材料现代测试方法绪论

1、选区电子衍射-确定物相晶体结构未知001 025 012 011 032 010 5 18 0 121 122 123 0 52.6 58.3 72.9 78.4 90 15.6 30 61.9 70.4 79.9 hkllh-Al81Cr11Fe8 P63/m, a = 40.687, c = 12.546 Zou, Mo, Hovmller, Li, Kuo Acta Cryst. A59 (2003) 526-5391球差（像差）矫正电镜-STEMR. Schillinger, NTSD. Bell, HarvardSi 112 - 0.78 Dumbells2球差（像差）矫正电镜-ST

2、EMPrismatic precipitate plate in Mg-Ca-In alloysB = 0001 0.321nm0.1853nm朱玉满PPT3系列离焦出射波函数重构4球差（像差）矫正电镜-STEM5TEAM PROJECT63pm67小结1931年-2008年，透射电镜的分辨率由不及光学显微镜发展到现在的50pm，可以直接观察材料中的原子，电镜分辨率的提高与基础理论和加工技术的发展密不可分。创新一直贯穿在整个透射电镜发展历程中。8常用电子显微分析方法9电子与物质的交互作用TEM/STEM/HRTEMEELSEDSSEMAES10BF、DF（衍射衬度像）形貌、晶体缺陷HREM（相

3、位衬度像）原子排列（完整晶体、缺陷和界面等）成 像电子衍射谱仪二次电子像表面形态HAADF像（Z衬度）元素分布、原子排列SAED（选区电子衍射）NBD（纳米束衍射）CBED（会聚束衍射）晶体的对称性、晶体取向和晶体取向关系晶体取向（小尺寸晶体）晶体的对称性、样品厚度、结构因子晶体结构等 EDS（ X 射线能谱）EELS（电子能量损失谱）EFTEM（能量过滤TEM）元素的种类和分布（轻元素）元素的种类和分布元素的分布常用电子显微分析方法11选区电子衍射-确定物相NiAl3， a=0.6598，b=0.7352，c=0.4802nm晶体结构已知12电子显微学与诺贝尔奖-2011Dan Shecht

4、man13二次对称三次对称四次对称六次对称五次对称14二次对称三次对称四次对称六次对称五次对称1516明暗场像-区分多个物相17HRTEM-BEC（pure SiO2）18HRTEM-图像解释-48nm-92nm-124nm-148nm-164nm-198nmt = 4nm19700nm600nm500nm400nmRedYellowIndigoBlueGreenOrangeViolet20电子能量损失谱-EELS21Gatan post-column energy filter22Zeiss in-column energy filterCastaing-Henry Filter1984( Zeiss EM 902 )OMEGA Filter1992( Zeiss 912 )Corrected OMEGA Filter2003( Zeiss LIBRA 200 )MANDOLINE Filter2007( Zeiss SESAM )23Ze