第3章质量控制和运行监控系统ppt课件

1、主讲教师: 陈银银chenAgAg16315824807783第三章 焊接自动化系统的组成.主要内容：工业机器人质量控制和运转监控系统辅助设备控制与通讯系统.1. 概述 1) 根本概念 检测技术是机械制造系统不可短少的部分。 检测系统与加工系统各组成元素之间的关系。机械加工系统的组成质量控制和运转监控系统. 2) 检测内容及方法 在自动化制造系统的加工过程中，为了保证加工质量和系统的正常运转，需求对系统运转形状和加工过程进展检测与监控。 (1) 运转形状检测与监控 自动化制造系统中，需求检测与监控的运转形状通常包括： A. 刀具信息。 B. 机床形状信息。 C. 系统运转形状信息。 D. 在线

2、尺寸丈量信息。 E. 系统平安情况信息。 F. 仿真信息。仿真信息包括以下内容：零件的数控程序能否准确；有无碰撞干涉情况；仿真综合结果情况等。.检测与监控系统的组成 . (2) 工件尺寸精度检测 A. 直接丈量与间接丈量； B. 接触丈量和非接触丈量； 接触式传感器丈量：检测尺寸、外形、相互位置 非接触式传感器(光学、非光学)丈量：无接触变形，速度快.PROCAUTPROCAUTPROCAUTINSPMAN抽样离线检测PROCAUTINSPMAN在线/过程中检测反响信号三类检测 C. 在线丈量和离线丈量。 离线检测：过程稳定，超差风险小 在线/过程中检测：实时，瓶颈工序 在线/过程后检测：滞后

3、时间短，运用较多在线/过程后检测PROCAUTINSPMANSORTAUT分类指令废品废品. (3) 刀具磨损和破损的检测方法 A. 刀具、工件尺寸及相对间隔测定法； B. 放射线法； C. 电阻法； D. 光学图像法； E. 切削力法； F. 切削温度法； G. 切削功率法； H. 振动法； I. 噪声分析法； K. 加工外表粗糙度法 (4) 人工检测与自动化检测. 3) 检测安装简介 (1) 尺寸丈量安装 定尺寸丈量安装，三坐标丈量机，激光测径仪，气动测微仪，电动测微仪，电容、电感式丈量机 (2) 粗糙度丈量安装 外表轮廓仪 (3) 刀具形状监测安装 噪声频谱分析仪，红外发射传感器，探针，

4、切削力分析仪，切削功率计，声发射传感器.2. 工件尺寸的自动丈量、主要设备及其任务原理 实时在线检测是提高加工质量，满足工件尺寸、外形精度要求的重要保证。 在线丈量普通指丈量加工制造系统的系统误差，随机误差因无法控制，普通不丈量。 在线检测方法： 工件外形及尺寸等宏观级和信息：触针式、摩擦轮方式、气动测微仪方式、电测微方式、光学方式和超声波方式。 圆度等微观几何信息：气动测微仪、电动测微仪、电涡流方式。. 1) 三坐标丈量机 三坐标丈量机是集成了精细机械、电子技术、计算机技术、光学等先进技术而开展起来的一种高效的几何量精细丈量机。 用途：多种几何量丈量，设计一体化，实物程序编制 类型： 按功能

5、程度可分为： 数显及打字型：手动或机动丈量，结果需人工处置。 微机型：手动或机动丈量，结果由微机处置。 计算机数控型：可按程序经过计算机数控系统进展自动丈量。这是目前主要的常用机型。.丈量原理 将被测物体置于三坐标丈量空间，可获得被测物体上各测点的坐标位置，根据这些点的空间坐标值，经计算求出被测物体的几何尺寸，外形和位置。 根本原理就是经过探测传感器(探头)与丈量空间轴线运动的配合，对被测几何元素进展离散的空间点位置的获取，然后经过一定的数学计算，完成对所测得点(点群)的分析拟合，最终复原出被测的几何元素，并在此根底上计算其与实际值(名义值)之间的偏向，从而完成对被测零件的检验任务。.a) b

6、) c) d)三坐标丈量机的构造方式构造方式：悬臂式构造：测头易于接近工件，刚性差桥式构造：刚性好，运用广泛立柱式构造：构造与立车类似龙门式构造：构造与门式起重机类似，用于大件丈量.悬臂式三坐标丈量机 . 操作控制： 手动控制：人工完成计算机辅助手动控制：计算机完成数据处置和相关计 算计算机辅助电动控制：电机驱动测头，计算机完成数 据处置和相关计算直接计算机控制：同CNC 编程方法 示教再现编程：似机器人编程数控编程：离线. 可完成丈量工程 三坐标丈量机可完成的丈量工程可完成的测量项目测量原理尺寸孔径与孔中心线坐标圆柱体轴心线与直径球心坐标与球面半径平面度两平面夹角两平面的平行度两条线的交点与

7、交角由两个给定面坐标的差值确定尺寸测量孔上3点，计算确定孔径与孔中心线坐标测量圆柱面上3点，计算确定轴心线与直径测量球面上4点，计算确定球心坐标与球面半径用3点接触法测定，与理想平面比较确定平面度按平面上3个触点最小值规定平面，再计算夹角根据两平面交角确定平行度先确定两线夹角，再测定交点.丈量系统 三坐标丈量机上丈量系统的主要部件是丈量头和测长系统。 丈量头 三坐标丈量机的丈量精度和效率与丈量头亲密相关。目前常用的丈量头有以下几种。 机械接触式测头(硬测头)，根本上已淘汰 电气式测头，根据其原理和功能可分为动态式和静态式两种。是目前运用最广的一种 光学非接触式测头，可用于对空间曲面、软体外表、

8、光学刻线等的丈量，尤其是不能用机械测头和电气测头丈量的工件，只能用光学非接触式测头。.常用丈量方法 点位丈量 常用于丈量对象是由简单几何面构成的普通机械零件。点位丈量时对丈量头的控制方式有3种。 人工控制、全自动控制、半自动控制 延续扫描丈量 常用来丈量曲面。丈量曲面时，丈量机能对以下5种扫描轮廓线类型进展控制和数据处置。 扫描轮廓线位于一个经过丈量头轴线的平面内。 扫描轮廓线构成的平面与丈量头垂直。 扫描轮廓线沿一个柱面。 扫描轮廓线所在平面既不经过也不垂直于丈量头轴线。 扫描轮廓线既不位于平面也不沿一个柱面。. 实物照片 . 2) 三维测头 三维测头分为导电式测头和触发式测头两种。 导电式

9、测头的任务原理：在测头的内部有一个未闭合的有电源电路，该电路断点的两端分别与测头上相互绝缘的测针、测头柄相衔接，因此，测头的测针和柄部实践上就是测头内部电路常开开关的两端；当测头经过柄部衔接在机床的主轴上时，由于机床和其任务台上的工件(金属材质)都是导电体，所以只需测头上测针的触头与工件外表接触，测头内部的电路就会构成闭合回路，电路立刻开场任务并在测头主体上产生声光信号，指明其任务形状。. 触发式测头的任务原理：在测头内部有一个闭合的有源电路，该电路与一个特殊的触发机构相衔接，只需触发机构产生触发动作，就会引起电路形状变化并发出声光信号，指示测头的任务形状；触发机构产生触发动作的独一条件是测头

10、的测针产生微小的摆动或向测头内部挪动，当测头衔接在机床主轴上并随主轴挪动时，只需测针上的触头在恣意方向与工件(任何固体资料)外表接触，使测针产生微小的摆动或挪动，都会立刻导致测头产生声光信号，指明其任务形状。.三维测头实物.在数控机床上采用测头进展丈量的任务原理在数控机床上采用测头进展丈量时，先将测头安装在机床的主轴上，然后操作者手动控制机床挪动，使测头测针上的触头与工件外表接触，由于机床的数控系统实时地记录并显示主轴的位置坐标值，因此，可以结合测针的触头与工件的详细位置关系，利用机床主轴的坐标值换算出工件被丈量点的相关坐标值。获得工件的各个被丈量点的相关坐标值以后，再根据各坐标点的几何位置关

11、系进展相关计算，便可以获得最终的丈量结果。.丈量的任务方式测头在数控机床上共有两种任务方式，即：手动方式和编程方式。对于没有信号输出功能的测头，只能采用手动方式。对于具有信号输出功能的测头，两种方式均可采用。采用手开任务方式时，机床运动、丈量点的坐标值的记录和丈量结果的计算均由操作者手动控制，适宜单件、小批量或丈量工程变化不定的情况。优点是运用平安，操作者不需求特别培训；缺陷是不适宜丈量点很多，计算较复杂和大批量消费的情况。采用编程任务方式时，整个丈量过程中机床的运动、被测点坐标值的记录和丈量结果的计算都由操作者事先编写的程序确定，它特别适宜大批量或复杂的丈量情况。其优点是对于上述任务情况丈量

12、效率高；缺陷是要求操作者经过专门的培训。. 3) 激光测径仪激光由于其优良的特性强度高，亮度大，单色性、相关性、方向性好等在精细丈量中得到广泛运用。 可以丈量长度，小角度，直线度，平面度，垂直度等； 也可以丈量位移，速度，振动，微观外表形貌等； 还可以实现动态丈量，在线丈量，并易于实现丈量自动化。 激光丈量精度目前可达0.01m。.受射透镜平行光管透镜边缘传感闸门电路计数器显示图震荡器伺服系统扫描镜工件测定区光检测器激光发生器 采用平行光管透镜将激光准确地调整到多角形旋转扫描镜上聚焦。经过激光扫描被测工件两端，根据扫描镜旋转角、扫描镜旋转速度，透镜焦距等数据计算出被测工件的尺寸。激光测径仪原理

13、.4) 激光干涉测长仪固定反射棱镜双频激光丈量系统原理图干涉丈量仪f2 +f2f1氦氖激光器轴向强磁场NS1/4波片分光镜透镜组f1 f2f1 f2挪动反射棱镜f2f2 +f2偏振分光镜f1f1ff +f2. 氦氖激光器发出的激光，在轴向强磁场作用下，产生频率 f1和f2旋向相反的圆偏振光，经1/4波片构成频率f1的垂直线偏振光和频率f2的程度线偏振光。经透镜组成平行光束。 双频激光干涉仪以其特有的同时具有大丈量范围、高分辨率、高丈量精度和高速度等优点，在精细和超精细丈量领域获得了广泛的运用。它采用外差干涉丈量原理，抑制了普通单频干涉仪丈量信号直流漂移的问题，具有信号噪声小、抗环境干扰才干强、

14、允许光源多通道复用等诸多优点，使得干涉测长技术能真正用于实践消费。例如，精细坐标机床的标定、高精度传感器的标定、半导体工业中的高精度模板的制造和定位、以及构成多坐标精细定位多轴运动系统等。丈量精度可到达1nm。.双频激光丈量系统.5) 超声波测厚仪超声波测厚仪是根据超声波脉冲反射原理来进展厚度丈量的，当探头发射的超声波脉冲经过被测物体到达资料分界面时，脉冲被反射回探头，经过准确丈量超声波在资料中传播的时间来确定被测资料的厚度。凡能使超声波以一恒定速度在其内部传播的各种资料均可采用此原理丈量。按此原理设计的测厚仪可对各种板材和各种加工零件作准确丈量，也可以对消费设备中各种管道和压力容器进展监测，

15、监测它们在运用过程中受腐蚀后的减薄程度。可广泛运用于石油、化工、冶金、造船、航空、航天等各个领域。. TOUCHSTONE 3 是目前世界上独一可以同时丈量涂层厚度和基材厚度的测厚仪 .6) 气动测微仪 气动测微仪的丈量原理：在经调压的气压与丈量喷咀之间，插入对气流起阻尼作用的节流片，经过节流片出现压力变化，从压力变化中即可读出位移量；将压力变化转换成电流量，这样更便于对所获信息进展处置。气动测微仪可检测出普通丈量器具难以检测的微小变化，放大倍率也很高，最大可放大到40万倍。但气动测微仪的缺乏之处是丈量范围非常小。.7) 电动量仪 电动量仪是将接触头微小位移量转换成电量，利用电子方式将其放大并

16、进展显示，检测精度可达1m。液晶数字显示的数字式电动测微仪，内装公用的LS1，手工操作，可获得0.001mm的丈量值。此外，还有一种丈量安装和电动测微仪组合而成的电动测微系统，使丈量范围大为扩展；最近还开发出一种简易型电动测微仪，精度很高，可获得0.01m单位的丈量值。 电动量仪种类很多，普通可分为电感式、电容式和光电式等。 由于电动量仪灵敏度和精度很高，丈量安装和显示安装可以分别，所以有利于进展远间隔丈量和实现丈量自动化。.差动式电感传感器.8) 利用数控机床进展丈量 在数控机床上进展丈量有如下特点：不需求昂贵的三坐标丈量机，但会损失机床的切削加工时间；可以针对尺寸偏向自动进展机床及刀具补偿

17、，加工精度高；不需求工件来回运输和等待。9) 丈量机器人 随着工业机器人的开展，机器人在丈量中的运用也越来越遭到注重。机器人丈量具有在线、灵敏、高效等特点，可以实现对零件100的丈量，因此特别适宜于自动化制造系统中的工序间丈量和过程丈量。同坐标丈量机相比，机器人丈量造价低，运用灵敏。 .10) 公用的自动丈量安装 在大规模消费条件下，常将公用的自动检测安装安装在机床上，不用停机就可以在加工过程中自动检测工件尺寸的变化，并能根据测得的结果发出相应的信号，控制机床的加工过程如变换切削用量、刀具补偿、停顿进给、退刀和停机等。例如以下图所示为磨床上工件外径自动丈量及反响控制安装的原理图。.11) 外表

18、粗糙度仪 丈量外表粗糙度常用的方法有：比较法、光切法、干涉法、针描法和印模法等，而丈量迅速方便、测值精度较高、运用最为广泛的就是采用针描法原理的外表粗糙度丈量仪。 针描法又称触针法。当触针直接在工件被测外表上悄然划过时，由于被测外表轮廓峰谷起伏，触针将在垂直于被测轮廓外表方向上产生上下挪动，把位移经过电子安装把信号加以放大，然后经过指零表或其它输出安装将有关粗糙度的数据或图形输出来。. 外表粗糙度的丈量基准线原那么上要求与被测外表的理想外形一致，但在实践丈量中难以实现。比较常见的是利用与传感器壳体安装成一体的导头建立相对丈量基准。. 电感传感器是轮廓仪的主要部件之一。在传感器测杆的一端装有金刚

19、石触针，触针尖端曲率半径r很小，丈量时将触针搭在工件上，与被测外表垂直接触，利用驱动器以一定的速度拖动传感器。由于被测外表轮廓峰谷起伏，触针在被测外表滑行时，将产生上下挪动。此运动经支点使磁芯同步地上下运动，从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化。. 传感器的线圈与丈量线路是直接接入平衡电桥的，线圈电感量的变化使电桥失去平衡，于是就输出一个和触针上下的位移量成正比的信号，经电子安装将这一微弱电量的变化放大、相敏检波后，获得能表示触针位移量大小和方向的信号。信号经滤波和平均表放大器放大之后，进入积分计算器，进展积分计算，即可由指示表直接读出外表粗糙度Ra值。 该仪器适于测定0.0

20、2-10m的Ra值，少数型号还可测定更小的数值，仪器配有各种附件，以顺应平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、曲面以及小孔、沟槽等外形的工件外表丈量。.12) 其他丈量设备 关节臂丈量机 全自动在线丈量仪.3. 机械加工过程的形状识别与检测1) 概述 目的：感知系统任务形状，提高系统抵抗突发缺点的才干 ，优化切削过程的消费率、制造本钱或(金属)资料的切除率等。 内容：切削过程的切削力及其变化、切削过程颤震、刀具与工件的接触和切削时切屑的形状及切削过程辨识等，而最重要的传感参数有切削力、切削过程振动、切削过程声发射、切削过程电机的功率等。.2) 切削过程的检测 (1) 切削力的探测 切削力是评价加工条

21、件和切削过程最常用的技术参数，也是自顺应控制系统常用的传感参数。根据切削力信号，可以间接判别加工载荷、切削过程颤震、切/磨过程刀具/砂轮的失效情况(破损或磨损)等。 切削力的探测是实时检测切削力随时间(或切削过程)的变化量。主要的传感器采用动态测力仪、应变片或多种力传感器，其主要特点是：动态测力仪虽然可靠而且很灵敏，但经常难于适用化而多用于实验系统中；应变片适于现场运用，但安装不够简便，虽然可以经过功率和扭矩的检测传感信号推算出切削力值，但这类方法有检测灵敏度低、延迟时间长的缺陷。常用的切削力传感方法见后表。.切削力的检测方法传感方法 示例 传感器 分辨率、范围 主要特征 动态测量法 应变片型

22、压电型加速度计型 压电负荷单元，可组成3维分量 分辨率：0.01N范围：Fx、Fy、Fz均为：5N 高灵敏度价廉易获得，但多数只适用于实验室 机床内的检测法 用变形传感器或载荷单元探测架变形用变形片或传感器探测主轴变形 铣床用的激励线圈与扭矩探测线圈 分辨率：2N范围：Fx、Fy为：0.5kNFz为：1.0kN 简便不复杂工作精度取决于传感器的检测精度现主要用于实验室 简化法用电流表或瓦特表测量电动机功率用压力传感器探测轴承承受的压力电动机电流与切削力的对应关系 分辨率：100N范围：Fx与Fy为：1.0kNFz为：2.0kN 便于使用，成本低低灵敏度可工业应用 .(2) 颤震探测传感 颤震景

23、象与大多数切削与磨削过程的系统动力学不稳定性相关，经常可以由于刀具/砂轮与工件子系统的振动而引发。它的出现降低了被加工件已加工外表的质量，特别是使外表粗糙度增大，限制了机床的消费效率，并能够引发紧固环节的松动而酿成事故。此外，它还使刀具/砂轮的失效(磨损与破损)加快。 对它的传感方法可分为直接法和间接法两大类。直接法可以直接测定机床的振动，也可以从颤震时切削力的变化中获取；间接法是经过颤震伴随效应的传感检测来间接表征颤震的，见后表。.颤震检测方法 传感方法 示 例 频率响应 主要特性 直接法 振动传感器动态测量仪应变片热电动势 超低频或240kHz(加速度计)8002000Hz约300Hz约1

24、00Hz 灵敏度较高、可靠、易获得、可实用化高灵敏度、可靠、实验室用为主、高频响应高灵敏度、可靠、实验室用使用简单、灵敏度稍低、实验室研究用 间接法 光学法声学法 500Hz700Hz 非接触、灵敏度低、可靠性差、实验用非接触、灵敏度低、可靠性差、易获得 . 振动传感器可以装于任务台或刀架上。动态丈量仪那么较早已用于铣床和车床加工中。利用应变片传感振动信号时，常把应变片装入机床主轴部件内。80年代后期开发的热电动势颤震检测传感法是利用刀具与同机床(如车床)其他零部件绝缘的工件构成闭合电路，利用刀具与工件间的热电偶原理实现传感检测。当切削颤震出现时，刀具与工件间的接触区域和接触压力有较大的变化，

25、引起热电动势的变化。经FFT分析后可获得热电动势的功率谱密度。这种方法本钱低，易于操作，但其切削参数和刀工件资料间交互作用的研讨仍需求进一步拓展。间接法常经过对振痕、裂纹或外表部分不规那么性等信息的传感检测来间接地探测切削颤震的出现。因此，常用光学方法来传感，如利用激光扫描系统探测磨削外表振痕和部分不规那么景象，但其适用性较差。此外，还开发了一种利用噪声振动(传声器)传感颤震的方法，并建立了噪声电平的峰值间隔模型，可预测颤震出现。但它还需进一步验证多种切削条件下的可靠性。 . (3) 切屑情况检测 在高速、超高速加工和自动化制造中，切屑情况的监测是极为重要的事。它直接影响过程的进展、平安性和已

26、加工外表的质量，主要有两种传感检测方法： A. 用辐射高温计传感刀具的切屑形状，利用测定平均切削温度来识别切屑的形状。但由于它比较贵，尚限于实验研讨领域中采用。 B. 利用声发射传感器、刀具动态丈量仪或刀具/工件热电偶传感法的谱分析技术探测切屑形状的变化。这类方法胜利的关键是传感的灵敏度与可靠性及对信号的处置、特征提取与识别规律的掌握。虽然在实验研讨中已可以识别带状屑、卷屑和积屑瘤的出现，但还要再努力才能够成为工业运用技术。. (4) 刀具-工件碰撞传感检测 对于先进制造技术来讲，为提高机床加工效率，经常要求提高进给率，特别是在空刀时应尽量加快进给。因此，刀具与工件的碰撞成为重要的监视内容。对

27、刀具-工件碰撞的传感常分为两类，即碰撞后探测法和碰撞前探测法，见后表。 碰撞后探测法是利用装在机床主轴上的应变片组成的扭矩传感器来传感碰撞后的信号，以便在发生严重的碰撞缺点前发现刀具工件间的细微碰撞，因此这种探测法一定要灵敏且可靠。现有的研讨阐明，声发射接触传感器是灵敏而可靠的，且是实时性强的传感检测法，已进入工业运用阶段而广泛地用于磨削加工中。. 碰撞前探测法是在刀具与工件趋近到物理接触前进展探测传感。其中最正确的传感方法是气隙-磁力传感器。把鼓励线圈、接纳线圈分别装于主轴箱体与刀具两方，当刀具-工件间间隔改动而引起磁力线的变化时，对应间隙值的磁感应强度变强，从而按预先设定的阈值发出改动进给

28、率的控制信号。这种磁传感器受工件资料的影响。.刀具-工件碰撞传感检测传感方法 传感器主要特性 传感器 主要特征 碰撞后 刀具与工件接触 应变片扭矩仪 要求响应能力的应变片，主要用于实验室要求严格控制刀具停止速度 声发射接触仪 灵敏，接触分辨率1m，响应时间为0.25ms(已实用化)碰撞前 刀具与工件不接触 投影仪气隙-磁力传感器 随机选择间隙要求高分辨率的间隙传感(几个m)实验室用. (5) 切削过程识别的传感 现代制造技术要求识别切削过程，以便为切削过程的本质、建模和模拟仿真的研讨提供可靠的实时信息；对切削过程和刀具几何参数的控制、刀具失效和工件形状等提供信息，以便使磨削与切削过程优化。当今

29、，以声发射传感和动态丈量仪及光视法为主，亦配合电流/功率、力/力矩和切削温度等传感法。虽然众多的研讨证明，AE法是首选的，但由于切削过程识别的复杂性和多目的性，经常采用多传感器单一目的交融传感法和多传感器多目的传感法，它们曾经成为传感技术和监控技术最抢手的领域，但这方面的深化研讨任务既多又广。它将在制造科学的开展中、在虚拟制造(VM)和虚拟现实制造(VRM)的开发及过程监视与控制的研讨开发中快速开展。 . 3) 机床运转过程检测 机床的任务精度对其加工精度和加工质量有重要的影响。力效应、热效应和机床运动系统的动态误差等对机床的精度和动态特性有显著的影响。所以，要求监视和控制机床的运转及其过程，

30、主要有以下三类传感监测监控。 A. 驱动系统的检测传感 为了实现对机床驱动系统的位移(线位移与角位移)的监视，并提供偏离目的值的反响信号，经常采用多种传感器来完成信息的采集义务。激光干涉仪、旋转变压器和线纹尺等位移传感器的主要特性见后表。例如：螺纹磨床的自动修正系统，其传感器为由双频激光干涉仪系统构成的线位移传感器和由它与光学增益编码器组成的角度数字传感器。该系统的分辨率可以到达0.5m或更高。 . 为了获取精细的零件，要求把驱动系统终端输出与对实际目的值的偏离值作为反响信号，以便对精度进展反响控制。在这种加工精度反响控制(又称精度补偿或修正)中，位置的分辨率是重要的传感量。激光干涉系统常被用

31、来作为位移置误差反响传感器。工业实际证明，利用这类高分辨率传感系统可以使加工误差减少9/10。但由于干扰丈量对环境条件的苛刻要求，其工业运用范围较小。位移(置)传感器 传感器分辨率主 要 特 征激光干涉仪系统约为2nm精度最高，但要求仔细校准，价格贵旋转变压器0.252.5m易于使用，可靠，不贵线纹尺0.10.5m进行直接测量，操作较复杂，成本较高. B. 主轴和回转系统的检测传感 主轴轴承和主轴部件的回转误差对工件的圆度有很大的影响。 一种先进的主轴系统采用回转码盘精细地测定主轴的回转误差，可以实现纳米级分辨力的传感检测，其微机补偿系统可以把主轴偏向控制在0.05m以下。但该系统比较贵。 8

32、0年代初开场的三点接触圆度与圆柱度的检测传感法已在我国大型尺寸零件圆度与圆柱度的加工丈量中运用。它是电感传感器和三点丈量法在大型精细零件加工中的典型运用。 CNC圆度、圆柱度丈量仪视频. 由于热变形将改动主轴的预紧情况。在滚柱轴承支承系统中，这一问题尤为严重。为此，采用基于应变片或声发射传感器的温度补偿系统对之进展监视与控制。 在主轴和回转部件监视中，还采用以下检测传感器：探测监视轴承变形的感应传感器或涡流传感器、监视卡盘夹紧情况的载荷单元传感器、在线齿轮监视系统的角度传感器、监视主轴回转误差的示波器监视传感器系统等。. C. 机床形状监视传感 基于扭矩、电流/功率的机床形状监视系统采用传感主轴或进给电动机的电流、电压和功率的霍尔传感器，传感冷却液供应时机的切削扭矩传感器，传感运动件间接近情况的涡流传感器和传感接触情况的声发射传感器或光学传感器，进展扭矩自顺应控制的扭矩传感器等。此外，也经常采用为进展机床热变形误差补偿的温度传感