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超声波加工原理、特点及应用超声波加工是利用工具端面在磨料悬浮液中的超声波振动，迫使磨料悬浮液中的膺粒高速撞击、抛磨被加工表面.使加工区域的工件材料破碎成细微颗拉，从而实现加工的一种方法。1、超声波加工基本原理超声波加工原理如图15.6所示:在工件和工具之间注入液体(水或煤油等)和磨料混合的悬浮液，使工具对工件保持一定的进给压力，并将超声波发生器产生的超声频振荡，通过换能器转换成超声频纵向振动，并借助变幅杆把振幅放大到0.05-0.1mm,驱动工具端面作超声振动。此时.工作液中的悬浮磨粒在工具端面超声振动的迫使下.以很高的速度不断撞击、抛磨工件上的被加上表面，使该表面材料产生疲劳破坏，碎裂成细小颗粒脱离工件本体，在工件加工区域留下密集的细小凹坑。工作液受工具端面的超声振动作用而产生高频、交变的液压冲击波和空化作用也会加剧工件材料的机械破碎效果，同时液压冲击波也有利于工作液在加工间隙中循环流动，使磨杖不断更新，并将加工碎屑排出加工区域。随着加工的不断进行.工具在恒定压力的作用下逐渐深人到工件材料中，工具形状便“复印”在工件上。2.超声波加工的特点(1)超声波加工主要适用于加工脆硬材料.特别是不导电的非金属材料和半导体材料.例如玻璃、陶瓷、宝石、金刚石以及硅和锗等.而对于硬度小、塑性好的材料则无明显加工效果。(2)工具材料的硬度可以低于被加工工件材料:超声波加工中工件材料的去除是靠磨粒直接作用，因此易于加工各种复杂形状的1:件.加工中不需要工具作复杂的运动:(3)超声波加工是靠极小的磨料作用.无宏观机械力.所以加工精度较高，一般可达到0.02mm，表面粗糙度RaO.1-1.25um，被加工表面也无残余应力、组织改变及烧伤等现象。3.超声波加工的应用超声加工的生产率一般低于电火花加工和电解加工，但加工精度和表面质量都优于前者。重要的是它能加工前者所难以加工的半导体和非导体材料，如玻璃、陶瓷、石英、宝石及金刚石等。(1)型孔、型腔的加工。目前，超声波加工主要用于加工脆硬材料的圆孔、异形孔和各种型腔，以及进行套料、雕刻和研抛等.如图15.7所示。(2)超声波切割加工。半导体材料锗、硅等又硬又脆.用机械切割非常困难.采用超声波加工则十分有效。(3)超声波清洗。由于超声波在液体中会产生交变冲击波和超声空化现象.这两种作用的强度达到一定值时，产生的微冲击就可以使被清洗物表面的污渍遭到破坏并脱落下来。加上超声作用无处不在.即使是小孔和窄缝中的污物也容易被清洗千净。目前，超声波不但用于机械零件或电子器件的清洗，根据超声振动去污原理.已生产出超声波洗衣机。(4)超声抛磨。采用超声抛磨的方法，可以方便地去除电火花加工后工件表面的硬脆变质层，提

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