真空设备维修

1、做为真空设备专业生产厂家，不乏检测仪表和专业技术人员，并有相当丰富的真空设备维修经验，因此，真空设备的检测和维修应该是没有问题的。而作为用户，除非技术力量雄厚，一般不具备或不完全具备条件来进行真空设备维修。问：真空设备维修的要点是什么?答：真空设备维修的要点是判断故障。真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之。这时，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重

2、点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。沾襟.独坐墙角落孤寞,窗外风交雨狂作.念当初,情深意切问：用户最头痛的是什么?答：用户最头疼的是检测漏率问题。漏分内漏和外漏；外漏比较好检测，内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。我们用自制的检漏仪可以在旋片泵范围内进行检漏，现在已经生产 ZHC1 型仪表。该检漏仪表用 ZJ2 电离规管，规管接在旋片泵吸气口来检测。若是扩散泵机组

3、的话，可以检测到l0Pa 级的漏率。问：小漏和微漏怎么查?答：小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了，沾襟.独坐墙角落孤寞,窗外风交雨狂作.念当初,情深意切也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，再喷射。最好是反复几次，确认漏点。ZHC 一 1 仪表也可以用上述方法来检漏，不同的是 ZHC1 仪表能在旋片泵范围内进行检漏，而且不怕暴露于大气中。问：内漏和外漏怎样查?答：内漏多发生在有水冷套的设备上

4、，查外漏没有发现疑点。但是却有以下现象；机械泵的抽速明显偏低，真空计示值低，机械泵油很快乳化，真空室内的铁基零部件明显锈蚀，具备以上条件基本可以确定有内漏。有一台 25kg 中频炉，2X 一 70 旋片泵和 ZJ150 罗茨泵两台泵加到一起抽也只能抽到 l0Pa，ZJ 一 150 泵的作用显现不出来，没发现有外漏，却具备了机械泵油很快乳化，真空室内铁基件明显锈蚀的条件，解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水。剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净，再通冷却水，看有无湿润点，湿润处就是漏点。沾襟.独坐墙角落孤寞,窗外风交雨狂作.念当初,情深意切问：故障点找出后怎么处理?答：找出故障点就可以

5、因地制宜地进行处理了，简单的办法是换件，小到胶圈、螺栓，大到阀门、真空泵，只要手头上有的都可以换；对于需要焊接的部位应按要求来进行，焊接后还需确认达到了要求。问：维修应注意哪些环节?答：维修应注意几个环节、拆卸、清洁、检验、装配。真空设备无论大小都属于精密机械设备，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮干，一定不能用大锤去敲；清洗零件时要干净、彻底，以便于发现问题和查出隐患；真空泵类产品与一般机械产品有较大区别，一般机械产品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易伤手，应多加小心，切记。检验是个细致活，每个细节都不要落掉，更不能存在侥幸心理。有一台设备，用户存放 4 年了，做完了常规的清理按

6、部就班地连接好管路开始抽真空，怎么也达不到出沾襟.独坐墙角落孤寞,窗外风交雨狂作.念当初,情深意切厂标准，什么都查了，就是一根供气的真空胶管没查，当时就认为真空胶管不会漏。结果恰恰相反，问题就出在这根真空胶管上。再有，不论是用汽油还是其他溶剂清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶剂彻底挥发了才能进行装配，真空泵油若与其他的油或溶剂，或水混合会破坏其性能，影响真空泵的性能指标。胶圈要擦干净，仔细检查有无缺陷，如裂纹等。还有尺寸是否正确，特别注意相近尺寸直径的，像3 1mm与3mm； 5 7mm与 6mm 的尺寸不对将影响密封。凡是有加热位置的胶圈，每次拆卸清洗时必须换，比如油增压泵各个接口。装配时泵

7、件同样需要轻拿轻放；紧螺钉时用力要均匀，要从对角紧起。动密封多用轴封，上轴封时要细心，先检查轴封本身有无缺陷，密封面是否平整，轴封簧弹性如何。在轴封内侧可薄薄地涂上一层真空脂，上轴封时用力要均匀，骨架轴封不要压偏了，偏了就会漏油、漏气；轴封簧别挤出去，没了轴封簧轴封就失效了，注意轴封与轴的同心度。有的泵是用对轮连接的，对轮的同轴度要求很严格，装配时要从轴的四面沾襟.独坐墙角落孤寞,窗外风交雨狂作.念当初,情深意切去量，保证平行一致。罗茨泵的对齿轮调整的关键是两个 8 型齿轮不相碰。扩散泵的内壁和喷射塔清洗干净后最好用电力纺擦干。由于国内生产的扩散泵主要靠电炉丝的长短来控制泵油的温度，扩散泵油的

8、注入量就需要考虑当地电网的实际情况来酌量增减，若 K400 泵注油在分流槽上 10mm 的话，K150 泵就可以在分流槽上 6mm，泵的口径大小不一样注油量有差别；电网的电压低注油可以减少 2mm，只要是干净的钢直尺或铁丝都可以用来测量。由于制造和使用上的差别，扩散泵注油量的多少只能供大家参考。维修切记不可操之过急，故障没搞清楚就想当然地开始动手拆卸，会旧病未除又添新病。把本来简单的问题搞复杂化了。问：应急条件下设备出故障怎样处理?答：常规的维修可以按部就班地去做，应急条件下设备出了故障，生产任务又急不可待，这种情况下，只要判断故障准确，采用手头上现有的材料，真空封泥、真空封蜡、704 硅胶、真空沾襟.独坐墙角落孤寞,窗外风交雨狂作.念当初,情深意切腔板等一切可用的材料。只要与在制品不发生冲突，就可以进行修理。有一台外地产的新镀镜机，正常月余，停机一天真空室门自己打开了，用户急于恢复生产，自行拆检忙了两天，没有解决问题。经我们检查发现是真空室门有缺陷，用真空封泥堵住缺陷，使用户尽快地恢复了生产。有一台中频炉，低真空 l 时正常，在 6Pa 时就放电，经检查发现是尖端放电造成的，根本解决问题的办法是大修，需时一周。根据用户急于使用的要求，用 704 硅胶封闭了 l 放电的尖端，第二天就能正常生产。有一台真空设备，供热密