静电防护措施方案

1、TFTProject靜電防護措施方案一、人員防護防靜電工作服 (anti-static clothes)防靜電帽 (anti-static cap)防靜電鞋 (anti-static shoes)防靜電手套 (anti-static gloves)防靜電指套 (anti-static finger cots)防靜電口罩 (anti-static mask)防靜電手腕帶 (anti-static wrist straps)(anti-staticwrist測試外表電阻是否合格二、機台(切割機、裂片機)防護台面裝置接地線三、操作環境防護工作桌台面放置防靜電台墊 (anti-static mat)，

2、並與接地線(ground lead)連接以導走靜電作業員操作區域地面放置導電性橡膠地墊 (conductive rubber floor mat)並與接地線(groundlead)連接以導走靜電四、運送防護Tray盤 (conductive tray)盛放玻璃(anti-staticcirculationbox)進行各工位間搬運五、包裝防護盤 (conductive tray)盛放玻璃使用防靜電膠帶 (anti-static tape) Tray盤 plastic bag) Tray盤六、其他防護1.要求作業員取放玻璃時要輕拿、輕放，動作放慢。本文介绍，为了有效地抗击和防止静电放电(ESD,

3、electrostatic discharge)，必需以正确的方式使用正确的设备。由于一系列强有力的闭环ESD 预防、监测与离子设备，现在可以把ESD 看作一个过程把握问题。静电放电(ESD)是在电子装配中电路板与元件损害的一个生疏而低估的根源。它影响每一个 制造商，无任其大小。虽然很多人认为他们是在 ESD 安全的环境中生产产品，但事实上，ESD 有关的损害连续给世界的电子制造工业带来每年数十亿美元的代价。ESD 到底是什么？静电放电(ESD)(固定的)的电荷(电子缺乏或过剩)放电(电子流)。电荷在两种条件下是稳定的：1. 当它“陷入“导电性的但是电气绝缘的物体上，如，有塑料柄的金属的螺丝起

4、子。 2. 当它居留在绝缘外表(如塑料)，不能在上面流淌时。可是，假设带有足够高电荷的电气绝缘的导体(螺丝起子)靠近有相反电势的集成电路(IC) 时，电荷“跨接“，引起静电放电(ESD)。ESD以极高的强度很快速地发生，通常将产生足够的热量熔化半导体芯片的内部电路，在电子显微镜下外表象向外吹出的小子弹孔，引起即时的和不行逆转的损坏。更加严峻的是，这种 危害只有格外之一的状况坏到引起在最终测试的整个元件失效。其它 90%的状况，ESD 损坏只引- 意味着损坏的元件可毫无觉察地通过最终测试，而只在发货到顾客之后消灭过早的现场失效。其结果是最损声誉的，对一个制造商订正任何制造缺陷最付代价的地方。可是

5、，把握ESD 的主要困难是，它是不行见的，但又能到达损坏电子元件的地步。产生可以听见“嘀哒“一声的放电需要累积大约 2022 伏的相当较大的电荷，而 3000 伏可以感觉小的电 击，5000 伏可以观察火花。例如，诸如互补金属氧化物半导体(CMOS, complementary metal oxide semiconductor) 或电气可编程只读内存(EPROM, electricall programmable read-only memory) 这些常见元件，可分别被只有 250 伏和 100 伏的 ESD 电势差所破坏，而越来越多的敏感的现代元件，包括奔腾处理器，只5 伏就可毁掉。该问

6、题被每天的引起损害的活动复合在一起。例如，从 乙烯基的工厂地板走过，在地板外表和鞋子之间产生摩擦。其结果是纯电荷的物体，累积到达 32022 伏的电荷，取决于局部空气的相当湿度。甚至工人在台上的自然移动所形成的摩擦都可产生 4006000 伏。假设在拆开或包装泡沫盒或泡泡袋中的 PCB 期间，工人已经处理绝缘体，那么在工人身体外表累积的净电荷可到达大约26000 伏。因此，作为主要的 ESD 危害来源，全部进入静电保护区域(EPA, electrostatic protected area) 的工作人员必需接地，以防止任何电荷累积，并且全部外表应当接地，以维持全部东西都在一样 ESD 发生。用

7、来防止 ESD 的主要产品是碗带(wristband)，有卷毛灯芯绒和耗散性外表或垫料 - 两者都 电保护区域(EPA)移动时累积和保持净电荷。在装配期间和之后，PCB 也应当防止来自内部和外表运输中的 ESD。有很多电路板包装产品可用于这方面，包括屏蔽袋、装运箱和可移动推车。虽然以上设备的正确使用将防止 90%的ESD 10%，需要另一种保护：离子化。中和那些可产生静电电荷的装配设备和外表的最有效方法是使用离子发生器(ionizer) - 一种设备吹出离子化空气流在工作区域，来中和累积在绝缘材料上的任何电荷。一个常见的谬论是认为由于在工作站带上了碗带，该区域的绝缘体，如聚苯乙烯杯或纸板 盒，

8、所带的电荷将安全地消散。按定义，绝缘体不会导电，除了通过离子化不行能放电。假设一个带电荷的绝缘体保存在 EPA，它将辐射一个静电场，引发净电荷到任何四周的物体上，因此增加对产品的ESD 损坏的危急性。虽然很多制造商企图从其 EPA 制止绝缘材料，但这个方法是很难实施的。绝缘材料是日常生活中太多的一局部 - 塑料盖中的一些东西。由于离子发生器的使用，制造商可以承受一些绝缘材料在其 EPA 中消灭的事实。由于离子发生系统连续地中和可能发生在绝缘体上面的任何电荷累积，所以对于任何的 ESD 打算，它们都是合理的投资。标准电子装配中的离子发生设备有两种根本的形式：桌面型(单个风扇)过顶型设备(在单个过

9、顶的单元内，有一系列的风扇)也有室内离子发生器，但现在主要用于清洁房的环境。选择打算于需要保护区域的大小。桌面型离子发生器将掩盖单一等工作外表，而过顶式离 降级。可是，假设没有对 ESD 设备有效性的正常测试和监测，那么没有一个保护打算是完善的。一流的 ESD 把握和离子化专家报告了使用失效的(因此是无用的)ESD 设备而不知其失效的制造商的例子。为了防止这种状况，除了标准的ESD 设备，ESD 供给商还供给各种恒定监测器，假设一项 集的网络软件，实时显示有关操作员和工作站的系统表现。监测器可通过消退很多日常任务来简化 ESD 打算，如保证碗带每天适当测量，离子发生器的平衡与正确维护，工作台接

10、地点没有损坏。防止 ESD 的第一步是正确评价假设无视，怎样小的细节可能造成不行修复的损坏。一个有效的打算要求不仅使用有效的 ESD 保护设备，而且严密的运作程序来保证全部工厂地面人员的ESD 安全的。虽然很多制造商使用自动碗带测试仪，但经常可以看到操作员由于碗带太松而或者通过测 试或者失效。很多操作员企图通过用另一只手简洁抓着测试仪靠近其手腕来通过测试。尽管如此，好消息是ESD 是可避开的。投资在正确设备和改善安全程序中的时间与金钱将通过相应的合格率提高而得到回报。干净室与静电干净室半导体、平面液晶显示器、光电子和生物医药都需要干净的生产车间，通常干净室是指空间空气 小，干净度便越高。干净室

11、的静电由于干净室的干净度要求，室内使用大量的高绝缘介质装饰材料、地面、墙、门、顶棚、隔断、工作台、椅子等等，这些材料摩擦简洁起电带电，不易泄漏释放。500V1000V500V1500V500V1500V，塑700VOV1000V500V3000V。人穿干净工作服、鞋、步行或工作时，与不同物质设备器材摩擦要产生静电，人、衣服、鞋都 会带电。7000V8000V 静电压。在乙烯基地板上行走可带1200V10%20%RH、250V65%90%RH 35000V10%20%RH、1500V65%90%RH，晶片装配线，人穿的工作服可达10KV。空调气流经过初效过滤器，中效过滤器，高效过滤器，净化出口气

12、流是带静电的。 5001000V。大量的绝缘器材、装备和工具，也是重要的静电电荷源。晶片装配生产线 35KV，8KV1.5KV6KV20KV10KV，塑料存30KV10KV。总之：干净室的干净度要求越高，静电带电便越严峻。干净室静电的危害静电库仑力吸上粉尘、污物带给无器件，增大泄漏或造成短路，使性能受损，成品率和牢靠性大大下降。如 粉尘粒径100m，铝线宽度约 100m，氧化膜厚度在 50m 时，最易使产品报废，现在线径更细，氧化膜很薄，很小粒径尘粒子就会损害元器件，这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和 封装等工艺过程中。静电放电 ESD 触摸器件脚时发生ESD，其向大地瞬间形成脉冲放电电流

13、峰值可达20A10100s，不要说高Sio2 Lsi、VlsiIC、MOS 都会患病损坏。 50V-100V50V、100V 是极寻常的。造成噪声、放射电磁波干扰ESD 引起 EMI 其电磁波的前后峰较尖，信号强，相当与电路中几伏的能量，频率跨越几 MH2 甚几百 MH2 ESD 引起的 EMI 还会引发错误信号的输入，或发生锁存现象。如无尘室中，将晶园片的 EMIF 箱放在钢的手推车上，晶园片的ESD会通过电感传给手推车，车轮是绝缘的，则EMI的集中会引起园晶片处理机死机。电击人体人的 ESD 或对人的 ESD 当超过人体电击极限电流 5mA 以上时，人都会有各种损害感觉，造成工作人员的心情

14、担忧，操作错误。半导体，平面显示器，光电子等干净室，尽管做了很多工作，但干净室的静电问题仍旧影响着生 产安全和产品产量，影响着制造本钱和效益，影响产品的质量和牢靠性。有报导国外工业专家估 8-33%3 静电损耗报告。还有人估量美国每年静电对电子工业毁损价值达 100 亿美元，日本 80 年月曾对报废的电子产品进展分析，由ESD 引起的损失占 1/3。我国半导体，平面液晶显示，光电子等都起步较晚，但静电危害也累有发生，成品率较低。如北京一公司，SMT 车间冬季 4 个月，常因ESD 造成上百万元损失。上海一家外资企业办公电脑几千台却因 ESD 人员叫苦连天，电脑工作不正常。一家争辩设计院 200

15、m2 多的电脑房，ESD ESD产品质量始终不稳定。而银行、证券公司、机要数据库、监控中心，电力调度室等等。如消灭ESD 就很简洁引起干扰，数据遗失，情形就更严峻了。干净室静电把握静电把握的根本原则确定静电把握级别尽量削减静电荷的产生泄放和中和的方法加速静电荷消散，防止静电积存 ESD 的损坏确定静电把握的级别元器件、组件和设备静电敏感度分级级：易患病 0-2022V 静电电压损坏的级：易患病 2022-3999V 静电电压损坏的级：易患病 4000-5999V 静电电压损坏的而敏感静电压大于 16000V 的，便不必实行防静电措施。静电防护工作区的分级A级：允许对地静电电位不超过100V B

16、级：允许对地静电电位不超过1000V实际工程中是分静电电位不超过 100V、500V、1000V 等对应元器件、组件和设备静电敏感电压3 级。尽量减小静电荷的产生这是把握静电三步曲的第一步，在这净化工作环境中，最好的措施：尽量承受性质相像器材，削减在接触摩擦分别过程中产生静电电荷；尽量承受导静电型或静电耗散型材料的器材，削减接触摩擦分别过程产生积存静电荷；尽量承受削减接触摩擦分别而产生静电荷的生产流程。泄放和中和散性材料泄放静电荷，以及离子化消电器中和静电荷。接地台接地支系统。以便室内全部设备金属外壳，移动设备的金属支架，防静电器材等安全、有效地将静电荷泄 放。地面、墙面、顶棚、隔断等是硬接地

17、，设备外壳、移动设备车、椅、货架等、工作台等则属软接地。离子化肖电器干净室中生产组装的元器件、PCB 绝缘介质材料例如大多数一般塑料，在某些环境下，离子化消电器常用来局部消散这些物体上的静电荷，而更经常的是借助于空气离子化来中和在绝缘介电荷量静电的实质是存在剩余电荷。电荷是全部的有关静电现象本质方面的物理量。电位、电场、电流 等有关的量都是由于电荷的存在或电荷的移动而产生的物理量。在科研院所、高等院校、检测站 和工矿企业等部门经常需要测量物体的电荷量或电荷密度。表示静电电荷量的多少用电量表示，其单位是库仑，由于库仑的单位太大通常用微库或纳库1100000011000(nC)在测量粉体带电及其荷质比，测量防静电服的性能时都要测量其带电电荷量。测量物体的带电电量从原理上说可用法拉第简和静电计及静电电容测量，但这种方法测量繁琐， 仪器EST111 数字电荷仪/EST112 技大学、中国矿业大