第11章_外差检测系统

1、第六章第六章 光外差检测系统光外差检测系统光光外差检测与直接检测系统相比，具有如下优点：外差检测与直接检测系统相比，具有如下优点：测量精度高测量精度高7-87-8个数量级；个数量级；灵敏度达到量子噪声极限，其灵敏度达到量子噪声极限，其NEPNEP值可达值可达1010-20 -20 W W。可用于光子计数。可用于光子计数。激光受大气湍流效应影响严重，破坏了激光的相干性，所激光受大气湍流效应影响严重，破坏了激光的相干性，所以外差检测在大气中应用受限，在外层空间已经达到实用以外差检测在大气中应用受限，在外层空间已经达到实用阶段。阶段。外差检测在高频（外差检测在高频（10101616HzHz）光波时不

2、如直接检测有）光波时不如直接检测有用。而在长波长（近红外和中红外波段），光外差检测技用。而在长波长（近红外和中红外波段），光外差检测技术就可实现接近量子噪声限的检测。术就可实现接近量子噪声限的检测。放大器探测器sf信号光束Lsff 光束本振Lf光外差检测原理示意图分光镜可变光阑光频混直接检测系统中，检测器检测的光功率为平均光功率直接检测系统中，检测器检测的光功率为平均光功率P Pcpcp：2cos2122202AttdAPcp显然光波直接检测只能测量其振幅值。显然光波直接检测只能测量其振幅值。光外差检测原理如图，两束平光外差检测原理如图，两束平行的相干光，经分光镜和可变行的相干光，经分光镜和可

3、变光阑入射到检测器表面进行混光阑入射到检测器表面进行混频，形成相干光场，经检测器频，形成相干光场，经检测器变换后，输出信号包含差频信变换后，输出信号包含差频信号，故又称相干检测。号，故又称相干检测。6.1 6.1 光外差检测原理光外差检测原理转镜反射镜可变光阑线栅偏振器光电检测器放大器输出激光器2COsfLfLsff 分光镜外差检测实验装置图外差检测实验装置图如图如图:光源经过稳频光源经过稳频的二氧化碳激光器，的二氧化碳激光器，由分束镜把入射光分由分束镜把入射光分成两路：一路经反射成两路：一路经反射作为本振光波，频率作为本振光波，频率为为fL，另一路经偏心，另一路经偏心轮反射，经聚焦到可轮反射

4、，经聚焦到可变光阑上作为信号光变光阑上作为信号光束。束。偏心轮转动相当于目标沿光波方向并有一运动速度，光的偏心轮转动相当于目标沿光波方向并有一运动速度，光的回波产生多普勒频移，其频率为回波产生多普勒频移，其频率为fs。可变光阑用来限制两光束。可变光阑用来限制两光束射向光电检测器的空间方向，线栅偏振镜用来使两束光变为射向光电检测器的空间方向，线栅偏振镜用来使两束光变为偏振方向相同的相干光，然后两束光垂直投射到检测器上。偏振方向相同的相干光，然后两束光垂直投射到检测器上。首先设入射到检测器上的信号光场和本机振荡光场分别为：首先设入射到检测器上的信号光场和本机振荡光场分别为： sssstAtfcos

5、 LLLLtAtfcos LLLssstAtAtfcoscos那么，入射到检测器上的总光场为：光检测器的响应与光电场的平方成正比，所以光检测器的光电流为： _22_22_2_2coscoscoscossLsLLssLsLLsLLLsssLsptAAtAAtAtAtftftfti式中第一、二项为余弦函数平方的平均值，等于式中第一、二项为余弦函数平方的平均值，等于1/21/2。第三项。第三项为和频项，频率太高，光混频器不响应，可略去，第四项为为和频项，频率太高，光混频器不响应，可略去，第四项为差频项，频率低得多，差频项，频率低得多，当差频信号当差频信号( (L L- -s s)/2)/2= =C

6、C/2/2低低于光检测器的上限截止频率时于光检测器的上限截止频率时，检测器就有频率为，检测器就有频率为C/2的光的光电流输出。电流输出。如果把信号的测量限制在差频的通常范围内，则可以得到通过以C为中心频率的带通滤波器的瞬时中频电流为： sLsLLsCtAAticos中频滤波器输出端，瞬时中频信号电压为： sLsLLLsLCCtRAARtitVcos中频输出有效信号功率就是瞬时中频功率在中频周期内的平均值，即：LLsLCCRPPheRVP2_22当L-s=0，即信号光频率等于本振光频率时，则瞬时中频电流为： sLLsCAAticos这是外差探测的一种特殊形式，称为零差探测。6.2 光外差检测特性

7、6.2.1 6.2.1 光外差检测可获得全部信息光外差检测可获得全部信息 sLsLLsCtAAticos外差检测不仅可检测振幅和强度调制的光信号，还可检测频率调制及相位调制的光信号。在直接检测系统是不可能的。6.2.2 光外差检测转换增益光外差检测转换增益G高高光外差检测中频输出有效信号功率为：LLsCRPPheP22在直接检测中，检测器输出电功率为：LsRPheP220两种方法得到的信号功率比G为：sLCPPPPG20可知，在微弱光信号下，外差检测更有用。可知，在微弱光信号下，外差检测更有用。6.2.4 6.2.4 信噪比损失小信噪比损失小6.2.3 6.2.3 良好的滤波性能良好的滤波性能

8、光外差检测中，取信号处理器通频带为光外差检测中，取信号处理器通频带为f=ff=fL L-f-fs s，则只有此频带内，则只有此频带内的杂光可进入系统，对系统造成影响，而其它的杂光噪声被滤掉。的杂光可进入系统，对系统造成影响，而其它的杂光噪声被滤掉。因此外差检测系统不需滤光片，其效果也远优于直接检测系统。因此外差检测系统不需滤光片，其效果也远优于直接检测系统。例：目标沿光束方向运动速度例：目标沿光束方向运动速度=0-15m/s=0-15m/s，对于，对于COCO2 2激光信号，激光信号， 多普勒频率多普勒频率f fs s为：为：cffLs21通频带通频带f f1 1取为：取为：MHzcccfff

9、fLLLs3221而直接检测加光谱滤光片时，设滤光片带宽为而直接检测加光谱滤光片时，设滤光片带宽为1nm1nm，所对应的带宽，所对应的带宽，即通频带即通频带f f2 2=3000MHz=3000MHz。可见，外差检测对背景光有强抑制作用。可见，外差检测对背景光有强抑制作用。 另：速度越快，多普勒频率越大，通频带越宽。另：速度越快，多普勒频率越大，通频带越宽。当不考虑检测器本身噪声影响，只包含输入背景噪声的情况下，外当不考虑检测器本身噪声影响，只包含输入背景噪声的情况下，外差检测器的差检测器的输出信输出信噪噪比等于输入信噪比比等于输入信噪比，输出信噪比没有损失。，输出信噪比没有损失。6.2.5

10、6.2.5 最小可检测功率最小可检测功率内增益型光电检测器件内增益型光电检测器件当本征功率当本征功率P PL L足够大时，本征散粒噪声远超过所有其它噪声，则上式变为：足够大时，本征散粒噪声远超过所有其它噪声，则上式变为：内部增益为内部增益为M M的光外差检测器输出有效信号功率为：的光外差检测器输出有效信号功率为：LLsCRPPMheP22检测系统中检测器本身的检测系统中检测器本身的散粒噪声和热噪声散粒噪声和热噪声是影响最大可难以是影响最大可难以消除的。则外差检测输出的散粒噪声和热噪声表示为：消除的。则外差检测输出的散粒噪声和热噪声表示为：fkTfRIPPPheeMPLdLBsn422功率信噪比

11、为：功率信噪比为：fkTfRIPPPheeMRPPMheSNRLdLBsLLsp222fhPSNRsp这就是光外差检测系统中所能达到的最大信噪比这就是光外差检测系统中所能达到的最大信噪比极限，一般称为光外差检测的极限，一般称为光外差检测的量子检测极限量子检测极限或或量子噪声限量子噪声限。引入引入最小可检测功率（等效噪声功率）最小可检测功率（等效噪声功率）NEP表示，在表示，在量子检测量子检测极限下，光外差检测的极限下，光外差检测的NEP值为：值为：fhNEPPs最小在光电直接检测系统的量子极限为：在光电直接检测系统的量子极限为：fhNEP2这里面需要说明的是：直接检测量子限是在理想光检测器的这

12、里面需要说明的是：直接检测量子限是在理想光检测器的理想条件下得到，实际中无法实现量子极限的。而对于光外理想条件下得到，实际中无法实现量子极限的。而对于光外差检测，利用差检测，利用足够的本振光足够的本振光是容易实现的。是容易实现的。总之，总之，检测灵敏度高检测灵敏度高是光外差检测的突出优点。是光外差检测的突出优点。6.2.5 6.2.5 最小可检测功率最小可检测功率内增益型光电检测器件内增益型光电检测器件时的信号功率即1SNR为克服由信号光引起的噪声以外的所有其他噪声，从而获得高的转换为克服由信号光引起的噪声以外的所有其他噪声，从而获得高的转换增益，增益，增大本振光功率增大本振光功率是有利的。但

13、本振光本身也引起散粒噪声，本振功是有利的。但本振光本身也引起散粒噪声，本振功率越大，噪声也越大，使检测系统信噪比反而降低。因此，应合理选择本率越大，噪声也越大，使检测系统信噪比反而降低。因此，应合理选择本振光功率，以便得到振光功率，以便得到最佳信噪比和较大的中频转换增益最佳信噪比和较大的中频转换增益。fhPSNRsp6.2.6 6.2.6 光外差检测系统对检测器性能的要求光外差检测系统对检测器性能的要求外差检测系统对检测器要求一般比直接检测对检测器的要外差检测系统对检测器要求一般比直接检测对检测器的要求高得多，主要如下：求高得多，主要如下：响应频带宽响应频带宽。主要是因为采用多普勒频移特性进行

14、目标检。主要是因为采用多普勒频移特性进行目标检测时，频移的变化范围宽，要求检测器的响应范围要宽，甚至测时，频移的变化范围宽，要求检测器的响应范围要宽，甚至达上千兆达上千兆HzHz。均匀性好均匀性好。外差检测中检测器即为混频器，在检测器光敏。外差检测中检测器即为混频器，在检测器光敏面上信号光束和本振荡光束发生相干产生差频信号，为达到在面上信号光束和本振荡光束发生相干产生差频信号，为达到在光敏面不同区域相同的外差效果，要求检测器的光电性能在整光敏面不同区域相同的外差效果，要求检测器的光电性能在整光敏面上都是一致。特别是跟踪系统的四象限列阵检测器。光敏面上都是一致。特别是跟踪系统的四象限列阵检测器。

15、1.1. 工作温度高工作温度高。在实验室工作时，工作温度无严格要求。如。在实验室工作时，工作温度无严格要求。如果在室外或空间应用时，要求选工作温度高的检测器。如果在室外或空间应用时，要求选工作温度高的检测器。如HgCdTeHgCdTe红外检测器件。红外检测器件。6.3 影响光外差检测灵敏度的因素在本节内容中，只考虑光外差检测的空间条件和频率条件在本节内容中，只考虑光外差检测的空间条件和频率条件对灵敏度的影响及改善方法。其它因素可参阅书籍。对灵敏度的影响及改善方法。其它因素可参阅书籍。6.3.1 6.3.1 光外差检测的空间条件（空间调准）光外差检测的空间条件（空间调准）放大器探测器sf信号光束

16、Lsff 光束本振Lf光外差检测原理示意图分光镜可变光阑光频混 sLsLLsCtAAticos 信号光和本振光的信号光和本振光的波前波前在光检测器光在光检测器光敏面上保持敏面上保持相同的相位关系相同的相位关系，才得式：，才得式： 实质上，由于光的波长比光检测器面积实质上，由于光的波长比光检测器面积小很多，混频作用是在一个个小面积元上产小很多，混频作用是在一个个小面积元上产生的，即总的中频电流是每个小微分面元所生的，即总的中频电流是每个小微分面元所产生的微分电流之和，显然要使中频电流达到最大，这些微分中产生的微分电流之和，显然要使中频电流达到最大，这些微分中频电流要保持恒定的相位关系。即要求信号

17、光和本振光的频电流要保持恒定的相位关系。即要求信号光和本振光的波前是波前是重合重合的。即是说必须保持信号光和本振光在的。即是说必须保持信号光和本振光在空间空间上的上的角准直角准直。 下面就考虑一下信号光与本振光皆为平面波时，波前不重合下面就考虑一下信号光与本振光皆为平面波时，波前不重合时对光外差检测的影响。时对光外差检测的影响。 设信号光束和本振光束之间夹角为设信号光束和本振光束之间夹角为，且信号光束的波阵面，且信号光束的波阵面平行于光敏面时，如图。平行于光敏面时，如图。6.3.1 6.3.1 光外差检测的空间条件（空间调准）光外差检测的空间条件（空间调准）xz信号本振检测器l设信号光束和本振

18、光束的光场为：设信号光束和本振光束的光场为： LLsstjLLtjsseAtfeAtf,那么本振光束到达光敏面时，在不那么本振光束到达光敏面时，在不同点同点x处有不同的波前，即不同的处有不同的波前，即不同的相位差相位差 。相位差等于光程差和。相位差等于光程差和波数之积。即：波数之积。即：xxLsin2式中，式中，sin2L，并认为折射率，并认为折射率n=1。于是本振光波可表示为：于是本振光波可表示为： xtjAtfLLLLexp则检测器上则检测器上x点的响应电流为点的响应电流为dxxtAAdiLscLscos则整个光敏面总响应电流为则整个光敏面总响应电流为6.3.1 6.3.1 光外差检测的空

19、间条件（空间调准）光外差检测的空间条件（空间调准）22sincoscosllLscLsALscLstAAdxxtAAid12sin2ll从式中可知，当从式中可知，当 时，时，即即 时，中频电流时，中频电流i最大。最大。22sinll即可得外差检测的即可得外差检测的空间相位条件空间相位条件为：为：sin2LlLsin即：即：lLarcsin显然：波长愈短或口径愈大，要求相位差角显然：波长愈短或口径愈大，要求相位差角愈小，愈难满足外愈小，愈难满足外差检测的要求。差检测的要求。说明红外光比可见光更易实现光外差检测。说明红外光比可见光更易实现光外差检测。例：本振光波长为例：本振光波长为1微米，检测器光

20、敏面长度为微米，检测器光敏面长度为1mm，则，则0.32mrad（0.018度）。度）。实验证实，稳频的实验证实，稳频的CO2激光器做外差检测实验，当激光器做外差检测实验，当2.6mrad时，时，才能看到清晰的差频信号。才能看到清晰的差频信号。这个角度也被称为失配角。这个角度也被称为失配角。放大器探测器sf信号光束Lsff 光束本振Lf光外差检测原理示意图分光镜可变光阑光频混如图，要形成强的差频信号，如图，要形成强的差频信号，必须使信号光束和本振光束必须使信号光束和本振光束在空间准直得很好。在空间准直得很好。背景杂散光来自各个方向，背景杂散光来自各个方向，绝大部分的背景光不与本振绝大部分的背景

21、光不与本振光准直，即不产生明显的差光准直，即不产生明显的差频信号。频信号。因此外差检测在空间上能很好地抑制背景噪声。具有很好因此外差检测在空间上能很好地抑制背景噪声。具有很好的的空间滤波性能空间滤波性能。但是严格的空间条件也使调准两光束比但是严格的空间条件也使调准两光束比较困难。较困难。 从上面讨论中可以看出，要使信号光波和本振光波在光混频面上有效的空间相干，必须使两束光尽量平行，因为这个要求是比较严格的，所以给光外差的实现带来一定困难，严重妨碍了它的实际应用。接近这一问题的方法只有是：爱里斑原理法（用聚焦透镜降低空间准用聚焦透镜降低空间准直要求）。直要求）。 降低空间相干条件的方法降低空间相

22、干条件的方法 先来看一下光学透镜天线在接收系统中的作用：先来看一下光学透镜天线在接收系统中的作用：fvf透镜面积Ar探测器ADdl面积2f 2Ar光学透镜天线光学透镜天线 当光波正入射时，由物理光学可知，经过面积为当光波正入射时，由物理光学可知，经过面积为Ar的透的透镜之后，在焦平面处的探测器上形成衍射光斑。衍射光镜之后，在焦平面处的探测器上形成衍射光斑。衍射光斑中最大峰值处所包含的面积斑中最大峰值处所包含的面积2f2/Ar称为称为爱里斑面积爱里斑面积。这个面积决定了接收系统的衍射极限视场，若用立体角这个面积决定了接收系统的衍射极限视场，若用立体角dl表示，表示， 则有则有 若用平面角表示，若

23、用平面角表示， 则有则有：1dD式中式中Dr是透镜的直径尺寸是透镜的直径尺寸。 rrdlAfAf22221爱里斑原理示意图爱里斑原理示意图: : L1本振光束反射镜孔径 Dr焦距 f小孔光阑合束板探测器Dd透镜s1信号光束 用透镜将信号光聚焦用透镜将信号光聚焦到光混频器表面。光到光混频器表面。光混频器的有效面积就混频器的有效面积就是爱里斑的面积。是爱里斑的面积。 同时使本振光也照射同时使本振光也照射到爱里斑上，即可发到爱里斑上，即可发生光混频。生光混频。 随着随着D/f 比的增加，比的增加，对失配角的要求越来对失配角的要求越来越宽。越宽。6.3.2 6.3.2 光外差检测的频率条件光外差检测的

24、频率条件为获得灵敏度高的光外差检测，要求信号光和本振光具有高为获得灵敏度高的光外差检测，要求信号光和本振光具有高度的度的单色性和频率稳定性单色性和频率稳定性。光外差检测的物理光学的本质是光外差检测的物理光学的本质是两束光波叠加后产生干涉的两束光波叠加后产生干涉的结果结果。这种干涉取决于信号光和本振光束的单色性。因此为。这种干涉取决于信号光和本振光束的单色性。因此为获得单色性好的激光输出，必须选用获得单色性好的激光输出，必须选用单纵模运转的激光器单纵模运转的激光器作作为光外差检测光源。为光外差检测光源。信号光和本振光存在着信号光和本振光存在着频率漂移频率漂移，使光外差检测系统的性能，使光外差检测

25、系统的性能变坏。是因为频率差太大可能超过中频滤波带宽，中频信号变坏。是因为频率差太大可能超过中频滤波带宽，中频信号不能正常放大。因此在光外差检测中，需要采用专门措施稳不能正常放大。因此在光外差检测中，需要采用专门措施稳定信号光和本振光的频率。定信号光和本振光的频率。 1、干涉测量技术 应用光的干涉效应进行测量的方法称为干涉测量技术。 干涉测量系统主要由光源、干涉系统、信号接收系统和信号处理系统组成。 优点：测量精度高（以波长为单位） 6.4 光外差探测系统举例光外差探测系统举例 干涉测量基本原理：改变干涉仪中传输光的光程而引起对光的相位调制，从而表现为光强的调制。测量干涉条纹的变化即可得到被测

26、参量的信息。 干涉条纹是由于干涉场上光程差相同的场点的轨迹形成。 可进行长度、角度、平面度、折射率、气体或液体含量、光学元件面形、光学系统像差、光学材料内部缺陷等几何量和物理量的测量。 1、激光光源：稳频He-Ne气体激光器，频宽达103Hz，相干长度可达300km。2、干涉系统：迈克尔逊干涉原理，位移-测量臂；3、光电显微镜：给出起始位置。实现对对测长度或位移的精密瞄准，使干涉仪的干涉信号处理部分和被测量之间实现同步。4、干涉信号处理部分：光电控制、信号放大、判向、细分及可逆计数和显示记录等。6.4.1 6.4.1 激光干涉测长仪激光干涉测长仪如图，主要有几部分组成：激光器NeHe光电计数器

27、显示记录装置迈克尔逊干涉仪可移动平台待测物体光电显微镜光束光束激光束BS 测量光束2和参考光束1相互叠加干涉形成干涉信号。其明暗变化次数直接对应于测量镜的位移 M2沿光束2方向上每移动半波长的长度，光束2的光程就改变了一个波长，于是干涉条纹就产生一个周期的明、暗变化。这个变化由光电转换装置转变成一个电信号而被光电计数器计数，并由显示和记录装置加以显示和记录。我们只要记下M2移动时干涉条纹变化的周期数N就可以得到被测长度(即M2移动的距离)。被测长度L通过运算和显示电路直接显示出来2 NLL2M1M光束光束激光器器数计逆可234567891011121314151611 1、激光器；、激光器；2

28、 2、透镜；、透镜；3 3、小孔光阑；、小孔光阑；4 4、透镜；、透镜；5 5、反射镜；、反射镜；6 6、反射棱镜；反射棱镜；7 7、位相板；、位相板；8 8、角锥反射棱镜；、角锥反射棱镜；9 9、分束镜；、分束镜；1010、角锥反射棱镜；角锥反射棱镜；1111、透镜；、透镜；1212、光阑；、光阑；1313、光电检测器；、光电检测器；1414、透镜；透镜；1515、光阑；、光阑；1616、光电检测器、光电检测器光阑3形成一种空间滤波器，减小光源中杂散光的影响。到达角锥反射棱镜10的作为干涉仪的参考臂。而角锥反射棱镜8作为测量臂。光学元件7称为位相板，使通过光路的部分光束产生附加位相移动，使光

29、电检测器13和16接收到的干涉信号在位相上相差/2。实用的激光干涉测长仪的简化光路实用的激光干涉测长仪的简化光路 该光路中，使用该光路中，使用角锥棱镜角锥棱镜代替了平面反射镜作为反射器，代替了平面反射镜作为反射器，一方面避免了反射光束反馈回激光器而对激光器带来的不利一方面避免了反射光束反馈回激光器而对激光器带来的不利影响，另一方面由于角锥棱镜的特点，使得出射光束与入射影响，另一方面由于角锥棱镜的特点，使得出射光束与入射光束平行，而棱镜绕任一转轴的转动均不影响出射光束的方光束平行，而棱镜绕任一转轴的转动均不影响出射光束的方向，当它绕光学中心转动的角度不大时，它对光程的影响可向，当它绕光学中心转动

30、的角度不大时，它对光程的影响可以忽略。缺点是这种成对使用的角锥棱镜要求配对加工，而以忽略。缺点是这种成对使用的角锥棱镜要求配对加工，而且加工精度要求高。且加工精度要求高。 角锥棱镜的形状相当于立方体切下来的一个角角锥棱镜的形状相当于立方体切下来的一个角，它的三个，它的三个内表面作为光学反射面并相互垂直。当光从基面入射，可在内表面作为光学反射面并相互垂直。当光从基面入射，可在三个直角面上依次反射，仍从基面出射。出射光线与入射光三个直角面上依次反射，仍从基面出射。出射光线与入射光线总保持平行。线总保持平行。 反射器反射器 各种反射器如图所示，有平面反射镜1、直角棱镜2、角锥棱镜3、三种猫眼系统4和

31、固定反射镜与直角棱镜的组合5。各种反射器各种反射器 几种典型的布局几种典型的布局1使用角锥棱镜反射器的干涉系统 （1）图（a）结构的主要特点是反射光束不能反馈回激光器。缺点是这种成对使用的角锥棱镜要求配对加工，而且加工精度要求高。 （2）图（b）结构只用一个角锥棱镜作可动镜，镜M1和M3还能做成一体，如图（c）所示。 （3）图（d）的布局只用一个角锥棱镜作动镜，已基本上不受镜座多余自由度的影响，而且光程增加一倍。所以也叫做双光程干涉仪系统。 2整体式布局 这是一种将多个光学元件结合在一起，构成一坚固组件的布局结构。如图所示。特点：系统对外界的抗干扰性较好。缺点是调整不方便。该系统不仅多余自由度

32、消除好，灵敏度也提高一倍。 整体式布局系统整体式布局系统 3光学倍频的布局（特伦系统） 为了提高干涉仪的灵敏度，可以用光学倍频（也称光程差放大器）的棱镜系统，如图所示。M1每移动/2k就有一个干涉条纹的位移。在这种情况下，当a作为棱镜斜边长度时，M2对M1的位移为a/k（k为正整数）。 特点：能用简单的脉冲计数逻辑做精密测量，而无须依靠条纹细分，这种技术还使干涉仪结构紧凑，可使热、空气以及机械干扰减小。 光学倍频系统光学倍频系统 由于动镜在导轨上沿光轴移动的过程中，存在各种偶然因互的干扰（例如外界振动、导轨的平直度误差以及机械传动系统的不稳定等），使动镜产生偶然的反向运动，这种偶然的反向运动使

33、计数器所显示的脉冲数为正反向移动的总数，而不是真正的被测长度，因此必然存在测长误差。为了解决这一问题，经光电转换并放大整形后，信号进入一方向判别电路，该电路把计数脉冲分成加、减二种脉冲，工作台正向移动时引起的脉冲为加脉冲、反向移动时引起的脉冲为减脉冲、把这两种脉冲分开后送入可逆计数器计数。干涉信号的方向判别与计数原理干涉信号的方向判别与计数原理 方向判别电路的原理。先在干涉系统中应用移相方法（详见后述）将干涉条纹分为两组且彼此位相偏移/2，分别经光电转换后，输出的两组光电信号也彼此有/2的位移偏移，这两组光电信号分别经放大、整形、倒相，变成四个位相依次差/2的矩形脉冲，再经斯密特电路把波形变换

34、成尖脉冲。 当工作台正向移动时，脉冲的当工作台正向移动时，脉冲的排列为排列为1、3、2、4 、1 ；反向移；反向移动时，脉冲排列次序为动时，脉冲排列次序为1 、 4、2、3、 1，如图所示。在逻辑电路上，如图所示。在逻辑电路上可根据脉冲可根据脉冲1的后面是的后面是1或或4来判别来判别正向加脉冲或反向减脉冲，并分正向加脉冲或反向减脉冲，并分别逆入加脉冲的别逆入加脉冲的“门门”或减脉冲或减脉冲的的“门门”中去，从而可得到总的中去，从而可得到总的加脉冲或减脉冲信号。加脉冲或减脉冲信号。辩向电路原理辩向电路原理 判向电路除提高了仪器的抗干扰能力外，还把一个周期的干涉条纹变化（即亮暗变化一次）变成四个脉

35、冲输出信号。因此在测长时，当条纹变一条时，可逆计数器显示4个脉冲数，这等于把条纹4细分了，常称四倍频计数。此时每一脉冲代表/8的移动量，所测得的长度8LN 为了提高光学干涉测量的准确度，七十为了提高光学干涉测量的准确度，七十年代起有人将电通讯的外差技术移植到光年代起有人将电通讯的外差技术移植到光干涉测量领域，发展了一种新型的光外差干涉测量领域，发展了一种新型的光外差干涉技术。干涉技术。 光外差干涉光外差干涉是指两相干光束的光波频率是指两相干光束的光波频率产生一个小的频率差，引起干涉场中干涉产生一个小的频率差，引起干涉场中干涉条纹的不断扫描，条纹的不断扫描，干涉场中某点处光强以干涉场中某点处光强

36、以低频低频随时间呈余弦变化随时间呈余弦变化 ，经光电探测器经光电探测器将干涉场中的光信号转换为电信号。将干涉场中的光信号转换为电信号。激光外差干涉测试技术激光外差干涉测试技术 双频激光外差干涉仪双频激光外差干涉仪光源光源: 双频双频He-Ne激光器激光器由于塞曼效应由于塞曼效应和频率牵引效和频率牵引效应，使该激光应，使该激光器输出一束有器输出一束有两个不同频率两个不同频率的左旋和右旋的左旋和右旋圆偏振光圆偏振光 ，它，它们的频率差们的频率差V约为约为15MHz 双频激光器双频激光器1发出双频激光束发出双频激光束 通过通过14波片波片2变成两束振动方向互相垂直的线偏振变成两束振动方向互相垂直的线

37、偏振光光(v1垂直于纸面，垂直于纸面，v2平行于纸面平行于纸面) ，一小部分被反一小部分被反射到检偏器射到检偏器5上，检偏器的上，检偏器的透光轴与纸面透光轴与纸面成成450 一部分光束透过分束一部分光束透过分束镜镜4沿原方向射向偏振沿原方向射向偏振分束棱镜分束棱镜8。偏振方向。偏振方向互相正交的线偏振光互相正交的线偏振光被偏振分束镜按偏振被偏振分束镜按偏振方向分光，方向分光， v1被反射被反射至参考角锥棱镜至参考角锥棱镜9， v2则透过则透过8到测量角锥到测量角锥棱镜棱镜10 工作原理工作原理经光束扩束器经光束扩束器3适当扩束准直后，光束被分束镜适当扩束准直后，光束被分束镜4分为两部分分为两部

38、分根据马吕斯定律，根据马吕斯定律，两个互相垂直的两个互相垂直的线偏振光在线偏振光在450方方向上的投影，形向上的投影，形成新的同向线偏成新的同向线偏振光并产生振光并产生“拍拍”，其拍频，其拍频就等于两个光频就等于两个光频之差，即之差，即vv1v21.5MHz 由光电接收器由光电接收器6接收后接收后进入交流放大器进入交流放大器7，放，放大后的信号作为参考大后的信号作为参考信号送给计算机信号送给计算机 光束返回后重新通过偏振分束镜光束返回后重新通过偏振分束镜10与与v1的返回光会合，经的返回光会合，经反射镜反射镜11及透光轴与纸面成及透光轴与纸面成450的检偏器的检偏器12后也形成后也形成“拍拍”

39、 ，其拍频信号可表示为，其拍频信号可表示为若测量镜以速度若测量镜以速度V运动运动(移动或振动移动或振动)，则由于多普勒，则由于多普勒效应，从测量镜返回光束的光频发生变化，其频移效应，从测量镜返回光束的光频发生变化，其频移 正负号由动镜移动方向决定，当动镜正负号由动镜移动方向决定，当动镜向偏振分束器方向移动时，向偏振分束器方向移动时，v为负为负 拍频信号被光电拍频信号被光电13接收后，进入交流前置放大器接收后，进入交流前置放大器14，最后，最后也被送入计算机也被送入计算机 计算机工作计算机工作（1）计算机先将拍频信号）计算机先将拍频信号v0 v 与参考信号与参考信号v0进行相进行相减处理后，就得

40、到所需的测量信息减处理后，就得到所需的测量信息v 设在动镜设在动镜10移动的时间移动的时间t内。由内。由v引起的条纹亮暗引起的条纹亮暗变化次数为变化次数为N，则有，则有于是于是（2）由）由v换算成换算成L的工作由计算机通过软件自动进行，最的工作由计算机通过软件自动进行，最后由显示器显示被测长度值。后由显示器显示被测长度值。NdtdtdtLtttD222000优点：优点：前置放大器可采用交流放大器，避免了用直前置放大器可采用交流放大器，避免了用直流放大器时所遇到的棘手的直流漂移问题流放大器时所遇到的棘手的直流漂移问题 交流干涉仪抗干扰性能好交流干涉仪抗干扰性能好 测量范围大测量范围大(可测大于可

41、测大于60m的距离的距离) 应用应用 ：测长外，还可用于测角、测直线度及测振等测长外，还可用于测角、测直线度及测振等 光外差通信基本上都是采用CO2激光器做光源，由光发射系统及接收系统两大部分组成。 发射系统：6.4.2 6.4.2 光外差通信光外差通信滤光片滤光片稳频原理稳频原理: 发射波长增加，光通量亦增，输出电压增大，压电陶瓷使腔长缩短，发射频率提高，波长减短；反之，则波长加长 滤光片的滤光曲线滤光片的滤光曲线 接收系统:鉴鉴激光测速的激光测速的原理原理是：是测量通过激光束的示踪粒子的多是：是测量通过激光束的示踪粒子的多普勒信号，再根据速度与多普勒频率的关系得到粒子速普勒信号，再根据速度与多普勒频率的关系得到粒子速度。测得了粒子的速度，也就是流动的速度。度。测得了粒子的速度，也就是流动的速度。激光测速的最主要的激光测速的最主要的优点优点是对流动没有任何扰动，测量是对流动没有任何扰动，测量的精度高，测速范围宽