rena技术说明中文版(8道刻蚀)

1、RENA 技术说明中文版InOxSide综述：用于 156156+/-0.5mm,和 125125+/-0.5mm 的正方硅晶片在正常速度每分钟 0.8m 下,运输速率在每分钟 0.5 到 1.5m 之间156 mm 的晶片有 5 条传输线,正常速度为每分钟 0.8m, 传输中,在两个底面有个15mm 的缺口,在以上条件下,可以实现大约每小时1400 个电池片的生产量.在操作工角度,其工作方向是从左到右各种介质供给和排气连接都位于顶部-HF,HNO3,KOH,H2SO4:双管以重力排水全部管道都在根本主体中与 CE 标准相符根本主体材料为白色 PP根本主体的长度大约为 6720mm,总长度(包

2、括输入和输出站 ) 大约为7968 mm,深度大约为 2440 mm,高度大约为 2150 mm,包括在机器顶部的排气管在内的总高度大约为 3065 mm.不锈钢断面加固由两局部组成设备底部为安全面板-倾斜至设备底部-带泄露传感器调整尺材料为不锈钢前端可移动配电盘,材料为白色 PP后端可移动配电盘,材料为透亮 PVC排气管,驱动和传动装置在加工区的后面进气口在带预滤波器的设备上部最终所需的 HF 传感器用于设备把握中的综合集成,按顾客需要确定规格和供给阀门,和线路系统等都集中在设备的后端透亮窗位于前端-带安全连锁装置-在设备加工区域有两个 DI 水枪,维护区域也有两个 DI 水枪,(前方位置)

3、-操作员配电器有彩色图表显示1.2 排气全部连接都在设备顶部排气:有 6 处与人工节流阀连接,一个排气检测器(可调整警报水平,无模拟显示)从酸罐中排风:与设备有 4 个连接从碱罐中排风: 与设备有 1 个连接排气碱池:与人工节流阀有 2 个连接排气 HF 池:与人工节流阀有 6 个连接箱排气边缘绝缘区域 3 个连接,一个排气检测器, (可调整警报水平,无模拟显示)箱排气刻蚀区域:2 个连接与电子间联系关于排气检测信号(1=好,0=不好)传输系统底面在传输带上传输- 滚子材料局部为塑料,由一纤维碳芯加固-水的传输是通过 EPDM 或滚子四周的氟橡胶圈两卷之间的距离为 48 mm底部固定卷在刻蚀盘

4、和枯燥区域中阻挡晶片的上浮和冲走传动装置由标准的齿轮构成3 个驱动器-输入站-边缘绝缘池, 冲洗以及碱洗-冲洗,HF 池, 冲洗,枯燥器和输出站作用电动机驱动器,把握周转率的准确率传输速率在 0.5-1.5m/min,正常速度为 1m/min滚子在每个组件的后端都有推力轴承滚子交换简便,快捷不同传输装置的位置与设置螺丝是可以调整的运输高度:1000+/-15mm输入装置输入装置长度大约为 624mm构架材料:铝盘由白色 PP 构成传带由灰色 PVC 构成用于人工或自动的晶片输入(无盖)一排光传感器-用于晶片计数,以及二次补充把握边缘绝缘池传输运输传带材料为 PVDF,O 型圈材料为氟橡胶,无侧

5、面托座无下部托架卷带凹盆焊盆材料:PVDF-内部池容量大约为 220L-深度大约为 80 mm总的运输长度大约为 2208 mm,溢堰之间的加工长度大约为 1812 mm泄露被收集并重归入循环系统带 PT100 成分的温度把握-其一在池,把握,视觉化,以及起警报作用-其一在溢出线,仅起警报作用的设备取消了该传感器-其一在供给线,亦仅起警报作用水平传感器-空气泡:满池-旁道电容性传感器:溢出在池底,通过安排管道供给-安排管道的设计要确保液体外表的静态有备用入口,用于带冲气阀循环罐的首次填充2 个可调整的溢出边缘传带的设置仅可弄湿晶片的底部对在进口边的硅裂片进展筛分,从罐的顶部可以移动透亮 PVC

6、 盖,排气连接,和流淌帘避开凝固带人工阀的样品点循环罐焊罐材料:PVDF容量大约为 400L电容传感器在 PFA 旁道,空,半空,满,溢带 PT100 成分的温度把握,仅用于警报管道循环泵-型号:浸入泵,施密特 T170-PVDF 液体末端-最大流量:135L/min-驱动器带变频器人工球阀在压力面充气阀用于排水到排酸闸板钢传感器用于循环流在循环罐处 DI 水入口带充气阀和闸板钢流量表热交换器材料:PVDF-加工制冷功率:2KW从池后部到循环罐有 2 条溢出线HF 的供给-来源于中心供给系统-到达缓冲罐-带充气阀-焊罐材料:PVDF-罐容量:大约 25L-杠杆传感器:空,满,溢-维护连接,用于

7、漂洗-带充气阀的循环罐的配量-准确率 2% HF 的供给-来源于中心供液系统- 在循环罐的进口- 带气动阀和搅拌叶轮番量计- 准确度 5%HNO3 供给-来源于中心供给系统-到达缓冲罐-带充气阀-焊罐材料:PVDF-罐容量:大约 25L-杠杆传感器:空,满,溢-维护连接,用于漂洗-带充气阀的循环罐的配量-准确率 2% HNO3 的供给-来源于中心供给系统-在循环罐的进口-带气动阀和闸板钢流量表-准确率 5% H2SO2 的供给-来源于中心供给系统-在循环罐的进口-带充气阀从凹盆排水,带充气阀,到酸排从循环罐排水,带两个充气球阀,到酸排其次制冷环路制冷器,生产商 Huber-型号:UC150Tw

8、-4-H足印高度:900 mm760 mm1590 mm传导测量2 个气动阀,用于排气到排漂洗水水洗 1盆焊盆材料:自然 PP-容量大约为 75L运输长度大约为 432 mm对硅裂片进展筛分电容性传感器在旁道2 个喷射管(上下各一个)用于循环水进口-首先上下(池入口)有额外功能可避开高介质被拖出去一个空气管道(仅在晶片的上部)分别分布在进出口以避开高介质被拖出去透亮 PVC 盖管道从喷射漂洗的串联 DI 进口循环泵-离心泵,型号:施密特,MPN150-PP 液体末端-磁联接-最大流量:65L/min过滤系统浮子流量计，带“min”传感器4 个手动膜板阀，用于循环流程调整溢出进入排漂洗水一个气动

9、阀排水 进入排漂洗水留意：在上升区域，一些水即使在排水系统后，照旧存在与此系统中碱洗盆焊盆材料：自然 PP-容量大约为 64LKOH 的浓缩为 20-40%传输长度大约为 528 mm对硅裂片进展筛分电容性传感器在旁道“泵护，满，溢”2 个喷射管(上下各一个)，用于 KOH 循环流的进口-第一个在顶部池入口有额外功能可避开高介质被拖出去一个空气管道(仅在晶片的上部)在池的出口以避开高介质被拖出去透亮 PVC 盖，连接排气系统热交换器-制冷环路PT100-用于温度指示无把握系统样品点，带人工阀管道循环泵-离心泵,型号:施密特,MPN150-PP 液体末端-磁联接-最大流量:65L/min过滤系统

10、浮动流量表，带“min”传感器4 个手动膜片阀，用于循环流程调整DI 入口位于带充气阀的加工灌KOH 供给-来源于中心供给系统-到达缓冲罐-带充气阀-焊罐材料为 PP-罐容量大约为 8L-杠杆传感器：空，满，溢-带气动阀循环罐的配量-准确率 2%制冷-充气阀用于流量设置-从现存制冷水线上供给，溢出进入排漂碱水带 3 个气动阀行的排水，进入排漂洗水漂洗喷射盆焊盆材料：自然 PP-容量大约为 95L传输长度大约为 624 mm对硅裂片进展筛分电容性传感器在旁道“池满”2 个喷射管(上下各一个)，用于循环水流的进口-第一个在顶部池入口有额外功能可避开高介质被拖出去一个空气管道(仅在晶片的上部)在池的

11、出口以避开高介质被拖出去透亮 PVC 盖，管道在池中从喷射漂洗的串联 DI 进口循环泵-离心泵,型号:施密特,MPN150-PP 液体末端-磁联接-最大流量:65L/min过滤系统浮子流量计，带“min”传感器4 个手动膜板阀，用于循环流程调整溢出进入排漂洗水利用 1 个充气阀进展排水，进入排漂洗水一些水即使在排水系统后，照旧存在与此系统中酸洗盆焊盆材料：PP-容量大约为 380L-深度大约为 200 mmHF 1-10%一个刻蚀单位：即一分钟的正常速度为 1m总的运输长度大约为 1680 mm,溢堰之间的加工长度大约为 1194 mm泄露流被收集并重归入循环系统液面传感器:-气泡:池满-电容

12、性传感器在旁道:溢,低,满-电容性传感器在旁道:开头填充化学物8 个喷射管(上下各一个)，用于循环水流的进口备用进口用于首次填充一个空气管道(仅在顶部)在池的出口以避开高介质被拖出去两个可调整溢出边缘卷的设置可以使大约 6 mm 深的基底浸入至盆对在进口边的硅裂片进展筛分收集在出口边上硅裂片的通道透亮 PVC 盖,连接排气系统,流量帘避开分散样品点,带人工阀管道循环泵-离心泵,型号:施密特,MPN150-PVDF 液体末端-磁联接-最大流量:每分钟 65L过滤系统浮动流量表，带“min”传感器2 个手动阀，用于循环流程把握HF 供给-来源于中心供给系统-到达缓冲罐-带充气阀-焊罐材料为 PVD

13、F-罐容量大约为 25L-杠杆传感器：空，满，溢-维护连接用于漂洗-带充气阀的循环罐的配量-准确率 2%带 1 个充气阀溢流口，进入排漂洗水带 3 个充气阀行的排水，进入排漂洗水喷射漂洗盆焊盆材料：自然 PP-容量大约为 60L传输长度大约为 624 mm对硅裂片进展筛分电容性传感器在旁道“池满”2 个喷射管(上下各一个)，用于循环水流的进口-第一个在顶部池入口有额外功能可避开高介质被拖出去颖 DI 水供给是通过晶片上下边的一排喷嘴一个空气管道(仅在晶片的上部)在池的出口以避开高介质被拖出去透亮 PVC 盖，无气管管道DI 水供给-充气阀-2 个人工阀,用于流量调整-2 个浮动流量表,带 “m

14、in”传感器循环泵-离心泵,型号:施密特,MPN150-PP 液体末端-磁联接-最大流量:65L/min过滤系统浮动流量表，带“min”传感器4 个手动阀，用于循环流程调整溢出进入排漂洗水一个充气阀排水进入排漂洗水留意：在上升区域，一些水即使在排水系统后，照旧存在与此系统中空气枯燥器盆焊盆材料:自然 PP长度:624 mm四把风刀分别迎面作用于片子的上下两面 材料为：EP四台鼓风机管子上有一个流量传感器一个温度传感器排水到排漂洗水输出单位与输入单位全都电力把握电力间材料:钢尺寸以毫米计算:约为足印高度)电力把握单位PLC 西门子 SPS S7FESTO 充气阀单位,把握充气PC 放置在电控柜,操作系统Windows XP平屏幕上视觉化信号灯带听觉信号设备设计,用于功率为 380V/60HZ 的供给电缆槽在供给的设备和电控柜之间软件视觉化软件根底:WinCC几个功能模式(自动,人工和效劳模式)几个进入级别(密码)过程状态和测量价值的视觉化测量价值的图解技术资料DI 水消耗:大约每小时 3000L,最高为每小时 3600L干气消耗的清洗用于空气刀和空气管,平均 120Nm3/h,最高为 160Nm3/h,大约6bar空气消耗充气把握:大约 1 Nm3/h, 大约6bar排气要求