直拉单晶操作规程

1、直拉单晶操作规程操 作 规 程 一、拆炉1:准备 确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。左旋至副室筒下。2:炉子清扫 21戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢车。22 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅

2、底料应写清炉号及炉次。注意：1：石墨件不能用手接触。 2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。 3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。23 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网， 3炉大清炉，每炉管道。注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。保证密封圈的完好。24 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。25主炉清扫 戴好一次性手套用吸

3、尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘，炉底。注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。用沾有酒精的纸巾把主炉室及密封圈擦拭干净。26石墨件的清扫 吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。27石墨件的装炉(1) 埚杆装好后要拧紧螺丝，埚杆要平稳无跳动。(2) 三瓣埚装入后要平稳28检查真空泵油位是否在2/3处29检查真空泵油是否干净 二、装 炉1:准备戴好口罩，帽子，打开石英埚包装，取出石英埚，对光。2:装料用较小的料3-5铺平埚底，大块料置于中间，用适当的料固定，小块料填缝，将母合金全放入中间用料盖住，最后吸净周围料渣。注意：(1)小块料，小片

4、料不能掉入加热器上，以防打火。 (2)放料时要轻，不能碰坏石英埚。 (3)装料时，周围空气环境要好，尽量不要造成污染。3:合炉31料装好后，埚转开启2-3转/分，确认无短路的可能，快速降至埚下限位，应注意低于平口位置100为宜，以防下限位失灵而造成损失，关闭埚转32放导流筒后不要与硅材料接触33用酒精纸巾擦干净重锤，确认籽晶型号及晶向后，将籽晶装在夹头上，稍向下拉防止籽晶在等径时下坠，将籽晶升入炉筒内合炉，并关闭液压泵。4:抽空抽空前检查冷却水压力不低于1.5，确认泵无异常，所有操作过程无遗漏的程序。按主室泵按钮2-3次运转1-2分钟，确认无异常，慢慢打开排气球阀，先打开1/3程度至压力表降到

5、一半时，打开全部，开始抽出。其次测量表数字下慢时，打开AR流量计，使AR气以30L/分的速度流入炉内，5分钟关闭，反复操作，使炉内真空抽至4帕以下为止。关闭球阀，检查泄漏，以5分钟不大于1帕为合格，准备加热。注意：真空不到4帕以下不加热，一般抽出需2040，抽出时为取下的晶体刻号，填写锅底料号日期，清扫炉台卫生。 溶 料1：打开AR流量开关，使炉内压力为800帕左右2：打开加热开关，按以下时段升温时间：0min 30min 60min 30KW 60KW 90KW3:化料过程中注意观察炉内情况，观察电流电压是否正常，若有搭桥现象，要保持更大的功率，使其熔化，有异常要采取措施。4： 料塌后要稍加

6、锅位，锅转打到1转,注意液面与导流筒保持一定的距离，化硅完了，降低功率，到引晶功率，埚升到引晶埚位，温度稳定，将欧陆表切入“自动”。5： 给定埚转 5r/min 晶转8r/min 6r/min 10r/min 8r/min 12r/min降下籽晶测试一下温度，校准单晶生长控制器的各参数。 引晶 放肩 转肩1:引晶 调整欧陆表温度至引晶温度,先把晶转打开, 晶转8r/min; 10r/min; 12r/min降籽晶与熔硅接触，发现有光圈出来把锅转调至给定埚转 5r/min ; 6r/min; 8r/min 发现有四条棱出现方可引晶。(或者:3min后根据光圈情况调整温度，合适时方可引晶，不合适时

7、，10min后引晶。)12 打开晶开电源，晶升计长清零，开始引晶初始晶升拉速1-1.5/min，温度合适后，拉速1.5-6/min,引晶30后一般拉速26/min,细颈直径34为宜，细颈长度120150以上，视细颈直径而定。目的使位错全部消失。注：找温度要有耐心，不要反复调节温度缩晶断，要重新接触好光圈，方可缩晶。2：放肩缩细颈结束后，将拉速调整到0.4/min进行放肩。降欧陆SP以降低温度放平肩随时用测经仪测量直径大小。3：转肩距目标直径5左右时，将晶升调至1.52.8之间转肩。转肩时拉速不应过快，根据转肩情况，慢慢降拉速到设定的拉速(1.15)，降低温度，把埚身;埚跟比;埚升电源打开;sl

8、/cl曲线打入自动,同时计长清零，埚位清零。调整伊尔根光圈，压入光圈1/3之内(规定的目标直径)，调整温度与拉速。准备投入自动控制 等径 收尾1:等径转肩完成后，对拉晶状态进行10min后观察，确认正常后切入自动，认真仔细做好各项拉晶记录。隔30min记录一次，等径部分用计算机控制器输入参数进行控制，这些数据根据能够的种类，直径及装料量不同，有差异，拉晶变更时，进行修正。2: 等径断棱 根据残留料的量确定控制方法以6寸投料55为例，等径大于260以上收尾，炉内冷却5小时后取出，等径小于260，需做熔处理从第一次上拉开始到最后一次转肩结束时间超过48H，需要做吊料处理时，请示相关领导。注意：熔时晶体不易降入太多，防止晶体与石英坩埚相碰撞,防止夹头松动造成拉晶影响;液面与晶体熔断后，再降晶时,若杂质或不熔时要进行拉出一点料处理。3: 收尾 当晶体达到预定程序或埚内料太少时退出自控进行收尾。 根据收尾情况，慢慢地降下，随动调整收尾晶升，收尾 长度应为晶体直径大小，收尾过程中多观察杜