等离子电视基本原理

1、等离子电视基本原理第1页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二内容一、气体放电物理基础二、彩色PDP发展与特点三、PDP结构设计原理四、 PDP制作工艺介绍第2页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础固态 液态 气态 等离子体？ 如果气体的温度继续升高，物质受热能的激发而电离。如果温度足够高，就可以使物质全部电离。电离后形成的电子之总电荷量同所有的正离子的总电荷量在数值上相等，而在宏观上保持电中性。太阳就是一个等离子体，2006年9月28日中国人造太阳成功完成首次等离子体放电试验。第3页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，

2、星期二气体放电物理基础等离子体的分类:等离子体 高温等离子体（完全电离气体） 温度范围：106108K，如可控热核反 应等离子体、太阳、恒星等。低温等离子体（部分电离气体） 热等离子体（Te=104106K， Ti=31033104K） 冷等离子体（ Te104K， Ti=室温 ）如电弧等离子体、高频等离子体、燃烧等离子体等。如辉光放电正柱区第4页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础Plasma Display Panel ：所有利用气体放电而发光的平板显示器件的总称。 第5页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础日光灯

3、发光示意图 第6页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础气体放电中的基本粒子： 基态原子（或分子） 运动电子 e1/2mve2，典型密度为10161020/m3. 激发态原子(或分子) 正离子和负离子 光子 h第7页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础气体原子的激发和电离激发态原子能级谐振能级 （受激原子自发地直接过渡到 基态，并产生光子辐射。）较高激发态能级（向较低基发态能级跃迁，并产生光子辐射。）亚稳能级 （不能自发地通过光辐射向基态跃迁。）第8页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理

4、基础Ne-Xe混合气体放电能量转移简图第9页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础气体放电的伏安特性第10页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础气体发生稳定放电的区域： 正常辉光放电区DE 反常辉光放电区EF 弧光放电前区FG第11页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础 为了描述气体放电中的电离现象，汤生提出了三种电离过程，并引出三个对应的电离系数：（1） 汤生第一电离系数系数。它是指每个电子在沿电场反方向运行单位距离的过程中，与气体原子发生碰撞电离的次数。气体的击穿和巴邢定律第12

5、页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础（2）汤生第二电离系数系数。它是指一个正离子沿电场方向运行单位路程所产生的碰撞电离次数。 （3） 汤生第三电离系数系数。它是指每个正离子打上阴极表面时，产生的二次电子发射数。第13页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础 帕邢(Paschen)首先发现，在气体种类、电极材料等条件不变时，着火电压Ub不仅单独和压强P或极间距离d有关，而且和Pd的乘积有关，即Ub是Pd的函数 Ub=f（Pd）这个规律称为帕邢定律。第14页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电

6、物理基础影响气体放电着火电压的因素pd值的作用 巴邢定律表明，当其它因素不变时，pd值的变化对着火电压的变化起了决定性的作用。因此，PDP中充入气体的压强和电极间隙对PDP的着火电压有很大影响。第15页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础气体种类和成分的影响 值和击穿电压Ub值，都与气体的性质(种类和气压)有关，并主要由电子与一定气体粒子发生碰撞的过程来决定。 气体的电离电位对击穿电位的影响是另一个重要的因素，在其他条件不变的情况下，通常电离电位越大的气体，它的击穿电位就越大。 如果碰撞时电子还未达到足以使气体电离的速度，电子与这种气体粒子碰撞损失的平均能

7、量较大，那么这种气体被击穿所需要的电场强度就大，相应地要求击穿电位也高。 第16页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础 在放电管内有两种气体的混合物时，Ub就不能简单地用混合方法以混合气体的浓度去计算。实验指出，混合气体的击穿现象往往与纯粹气体完全不同。 在氖气中混入少量氙气能使气体的击穿电压降低，其降低量由氙气的混合量决定。这种现象就是放电中潘宁效应的结果。这种效应在氖汞混合气体中也存在。 第17页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础潘宁电离： 设A、B为不同种类的原子，原子A的亚稳激发电位大于原子B的电离电位，亚稳

8、原子A* 与基态原子B碰撞时，使B电离，变为基态正离子B+（或激发态正离子B+*），而亚稳原子A*降低到较低能态，或变为基态原子A，此过程称为潘宁电离，可用符号表示为： A*+BA+B+（或B+*）+e由于亚稳原子具有较长的寿命，其平均寿命是10-410-2s （而一般激发态原子的寿命为10-810-7s），因此潘宁电离的几率较高，使得基本气体的有效电离电位明显降低。另外，着火电压下降的大小还与两种气体的性质和它们量的混合比有非常密切的关系。第18页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础 使用辅助电离源来加快带电粒子的形成，也可以使着火电压降低。 例如： 人

9、工加热阴极产生热电子发射，取代发射过程的作用； 用紫外光照射阴极，使阴极产生光电发射； 放射性物质靠近放电管，放射性射线引起气体电离； 通过预放电提供初始的带电粒子等可以大大降低着火电压。第19页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础正常辉光放电的基本特征： (1) 放电时，在放电空间呈现明暗相间、有一定分布规律的光区。 (2) 由于着火后，空间电荷引起的电场畸变使放电空间电位基本上分成两段：阴极位降区和正柱区。在阴极位降区中产生电子繁流过程，满足放电自持条件，故它是维持辉光放电必不可少的部分。 (3) 管压降明显低于着火电压，并且不随电流而变。电压一般在几

10、十到几百伏。电流为毫安级。电流密度为A/cm至mA/cm数量级。 (4) 阴极电子发射主要是过程。第20页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础正常辉光放电的光区分布：(1)阿斯顿暗区 它是紧靠阴极的一层很薄的暗区。在这里由于受正离子轰击从阴极发射出来的二次电子初速很小，不具备激发条件。由于没有受激原子，因而是暗区。(2)阴极光层 这是一层很薄、很弱的发光层。电子在通过阿斯顿暗区以后，从电场中获得了一定的能量，足以产生激发碰撞，使气体发光。但电于数量不大，激发很微弱。第21页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础(3)阴极

11、暗区 电子离开明极后，到这里获得的能量愈来愈大，甚至超过了激发几率的最大值，于是激发减少，发光减弱。在这个区域内，电子能量已超过电离电位，引起了大量的碰撞电离，繁流放电集中在这里发生。产生电离后，电子以较快的速度离开，这里就形成很强的正空间电荷的堆积，从而引起电场畸变。管压降的大部分集中在这里和阴极之间。第22页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础(4)负辉区 进入负辉区的电子可以分为两类: 快电子和慢电子。慢速电子是多数，它们在负辉区产生许多激发碰撞，因而产生明亮的辉光。另外，在阴极暗区，因离子浓度很高，它们会向负辉区扩散，因而负辉区中，电子和正离子的浓

12、度都很大，而电场很弱，几乎是无场空间。可以说，负辉区是一个由快速电子维持的、复合占优势的等离子区。负辉区中电子和正离子浓度比正柱区中约大20倍。第23页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础（5）法拉第暗区 这是一个处于负辉区和正柱区之间的过渡区。由于电子在负辉区中损失了很多能量，进入这个区域以后，便没有足够的能量来产生激发，所以是暗区。辉光放电的各发光区中，发光强度以负辉区最强，正柱区居中，阴极光层和阳极辉光最弱。第24页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础（6）正柱区 在正柱区，任何位置上电子密度和正离子密度相等，放

13、电电流主要是电子流。（7）阳极区 在阳极附近可以看到阳极暗区，在阳极暗区之后是紧贴阳极上的阳极辉光。 辉光放电的各发光区中，发光强度以负辉区最强，正柱区居中，阴极光层和阳极辉光最弱。正柱区的发光效率高，日光灯就是利用正柱区发光。第25页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础PDP的发光效率不高的原因： 虽然正柱区的强度不如负辉区强，但它的发光区域最大， 因此对光通量的贡献也最大。如日光灯就是利用正柱区发光，光效高达80 lm/W。而PDP由于其放电单元的空间通常很小（电极间隙约100m），放电时只出现阴极位降区和负辉区，所以通常利用的是负辉区的发光。提高PD

14、P的亮度和发光效率的措施之一： 改进放电单元结构，采用正柱放电。第26页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础 Ne-Xe混合气体放电的主要电离过程包括电子碰撞电离和潘宁电离。 电子被电场加速到能量大于21.6ev时，可与基态Ne原子发生电离碰撞 e+NeNe+2e 电子被电场加速到能量达16.6ev时与Ne原子碰撞，可使基态Ne原子激发到亚稳态 e+NeNem+e Nem的寿命长达0.110ms，与其它原子碰撞的几率Ne-Xe混合气体放电第27页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础很高，当与Xe原子碰撞时可使其电离，即

15、发生潘宁电离 Nem+XeNe+Xe+e 混合气中Xe原子对着火电压的影响： 与He和Ne原子发生潘宁电离，有利于放电进行； Xe含量增高使平均电子能量下降，引起电子对He Ne Xe原子电离碰撞总截面减小，不利于放电进行。 最终使着火电压增高还是降低，要看这两方面的影响哪个是主要的。这与Xe气含量有关。第28页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二气体放电物理基础Ne-Xe混合气体放电能量转移简图第29页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二彩色PDP发展与特点1995富士通、NEC、先锋、三菱、松下、日立等开发42英寸彩色PDP。199642英寸彩色

16、PDP正式量产，称1996年为PDP元年。1997基于对TFTLCD量产技术的经验和PDP制作工序比LCD少许多的考虑，非常乐观地估计2000年PDP的售价可降到每英寸1万日元。1998事实上PDP合格率一直无法快速提升，日本各厂商将原来的价格目标延后至2003年。1999出现技术合作与整合的策略，如富士通公司与日立制作所合并成立富士通日立等离子体公司，三菱公司也宣布停止量产并与台湾中华映管公司技术合作。第30页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二彩色PDP发展与特点2000量产合格率不佳延续到一直到1999年底，各厂商不论在设备、材料与驱动电路的设计上都有重大改善与突破

17、，在2000年纷纷建立新的量产线。2001新的量产厂开始正式运作，使得PDP产品不论在尺寸的规格与品质及价格上都有相当的竞争力。因此日本将2001年称为“PDP-TV元年”。2002韩日成功举办足球世界杯，并以此为契机宣传PDP电视，2002年下半年，PDP销量猛增。同时PDP也感受到了LCD-TV的压力。2003鉴于日本经济的长期疲弱，日本政府对PDP产业给予相当支持，为了进一步降低PDP电视的成本，统一标准，日本政府一直在促使各大厂家能够联手合作，优势互补。 第31页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二彩色PDP发展与特点2000量产合格率不佳延续到一直到1999年底

18、，各厂商不论在设备、材料与驱动电路的设计上都有重大改善与突破，在2000年纷纷建立新的量产线。2001新的量产厂开始正式运作，使得PDP产品不论在尺寸的规格与品质及价格上都有相当的竞争力。因此日本将2001年称为“PDP-TV元年”。2002韩日成功举办足球世界杯，并以此为契机宣传PDP电视，2002年下半年，PDP销量猛增。同时PDP也感受到了LCD-TV的压力。2003鉴于日本经济的长期疲弱，日本政府对PDP产业给予相当支持，为了进一步降低PDP电视的成本，统一标准，日本政府一直在促使各大厂家能够联手合作，优势互补。 第32页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二彩色P

19、DP发展与特点 2003年7月24日，日本最大的5家PDP生产厂家松下、富士通、日立、先锋、NEC联合成立下一代PDP研发中心（APDC），注册资本5000万日元。日本经济产业省旗下的NEDO(新能源和工业技术发展组织 ) 为APDC提供约7.5亿日元科研补助金 。 ADPC的任务是开发提高发光效率、降低功耗和降低生产成本的新技术。 ADPC采用集中研发和分散研发2种方式，集中研发设在富士通公司明石工厂，富士通研究所Shinoda博士担任研发总负责人。第33页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二彩色PDP发展与特点FHP公司PDP技术与特点2.先锋公司PDP技术与特点3.

20、松下公司PDP技术与特点第34页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二FHP公司PDP技术发展（1）ALiS驱动方法（高亮度和高分辨率，已用于产品）（2）TERES驱动方法（低功耗，已用于产品）（3）DelTA像素结构（高亮度和高发光效率，正在产业化）（4）等离子体管技术（高亮度和高发光效率，超级大屏幕显示）独自开发的技术第35页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二FHP公司PDP技术发展ALiS: Alternate Lighting of SurfacesALiS驱动方法第36页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二FHP公司P

21、DP技术发展（1）上基板电极结构与原来的ALiS相同，下基板障壁为栅格状。（2）采用逐行驱动技术，而原来的ALiS技术则是隔行驱动。e-ALiS驱动时，奇行和偶行交替寻址，然后所有行同时进行维持放电。（3）同时具有高分辨率和高亮度，在50英寸以上PDP中亮度最高。e-ALiS 技术的特点第37页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二FHP公司PDP技术发展DelTA单元结构第38页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二FHP公司PDP技术发展DelTA结构寻址放电第39页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二FHP公司PDP技术发展黑

22、底条技术高对比度驱动方法第40页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二FHP公司PDP技术发展第41页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二先锋公司PDP技术发展（1）CCF滤光膜（改善色纯，提高对比度）（2）PLE峰值亮度增强技术（提高亮度和对比 度，降低功耗） （3）栅格状障壁结构（提高荧光粉发光面积）（4）梳状ITO电极（降低放电电压和电流，提高 发光效率）（5） Waffle障壁结构消除行间串扰适合高分辨率独自开发的技术第42页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二先锋公司PDP技术发展CCF: Capsulated Colo

23、r FilterCCF彩色滤光膜透过需要的光阻断不需要的光减少环境光反射第43页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二峰值亮度增强技术（PLE）PLE: Peak Luminance Enhancement在亮度、对比度和功耗之间获得最佳平衡。平均亮度等级为256级，亮度层次变化更加平滑。在一场中，准备期、寻址期和维持期的时间根据每场图像的平均亮度动态调整。亮度和对比度提高20%，暗场灰度细节得到更好再现。第44页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二先锋公司PDP技术发展栅格单元结构传统单元结构第45页，共100页，2022年，5月20日，16点37分

24、，星期二先锋公司PDP技术发展黑条低电流，低电压显示屏电容减小无功功率减小降低功耗第46页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二先锋公司PDP技术发展Waffle障壁结构传统结构存在行间串扰限制分辨率Waffle结构消除行间串扰适合高分辨率第47页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二松下公司PDP技术发展（1）非对称放电单元结构（改善色温）（2）Plasma AI驱动方法（自适应亮度增强）（3）利用感光障壁形成工艺（精细结构）（4）纯黑驱动方法（Real Black）（5）自适应变换（Real Gamma，1024灰度级）独自开发的技术第48页，共10

25、0页，2022年，5月20日，16点37分，星期二松下公司PDP技术发展非对称单元结构改善色温第49页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二松下公司PDP技术发展AI提高图像质量第50页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二松下公司PDP技术发展感光障壁形成工艺第51页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理第52页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二第53页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理第54页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，

26、星期二 PDP结构设计原理需确定的尺寸：前板： 显示电极间隙g1 ， 显示电极宽度(ITO电极: w1，汇流电极: w2) ， 相邻单元间隙g1 ， 黑条宽度ws ， 前板介质层厚度t1 。后板： 寻址电极宽度w3 ， 后板介质层厚度t2 ， 障壁高度h和宽度wb 。第55页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理着火电压Uf随充气压强p电极间隙g1乘积变化的关系第56页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理放电间隙对Uf、Ue和Us的影响第57页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构

27、设计在一定的w1的条件下，随g1增大，Uf、Ue和Us均近乎线性增加。从图中我们可以看出着火电压Uf直接与间隙g1相关，但随着着火电压降低，熄灭电压降低越来越慢，结果造成工作电压馀度Us降低第58页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计放电间隙对平均放电电流的影响第59页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理放电间隙对平均放电电流无显著影响但放电间隙对放电的亮度有影响。随放电间隙增大，亮度和发光效率都得到提高。为了降低着火电压，又不降低亮度，有许多辅助放电的发明。第60页，共100页，2022年，5月20日，16点37

28、分，星期二 PDP结构设计原理放电间隙增大，放电路径变长，一方面电子在到达阳极前与气体原子的碰撞次数增多，产生更多的激发和电离； 另一方面由于PDP放电单元的空间很小，放电时只出现阴极位降区和负辉区，而VUV主要产生于负辉区。在一定的气压下，阴极位降区的长度d是一定的(pd=常数)，随着电极间隙的增大，负辉区增长，使得VUV辐射的强度增强。放电间隙增大，亮度和光效提高原因：第61页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理显示电极宽度对Uf、Ue 、 Us和的影响 第62页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理显示电极

29、宽度对Uf、Ue 、 Us和的影响 第63页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理随着w1的增加，放电单元的Uf和Ue略有降低，而Us则基本保持不变，而放电电流I增加。随着显示电极宽度增大，亮度提高，而光效基本不变。第64页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理AC-PDP未放电时单元的等效电路图第65页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理上基板放电单元的设计原则:(1)在确定的像素面积内，尽可能提高像素的光输出开口率，以提高PDP的发光效率，同时又要避免引起邻线电极间的放

30、电。(2)在工艺允许范围内，尽可能降低PDP的着火电压，以利于降低驱动功率和成本。第66页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理显示电极间隙g1，g2 和宽度W的确定： 提高开口率的措施：Bus电极宽度b ，透明电极宽度W 。 当电极宽度W为常数时,随着g的增大,PDP的发光亮度和光效都在提高。但是过大的放电间隙将引起着火电压的升高,使驱动困难。为了降低着火电压,宁可选择比较小的放电间隙。第67页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理随着w1的增加，放电单元的Uf和Ue略有降低，而Us则基本保持不变，而放电电流增加

31、。随着显示电极宽度增大，亮度提高，而光效基本不变。为避免邻线放电，显示电极非发光区间隙g1，g2 要考虑。第68页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理介质层厚度的确定 减小介质层厚度都会使着火电压下降，放电电流增大，亮度增加，功耗增加。 从工艺角度，为了保证透明介质有一定的耐击穿能力，不宜做的太薄，一般分两次印、烘、烧的过程。对于薄膜Bus电极(Cr-Cu-Cr)，透明介质厚取2025m，对于厚膜银Bus电极，透明介质厚取2530m。第69页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理障壁宽度：在满足均匀性的前提下，

32、障壁宽度应尽可能窄，以增大单元的开口率，提高器件亮度。障壁高度：谐振辐射的自吸收 e+Xe*(3P1)Xe+2e如果高度h，则着火电压，维持电压，寻址电压，发光亮度。 一般选取障壁的高度为显示电极间隙1.21.5倍。对障壁的要求是高度一致(偏差在5m以内)，形状均匀。第70页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理障壁高度对PDP电压性能的影响 第71页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理障壁高度对亮度的影响第72页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理寻址电极宽度：为了确保

33、正交的A-Y电极对向放电有足够的区域，A电极应有足够的宽度。但是，如电极太宽，会增大寻址时的放电电流，使寻址功率变大，增加电路的难度。介质层厚度：下板介质的主要作用是保护寻址电机，特别是在喷砂和刻蚀工艺制作障壁的过程中要考虑加工的可行性。第73页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二 PDP结构设计原理研究目标：PDP低成本、高效率材料和部件研究内容：介质、障壁、荧光粉和电极材料 用于低成本制造技术的材料 高效率、长寿命荧光粉第74页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二GLASS投入ITO电极BUS 电极BLACKSTRIPE介质(下)介质(上)投入检

34、查初期清洗干燥检查预热贴膜曝光显影刻蚀剥膜检查曝光显影检查印刷干燥烧结印刷干燥烧结检查修复印刷烧结干燥曝光显影检查印刷烧结干燥上板检查PDP制作工艺第75页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二PDP制作工艺下板GLASS投入寻址电极背板介质障壁荧光粉投入检查初期清洗干燥检查印刷干燥烧结检查印刷贴膜曝光显影干燥喷砂剥膜烧结检查印刷(3次)干燥曝光显影检查修复印刷烧结干燥检查干燥烧结第76页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二PDP制作工艺后工序上 板下 板MgO镀膜检查封接涂覆检查修复上下基板对合排气充气Bonding检查修复烧结老炼涂胶第77页，共1

35、00页，2022年，5月20日，16点37分，星期二PDP制作工艺 透明电极ITO薄膜特点： ITO工艺成熟，刻蚀性能良好，但在PDP工艺中经过高温处理时，阻值变化较大。SnO2薄膜特点： 成膜工艺简单，成本低，且热稳定性好，但其刻蚀性能不易掌握。制作材料和方法: 湿法刻蚀 激光直描第78页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二PDP制作工艺BUS电极作用: 减小显示电极电阻 要求: 导电性能好，与透明导电薄膜附着力强 制作材料和方法: Cr-Cu-Cr薄膜 磁控溅射法制备薄膜，刻蚀成形 Ag浆料 丝网印刷图形，烧结制成 光敏Ag浆料 丝网印刷，光刻成形，烧结制成第79页，

36、共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二PDP中的曝光工艺BUS曝光浆料： DC-206 DC-243(黑色)工艺过程：黑Bus印刷干燥白Bus印刷干燥曝光显影烧结备注：干燥的程度对曝光的结果有影响第80页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二PDP中的曝光工艺第81页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二PDP制作工艺寻址电极要求: 导电性能好，与基板玻璃附着力强。制作材料和方法: Ag浆料 丝网印刷图形，烧结制成。 光敏Ag浆料 丝网印刷，光刻成形，烧结制成。第82页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二PDP制作

37、工艺介质层作用:把电极与放电等离子体分隔开，限制了放电电流的无限增长，保护了电极； 使 AC-PDP工作在存储模式, 有利于降低放电的维持电压。制作材料和方法: 介质浆料 : 丝网印刷图形，烧结制成。介质浆料: 涂敷图形，烧结制成。介质绿膜：贴膜，烧结制成。第83页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二PDP制作工艺氧化镁保护膜 作用: 延长显示器的寿命； 增加工作电压的稳定性； 降低器件的着火电压； 减小放电的时间延迟。制作材料和方法: 电子束蒸发： 磁控溅射：第84页，共100页，2022年，5月20日，16点37分，星期二PDP制作工艺障壁 作用: 保证两块基板间的放电间隙，确保一定的放电空间 防止相邻单元间的光电串扰。制作材料和方法： 喷砂法、印刷法、感光材料法和刻蚀法 对障壁的要求是高度一致(偏差在5m以内)，形状均匀。 障壁宽度应尽可能窄，以增大单元