研华半导体设备SECS联网解决方案

1、研华半导体光伏设备SECS联网协议标准化解决方案Page 2WebAccess SECS Gateway可提供各式extra sensor &既有PLC等的数据收集，大大降低开发时间与成本应用范围半导体晶圆厂半导体封装测试厂面板厂机台设备供货商半导体设备，厂务资料收集的新概念整合繁杂的数据源： 各种侦测器,表头, PLC, PAC半导体标准通信接口：HSMS/SECS实时数据提供先进制程立即分析，快速反应以设定方式整合，大量减少系统开发时间及成本PAC整合半导体设备厂SECS 先进制程协议SECSSECS- 半导体光伏 制程再优化的关键智慧研华SECS资料采集与机台监控解决方案什么是SECS？

2、为何半导体/ PCB 制程需要导入？ SECS 是PCB &半导体制程设备的标准通讯协定 ，主要是将设备的信息传至主计算机(FDC/EAP)在 FAB厂内使用该通讯协议 , 可进行启动或停止制程设备, 收集设备的制程数据 , 改变制程参数以及进行选择生产产品的制程配方等透过SECS (SEMI Equipment Communications Standard)GEM (Generic Equipment Model) 的标准通讯协议与数据库整合半导体设备通讯标准SECS解决方案半导体制程SECS联网与机台状态监测FDC / EAPSERVERDatabasesLAN ( SECS 通讯协议)

3、 集中式IO数据采集器通讯转换平台 分布式IO数据采集器ADAM-5510/TCP-SECSADAM-5510E/TCP-SECSUNO-2483G-SECSAPAX-5620-SECSSensor Sensor Serial PLC Modbus-RTUMeter Sensor APAX-5580-SECS半导体光伏设备SECS联网 完整解决方案SECS分布式I/O资料收集器PAC : APAX-5620SECS集中式I/O资料收集器PAC : ADAM-5510SECS通讯转换平台UNO-2483APAX-5580SECS各种HSMS/SECS整合解决方案ADAM-5510-SECS可程序

4、规划之数据收集器具备以太网络接口10/100Base-T 支援 4/8 固定 I/O 模块槽位 ADAM-5017P-SECS 8通道 AI 模块 0-10V , 4-20mAADAM-5018P-SECS 8通道 热电偶 与4-20mAADAM-5051S-SECS 16通道 DI 24Vdc 输入模块SECS InterfaceSocket LibrarySECS ClientADAM-5510 SeriesLibrary 123集中式ADAM-5510SECS数据采集方案APAX I/OFDC / EAPLANLANLANLANAPAX-5000-SECSI/O ModulesI/O M

5、odulesI/O ModulesAPAX-5000-SECSUp to 32 I/O moduleUp to 32 I/O module系统架构特点：最大I/O数达32片具高弹性的IO分散配置星型、树状、Bus type 混合式组合分布式APAX-5620-SECS 数据采集方案支持200多种工业通讯协议GE CorporationMitsubishi Electric CorpOmron CorporationSiemens AG / Yamatake /Yaskawa FDC / EAPCOMEthernetCOMEthernetSECSSECS Interface通讯转换平台UNO-2

6、000通讯转换平台APAX-5580SECSSECS通讯协议转换平台方案SECS 图示化之各种人机操作界面PLC SECS Gatewaydemo box ADAM-SECS + APAX-SECSDemo box 12半导体设备SECS联网与机台监控-DEMO BOX半导体设备SECS联网与机台监控系统优势特点 基于半导体标准通信协议接口SECS，实现整合繁杂的数据源, 提供先进制程立即分析，快速反应以设定方式整合，大量减少系统开发时间及成本优势 - 精简单设定、即插即用，快速整合半导体制造与厂务设备，有效缩短开发时间、化繁为简。随时掌握厂房信息与设备状态，提升制程监控效率、节省维护成本。 效益 - 使用者仅需透过简单的设定便能完成软硬件安装，不再需要软件编程就能取得现场生产信息，有效缩短半导体厂设备联机建置时间，更能提升制程监控效率、节省维护成本。软件非常容易安装与设定，让MIS/制程工程师容易进行数据收集 产业应用: 半导体晶圆厂半导体封装测试厂面板厂机台设备供货商13产品料号（名称）描述数量ADAM-5510SECS集中式SECS数据采集器