无尘车间异物管理及人员教育培训课件

1、 概要概要 异物是异物是? ?1改善异物的基本改善异物的基本 ProcessProcess2 异异物是? 异物是 ? - 一切生产产品时没有必要的 例如, 剩余材料(块)、反应生成物、产品的裂痕、碎块、设备里发生的铁粉、油、 传送带残留物、工具碴、纤维、产品碎片、清扫道具的残渣、皮肤角质 等。 - 异物是不拟制就会多发，放置的话累计后将引发问题。 异物管理是 ? - 包括灰尘在内的温度、湿度、差压、气流、静电等 诸多环境都应按规定的基准来进行管理， 拟制异物发生的活动。原因 : 主要人为(瞬间失误)现场的变动因素只有人!慢性化 !.其他原因 : 不良材料的流入, 设备故障 - 以数据分析来解决

2、(品质管理)不良里包含 突发不良 和 慢性不良。异物累积 = 不良慢性化原因 : 操作 , 设备 , 异物 ! 若持续现在的生产方式，将继续发生 改善需以 QC 7种Tool来执行(品质改善) Tool里有两种类型。 分析原因。 消灭因素 = 树立对策。1.随着生产，异物将累积。2.若对发生源没有对策 及 不彻底的清扫，异物仍会突发。1.若生产，原则将崩溃。2.若不将原则重新整顿，设备起因的不良将慢性化发展。1.极具的人员增加，将使现场混乱 及 标准作业倒塌。2.临时方便的形式教育 及 训练，将使瞬间失误慢性化。突发不良和慢性不良的原因和对策(接近方法)是不同的。使其慢性化的也是人使其慢性化的

3、也是人! 若将至今为止的生产方法搁置的话，若将至今为止的生产方法搁置的话， 不良将自然地慢性化不良将自然地慢性化! ! 以不良零化，活动的主角是现场的每个人以不良零化，活动的主角是现场的每个人! 不良发发生突发不良慢性不良不良是将材料(INPUT)投入到制造流程(PROCESS)的结果而产生的，是结果(OUTPUT)。随之不良的原因是材料、人、设备、异物。 材料、 Supplier(供应商), 采购的问题 不良的不明原因是人、设备、异物。 随之对于不良零化的接触将是对于人、设备、异物的接触。因未遵守操作标准 发生瞬间失误人人(Man)(Man)原则不完善设备设备(Machine)(Machin

4、e)发生异物 异物异物(Contamination)(Contamination)不良不良材料材料(Material)(Material)不良是结果。 INPUTOUTPUT不良发生不良发生 发生源对策 4. , & & 发生异物的根源叫发生源，发生源有发生异物的根源叫发生源，发生源有4 4种。种。材料材料 残留物残留物 材料残留物材料残留物材料材料材料块材料块反应生成物反应生成物材料块材料块材料对策：修改供给对策：修改供给 系统系统产品产品剥离碎块剥离碎块碎块碎块粉屑粉屑对策：防止冲撞对策：防止冲撞 保护材的设置保护材的设置 产品、产品的设计变更产品、产品的设计变更产品传送带

5、残渣铁屑设备润滑油设备设备铁屑（锈）铁屑（锈）润滑油润滑油传送带残渣传送带残渣工具的磨损碎块工具的磨损碎块对策：零件交换对策：零件交换 上油上油 彻底的寿命管理彻底的寿命管理发生源的对策才是最根本的对策。发生源的对策才是最根本的对策。人、工具人、工具纤维纤维皮肤皮肤清扫工具碎块清扫工具碎块对策：彻底的寿命管理对策：彻底的寿命管理 制作指南及禁止事项制作指南及禁止事项纤维纤维皮肤皮肤清扫工具清扫工具 传达径路对策. . 消除气流的整体区间消除气流的整体区间/ / 安装安装 FilterFilter异物从发生源到板子传达过程有异物从发生源到板子传达过程有4 4种种1.落下4.飞散3. 接触2. 流

6、入气流材料残留物材料残留物想出发生源的对策之前首先需要做的是掐断传达路径让异物不要粘贴在板子上想出发生源的对策之前首先需要做的是掐断传达路径让异物不要粘贴在板子上材料材料块对策板子上端设置盖子移动板子上的发生源清扫道具润滑油设备板子对策安装清扫装置对策变更气流的方向用盖子掐断对策安装附着板安装再附着网纤维皮肤铁屑传送带残渣 1) 外部流入外部的异物, 特定发生源的过滤/没有压力设施直接进入的现象压力问题作业标准遵守管理纤维丝 发生源发生源4 4项项原，辅材料的管理皮肤角质 板子 edge 破损原材料异物无尘室搬入基板未遵守 2) 设备, 工具(摩擦/磨损)因物体之间接触发生的飞散物，长期摩擦导

7、致的磨损及损坏 - 工程设备, 工具(摩擦, 破损, Filter Leck, 搬送装置 热化, 腐蚀等)设备摩擦搬送设备热化工具摩擦 发生源发生源4 4项项搬送设备设备 : 板子移送 BOX, Tray, 移送Roller, Belt 等. 3,4) 加工原理, 材料在加工点发生的异物, 材料上发生的异物(印刷装置, 反应生成物)加工時 发生的粉尘从材料转移INK粉尘 发生源的发生源的4 4项项通过空调箱流入DiffuserReturn设备 Parts 摩擦流出的 Gas排管内积压的异物反映到Gas的异物因作业 Miss导致的(震动 / 冲击)从人体内起的角质气流静电器静电器衣类/手套/无尘

8、纸LINT在Gas腐蚀的异物物流移送间 引入/发生 Particle Particle 传达路径传达路径设备异常 1)防止引入 把外部的空气过滤到一定程度引入到工程內的方法 (压力管理) 利用利用 Air Shower / Pass Box 去除一定量的异物后搬入的方法 搬入的异物中有流动性的的异物进行Cover空调箱Pass BoxCover 异物管理的基本异物管理的基本4 4项项 2) 防止发生 加工设备内 摩擦/磨损区间的零件更改为不容易摩擦的优质材质或者找出不发生 摩擦 /磨损的方法. 定期点检及通过Monitor异常的区间 / 4角区域加强管理 板子加工時 使用的工具(消耗品/备品)

9、的适用化 就算是清洁用品也不能放置.(清洁用品, 服装的状态管理)纤维丝 高发生腐蚀Monitoring 异物管理的基本异物管理的基本4 4项项 3) 防止积累 作业前/后进行35分钟清扫, 定期PM, 间接人力协作 Clean up 活动 台车 Type 变更(Wire Self, 其他工具台车), 设备下端安装接异物的, Access Floor 利用ion izer去除静电性异物 利用FFU强制性Blower工程 PMAccess FloorFFU 异物管理的基本异物管理的基本 4 4项项 4) 快速去除 定期, 非定期的实施 Cleaning (工程的地面, 工具，污染物质) 强化管理

10、施工区域 (去除异物扩散用partition, 设置好clean mat) 增加清净空气的换气次数及排除污染的空气 (急/设置排气,安装 Air Filter) 异物管理的基本异物管理的基本 4 4项项实施Cleaning 强化管理Air 循环Clean matClean matFilterDischargeIsolationHEPA , ULPADepth, Free, MembraneAir Shower, Pass BoxSticky MatClean 服, PU GloveIonizer, BrushAccess FloorEarth, SUSBump 洗涤室AOI eyelid, 单

11、独排气光脚区域(清净区域)CleanroomBIG SIZESmall SIZE TIP_ 代表性异物转移路径切断装置/设施 现场到处都是异物。人设备材料产品都是发生原因。不知道异物的存在。不知道异物的解决方法。 使用错误的解决方法。 为什么异物不消失为什么异物不消失? ? 为什么异物不消失为什么异物不消失? ? 1. 1. 现场到处都是异物现场到处都是异物 在到处都是异物的环境下制造产品在到处都是异物的环境下制造产品 当然当然 产品上有异物附着产品上有异物附着 当然当然 发生异物不良发生异物不良2. 2. 为什么异物不消失为什么异物不消失? ? 不知道异物的存在不知道异物的存在. . 即使看

12、到异物即使看到异物, , 将这些异物定义为与不良无关，无视掉将这些异物定义为与不良无关，无视掉. . 不知道去除异物的有效方法不知道去除异物的有效方法. . 重视生产性重视生产性( (效率性效率性), ), 忽视了去除异物的清扫等忽视了去除异物的清扫等. 因为以上几个理由放任异物存在因为以上几个理由放任异物存在. . 最终最终, , 放任异物存在的是放任异物存在的是 “人人”,”, 人们人们“对异物的见解对异物的见解, , 认知能力认知能力”不改变的话，异物不可能消失不改变的话，异物不可能消失! !残余材料残余材料材料材料产品产品附着异物附着异物设备设备残渣残渣传送带传送带铁屑铁屑产品碎块产品

13、碎块积累异物积累异物清扫工具清扫工具人体分泌物人体分泌物清扫工具清扫工具v认知能力是认知能力是? ?：认知问题点的能力认知问题点的能力 第第1 1的认知能力的认知能力：认知在现场所发生认知在现场所发生( (眼下眼下) )问题问题 ( (现象现象) )的能力。的能力。 第第2 2的认知能力的认知能力：认知在现场认知在现场潜在潜在的问题的问题 ( (现象现象) )的能力。的能力。v种要素种要素：认知能力由认知能力由 3 3 种要素构成种要素构成. .对异物的认知能力是, 学习应对异物的知识及 在清除异物的实践中培养。认知能力认知能力：对异物研究的第一步是异物分析对异物研究的第一步是异物分析 ：对清

14、除异物最有效的方法是清扫对清除异物最有效的方法是清扫 ：异物对策中有发生源和传播路径对策异物对策中有发生源和传播路径对策 ：对于清扫需要对清扫困难处的对策对于清扫需要对清扫困难处的对策 ：禁止用禁止用air gun air gun 进行清扫进行清扫v 为了解除异物问题需要为了解除异物问题需要对异物认知能力的磨练对异物认知能力的磨练, , 对零异物的活动是磨练认知能力的过程。对零异物的活动是磨练认知能力的过程。认知认知能力能力 为什么异物不消失为什么异物不消失? ? 知识关于异物的知识成形事故的算法：对于异物的研究思想认知力：对于异物的感性通过实践培养 -3 为什么异物不消失为什么异物不消失?

15、为了实现异物不良为零为了实现异物不良为零 应按应按 清扫清扫, , 传达路径对策传达路径对策, , 发生源对策发生源对策, , 清扫清扫 改善改善 的的4 4种对策按顺序实施种对策按顺序实施. .产品产品产品产品在生产流程中异物量越多在生产流程中异物量越多, , 异物越容易附着到产品上异物越容易附着到产品上. .发生异物不良发生异物不良: : 变成慢性化变成慢性化异物的潜在性异物的潜在性高高异物的潜在性异物的潜在性低低异物不良变为零异物不良变为零减少流程内的异物量最有效的方法 清扫清扫 传播路径对策传播路径对策: : 不让异物附着于产品不让异物附着于产品 发生源对策发生源对策: : 从根本上切

16、断异物从根本上切断异物但是但是, , 一般来说不可能只进行清扫一般来说不可能只进行清扫但是但是, , 以采取了以采取了2 2种对策但是异物潜在性的积累量每天都在增加种对策但是异物潜在性的积累量每天都在增加 仍需要清扫仍需要清扫! ! 清扫改善清扫改善: : 建立高效率建立高效率, , 高效的清扫方案高效的清扫方案. . 异异物对对策的第一步是物性分析 1.1 异物不良对策的第一步是对导致不良发生的异物进行物性分析。物性分析。 1.2 异物的物性被确定后, 通过清扫去找那个异物的发生源。. . 根据异物的发生源制定对策根据异物的发生源制定对策 2.1 异物的发生源有4种,每个对策的推进方法都不同

17、。 2.2 根据发生源的不同树立相应对策,首先要分成4 4种发生源种发生源。. . 预防附着在转移路径中的异物预防附着在转移路径中的异物 3.1 异物的转移路径有个分支, 每个都有合适的对策。 3.2 虽然不能完全去除异物,但是不让异物附着在产品上是有可能。 能实现这个就是传达路径对策传达路径对策。. . 除异物的最有效除异物的最有效ToolTool是清扫是清扫 4.1 顽固性异物要彻底地清扫彻底地清扫使异物一次性去除。 4.2 虽然施行发生源,转移路径的对策,异物还是会发生.施行2种对策后也有必要清扫。 4.3 清扫是发现异物,去除异物的最有效,最有力的现场Tool。. . 清扫要用最有效最

18、效率的方法来施行清扫要用最有效最效率的方法来施行 5.1 为了每天生产中都要清扫,所以要确立安全,有效,效率的清扫方法。 5.2 有必要改善清扫困难区域清扫困难区域. .6 . 6 . 研究检查技术后确立研究检查技术后确立 6.1 不能检查出异物或不良是对后工程(包括客户)不负责的处事。 研究检查技术后要确立。 -3 异物对策的概念物性分析发生源对策传达路径对策困难区域对策关于异物的一般经验关于异物的一般经验 1. 异物对策要解决目标值1/10个大小的异物 虽然很小的异物聚集在一起也会变大,为了去除这个有必要彻底的清扫 2. 不去除异物就会复发.异物是不可能平白无故消失. 3. 不良的分布很随

19、机的情况(不能把握趋势的时候)下根据异物的原因 在不良分析中确认不良发生趋势(集中/分散)后掌握异物的影响.清扫清扫 清扫确实能减少异物.(清扫是减少异物的唯一Tool) 因此, 如果想减少异物就要清扫 改善,断绝异物发生源解决清扫困难处.为了Clean清扫是必不可少的要素 通常让人苦恼的异物一般在肉眼看不见的地方(外皮内侧等) 因此, 要分配清扫的装置. 清扫时，设备外皮会成为浪费清扫时间的要素(清扫时间的40%是分解/装配时间) 因此, 制定安全对策撤走外皮。 彻底清扫之后异物有飞扬的情况 因此, 重要的是根据清扫来去除肉眼能看到的全部异物. 5. 不注意打扫用的服装,工具会因人的因素发生

20、异物(纤维,皮肤角质) 因此, 打扫的时候要使用干净的服装、工具, 注意纤维或皮肤的附着物。 6 . 清扫的概念不足会导致污染的发生. 7. 重要的是打扫要成为习惯. 但是要避免没有验证,无效的清扫 -1你你知道吗吗? 异物 Tip 1发发生原因产品上（passline）不要有异物发生源附着,迫不得已的情况下passline上设置套（cover)。产品之间碰撞会成为发生异物,瑕疵,破碎等的原因。 产品碰撞区域里要强化发生源的对策,设备和产品碰撞的地方也是一样。产品和夹具的摩擦,设备和夹具的摩擦也会发生异物 夹具是发生源所以要有对策,异物发生的观点上决定交换周期。零件老化也是发生源。 因此,要掌

21、握清扫零件的老化状态,可以使用也要早期更换零件摩擦(摩擦部)都是异物发生源 因此 设备的螺丝尽可量减少。 感应器尽可量使用非接触式。 检查运送皮带的材质。Clean 装置也是异物发生源。 （）与Clean关联的过滤器(hapa 过滤网, 过滤网, Air 过滤器 等) （）ion izer的 污染(电极针)静电服经无数次清洗后纤维的线条也是异物发生源. 因此, 即使可以使用的衣服发现有线条就要更换 (ex_惯摩擦部位 : 右手腕部位、肚子部位、商标等)不能认认知的常识识 ? -1 异物 Tip 2发发生源的对对策. 外皮尽可量不要太大. (外皮大的话会染上飞来的异物) 研究(垫子的装置等)怎样

22、才能不让外皮的异物飘散 . 2. 异物去除的过滤器要与去除的异物大小吻合(1/10大小) 过滤器的使用及交换周期是根据异物的发生和堵塞程度来判断. 异物尽可量不落到地板, 掉到地板的异物拿垫子收取. 异物垫子要设置吸收异物的功能, 还要研究容易操纵和安装的垫子. 除尘器要规定必要的功能,掌握除尘器的功能,研究不足之处气气流1. 气流的流动会不特定的从发生源运来异物 不让产品接触严重气流,湍流.如果接触了就要控制气流安装外皮2. 空调等强烈的空气流动引发的机器的气流是不可能控制 因此,不使用会产生强烈空气流动的机器 使用空调清扫是让异物飞扬的行为!3. 异物会逗留在气流消失(滞流)的地方。 因此

23、, 要谋求一个调整集气和排气的对策不让暖流发生.啊啊 哈 ? -1 异物 Tip 3 异物异物 ZEROZERO彻底清扫的概念和推进方法彻底清扫的概念和推进方法清扫的目的 移除异物 消灭异物不良 收集异物 观察现物 选定发生源 确认清扫方法(摄影) 对清扫困难区域的对策 * 点检设备 : 设备的故障, 加油状态的确认 理解并熟练清扫技术 确认并学习正常与非正常 复原或改善设备隐藏着的缺陷与不合理之处反复清扫清扫要以短的周期先实施3次，每次清扫都有各自目的。 1次 淸掃 : 采集，移除长时间累积的异物 2次 淸掃 : 选定异物的发生源. 3次 淸掃 : 选定清扫困难的地方.最佳异异物对对策是清扫

24、清扫( (至少3 3次) )清扫的 Out-Put 收集异物的样本 4大 list化 : 发生源, 清扫困难的地方, 热化, 不合理因素, 疑问 List 发生源 Map 清扫的含义 异异物观观点PM观观点 彻底的清扫 彻底地移除长时间堆积的异物 先把设备变成异物zero状态 减少异物的潜在性. 确认异物不良的zero化.1. 移除异异物2. 采集异异物3. 测测定清扫时间清扫时间按工程设备Unit，个别测定清扫时间个别测定移除累积异物的时间个别测定分解，组装，调整设备Unit的时间彻底地移除异物 (不能物理移除的，化学移除)清扫困难的地方分解进行。测定清扫结果物-异物的采集量（数）清扫后,一

25、时出现异物也无妨。 了解清扫前后异物不良的趋势 (确认不良是否聚减)采集异物. 确认工程，设备中有多少 分析并分类已采集的异物 与改善对象异物对比拍照清扫前后的异物的状态不扔掉已采集的异物分析并分类已采集的所有异物 与改善对象异物进行对比.测定清扫时间 认识到清扫的困难.v第第1 1次清扫次清扫 彻底的清扫彻底的清扫4. 限于发发生源, , 传达传达路径实径实施.移除彻底清扫后发生的异物. 确认异物不良的变化.确认发生源和转移渠道. 限于发生源和转移路径实施.在发生源，转移渠道采集异物 分析.分析彻底清扫时采集的异物的物性.测定清扫时间 . 根据异物的定着度，而缩短打扫的时间 对发生源和转移渠

26、道，实行对策. 对比 一致5. 限于清扫清扫改善的地方实实施 .测定清扫时间. 摄影 作业者的教育，训练中运用 (运用在困难阶段的清扫改善之中) .移除新发生的异物 确认异物不良是否zero 化 3.确认是否有新的发生源和转移渠道. 4.清扫分设备的稼动中和非稼动中. 5. 清扫要以安全为前提进行 指定清扫改善地方，实施对策. 不好做出判断时断时先不移除异异物SourceSource，监测变监测变化状态状态的同时时也监测异监测异物不良的变变化趋势趋势( (不必要的清扫清扫是浪费时间费时间) )做成PM Manualv第第3 3次次 清扫清扫v第第2 2次次 清扫清扫 清扫改善清扫改善为了维持异

27、物zero状态，使清扫扎根在现场中，为此实施清扫改善。 1阶段 : 制作清扫基准书 摄影清扫作业后，制作清扫基准书. 清扫需要长时间的作业指定为清扫改善对象. (制作时间表) 2 2阶段阶段 : : 准备作业的改善准备作业的改善 List-up 清扫所需要的道具，工具. 决定定位置 决定保管方法 检讨取出的易使用性 按照可视化管理容易的顺序进行准备作业 3阶段 : 清扫改善 想法是否行得通?,是否能减化?,能否总括化?考虑以上三个观点进行改善 按照以下模式实施改善. . 外准备交替化 : 复位化, offline清洗化 . 作业改善 : Cover less化, Bolt less化, 固定方

28、法的onetouch化 . 调整的调节化 : stopper化, gauge（标准规格）化, mark化, 一体化, 数值化 4阶段 : 清扫基准书的教育，训练 摄影改善结束的作业,制作视频形式的清扫基准书. 教育作业者并让他们实施，汇总疑问点，问题点. 对疑问给出答辩, 对问题点进行改善. 5阶段 : 维持，管理 维持管理 维持管理由定期清扫，异物管理，特殊清扫3阶段构成 1. 发现管理数值 : 掌握通过彻底的清扫变零的异物不良开始重新发生管理数值（异物） 2. 异物管理 : 实施生产Lot 別 异物的顶点测定,确认是否在管理值以内. 3. 定期清扫 : 实施定期清扫, 确认清扫后异物的减少

29、数. (没有减少的话重试) 4. 特殊清扫 : 定期清扫之前异物不良增加时, 实施特殊清扫. (原因是清扫的不周全) 5. 检讨清扫周期 : 以异物数的趋势和不良的发生程度为基础，定期检讨清扫周期. 异物异物( (数数) = ) = 异物的潜在性异物的潜在性异物异物 不良数不良数 (%)(%)不良开始发生不良开始发生异物多发彻底的清扫定期清扫定期清扫特别清扫克服这一点的话生产中异物不断增加传达路径对策发生源对策管理数值慢性 异物不良不良零化不良零化不良零化以两种对策将异物的增加值锐减以定期清扫来维持零化定期清扫前，发生不良 清扫检点清扫检点 Tip 1 日常清洁检点改善不能遵守的理由改善方法1

30、.遵守事项项繁多2.遵守周期短3.耗时长时长 减少遵守事项 集中检点项 延长周期 延长检查清扫的周期 对发生源的对策 排除强制劣化 缩短周期 改善清扫困难少長短第一位第二位第三位少長短使安全,不安全（状态状态、行为为）使准确,不准确（基准，行为为）使简简易不便（时间时间上）减少清扫各素延长清扫周期缩短清扫时间拓宽对异物发生源的对策提高清扫的准确性改变清扫道具、方法与视点 清扫检点清扫检点 Tip 2 测量/管理污染速度 从为达到一定清洁度而打扫完毕后开始计算到重新被污染而超出某个限度（可发生不良时期）为止的时间称为污染速度。 清扫完毕后可以以一段时间为单位、通过监控来掌握污染状态。 污染速度与

31、与异物不良息息相关，因此对决定清扫周期也是很重要的参考项。如污染速度快就意味着要加大清扫量。 清扫用具 检查清扫用具是否可以有效去除污染成分，使用者是否可以安全使用、方便使用，检点该用具会不会反过来造成污染。 一般市面上贩卖的清扫用具不适于此，应加大开发力度。 空调易造成周边污染及异物飞散，因此应活用吸入功能强大的道具。 清扫方法 清扫马虎亦可造成问题点。应研究出最有效、最科学的清扫方法。 如已掌握了一套有效的方法，应做普及教育；没有则应集中智慧，把各个人的好处统合起来进行验证使之标准化。 Mind 如在某个现场，外出归来者只有通过指定部位的清洁程序方可进入。这就是一个可以有效习惯化的好方案。

32、 * 1. 1. 为为把握清扫与清扫与不良的关关系 搜集清扫清扫前后的数数据来来明确指出清扫与异清扫与异物、异异物与与不良的关关系。 清扫与异清扫与异物 : : 清扫清扫后，异异物是否减减少？ 异异物与与不良 : : 异异物减减少到什么么程度才能消除不良？管理数值数值的发现发现 寻寻找周期 : : 怎样怎样的周期才能在一定管理数值内数值内抑制异异物? ? 发现发现point point : : 针对针对那些地方的清扫清扫可有效去除异异物发发生? ? 无法测测定异异物量时时，确立测测定方法。 什么么是异异物管理? ? 为减为减少异异物水准及不良率的动动向而进进行检检点、努力的活动动。 清扫与异物*不良的关系 第一次清扫异物量第二次清扫发现发生源发生源对策去除长期形成的异物异物的管理数值异物的允许量异物不良为零的状态不良率异物的推移 异物不良异物不良 的大部分原因是清扫状态的不良的大部分原因是清扫状态的不良 只做表面清扫只做表面清扫 / / 只清扫自己看得到的只清扫自己看得到的 清扫道具很乱清扫道具很乱 / / 无清扫基准无清扫基准 由生产的优先顺序