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1、会计学1原子层沉积原子层沉积(chnj)综述综述第一页，共28页。第1页/共28页第二页，共28页。第2页/共28页第三页，共28页。(1)第一种反应前体以脉冲的方式进入反应腔并化学吸附在衬底表面;(2) 待表面吸附饱和后, 用惰性气体将多余的反应前体吹洗出反应腔; (3) 接着第二种反应前体以脉冲的方式进入反应腔 ,并与上一次化学吸附在表面上的前体发生反应; (4) 待反应完全后再用惰性气体将多余的反应前体及其副产物吹洗出反应腔 。第3页/共28页第四页，共28页。第4页/共28页第五页，共28页。第5页/共28页第六页，共28页。第6页/共28页第七页，共28页。第7页/共28页第八页，共

2、28页。第8页/共28页第九页，共28页。第9页/共28页第十页，共28页。第10页/共28页第十一页，共28页。第11页/共28页第十二页，共28页。ALD 技术技术(jsh)的发展的发展第12页/共28页第十三页，共28页。ALD 技术技术(jsh)的发展的发展第13页/共28页第十四页，共28页。ALD 技术技术(jsh)的发展的发展第14页/共28页第十五页，共28页。ALD 技术技术(jsh)的发展的发展第15页/共28页第十六页，共28页。 ,可以使厚度变化在1 %以内 ,并且同一批基板特性相同, 这样可以提高减反射效率和抗激光性能第16页/共28页第十七页，共28页。第17页/共28页第十八页，共28页。第18页/共28页第十九页，共28页。第19页/共28页第二十页，共28页。第20页/共28页第二十一页，共28页。第21页/共28页第二十二页，共28页。第22页/共28页第二十三页，共28页。第23页/共28页第二十四页，共28页。第24页/共28页第二十五页，共28页。第25页/共28页第二十六页，共28页。

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