半导体设备行业中微半导体信息跟踪：年初在手订单充裕刻蚀设备国内市占率15%~20%

1、 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日目录1、在手订单及构成42、各关键线宽的刻蚀工艺应用53、电感和电容性等离子体刻蚀设备产销情况64、公司前五大客户的销售情况75、全球刻蚀设备行业格局及中微市场地位86、国内刻蚀设备行业格局及中微市场地位97、同类设备的竞争力对比108、刻蚀设备、MOCVD 设备制造的发展战略及发展方向119、MOCVD 设备的分类，以及中微市场地位1210、PRISMO A7 与 PRISMO D-BLUE 的比较1311、中微 MOCVD 研发项目1412、中微核心产品的交货、验证周期，以及收款模式1513、主营业务收入呈现季节性特征1614、VOC

2、 设备应用领域17 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日图表目录 HYPERLINK l _TOC_250015 图表 1. 中微历年在手订单4 HYPERLINK l _TOC_250014 图表 2. 刻蚀设备的工艺应用及产业化5 HYPERLINK l _TOC_250013 图表 3. CCP、ICP 刻蚀设备累计产销量（2016-2018）6 HYPERLINK l _TOC_250012 图表 4. 中微前五大客户7图表 5. 全球刻蚀设备行业竞争格局（2017）8 HYPERLINK l _TOC_250011 图表 6. 中微在国内某存储芯片制造产线的市占率9

3、 HYPERLINK l _TOC_250010 图表 7. 中微在国内某逻辑芯片制造产线的市占率9 HYPERLINK l _TOC_250009 图表 8. 中微电容性等离子体刻蚀设备竞争力10 HYPERLINK l _TOC_250008 图表 9. 中微电感性等离子体刻蚀设备竞争力10 HYPERLINK l _TOC_250007 图表 10. 中微深硅刻蚀设备（TSV 系列）竞争力10 HYPERLINK l _TOC_250006 图表 11. 中微 MOCVD 设备竞争力10 HYPERLINK l _TOC_250005 图表 12. 2018 年 MOCVD 市场总需求及

4、结构12 HYPERLINK l _TOC_250004 图表 13. GaN 基 LED MOCVD 的行业竞争格局（2017-2018）12 HYPERLINK l _TOC_250003 图表 14. 中微 MOCVD 研发项目进度14 HYPERLINK l _TOC_250002 图表 15. 中微核心产品的交付周期15图表 16. 中微按季度的收入分布（2016-2018）16 HYPERLINK l _TOC_250001 图表 17. 中微各产品第四季度收入占比（2016-2018）16 HYPERLINK l _TOC_250000 图表 18. 报告中提及上市公司估值表18

5、 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中1、在手订单及构成中微半导体：2016-2018 年末在手订单依次是 3.3 亿元，6.8 亿元，15.9 亿元，2017-2018 年分别增长 106%， 134%。图表 1. 中微历年在手订单单位：万元2016 年末占比(%)2017 年末占比(%)2018 年末占比(%)刻蚀设备4,058126,364923,01114MOCVD 设备28,8038861,89791135,90386在手订单合计32,86110068,261100158,914100资料来源：公司公告，中银国际证券 HYPERLINK / 2019 年 5 月

6、12 日中2、各关键线宽的刻蚀工艺应用公司产品在 65 纳米到 7 纳米的加工上均有刻蚀应用已实现产业化，正在进行 7 纳米、5 纳米部分刻蚀应用的客户端验证。图表 2. 刻蚀设备的工艺应用及产业化关键尺寸刻蚀应用产业化及研发进度65-22nm钝化层、通孔、顶层通孔、顶层沟槽产业化22-14nm钝化层、顶层通孔、顶层沟槽产业化14-7nm钝化层、通孔、顶层通孔、有机掩膜层产业化接触孔、沟槽、顶层沟槽客户端验证7nm、5nm有机掩膜层、通孔、沟槽客户端验证资料来源：公司公告，中银国际证券 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中3、电感和电容性等离子体刻蚀设备产销情况图表 3.

7、CCP、ICP 刻蚀设备累计产销量（2016-2018）电容性刻蚀设备电感性刻蚀设备合计主要产品型号Primo D-RIE Primo AD-RIEPrimo nanova Primo TSVPrimo AD-RIE-ePrimo SSC-AD-RIEPrimo SSC-HD-RIE产量20614 腔220销量15010 腔160资料来源：公司公告，中银国际证券目前，中微电感性等离子体刻蚀设备包括 Primo nanova、Primo TSV 两个产品。我们估计电感性等离子体刻蚀设备实现 10 个腔的销量，主要是指 Primo TSV 产品，用于 MEMS 的 TSV 封装。 HYPERLIN

8、K / 2019 年 5 月 12 日中4、公司前五大客户的销售情况图表 4. 中微前五大客户年度序号名称产品类别销售额（亿元）收入占比(%)20181乾照光电MOCVD3.1919.42三安光电MOCVD2.4214.73长江存储刻蚀设备1.8011.04海外客户 1刻蚀设备1.368.35华力微电子刻蚀设备1.167.1总计9.9360.620171华灿光电MOCVD3.4035.02璨扬光电MOCVD1.1211.53中芯国际刻蚀设备1.0811.24海外客户 1刻蚀设备0.9810.15三安光电MOCVD0.737.5总计7.2474.520161中芯国际刻蚀设备2.38392海外客户

9、 1刻蚀设备1.0316.93海外客户 2刻蚀设备0.9515.54海外客户 3刻蚀设备0.447.25海外客户 4刻蚀设备0.426.9总计5.2385.7资料来源：公司公告，中银国际证券 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中5、全球刻蚀设备行业格局及中微市场地位全球刻蚀设备市场呈现垄断格局，泛林半导体、东京电子、应用材料占据主要市场份额。图表 5. 全球刻蚀设备行业竞争格局（2017）资料来源：公司公告，中银国际证券基于 Gartner 对全球电容性刻蚀设备市场规模的统计数据，公司的电容性刻蚀设备的全球市场份额占比约在 1.4%左右。 HYPERLINK / 2019

10、年 5 月 12 日中6、国内刻蚀设备行业格局及中微市场地位在国内市场，中微的主要竞争对手依然是美国的泛林半导体、应用材料和日本东京电子三家国际巨头，但中微在国内刻蚀设备市场中有突出市场竞争力，市场份额约为 15%-20%。图表 6. 中微在国内某存储芯片制造产线的市占率资料来源：公司公告，中银国际证券图表 7. 中微在国内某逻辑芯片制造产线的市占率资料来源：公司公告，中银国际证券2016-2018 年，公司刻蚀设备在逻辑电路厂商的销售金额累计约为 6.57 亿元，占刻蚀设备总销售额13.25亿元的 50%。 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中7、同类设备的竞争力对比图表

11、 8. 中微电容性等离子体刻蚀设备竞争力关键性能参数公司 Primo AD-RIE单位时间生产效率达到国际同类设备水平腔体维护时间达到国际同类设备水平颗粒污染率达到国际同类设备水平关键尺寸稳定性达到国际同类设备水平资料来源：中微招股书、中银国际证券图表 9. 中微电感性等离子体刻蚀设备竞争力关键性能参数公司 Primo nanova关键尺寸均匀性达到国际同类设备水平关键尺寸稳定性达到国际同类设备水平结构边缘的粗糙度达到国际同类设备水平结构形貌变形达到国际同类设备水平结构的边角侵蚀达到国际同类设备水平杂质微粒达到国际同类设备水平机台占地面积达到国际同类设备水平资料来源：中微招股书、中银国际证券图

12、表 10. 中微深硅刻蚀设备（TSV 系列）竞争力关键性能参数公司 Primo TSV设备平台最大装载能力优于国际同类设备200 毫米/200 毫米晶圆通用机台支持 200 毫米和 300 毫米切换，国际同类设备一般不可产出率双反应台的 TSV 优于单反应台的产出率机台占地面积优于国际同类设备兼容硅和氧化硅刻蚀达到国际同类设备水平兼容硅和玻璃衬底达到国际同类设备水平资料来源：中微招股书、中银国际证券图表 11. 中微 MOCVD 设备竞争力关键性能参数公司 Prismo A7产能（片/炉次）达到国际同类设备水平MO 源区输入优于国际同类设备控温方式达到国际同类设备水平波长均匀性达到国际同类设备

13、水平厚度均匀性达到国际同类设备水平资料来源：中微招股书、中银国际证券 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中8、刻蚀设备、MOCVD 设备制造的发展战略及发展方向公司刻蚀设备的主要发展方向包括：用于 7 纳米以下逻辑电路刻蚀的 CCP 和 ICP 刻蚀设备、用于 128层及以上的 3D NAND 存储器刻蚀的 CCP 刻蚀设备、用于高端 MEMS 生产的 TSV 刻蚀设备等。公司 MOCVD 设备的主要发展方向包括：高温 MOCVD 设备、大尺寸 MOCVD 设备、基于 Mini LED 和Micro LED 应用的氮化镓 MOCVD 设备、基于氮化镓功率半导体应用的 MOC

14、VD 设备等。 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中9、MOCVD 设备的分类，以及中微市场地位目前 MOCVD 设备主要用于氮化镓基及砷化镓基半导体材料外延生长，其中氮化镓基 LED MOCVD 主要用于生产氮化镓基 LED 的外延片。根据 LEDinside 数据显示，2018 年全年氮化镓基 MOCVD 的新增数量为 215 台，砷化镓基 MOCVD 的新增数量为 65 台，氮化镓基 MOCVD 设备约占全部 MOCVD 市场份额的 77%。图表 12. 2018 年 MOCVD 市场总需求及结构资料来源：公司公告，中银国际证券根据 HIS Markit 的统计，20

15、18 年中微公司的 MOCVD 占据全球氮化镓基 LED 用 MOCVD 新增市场的 41%；尤其在 2018 年下半年，中微公司的 MOCVD 占据全球新增氮化镓基 LED MOCVD 设备市场的 60%以上。2018 年公司在全球氮化镓基 LED MOCVD 设备市场占据领先地位。图表 13. GaN 基 LED MOCVD 的行业竞争格局（2017-2018）资料来源：HIS Markit，公司公告，中银国际证券 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中10、PRISMO A7 与 PRISMO D-BLUE 的比较Prismo A7 设备可配臵四个 28 英寸的反应腔，

16、同时加工 136 片 4 英寸晶片或 56 片 6 英寸晶片，工艺能力还能延展到生长 8 英寸外延晶片。每个反应腔都可独立控制，双区喷淋头可实现更好的厚度和组分均匀性。该设备每个反应腔的产量是 Prismo D-Blue 的 2 倍以上，已在全球氮化镓基 LED MOCVD 市场中占据领先地位。11、中微 MOCVD 研发项目图表 14. 中微 MOCVD 研发项目进度序号名称拟达到主要目标阶段及进展情况应用与行业技术水平比较高温 MOCVD 设备 开发适用于UVC LED 生长的高温MOCVD 设备，可承载18 片2寸外延片开发阶段UVC LED、紫外杀菌、工业水净化等国际先进水平国产化加热

17、系统在MOCVD设备上的推广应用电源可根据加热器电压等级及功率要求任意组合，可实现主从控制，与加热器的负载特性相匹配开发阶段蓝绿光 LED、通用照明等国际先进水平英寸，30 英寸大尺寸（更大 开发更大尺寸MOCVD 设尺寸）MOCVD 设备 备：托盘尺寸达30可承载41 片4 英寸外延片或18 片6 寸外延片研究阶段蓝绿光LED、通用照明、Mini LED 等国际先进水平新型高产能MOCVD设备技术改进改进现有MOCVD 设备性能，提高设备稳定性研究阶段蓝绿光 LED外延片生产国际先进水平 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中资料来源：公司公告，中银国际证券 HYPERLI

18、NK / 2019 年 5 月 12 日中12、中微核心产品的交货、验证周期，以及收款模式中微公司向集成电路制造企业客户销售的刻蚀设备从安装调试及试运行到验收通过的平均期间大约为 2 个月，向 LED 制造企业销售的 MOCVD 设备从安装调试及试运行到验收通过的平均期间大约为5.6 个月。图表 15. 中微核心产品的交付周期产品平均交付时间平均验收通过确认收入时间刻蚀设备约3.7个月约2个月MOCVD设备约5个月约5.6个月资料来源：公司公告，中银国际证券对于刻蚀设备，一般不收取预收款，典型的付款结算模式主要分为两个节点：设备交付后 30-45 日，收取 85-90%到货款；签署验收报告后

19、30-60 日，收取剩余尾款。其中对于MOCVD 设备，一般按节点付款，典型的付款结算模式主要分为三个节点：合同签订后 5-15 日，收取 20-30%预收款；设备交付后 30-45 日，收取 60-70%到货款；签署验收报告后 30-60 日，收取剩余尾款。 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中13、主营业务收入呈现季节性特征201820172016金额（亿元）占比(%)金额（亿元）占比(%)金额（亿元）占比(%)Q10.603.70.646.60.396.4Q24.0524.70.484.91.6026.2Q35.1031.13.2032.91.4023.0Q46.63

20、40.55.4055.62.7144.4合计16.391009.721006.10100大部分设备集中于下半年验收，导致三、四季度收入占比较高。图表 16. 中微按季度的收入分布（2016-2018）资料来源：公司公告，中银国际证券图表 17. 中微各产品第四季度收入占比（2016-2018）项目子项目2018年第四季度2017年第四季度2016年第四季度收入（亿元）当年收入占比(%)收入（亿元当年收入占比(%)收入（亿元）当年收入占比(%)刻蚀设备3.5262.21.9166.22.2347.3MOCVD2.1225.53.0357.00.1061.5其他设备0.07100备品备件0.9341.40.3827.80.3732.2设备维护0.0641.20.0222.50.0119.7合计6.6340.55.4055.62.7144.4资料来源：公司公告，中银国际证券 HYPERLINK / 2019 年 5 月 12 日中14、VOC 设备应用领域VOC 设备主要应用于平板显示生产线等工业