140KW

9

主加热器最高加热电压

60V

10

整机功率

≤150KW

11

炉内最高温度

1600℃

12

冷态炉内极限真空度

﹤3Pa

13

冷态真空泄漏率

﹤1Pa/5min

14

副室翻开时主炉室真空度

﹤3Pa

15

生长晶体的直径范围

6″—8″

16

熔料重量

60kg

17

原料

多晶硅原料

18

硅单晶等径长度

≥500㎜

19

等径精度

±2.5mm

CCD把握系统±1mm

20

单晶硅生长时间/炉

≈30h

21

主炉时尺寸

Ф800×1150㎜

22

中炉室尺寸

Ф800×800㎜

23

下炉室尺寸

Ф800×350㎜

24

翻板阀通径

Ф260

25

副室内尺寸

Ф260×2220㎜

26

两电极间距

436㎜

27

机械泵配置

副室配用TR-24直连泵，主室配用2H—70滑阀泵

28

籽晶拉速范围

0.1—10㎜/min

29

籽晶快速

≥160㎜/min

30

籽晶转速范围

2—40rmp

31

坩埚升速范围

0.02—1㎜/min

32

坩埚转速范围

1—30rmp

33

坩埚在炉内有效行程

≥350㎜

34

籽晶在副室内有效行程

1400㎜

35

水炉系统回水点最高温度

40℃，在50℃时报警

36

主机总高

6320㎜

37

要求厂房高度

﹥7600㎜

38

主机重量

≈4000㎏

39

主机占地面积

2800㎜×2022㎜

40

整机占地面积

5000㎜×3000㎜

41

防震沟要求

机械泵与主室之间要有防震沟，并且距离≥3m

42

设备相互之间距离

≈2m

43

进水量的要求〔压力、流量〕

压力0.15—0.2Mpa，流量20立方米/h

44

冷却水进水口温度

﹤25℃

45

冷却水用量/台

≥15立方米/h

46

氩气用量/台

3000L/h

二、根本级维护

1、真空系统：

真空系统由主炉室与副炉室真空系统组成。

真空泵：

电路把握原理图：

H102

H707 H708 H491

H492 H113

H104

H70K9

2H710

H49C38H494

主

H114室

Y101Y451Y452

变压器36V

M401

M419

H106

H711 H712

H495

H496

泵

H115

Y10Y0453Y454H416

C8

H41M5420

真空泵

工

工作原理：

按钮按下以后C8接触器吸合，主室泵在三相电下开头启动。启动前，检查皮带松紧程度，启动前可以松一些，启动后调节油箱上的调整螺栓，渐渐拉紧，以削减启动力矩。检查各部位有无松动现象，接线是否正确，电机转向是否同泵的要求符合。检查油箱内的油位是否出于油镜的允许位置〔油面

一般在油镜中间〕。检查转动是否机敏，并将真空油排至油箱，以防启动时负载过大而影响使用寿命。翻开冷却水阀。冬季如室温过低，应把泵加温后在启动泵，因低温时油粘度大，如突然启动，会使电机超负荷和损坏泵的零件，一般使用时室温不低于5℃。如油镜油位与停车时油位有显著差异时。必需用手转动泵皮带轮。使泵腔内的存油排入油箱后才可启动。在真空状态下，同时较多的油存留在泵腔内时，本泵不允许启动。

备注：对泵的维护工作必需在确保泵的空开K2手动断开的状况下进展，以免员工对泵的贸然启动，损伤设备修理人员。一级保养：

电磁阀

1、电机维护：定期检查电机工作状况，有无异响，外表

温度是否超温+40℃～+80℃。检查皮带是否有老化、裂纹等特别状况。

2、电磁阀维护：检查器外表温度+10℃～+40℃，清理其内部淤泥。、检查电磁阀工作是否正常,能够正常的吸合,是否漏气,如工作不正常,检查保险及整流桥是否被击穿。

3、油位检查：真空泵正常使用状态下，下油缸油位应

根本布满油镜。上油缸油位应在油镜的1/3-1/2之间。正常的泵油是清洁透亮的假设颜色昏暗，请换油。

3拆上盖

5拆分别器并清理

6拆滤芯并清理

4、换泵油：如图：

1断k2

2放油

备注：在放完油后，从注油口参加适量废油，开启真空泵10秒以内，关闭并断k2，然后再次放出废油，以便让废油带出大量油浊物。清理滤芯时，将放入容器中用无水乙醇清理。然后装回。最终将泵依次装好，闭合k2.

二级保养：

应当常留意油位及油的清洁，视油器内有足量的油，泵工作150小时后换油一次，以后每2～3个月换油一次。如使用条件不好，真空度下降时，可以缩短换油时间。

应当常保持泵及四周环境的枯燥清洁。c．经常留意泵温及冷却水和油的温度，泵温以测量油温为准，最高不得超过85℃，

冷却水进水温度不超过30℃，出水温度不超过40℃，并且水质应保持清洁。d．依据泵使用条件，应拆卸油箱盖定期清洗低缸油池内过滤器和拆卸高缸油池罩，

清洗高缸油池。

e．管道的维护：

真空管道是连接主机与真空泵的通道，真空管道能否完好工作直接影响着设备的正常工作。因此，也应重视这方面的维护。

除尘器中的过滤网每2～3炉清理一次，抽气管道每20～30炉清理一次。管道的温升直接影响着泵的寿命、抽气速度及密封圈的寿命，应当经常检查管道的冷却水，保证畅通。

副室泵的维护使用：电路把握原理图：

H102H713

K3

H714

H441 H442 H116C3

H104

H715

H716

H443 H444

H117副

Y101Y451 Y452M401

36V

变压器

Y10Y045Y3454H406

M413

H40M5414

K3 C3 室

泵

H106

H717 H718

H445

H446

H118

K3 C3

工作原理：

按钮按下以后C3接触器吸合，主室泵在三相电下开头启动。本泵可单独使用，亦可作为各种分子泵、集中泵、罗茨泵等高真空、超高真空系统的前级泵，与之配套使用。本泵不得用于抽除尘埃及腐蚀性、易爆性气体；并不得作为压缩泵或输送泵使用。本泵具有极限真空度高、噪音低、不

进气口

排气口

注油塞

放油塞

漏油、不喷油等特点，承受防返油止逆阀系统、压力油循环系统，便利的气镇阀把握等构造。泵的排气口必需畅通，严禁在封堵排气口的状态下启动泵。通过油箱的油标检查油量。当接线转变后

肯定要先检查泵的电机转向。换油或长时间停泵后重启动泵时，应盖住泵的吸气口启动泵，以便把泵油中的气体排出去。

备注：对泵的维护工作必需在确保泵的空开K3手动断开的。状况下进展，

一级保养：

a、电机维护：定期检查电机工作状况，有无异响，漏油等特别状况。外表温度是否超温+40℃～+80℃。

b、油位检查：副室泵正常使用状态下，下油缸油位应根本布满油镜。上油缸油位应在油镜的1/3-1/2之间。正常的泵油是清洁透亮的假设颜色昏暗，请换油。

c、清理进气口过滤网：过滤网可防止微粒状物质进入泵腔，需要清理时，将过滤网拆下后，放入容器中用无水乙醇清理。然后装回。

二级保养：

假设油被污染，需准时更换。泵初次使用，换油时间可适当缩短。泵的真空度随着时间不断下降时，需换油。

泵在连续工作中，翻开气镇阀，可抽除被抽系统中可凝性蒸汽，待被抽系统压力降低到肯定数值时，在关闭气镇阀，进展抽气。

长时间不用泵时，应密封泵的进气口和排气口，以防灰尘、污物污染泵体。假设长时间没有使用泵，气体会吸附在泵及密封部件上，当再次使用泵时，可适当延长抽气时间，待被吸附气体解析、排解后，即可恢复泵的正常使用。

翻板阀的拆装：

拆卸阀盖及转轴〔勿伤阀盖密封面〕

①拆开联接阀盖与转轴间的水管。

②拆下连接杆与转轴间的连接板。

〔拆换转轴间的密封圈时，可不必进展以上两步〕

③松开左边轴端螺钉，拆下支承弯板。

④松开左边压紧螺母。

⑤拆去右端水嘴座及转臂。

⑥松开右端盖紧螺钉。

⑦将转轴从右端轴抽出即可。装配时逆操作。

2、液压系统：电路把握原理图：

启/停

Y101Y451M131M132M135

M136

H437 C2

H438

变压器

36V

Y100Y453Y454H406H404

H403

H701

K1

H703

H702

H719

H720

H431 H432H119

H704K1

H706

H721

K4

K4

H722

H433

C2H434H120

H705

K1

H723

H724

H435

H436H121

液

压

泵

K4

H102H104H106

H105 K1H705H108H126

K4H706H723

H724H623F12

H624

H531 H532C10

H537 H538

C11H543 H544

C12H549 H550

C13

工作原理：

H122 盖升

压力表

油标

H123

筒升

H124 盖降

H125 筒降

启/停按钮按下以后,点击卸荷按钮，C2接触器吸合，液压电机在三相电下开头启动。

主副室及炉盖的升降操作：主室升降操作：

主炉室提升时，只有炉盖上升碰限位后向左侧旋转偏离主炉室后，才可上升。主炉室和炉盖互锁，主炉室升到极限位置并停留后，然后向右旋出，进展清理和擦拭。合炉时，逆操作。

副炉室及炉盖升降操作：

副炉室及炉盖提升用一个液压缸，该缸装在下立柱的左侧上方，用支承臂将副炉室和炉盖先后升降，先将副炉室上升40mm自动限位，向左旋转副炉室后再可升炉盖。

副室、炉盖、主炉室的操作，把握面板上有相对应的按钮。操作留意事项：

a、 在需要进展副室、炉盖、主炉室提升操作时，按下相应按钮，副室、炉盖升起100mm后必需旋出，主炉室才可升起，以防炉盖和主炉室相碰撞。

b、 合炉时首先将上炉筒旋转至导向杆处，然后对正导向套下降，再上炉筒下降至下炉筒上密封接触时，应点动慢降，直到自由压紧为止。

c、 合完上炉筒后，方可合炉盖，首先将炉盖降至距上炉筒上面40mm处，然后将炉盖对正导向套，下降炉盖，应点动慢降，对正止口，直到自由

压紧为止。启动过程中应随时检查电机、油泵的温升，随时观看系统的工作压力，随时检查各高压连接处是否有松动，以免发生特别事故。

一级保养：

1、电机检查：定期检查电机工作状况，有无异响，漏油等特别状况。外表温度是否超温+40℃～+80℃。

2、油位检查：副室泵正常使用状态下，下油缸油位应根本布满油镜。上油缸油位应在油镜的1/3-1/2之间。正常的泵油是清洁透亮的假设颜色昏暗，请换油。

3、压力调整：液压泵的正常工作压力为3.0Mpa～3.5Mpa。在压力表显示低于3.0Mpa时，液压系统在升

降炉体时会有停滞的现象，此时需要调整压力，在确认油箱内油量适宜的状况下，启动电机，向右旋转此旋钮，可以适当调大压力。

二级保养：

调压旋钮

电机

液压泵初次使用半年后应更换一次液压油，以后每隔一年更换一次，以保证系统的正常运行。

液压系统在运行过程中，应随时检查滤油器堵塞状况并准时清洗或更换。c．液压系统寻常应常备易损件及元、辅件备件，以便准时处理故障。

3加热系统:

电路把握原理图:

380v

外

部电源

D130

D131D132

50v

D108

可

控

硅D109

水冷 石墨加热

Y482 Y459M425

M426 Y439

Z107 Y466 H502 H501 Y417

C9

PLC

电缆 器

F9

H104H703 H704H421 H422H617

H618H529 H530 H201 Y366 触

K1

H110

C1

H202

C9 发

Y367 板

工作原理：

加热系统：加热系统包括滤波柜，变压器，水冷电缆，热场。变压器将经滤波柜滤除谐波之后的380V电源转化为50V，由可控硅把握其输出量后经水冷电缆传输给电极。其把握局部由把握柜的欧陆表，电压反响板、触发板来实现。热场包括加热器、石墨电极、电极螺栓、炉底护盘、石英护套、电极护套、埚杆护套、排气口

护套、埚杆、埚托、石墨坩埚、下保温罩、上保温罩、上保温盖、下保温盖、导流筒。其中，加热器，电极，电极螺栓是加热装置，其他为保温装置。

可控硅

把握系统：把握柜主要是通过工控机，驱动器、编码器、PLC等对晶体生长及其生长环境进展监视和把握，以便使晶体按工艺要求生长。为操作者供给了一个人机交互的界面，便利操作者对晶体生长过程的把握。

水冷电缆

水冷电缆

机床变压器

直流互感器

固体电容

功率把握按钮

JRDL－800的温度把握系统承受英国欧陆公司的P818温度自动把握仪作为系统的温度把握器。其把握原理：由热电堆检测的温度信号转变为电压信号送至P818温度自动把握仪，与设定的温度信号进展比较、运算，然后将偏差纤毫送至数字触发器把握加热功率，另一路由负载引起变化的电压波动经过霍尔变换后送至反响接口电路用于稳定输出功率，使加热器上的电压更加稳定。

当开头加热时，可编程把握器检测冷却水及压力，当水压到达要求时可以启动加热。当无水或压力不够时则加热不动作，需检查供水状况。一旦加热后中途因故

停水或水压低于设定水压以下时，面板上水压报警灯亮启，蜂鸣器鸣叫，但加热不停顿，提示检修人员准时排解故障。加热中途遇到电流过大及炉内打火或负载短路时，从主加热变压器检测到过流信号通过把握器停顿加热，同时面板上过流报警灯亮启，蜂鸣器鸣叫。待故障消退后，将温度把握器的OP值降到零，重开启一次，面板上的加热开关可连续加热。但要留意此时坩埚中的硅料不要结晶，否则应停顿加热，清理炉膛后重装料再加热。

热场

埚杆护套

φ134*138

石墨/国产细

料

电极护套

φ136*105

石墨/国产细

料

排气护套

φ60*84

石墨/GSK

上保温罩

φ630*183

石墨/GSK

下保温罩

φ630*600

石墨/GSK

石墨埚托

φ442*70

石墨/CG-12

石墨件名称：

石英环

石英环

φ110*120mm

φ94*140mm

石英

石英

电极螺栓

φ70*110

石墨/IG-70

石墨电极

φ89*190

石墨/IG-70

炉底护盘

φ660*200

石墨/GSK

加热器

φ580*600

石墨/CG-12

上盖

石墨坩埚

φ494*342

石墨/CG-12

导流筒外

φ470*295

石墨/IG-12

导流筒内

φ470*279.5

石墨/IG-12

石墨埚杆

φ270*735

石墨/GSK

上保温盖

外φ780*32

石墨/GSK

下保温盖

内φ724*32

石墨/GSK

石墨纸

厚度1mm

炉底护盘

铜电极

石墨电极

石英护套

排气护套

中罩

加热器

上罩

石墨电极

坩埚护套

石英护套

电极螺栓

导流筒

热场的安装：

a、安装热场元件之前先确认铜电极与炉体绝缘。

b、将预备好的碳毡铺入不锈钢炉体。c、将剪好的碳膜纸穿入铜电极。

d、将石英护套穿入铜电极，摆放适当。e、安装炉底护盘放入排气孔护套、

电极护套、坩埚护套。

f、将石墨电极拧固在铜电极上并在石墨电极上部摆放剪好的碳膜纸。

g、安装加热器，使加热器电极孔与石墨电极孔重合。

h、将石墨螺丝穿上碳膜纸，紧固加热器电极腿。

i、装入中罩、上罩。

j、安装埚杆、埚托、三瓣埚。

k、测量加热器与炉体是否绝缘。

l、装好大盖固定导流筒，安装完成。拆卸时，进展逆操作即可。

电极的拆装与维护：拆卸：

由于电极材料为紫铜，因此装时应特别留神，切勿重击。拆卸电极时，首先

a、卸掉水冷电缆及铜夹子。b、然后拆下水嘴座。

c、松开压紧螺母。

d、移去上部石英保护套。

e、将电极从上部抽出即可。装配时，进展逆操作即可。

变压器的维护：

a、定期检查绝缘子、绕组的底部和端部进展检查看有无积尘现象。

b、寻常运行巡察检查中制止触摸，留意观看紧固部件有无松动现象。绕组绝缘外表有无龟裂、碳化痕迹，声音是否正常。

c、运行中留意温升变化，切忌因温升过高而损坏绝缘。

d、每次运行前，检查水温报警器工作是否正常，有无漏水痕迹。

欧陆表使用：

第一显示是显示从温度传感输入的温度毫伏信号，单位为毫伏。

按钮A/MAN打算这欧陆表的来回交替的工作

第一显示

其次显示

方式，即当处于MAN状态时，按下A/MAN按钮后，欧陆表将转换为WSP的工作方式，在MAN的状态下，热场以固定的电压电流来为热场供给热量，当在WSP的状态下工作时，热场系统将通过不断的微调输入输出的电压电流来稳定当前的温度。在WSP状态下，第一显示为当前热场温度值，其次显示为热场目标值。当处于MAN状态时，热场第一显示值为当前值，其次显示值为热场输出百分比，以100%为极限值。

埚转电机

埚升电机

4、提拉系统：

晶升电机

谐波减速器

晶转电机

电路把握原理图:

晶

升小

盒

Y481

Y419

PL

C

Y426

拉

速

板

Y325

H903

H303

Y485

Y244

Y236

Y312

Y112

H913

电

源

H702 H725

H726Y130Y135

沟通37VY113

Y106

晶

升驱动

器

H919

A+

I+

H914

H915

M

H918

M

A-

K5

沟通220V

H107 H727 H728Y126Y127

沟通110V

Y107

I-

H916

H304

H904

电

源

H101 H701

H702K1

H729

K6

H730Y136

Y137

AC37

H107

H731K6H732

Y129

Y128

计

算

机

Y228

开

关

量

Y214Y431

PLC

Y402H815

H816

变

压

器

Y110H933Y111H934Y108H935Y109H936

AC110

埚

升驱动器

H923

H939H305

H938

H924

H306

H307

A1

M M

A2

I1

I2

C26

H308

工作原理：

晶升、埚升系统由晶体生长拉速把握器和晶体生长跟踪把握器组成。其附带局部还包括上部的晶体上升快速升降把握和随动快速升降把握。这两局部均承受进口电机及进口把握器由接口把握电路把握其工作，并与晶体直径把握器一起完成对晶体的生长把握及直径进展把握。电机的快速运动与正常速度的转换由可编程把握器进展规律运算后由电机执行，可保证电机在运行中动作准确，安全牢靠。电机的控速显示和随动电机的跟踪速度显示分别由面板上的两块数字显示仪表显示及其拉速和跟速，单位是mm。

籽晶提升机构：

籽晶提升机构有提升电机系统经过周密的涡轮蜗杆减速器带动卷丝轮。卷丝轮通过滚动花键传递扭矩并担当支承。卷丝轮由牵引螺纹螺母套实现平移，从而保证卷丝软轴钢丝始终在对中位置，卷丝的平移又带动限位杆，实现软轴的极限限位，以保护籽晶提升机构不受损伤。卷丝轮联接有光电编码器，准确显示晶体长度〔或位置〕。为便于软轴钢丝绳的拆装，在卷丝轮上开有装拆槽。卸时只需将软轴松开，顺着孔槽移出即可，安装时，应将卷丝轮处在最右端，记清所剩绕缰圈数，然后顺槽装入软轴，按原来圈数绕成即可。

一级保养：

1、电机检查：定期检查电机工作状况，有无异响，漏油等特别状况。外表温度是否超温+20℃～+40℃。

2、每次大清，紧固联轴节，清理丝杠并加润滑油。1、用无尘布将丝杠、导轨擦拭干净用加满酒精的喷壶将丝杠上面的杂质冲洗干净，反复升降几次，查找最正确效果。在丝杆，导轨上面涂抹少量润滑油。重复升降几次，检查效果。

注：确保丝杠、导轨没有杂质，否则影响运行。工具：喷壶、无尘布、润滑油二级保养：

1、每次运行，校正对中。

2、定期校正运行速度与显示速度，使其保持全都。

3、钢丝绳的拆装与维护：

联轴节

卷丝轮

钢丝绳

阻尼

侧面图

顶面图

拆下：所需工具：内六角扳手一套、对中工具、聚光灯

a:盖好炉盖，将钢丝绳下降，卷丝轮上只缠绕2～3圈的时候。将钢丝绳从重锤处剪断，

b：翻开提拉头的上盖和侧盖视窗，松开压线轮螺钉。c：松开连轴节上的螺钉，使卷丝轮能够用手自由转动。d:拽动钢丝绳，使钢丝绳从卷丝轮旋转下来。

e:从阻尼上逐步的将钢丝绳从末端拉出。

f:把电机和限位信号线拔出，将提拉头拆下，将阻尼套取出。

安装：所需工具：内六角扳手一套、对中工具、聚光灯a:在卷丝轮上缠入的钢丝绳，使钢丝绳从底板穿出。b:将钢丝绳压入第一绕线槽内并紧固压线轮螺钉。

c:手动转动卷丝轮使钢丝绳多绕几圈。d:将阻尼从钢丝绳的另一端穿入

e:将阻尼套压入底板孔

f;再次转动卷丝轮检查钢丝绳是否顺当绕入。

g;最终，调整好连轴节和限位，装好视窗玻璃。紧固螺丝钉。4、谐波减速器的维护：

谐波减速器是由波发生器所产生的机械波，通过柔性齿轮变形，从而产生齿间相对位移而到达传动的目的的一种大减速比减速机构。使用中一般不加油，不必拆卸。在必要时，拆后装配务必将各零件清洗干净。其轴承内应涂201润滑脂，齿面应加7011特种脂。

5、籽晶提拉部件的维护：

籽晶提拉部件也是单晶炉的关键部件，籽晶提拉部件运行的好坏，直接影响着单晶的生长。因此，也必需加以细心护理。

卷轮箱是其核心局部。上面设有观看孔，用来观看内部卷轮及软轴钢丝绳的工作状况，卷轮箱左端联有超程限位箱，用来保护卷轮箱不会由于其超程而被损坏。卷轮箱的右端由双极减速器传递转矩。减速箱内的涡轮蜗杆传动件，每三个月加注适量润滑油。不锈钢软轴定额承载100Kg，每次开炉后，检查承重头部钢丝绳是否烧损，如有烧损应将烧损局部准时去掉，重用氩弧焊封头，一根钢丝绳可供几次修正使用，但每次休整后，都应核实所剩钢丝绳长度是否满足使用要求，否则应更换的软轴钢丝绳。

卷轮箱内的调整螺母〔铜螺母〕不得任凭拆动，以免影响软轴的对中，假设必需要拆卸时，装时肯定要认真调整。最终保证软轴对中。

软轴钢丝绳在保管、使用、修理安装中不准造成任何死弯现象，否则在运行中会引起抖动。籽晶旋转电刷局部，运行一段时间后，要进展清理，消灭碳粉积存以免影响信号传输，拆装后，要调整好相对位置，不允许消灭电刷头与绝缘环相摩擦的状况。

6、卷丝轮的拆装

卷丝轮的旋转密封承受的是磁流体密封，拆装卷丝轮时尽可能不要拆开磁流体密封组件。

a、拆去电机及减速箱〔拆时做上相对位置极好，复位时按记号找正〕b、拆下软轴钢丝绳压轮。

c、卸下重锤及软轴钢丝绳。d、拆下卷轮箱左端限位箱。e、拆下左端盖及限位杆。

f、拆下拖动限位杆的拖动圆盘。

g、松开右端盖与卷论箱的连接螺钉。

h、将右端盖与卷丝轮一起从右端旋出。装配时逆操作。

5、旋转系统：

电路把握原理图:

H702 H737

电

源

H738H957K8

滤H958H841C24H842H961

波

L1埚U

转V M

H107

H739

K8

H740H959器H960H843

H844H962C24

L2驱W

动

计算机

Y227 开关量Y213Y436PLCY415H811 H812 器

C24

H702H733

H734H941

电 K7

源

滤

波

器

H942H837C23H839H945

L1晶U

转V

M

H107

H735

K7

H736H943

H944H839

C23

H840H946

L2

C23

计算机

Y226

开关量Y212Y435

PLC

Y413H809

H810

驱W动

器

工作原理：

晶体旋转分成两局部，第一是籽晶旋转局部，其次是坩埚旋转局部。两局部承受同一种进口电机及把握器，旋转的速度均由面板上的数字显示仪表显示，同生长运动一样，其把握旋转的规律功能均由可编程把握器进展规律把握，籽晶及坩埚的旋转方向互为逆向。正常使用时将转速给定电位器调至零位，开启晶、埚转开关，分别旋转各自的给定电位器，使其到达需要的转速。

籽晶旋转机构有旋转轴、支承座、电刷环组件、磁流体密封座及旋转电机系统组成。旋转电机系统通过楔形带实现籽晶轴平稳转动。旋转密封为磁流体密封。旋转机构设有10道电刷环，用来供给籽晶提升机构的电能及传递电信号。装在过渡副室中的限位器，实现软轴的上限位。

一级保养：

1、电机检查：定期检查电机工作状况，有无异响，漏油等特别状况。外表温度是否超温+20℃～+40℃。

2、每次大清，紧固联轴节，清理丝杠并加润滑油。二级保养：

1、每次运行，校正对中。

2、定期校正运行速度与显示速度，使其保持全都。

3、坩埚轴旋转密封和卷丝轴旋转密封均承受磁流体密封。

4、坩埚轴驱动部件的修理：

坩埚轴驱动部件是设备的核心部件，要求各种精度都比较高，所以要加强维护。坩埚轴是多晶硅料的支承轴，其精度高，工艺简单，应重点维护。要经常检查其冷却水的状况，以免因冷却不充分而被烧坏。拆下后需垂吊放置。坩埚轴驱动装置的导柱及直线运动轴是关键的导向原件，应妥当维护。导柱需保持清洁，严禁灰尘、杂物附着。定期涂抹油脂，以防锈蚀。直线轴承出厂时已做充分润滑，必要时可每隔一年加注锂基润滑脂一次。加油时，松开油盖。提起油封，推出轴承，认真清洗前方可注入油。觉察导柱与轴承间有研损时，应将轴承微转一角度，使滚珠避开研损痕迹，以确保平衡运行。轴承与导柱是配套装置的，请勿装错。周密丝杠、涡轮、齿轮等传动部件，应当保持清洁、润滑，严禁灰尘等赃物污染，以免零件损坏和失灵。坩埚轴快速升降传动涡轮，每两个月翻开润滑孔在涡轮齿面上注锂基润滑脂一次。请定时去除下波浪管中的杂物。

水温报警器

5、坩埚轴的拆装：

拆卸坩埚轴时，应先松开水套与水套固定座的连接螺钉，去掉轴挡圈，卸下水套固定，然后松开圆螺母，卸下带轮，将磁流体密封部件整体取下，最终将坩埚轴上面整体抽出。装入时逆操作。只是要留意轴承的润滑承受真空脂润滑，水套座内的润滑可用一般润滑油即可。

5、水冷系统：

水报警电路：

水

压

表

PL

C

H805

C21H806

触

发Y354

板

H324

Y217

Y215H807

H324

开关量

水温检测器

C22

报警

工作原理：

JRDL-800的进水共三路，一路冷却主机下部各冷却部位，管