ITO玻璃的刻蚀(专业实验资料1)

1、第 第 1 页 共 5 页涂胶工艺争辩试验目的1、学会匀胶台的使用；试验仪器匀胶台试验步骤涂胶的质量要求是：胶与粘附良好，不能有胶脱落现象；涂层厚度均匀全都，不能有厚有薄，否则会在显影，刻蚀时会消灭图形缺陷；涂层外表状态不能有条纹，针孔，突起等缺陷。涂胶方法有浸涂，甩涂，辊涂等，其中辊涂的涂覆质量好于其它两种，它是通过胶辊将光刻胶均匀的涂在玻璃上。为保223，60%，并在不含紫外光成分的黄灯条件下进展操作。2.前烘前烘的目的是促使胶膜内溶剂充分挥发，使胶膜枯燥以增加胶膜与外表的粘附性和胶膜的耐磨 在暴光时，才能充分进展光化学反响。前烘方式有两种，一种是在恒温枯燥箱中烘干；另一种是用红外炉烘干。

2、影响前烘质量的主要影时会显不出图形或图形留有底膜。光刻机使用及光刻工艺争辩试验原理的图形越来越简单，周密度越来越高，光刻技术就显得特别重要。ITOITO试验目的3、学会光刻机的使用；刻质量的测定。试验仪器试验步骤曝光曝光就是在涂好光刻胶的玻璃外表掩盖掩摸板，通过紫外光进展选择性照耀，使受光照部位的光台定位销使版的对位标记满足要求。显影显影就是将感光局部的光刻胶溶除，留下未感光局部的胶膜从而显示所需要的图形，显影过程是ITOITO暴光的光刻胶会被从边缘向里钻溶，使图形边缘变差，再严峻会使光刻胶大片剥落形成脱胶。坚膜由于显影时间刻胶膜发生软化，膨胀，影响胶膜的抗蚀力量，因此显影后必需用适当温度烘烤

3、玻3.去膜和清洗擦洗玻璃以保证将玻璃上残胶去除净；清洗是用高纯水冲洗玻璃上残留碱液同时冲洗残胶。光刻质量分析光刻工艺是格外周密和细致的工作，影响光刻工艺的因素是多方面的简单的。要想到达预期效时间过长，或光刻胶配置有误陈旧不纯，前烘时间缺乏或过度，暴光缺乏光硬化反响不彻底，显影时尘污染，光刻胶涂敷太薄，暴光时间未把握好，腐蚀液配置不当，产生小岛的缘由有掩摸板不好，显影不彻底，刻蚀液不纯等。本试验应严格依据操作规程进展，遵守试验规章，并在指导教师指导下进展。ITO试验目的ITO 玻璃的刻蚀对于平ITO试验要求：利用三种不同浓度的酸对ITO 玻璃进展刻蚀，观看刻蚀效果，进展比照，得出结论，完成试验报

4、告试验原理比等优点。但相对于干式蚀刻，湿式蚀刻仍有以下的缺点：1) 需花费较高本钱的反响溶液及去离子水；2)3)掩盖物附着性问4)5)1)料之外表；2) 蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反响； 3) 反响后之产物从蚀刻材料之外表液与待蚀刻物外表的接触，并在蚀刻过程中予于搅动以加速气泡的脱离。在该试验中ITO将其置于肯定浓度的盐酸中，经过肯定时间后取出，就可得到所需图形就保存下来。试验步骤：1、6：4铁，增加刻蚀液的氧化力量。配好待用。2ITOITO、 刻蚀。将贴好胶带的ITO室温下间后取出。并记录刻蚀时间下的刻蚀效果，分析缘由。清洗和枯燥工艺试验目的：载波片的外表的清洗过程，把握清洗的方法，清洗的原

5、理以及学会利用一些清洗设备进展清洗。清洗与枯燥的原理：是光刻上艺会产生浮胶，钻刻，图形不清楚等，因此玻璃必需经过十燥处理。关系：油污类有机清洗，紫外光清洗有机物弱碱液清洗，等离子体无机物弱酸，气流，喷淋残留微粒子超声，喷淋，气流有机溶剂去污原理:(去除油脂类物质)油脂不溶于水，但它可溶于甲苯，丙酮，乙醇等有机溶剂，其中甲苯的去污力量最强，所以先用甲苯洗，但甲苯不能残留在玻璃的外表。因甲苯可溶于丙酮，可再用丙酮进展清洗，把剩余的油脂清洗掉，同时甲苯也溶解，同样丙酮也不能够残留在玻璃外表，因丙酮溶于乙醇，所以连续用乙醇进展清洗，乙醇可以与水相溶解，最终用大溶原理)如把油和水混在一起震荡，不能得到稳

6、定的乳浊液，静置后便分层。假设把油，水和洗洁精混在一起震荡，则油便以细小液滴分散在水中而成为稳定的乳浊液，长期静置也难以分层，洗洁精就是通过这种乳化作用，将油脂保包围在水中而形成乳浊液来到达去污作用，然后在用大量的自来水，去离子水冲洗，就可到达干净玻璃外表的目的。2空化核在声场的作用下震惊，当声压到达肯定值时，气泡将快速增长。然后突然闭合。在闭合时产生冲击波，在其四周产生上千个大气压的压力。破坏不溶性污物，而是他们分散在清洗液中。蒸气型空化对污层的直接反复冲击，一方面破坏污物与清洗体外表的吸附，另一方面也会引起污物层的疲乏破坏而与工件外表脱离，气体型气泡的震惊对固体外表进展擦洗，气体一旦有缝可

7、钻，气泡还能快速钻入裂缝中作震惊，使污层脱落。由于超声空化作用，两种液体在界面快速分散而乳化。当固体粒子被油污包着而粘附在清洗体外表时，油被乳化，固体粒子即行脱落枯燥的方法有如下几种：时空气的净化度与水的纯度要求较高)甩干法:通过离心枯燥器来到达枯燥玻璃外表的目的(TN 型)的空气以适当的倾斜角成刀片状吹向玻璃外表，迅即吹干玻璃。本次试验承受红外烘干箱进展烘干。试验内容试验任务试验要求试验步骤超声清洗机的使用及超声清洗原理清洗用品的洗涤原理把握清洗的工艺方法及烘干方法能对玻璃进展清洗，对清洗质量进展评价，分析缘由。的质量，分析缘由，形成报告载波片主要用于镀ITO洗过程如下：35中间换水用洗洁精稀溶液约 3%超声清洗 3 次，每次 5 分钟；555%HCL5555553烘干。将洗净的载波片致于红外烘干炉中，烘干 30 分钟左右，取出(7)8步.将清洗过的载波片保存好，以用于下一步试验。有机电致发光器件制备试验目的：1、生疏真空镀膜的原理，过程；2OLED 器件制备系统；试验要求：性能参数设计。试验原理：真空镀膜技术是一种颖的材料合成与加工的技术，是外表工程技术领域的重要组成局部。损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导 磁、绝缘和装饰等很多优于固体材料本身的优越技术被誉为最具进展前途的重要技术之一 ，并已在高技术产业化的进展中呈现出迷人的市场前景。试验设备：OLED器件制备系统