Avantage 415软件的XPSPeak分峰步骤

1、实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。激发源 为AlKa X射线，功率约300 W。分析时的基础真空为3xlO-9mbar。 电子结合能用污染碳的C1s峰（284.8 eV）校正。X-ray photoelectron spectroscopy data were obtained with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlKa radiation. The base pressure was about 3x10-9 mbar.

2、 The binding energies were referenced to the Cls line at 284.8 eV from adventitious carbon.处理软件： Avantage 4.15XPS 数据考盘后的处理数据步骤Origin 作图：open Excel 文件，可以看到多组数据和谱图，一个 sheet 对应一张谱图及 相应的数据（两列）。将某一元素的两列数据直接拷贝到0rigin中即可作出谱图。（注意：X轴 为结合能值， Y 轴为每秒计数）如果某种元素有两种以上化学态，需要进行分峰处理时，按“XPS Peak 分峰步骤”进行。XPS Peak 分峰步骤1将

3、所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入 0rigin 后，将 column A和C中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为 结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部 分数据，需在 0rigin 中做好处理。打开XPS Peak，引入数据：点Data-Import（ASCII），引入所存数据，则出 现相应的 XPS 谱图。选择本底：点Background，在所出现的小框中的High BE和Low BE下方将出现本底的起始和终点位置（因软件问题，此位置最好不改，否则无法再回到Origin）,本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。确定好本底

4、的位置 后,回到TXT文本中将不在本底范围内的数据删除，然后保存。再重新ImportASCII。选峰：点Add peak,出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（如Cis峰则选s, S2p峰则选p）,在Position处选择希望的峰位，需固定时则点 fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constraints 可用来固定此峰与另一峰的关系，如 Pt4f7/2 和 Pt4f5/2 的峰位间距可固定为 3.45,峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak 选第二个峰，如此重复。选好所需拟合的峰个数及大致参数后

5、，点Optimise region进行拟合，观察拟 合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点 Optimise region。拟合完成后，分别点另一个窗口中的 Rigion Peaks 下方的 0、 i、 2 等可看每 个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不满意，可 改变这些峰的参数，然后再点 Optimise region。点 Save XPS 存图，下回要打开时点 Open XPS 就可以打开这副图继续进行处 理。 点DataPrint with peak parameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积 可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。 点DataExport to clipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文 档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。点DataExport （spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则