PCB设备蚀刻补偿原理及应用

1、 蚀刻补偿原理及应用1、蝕刻補償原理什麼是“間隔噴淋蝕刻”的意思？為什麼“間隔噴淋蝕刻”能給我們一個更加均勻的蝕刻效果呢？當蝕刻噴淋到上板面的時候，板邊緣的藥水流動要更快於板中間，這樣導致了在上板面形成一種“魂凝”狀態，從而阻礙了噴淋和降低了蝕刻反映速度，導致在上板面形成一個“銅山”（如圖一所示），為了得到更好的蝕刻品質，這些“銅山”應該要除去，下面圖表會解釋這個過程。所謂的“銅山”已經使用3D圖表顯示，同時使用等高線分開。 使用3D圖像除去“銅山”紅色區域=第一根噴管（9個噴嘴黃色區域=第二根噴管（8個噴嘴）淺藍色區域=第三根噴管（7個噴嘴）等等. 為了補償上板面“混凝”的影響，設計了一個特

2、殊的噴淋系統，這個系統在工作方向垂直方向上安裝了一些噴管，每一根噴管可以各自的控制其開關，而且每一根噴管安裝了不同數量的噴嘴，噴嘴的形狀安排成一個三角形。正常情況下按照以下排列：第一根噴管安裝了9個噴嘴，第二根噴嘴安裝了8個噴嘴，第三根噴管安裝了7個噴嘴，如此類推，直到最後一根噴管安裝3到4個噴嘴為止，如圖2所示。由於可以選擇每一個噴管的開、關，在板面上的“銅山”可以被一層一層的除掉。間隔噴淋缸內噴管的噴嘴被排列為V形的形狀下面給了我們關於“間隔噴淋”程式更詳細的解釋：圖例R1 = 第一根噴管R2 = 第二根噴管等等Cu1.5 = 1.5um銅厚區域Cu3.0 = 3.0um銅厚區域感應器 =

3、 監控板的位置以上圖解顯示了有6根噴管的“間隔噴淋”系統，在板面上的橢圓形表示了板面上殘銅（銅山）的不同的厚度。當板走進時，有8個噴嘴的第一根噴管被開動，目的是蝕刻掉1.5um的銅厚，意味著原來1.5um的區域被蝕刻為0um，3un的區域蝕刻為1.5um，如此類推。在第一個噴管到達板後端以前，第二根噴管已經被開動，實際上是在1.5um銅厚的區域剛好到達第二根噴管時開動的。第三根噴管是在下一層銅層到達時開動，如此類推，一直到裝有3個噴嘴的最後一根噴管噴完為止，這意味著這個系統可以根據實際蝕刻掉板面上最後一層銅層，而噴灌管的開、關選擇可以在PLC控制的PC上設定。2、蝕刻補償控制與操作（手動機）2

4、.1控制板面之操作鍵操作鍵功能備註HELP顯示HELP內文Help指示燈發亮時,表示有內文訊息ENTER輸入確認及完成輸入ACK確認確認錯誤訊息ESC解除/返回/取消1. 在未按ENTER前,除消輸入.2. 返回上一頁或顯示板面3. 離開Help內文移動輸入/浮標/顯示上下左右箭頭表示移動方向 +SHIFT選擇其他輸入符號/文字如選擇蝕刻補償噴淋狀態:on(長開), off(長關), Int(間歇噴淋)2.2概覽蝕刻補償各噴管狀況Over-view按 鍵進入概覽板面(在概覽板面內,可視察噴管開關狀況) 12345678910 1234 噴管號 噴管開關狀況: 上噴管開啟 上噴管關閉 下噴管開啟

5、 下噴管關閉 2.3閱覽工作狀態信息Mes-sages按 鍵進入信息閱覽板面(在信息板面內,可閱覽工作狀態信息) 工作信息 信息編號 故障信息 信息編號S #003Not all doors and covers are closed.B #000No messages present.Press <ENTER>. 離開工作信息板面,需按下<ENTER>鍵 與工作信息不同,故障信息會閃動,直致按下 但必須確認或修復排除所有故障信息 <ACK>鍵確認或修復排除故障 如有多個信息可按 閱讀其他信息 幫助排除故障內文 H S #003Please close al

6、l doors and covers.按<HELP>鍵閱讀內文,離開按<ESC>鍵2.4蝕刻補償參數輸入PIPE按 鍵進入設定補償參數板面在板面首頁可輸入零點修正值及蝕刻補償類型General settings Offset: 10 cm Mode: Innerlayer >> 零點修正為+10厘米 蝕刻補償類型為內層補償(Outsidelayer外層補償) 下頁零點修正范圍- +50cm-50cm蝕刻補償類型為內層補償時,只有板面內心部分受噴淋蝕刻補償類型為外層補償時,只有板面沿邊部分受噴淋如下圖示: 板後沿設定 板前沿設定 內層補償 生產板傳動方向 外層

7、補償 =噴淋區域按 (下頁)可輸入蝕刻補償參數Top pipe 01: int StartAfterFront: 5 cm StopBeforeEnd: 5 cm<< >><<>> 第一排上噴管 間歇噴淋 板前沿5厘米(設定) 板後沿5厘米(設定) 下頁 上頁>>>> 按Top pipe 02: int StartAfterFront: 0 cm StopBeforeEnd: 0 cm<< >><<>>2.5輸入應用程式PROG按 鍵進入應用程式板面ProgramsAct.

8、: 11 New : 0 輸入新應用程式(可鍵入1-20號程式) 11號程式應用中 板面首頁ENTER鍵入新程式New:?後按下 鍵 現假設新程式為2號程式,輸入操作如下:ProgramsAct. : 11 New : 2Save Load ProgramsAct. : 11 New : 0 鍵入2 ENTER2.6載入及儲存程式載入程式 儲存程式ProgramsSave 11 to 2?Yes No << >>ProgramsAct. : 11 New : 2Save Load << >>ProgramsLoad program 2?Yes N

9、o << >>ProgramsAct. : 11 New : 2Save Load << >> 按下此鍵 按下此鍵 按下此鍵 按下此鍵 完成載入程式 完成儲存程式3、蝕刻補償操作步驟：3.1 選擇內層/外層模式，一般情況下選擇內層模式3.2 選擇噴淋模式為“間隔噴淋”，同時設定所有距離為0cm3.3 進板3.4零點修正：觀察是否在板到時馬上噴淋如果超過噴管再噴淋，選“-”如果沒到噴管噴淋，選“+”3.5 設定噴淋主壓力3.6 設定分壓3.7 進板3.8 測量和記錄銅厚資料3.9 根據資料調整補償蝕刻和分壓或總壓（如有需要）.3.10重複第79項直至標準偏差小於0.7(0.5OZ), 1.2(1 OZ), 1.6(2OZ)4、異常問題處理：問題原因解決措施参数设定正确，蚀刻补偿不喷。1、 侧板感应器损坏2、 脉冲发生器损坏3、 喷淋泵坏4、 气阀损坏或导致气阀不能工作的其他原因。1、 更换感应器。2、 更换脉冲发生器3、 更换泵浦4、 查找气动阀不工作原因排除。板面發現有局部蝕刻不尽1、 蝕刻程式是否正確2、 各种参数是否正常3、 喷嘴是否堵塞或异常4、 Offset是否正確5、 蝕刻补偿缸噴管排序是否正確(检查