光刻机零部件项目统计过程质量控制分析

1、光刻机零部件项目统计过程质量控制分析目录 TOC o 1-3 h z u HYPERLINK l _Toc112169926 一、 控制图应用的程序 PAGEREF _Toc112169926 h 2 HYPERLINK l _Toc112169927 二、 控制图的观察与分析 PAGEREF _Toc112169927 h 4 HYPERLINK l _Toc112169928 三、 过程能力 PAGEREF _Toc112169928 h 6 HYPERLINK l _Toc112169929 四、 过程能力的计算和评价 PAGEREF _Toc112169929 h 7 HYPERLIN

2、K l _Toc112169930 五、 项目基本情况 PAGEREF _Toc112169930 h 9 HYPERLINK l _Toc112169931 六、 产业环境分析 PAGEREF _Toc112169931 h 15 HYPERLINK l _Toc112169932 七、 市场规模：全球可达数百亿美元，中国大陆超百亿美元 PAGEREF _Toc112169932 h 16 HYPERLINK l _Toc112169933 八、 必要性分析 PAGEREF _Toc112169933 h 17 HYPERLINK l _Toc112169934 九、 项目投资计划 PAGE

3、REF _Toc112169934 h 17 HYPERLINK l _Toc112169935 建设投资估算表 PAGEREF _Toc112169935 h 19 HYPERLINK l _Toc112169936 建设期利息估算表 PAGEREF _Toc112169936 h 20 HYPERLINK l _Toc112169937 流动资金估算表 PAGEREF _Toc112169937 h 21 HYPERLINK l _Toc112169938 总投资及构成一览表 PAGEREF _Toc112169938 h 23 HYPERLINK l _Toc112169939 项目投资

4、计划与资金筹措一览表 PAGEREF _Toc112169939 h 24 HYPERLINK l _Toc112169940 十、 项目进度计划 PAGEREF _Toc112169940 h 25 HYPERLINK l _Toc112169941 项目实施进度计划一览表 PAGEREF _Toc112169941 h 25控制图应用的程序应用控制图的主要目的是发现过程或工序异常点，追查原因并加以消除，使过程或工序保持受控状态；对过程或工序的质量特性数据进行时间序列分析，以掌握过程或工序状态。因此，在进入控制图应用程序之前，根据统计过程质量控制的目的确定控制图的类型，然后，进入控制图应用的

5、一般程序。1、控制图应用的一般程序（1）选取控制的质量特性与预备数据。控制的质量特性就是选出符合统计过程质量控制，运用目的、可控、易于评价的质量特性或项目，如对产品的使用效果有重大影响的质量特性，对下道工序的加工质量关系重大的质量特性，生产过程中波动大的质量特性，等等。随机收集能反映出质量特性的一组数据，即预备数据。预备数据是用来绘制控制图的数据。（2）计算统计量。不同种类的控制图所需要的统计量各不相同，应根据所选取的控制图种类的统计变量的规定对预备数据进行统计计算。（3）计算控制界限。不同图种的控制图，其控制界限的计算公式各不相同。但都需要计算CL，UCL，LCL，计算公式根据统计量的分布特

6、征值及相互关系推导而得。（4）绘制分析用控制图。根据计算的控制界限数值，在控制图纵坐标轴上刻度，并画出CL，UCL、LCL.三条界限。控制图横坐标轴的刻度为样本号。按数据表中各组数据的统计量值在控制图中打点并用直线线段连接为折线，即为分析用控制图。分析用控制图是在对过程的稳定性或受控状态没有明确结论时绘制的控制图，主要目的是判断过程是否处于稳定状态或受控状态。（5）过程稳定与否和异常与否的判断。作为分析用控制图的完结，依据判断规则的各项准则，对分析用控制图中点子分布状况进行判断。若分析用控制图中点子的分布没有任何违背判断准则的情况，即可判断出取样过程处于稳定受控状态，无异常原因发生。（6）计算

7、过程能力是否达到基本要求，过程是处于稳定或受控状态下，计算过程能力是否达到基本要求，也可以用分析用控制图中的数据作直方图判断。（7）确定控制标准。确定控制标准是对控制用控制图的要求。利用分析用控制图的判断，如若过程稳定无异常发生，且过程能力指数满足技术要求，可将分析用控制图的控制界限延长，作为标准，此时分析用控制图转化为控制用控制图，以对日常过程或工序控制进行监管。如若过程不稳定，有异常发生，或过程能力指数不能满足技术要求，要对分析用控制图进行修正。修正时，如若组数能满足要求，可剔除不合理数据，重新得到控制界限。如若组数不能满足要求，要重新搜集数据。进行日常工序质量控制。在日常生产活动中，随机

8、间隔取样，进行测量和计算，在图上描点、观察分析、判断工序状态。如果无异常现象，则维持现状进行生产，如果出现质量降低的信息，应采取措施消除异常；如果出现质量提高的信息，应总结经验，进行标准化或制度化。2、计量值控制图：均值一极差控制图的绘制均值极差控制图是均值控制图和极差控制图联合使用的一种控制图，前者用于判断生产过程是否处于或保持在所要求的受控状态，后者用于判断生产过程的标准差是否处于或保持在所要求的受控状态。控制图的观察与分析在生产过程中，通过分析控制图来判定生产过程是否处于稳定状态。1、控制图的判断稳态准则在生产过程中只存在偶然因素而不存在异常因素对过程的影响状态，这种状态称为统计控制过程

9、状态或稳定状态，简称稳态。稳态是生产过程追求的目标。在统计量为正态分布的情况下，只要有一个点子在界限外就可以判断有异常。但由于两类错误的存在，只根据一个点子在界限内外远不能判断生产过程处于稳态。如果连续在控制界内的点子更多，即使有个别点子出界，过程仍看作是稳态的，这就是判稳准则。在做控制图判别时，首先应该判断过程是否稳定。生产过程或工序是否处于受控状态，其基本判断条件有以下两条。（1）在控制界限内的点子排列无缺陷，为随机排列。点子排列无缺陷意味着应满足以下三个条件：样本点分布均匀，位于中心线两侧的样本点各占50%；靠近中心线的样本点约占2/3；靠近控制界限的样本点极少。（2）所有点子基本上都落

10、在控制界限内。由概率论理论可知，小概率事件可以认为不会发生。如果在控制图中点子未出界限，同时界线内点子的排列也是随机的，则认为生产过程处于稳定状态或控制状态。如果控制图点子出界或界限内点排列非随机，则认为生产过程不稳定或失控。对于生产过程或工序而言，控制图的判断稳态准则起着告警铃的作用，控制图点，子出界就好比告警铃响，告诉现在是应该进行查找原因、采取措施、防止再犯的时刻了。2、控制图的判异规则控制图上的点子依样本时间序列而出现在控制图上，通常是很随机地散布在管制界内。有时点子虽未超出管制界限，但一连串好几点都在管制图的中心线以上或点子呈现周期性变化时，也可判为异常。判异准则有两类：点出界就判异

11、，这一点是针对界外点的；界内点排列不随机判异，这一点则是针对界内点的。常规控制图的判异准则参照ISO8258和GB/T40912001有8种准则。将控制图等分为6个区。过程能力1、过程能力过程能力（PC）是指过程（或工序）处于稳定状态下的实际加工能力，它是衡量工序质量的一种标志，又叫工序能力，在机械加工业中又叫加工精度。SPC的基准就是统计控制状态或称稳态。过程能力反映了稳态下该过程本身所表现的最佳性能（分布宽度最小）。因此，在稳态下，过程的性能是可预测的，过程能力也是可评价的。离开稳态这个基准，对过程就无法预测，也就无法评价。过程能力决定于由偶然因素造成的标准差。通常用6倍标准差（六西格玛）

12、表示过程能力，它的数值越小越好。2、过程能力指数过程能力指数，简称Cp或Cpk，以往称为工序能力指数，现在则统一称为过程能力指数。Cp是用于反映过程处于正常状态时，即人员、机器、原材料、工艺方法、测量和环境（5MIE）充分标准化并处于稳定状态时，所表现出的保证产品质量的能力。过程能力是表示生产过程客观存在着分散的一个参数。但是这个参数能否满足产品的技术规格要求，仅从它本身还难以看出。因此，还需要另一个参数来反映工序能力满足产品技术要求（公差、规格等质量标准）的程度。这个参数就叫做过程能力指数，也称为工序能力指数或工艺能力指数。它是技术规格要求和工序能力的比值。过程能力的计算和评价（一）过程能力

13、的计算当生产过程处于稳定状态时，一定的工序能力指数与一定的不合格品率相对应。根据所采用数据类型的不同和技术要求的不同，工序能力指数和不合格概率的计算又可以分为四种情况。（二）过程能力评价过程能力指数客观且定量地反映了过程能力满足质量标准的程度。它与生产过程中的加工能力和管理水平有关。过程能力指数越大，产品的加工质量就越高。因此，在实际生产中，根据过程能力指数的大小对过程的加工能力进行分析和评价，以便于采取必要的措施，既要保证过程质量，又要使成本适宜。1、无偏状态下过程能力评价一般情况下，无偏状态是指过程中心与质量标准公差中心重合。（1）特等一过程能力过于充裕。在过程或工序允许的情况下，可考虑放

14、宽管理或降低成本，可放宽检查，如人和设备的配备可相对降低一些，这样可以带来降低成本、提高效率的效果；提高产品的原设计精度，改进产品性能；加大抽样间隔，减少抽验件数，降低检验的各种消耗。（2）1等过程能力充裕。按过程进行管理，正常运转；非重要过程或工序可允许小的外来波动；对不重要的过程或工序可放宽检查，工序控制抽样间隔可放宽。（3）2等过程能力尚可。必须加强对生产过程的监控，防止外来波动；调查4MIE因素，作必要改进；严格执行各种规范、标准、制度；坚持合理的抽样方案和检验规程。（4）3等一过程能力不足。必须采取措施提高过程或工序能力，通过因果图、排列图找出需要改进的因素；分析质量标准是否脱离实际

15、，应实事求是地修正质量指标过严的情况；加强质量检验工作。（5）4等一过程能力严重不足。立即追查原因，采取紧急措施，提高工序能力，对4MIE必须进行根本性的改革，要从根本上消除影响质量的关键因素。2、有偏状态下过程能力评价一般情况下，有偏状态是指过程分布中心与质量标准公差中心不重合，出现了偏移。从统计的角度看有偏状态，中心偏移使得过程分布中心值不在目标值上，偏移量的出现使得过程能力指数Cp降低，过程输出的不合格品率增加。项目基本情况（一）项目承办单位名称xxx有限责任公司（二）项目联系人刘xx（三）项目建设单位概况公司满怀信心，发扬“正直、诚信、务实、创新”的企业精神和“追求卓越，回报社会” 的

16、企业宗旨，以优良的产品服务、可靠的质量、一流的服务为客户提供更多更好的优质产品及服务。未来，在保持健康、稳定、快速、持续发展的同时，公司以“和谐发展”为目标，践行社会责任，秉承“责任、公平、开放、求实”的企业责任，服务全国。公司在“政府引导、市场主导、社会参与”的总体原则基础上，坚持优化结构，提质增效。不断促进企业改变粗放型发展模式和管理方式，补齐生态环境保护不足和区域发展不协调的短板，走绿色、协调和可持续发展道路，不断优化供给结构，提高发展质量和效益。牢固树立并切实贯彻创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念，以提质增效为中心，以提升创新能力为主线，降成本、补短板，推进供给侧结构性改革。公司按

17、照“布局合理、产业协同、资源节约、生态环保”的原则，加强规划引导，推动智慧集群建设，带动形成一批产业集聚度高、创新能力强、信息化基础好、引导带动作用大的重点产业集群。加强产业集群对外合作交流，发挥产业集群在对外产能合作中的载体作用。通过建立企业跨区域交流合作机制，承担社会责任，营造和谐发展环境。（四）项目实施的可行性1、符合我国相关产业政策和发展规划近年来，我国为推进产业结构转型升级，先后出台了多项发展规划或产业政策支持行业发展。政策的出台鼓励行业开展新材料、新工艺、新产品的研发，促进行业加快结构调整和转型升级，有利于本行业健康快速发展。2、项目产品市场前景广阔广阔的终端消费市场及逐步升级的消

18、费需求都将促进行业持续增长。3、公司具备成熟的生产技术及管理经验公司经过多年的技术改造和工艺研发，公司已经建立了丰富完整的产品生产线，配备了行业先进的染整设备，形成了门类齐全、品种丰富的工艺，可为客户提供一体化染整综合服务。公司通过自主培养和外部引进等方式，建立了一支团结进取的核心管理团队，形成了稳定高效的核心管理架构。公司管理团队对行业的品牌建设、营销网络管理、人才管理等均有深入的理解，能够及时根据客户需求和市场变化对公司战略和业务进行调整，为公司稳健、快速发展提供了有力保障。4、建设条件良好本项目主要基于公司现有研发条件与基础，根据公司发展战略的要求，通过对研发测试环境的提升改造，形成集科

19、研、开发、检测试验、新产品测试于一体的研发中心，项目各项建设条件已落实，工程技术方案切实可行，本项目的实施有利于全面提高公司的技术研发能力，具备实施的可行性。“纵向”布局是指厂商通过由现有技术开发或收购等方式，在半导体设备零部件业务之外也开展其他领域的业务或由其他业务切入半导体相关业务，成为覆盖多个行业的平台型企业。如深耕真空部件的VAT集团作为全球半导体设备真空阀件头部厂商，同时还开展医药、光伏、显示等领域的真空阀件业务。（五）项目建设选址及建设规模项目选址位于xx，占地面积约31.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设

20、。项目建筑面积30528.97，其中：主体工程21084.19，仓储工程3317.30，行政办公及生活服务设施2452.06，公共工程3675.42。（六）项目总投资及资金构成1、项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资12279.05万元，其中：建设投资9327.66万元，占项目总投资的75.96%；建设期利息253.09万元，占项目总投资的2.06%；流动资金2698.30万元，占项目总投资的21.97%。2、建设投资构成本期项目建设投资9327.66万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用8046.99万元，工程

21、建设其他费用1060.29万元，预备费220.38万元。（七）资金筹措方案本期项目总投资12279.05万元，其中申请银行长期贷款5165.06万元，其余部分由企业自筹。（八）项目预期经济效益规划目标1、营业收入（SP）：27700.00万元。2、综合总成本费用（TC）：21700.58万元。3、净利润（NP）：4388.59万元。4、全部投资回收期（Pt）：5.41年。5、财务内部收益率：27.36%。6、财务净现值：5736.74万元。（九）项目建设进度规划本期项目按照国家基本建设程序的有关法规和实施指南要求进行建设，本期项目建设期限规划24个月。（十）项目综合评价主要经济指标一览表序号项

22、目单位指标备注1占地面积20667.00约31.00亩1.1总建筑面积30528.97容积率1.481.2基底面积11780.19建筑系数57.00%1.3投资强度万元/亩295.432总投资万元12279.052.1建设投资万元9327.662.1.1工程费用万元8046.992.1.2工程建设其他费用万元1060.292.1.3预备费万元220.382.2建设期利息万元253.092.3流动资金万元2698.303资金筹措万元12279.053.1自筹资金万元7113.993.2银行贷款万元5165.064营业收入万元27700.00正常运营年份5总成本费用万元21700.586利润总额万

23、元5851.457净利润万元4388.598所得税万元1462.869增值税万元1233.0810税金及附加万元147.9711纳税总额万元2843.9112工业增加值万元9389.7513盈亏平衡点万元10793.40产值14回收期年5.41含建设期24个月15财务内部收益率27.36%所得税后16财务净现值万元5736.74所得税后产业环境分析当前时期，仍处于可以大有作为的重要战略机遇期，面临诸多发展机遇：和平发展合作共赢仍是时代主流，世界经济增长态势总体趋好；国家深入实施新一轮西部大开发战略，扶持中西部地区培育新的增长点，支持贫困地区与全国同步全面建成小康社会，为打赢脱贫攻坚战、加快城乡

24、协调发展，提供了历史性机遇；城乡基础设施支撑能力进一步提升，产业和消费结构加快升级，市场活力动力更加强劲，保持经济社会持续健康发展的空间广阔、潜力巨大。同时，必须清醒地看到，全市经济社会发展仍存在不少困难和问题，新常态下面临的挑战更加复杂严峻。主要表现在：传统增长动力逐步减弱，新兴增长动力难以接续，稳增长压力大；先进制造业和现代服务业发展滞后，科技创新能力薄弱，转型升级困难多；资源环境约束趋紧，土地等资源供需矛盾加大，保持良好生态环境形势严峻；开放型经济发展水平低，区位优势和作用未能充分发挥，辐射带动能力弱；贫困人口多、贫困面广，基本公共服务保障能力不足，城乡居民收入差距仍然较大，城乡协调发展

25、任务艰巨，等等。新常态下实现全面建成小康社会目标的难度加大，必须积极主动适应新常态，准确把握经济社会发展阶段性的新要求，抢抓新机遇、激发新动力、创造新条件、夯实新基础，实现经济社会可持续发展。市场规模：全球可达数百亿美元，中国大陆超百亿美元全球半导体设备零部件市场2022年预期规模为554亿美元，2030年预期规模为680亿美元。Semi数据显示，2020年中国大陆半导体设备销售额为187.2亿美元，占全球总销售额26.3%，由于各国及地区半导体产业资本支出变动有不确定性，因此以26.3%作为预测期内中国大陆占全球半导体设备销售额比例，可以测算出中国大陆半导体设备零部件市场2022年预期规模为

26、145亿美元，2030年预期市场规模约为180亿美元。根据芯谋研究，以2020年中国晶圆厂商采购的8-12吋晶圆设备零部件产品结构为依据，在各类零部件中应用较多的有石英制品（11%）、射频发生器（10%）、泵（10%）、阀门（9%）、静电吸盘（9%）、喷淋头（8%）等。进一步测算得到中国大陆各细分零部件市场规模以2022年为例，前三位的石英制品为16.03亿美元、射频发生器和泵均为14.57亿美元。根据Semi，假设CMP设备在半导体设备市场规模中占比为2017年-2019年占比的均值3.2%，且CMP设备专用零部件占CMP设备零部件总价值量的40%，可以得到全球CMP设备专用零部件市场202

27、2年预期规模为7.09亿美元，2030年预期规模为8.71亿美元。必要性分析1、提升公司核心竞争力项目的投资，引入资金的到位将改善公司的资产负债结构，补充流动资金将提高公司应对短期流动性压力的能力，降低公司财务费用水平，提升公司盈利能力，促进公司的进一步发展。同时资金补充流动资金将为公司未来成为国际领先的产业服务商发展战略提供坚实支持，提高公司核心竞争力。项目投资计划（一）投资估算的依据本期项目其投资估算范围包括：建设投资、建设期利息和流动资金，估算的主要依据包括：1、建设项目经济评价方法与参数（第三版）2、投资项目可行性研究指南3、建设项目投资估算编审规程4、建设项目可行性研究报告编制深度规

28、定5、建设工程工程量清单计价规范6、企业工程设计概算编制办法7、建设工程监理与相关服务收费管理规定（二）项目费用与效益范围界定本期项目费用界定为工程费用和项目运营期所发生的各项费用；项目效益界定为运营期所产生的各项收益，并严格遵循财务评价过程中费用与效益计算范围相一致性的原则。本期项目建设投资9327.66万元，包括：工程费用、工程建设其他费用和预备费三个部分。（三）工程费用工程费用包括建筑工程费、设备购置费、安装工程费等；工程建设其他费用包括：建设管理费、勘察设计费、生产准备费、其他前期工作费用，合计8046.99万元。1、建筑工程费估算根据估算，本期项目建筑工程费为3803.51万元。2、

29、设备购置费估算设备购置费的估算是根据国内外制造厂家（商）报价和类似工程设备价格，同时参照机电产品报价手册和建设项目概算编制办法及各项概算指标规定的相应要求进行，并考虑必要的运杂费进行估算。本期项目设备购置费为3995.64万元。3、安装工程费估算本期项目安装工程费为247.84万元。（四）工程建设其他费用本期项目工程建设其他费用为1060.29万元。（五）预备费本期项目预备费为220.38万元。建设投资估算表单位：万元序号项目建筑工程设备购置安装工程其他费用合计1工程费用3803.513995.64247.848046.991.1建筑工程费3803.513803.511.2设备购置费3995.

30、643995.641.3安装工程费247.84247.842其他费用1060.291060.292.1土地出让金422.47422.473预备费220.38220.383.1基本预备费136.69136.693.2涨价预备费83.6983.694投资合计9327.66（六）建设期利息按照建设规划，本期项目建设期为24个月，其中申请银行贷款5165.06万元，贷款利率按4.9%进行测算,建设期利息253.09万元。建设期利息估算表单位：万元序号项目合计第1年第2年1借款1.1建设期利息253.0963.27189.821.1.1期初借款余额2582.531.1.2当期借款5165.062582.

31、532582.531.1.3当期应计利息253.0963.27189.821.1.4期末借款余额2582.535165.061.2其他融资费用1.3小计253.0963.27189.822债券2.1建设期利息2.1.1期初债务余额2.1.2当期债务金额2.1.3当期应计利息2.1.4期末债务余额2.2其他融资费用2.3小计3合计253.0963.27189.82（七）流动资金流动资金是指项目建成投产后，为进行正常运营，用于购买辅助材料、燃料、支付工资或者其他经营费用等所需的周转资金。流动资金测算一般采用分项详细测算法或扩大指标法，根据企业流动资金周转情况及本项目产品生产特点和项目运营特点，该项

32、目流动资金测算参照同行业流动资产和流动负债的合理周转天数，采用分项详细测算法进行测算。根据测算，本期项目流动资金为2698.30万元。流动资金估算表单位：万元序号项目第1年第2年第3年第4年第5年1流动资产0.0012882.2515642.7318403.211.1应收账款0.005797.017039.228281.441.2存货0.004508.785474.956441.121.2.1原辅材料0.001352.641642.491932.341.2.2燃料动力0.0067.6382.1396.621.2.3在产品0.002074.042518.482962.921.2.4产成品0.00

33、1014.471231.861449.251.3现金0.001030.581251.421472.261.4预付账款0.001545.871877.132208.392流动负债0.0010993.4413349.1715704.912.1应付账款0.003957.644805.705653.772.2预收账款0.007035.808543.4710051.143流动资金0.001888.812293.562698.304流动资金增加0.001888.81404.75404.745铺底流动资金0.003864.674692.825520.96（八）项目总投资本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资12279.05万元，其中：建设投资9327.66万元，占项目总投资的75.96%；建设期利息253.09万元，占项目总投资的2.06%；流动资金2698.30万元，占项目总投资的21.97%。总投资及构成一览表单位：万元序号项目指标占总投资比例1总投资12279.05100.00%1.1建设投资9327.6675.96%1.1.1工程费用8046.9965.53%1.1.1.1建筑工程费