清净室(Clean Room)管理资料

1、1Clean Room清清净净室管理资料室管理资料2什么么是 Clean Room? 无尘尘，洁净洁净的 房间间 (淸淸:清净清净的清清, 淨淨:洁净洁净的净净) 即,灰尘尘的浓浓度(浮尘尘粒子), 温温度, 湿湿度, 气气流,次压压等 综综合管理 下的封闭闭空间间清净清净室(Clean Room) 1. Clean Room 基本 浮游粒子(Airborne Particle) 大小在 0.1m 5 m 之间间， 存在于空气气中的固体或液体物质质 浮游粒子 3湿湿度 (Humidity) 湿湿度管理的重要性 -湿湿度和静电静电有密切的关关系. - Fab內內 湿湿度低度低时时，产产生生静电静

2、电的机率高的机率高. - Fab內內 湿湿度度 高高时时，虽虽然然减减少少静电发静电发生率，但因生率，但因湿气发湿气发生生装装备备腐腐蚀蚀（锈锈），故而粒子的发发生率变变高。1. Clean Room 基本41. Clean Room 基本清净清净度(Class)?1 ft1 ft1ft = 30.48cm1CF = 0.028m3CFM(Cubic Feet Minute) 0.028 空间内间内的粒子，用1分钟钟抽样样测测量的数数量. (横横向*纵纵向*高度 30.48cm 空间间) Class1 ： 0.028 空间内间内的粒子，1分钟内钟内抽取测测量结结果存在1个个 以下粒子时时叫 C

3、lass 1. (0.5um以上的粒子 1个个/CFM 空间间)51. Clean Room 基本 ClassParticle Size ()0.10.20.30.55.0ABCDEF11010010001000010000035350-7.575750-58.7587.5875-110100100010000100000-770700Class 表 (FED-STD 209C)61. Clean Room 基本Clean Room 业种别业种别 区区分及清净清净业种别业种别产业产业系列 区区分清净清净度 (Class)粒子大小形式电子产业- 半导体(上级)- LCD- Wafer 制造1 1

4、00.1m垂直 对流式,层流式C/RClean Bench式- 宇宙火箭, 人工卫星- 半导体 (中级 以下)10 1000.3m- FILM, CRT- 微接触, 光学仪器类100 1,0000.3m- 精密仪器组立, 半导体器件 ，镜头加工1,000 10,0000.5m- Computer组装- 精明轴承，电子计算室10,000 100,0000.5m制药产业- 药品制造,包装100 1,0000.3m- 发酵, 酿造, 保管1,000 10,0000.5m医院,医疗- 实验室,培养室100 1,0000.3m-无菌手术室,新生儿室- 精密医疗器械制造10,000 100,0000.5m

5、71. Clean Room 基本Class 表 (FED-STD 209E)粒子数 粒径81. Clean Room 基本Class 表 (FED-STD 209E的主要修订订)项项 目内内 容单单位主要使用Miter法，并并用英国单国单位记录记录CLASS标识标识0.5以上的 粒子数为数为 10/ ,X用 Class标识标识. 为为了明确Miter法，附加了M CLASS分类类增加了清净清净度大于209D Class 1的 Class M1 及 清净清净度小于 Class 100,000的 Class M7.微粒子计测计测计测时计测时可以使用 CNC,此时时 计测计测粒子直径为径为 0.0

6、2以上. 此时时的标记为标记为 Class U(X).U = 微粒子 计测标识计测标识 X = 最大 允许许粒子浓浓度 P/标标准计测计测粒子0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 5 Micron 为为基准.但 可以使用其他粒子直径径.抽样样根据计测场计测场所，计测时计测时可以使用其他抽样类样类型.但，粒子浓浓度标记为个标记为个/单单位体积积.抽样样点多于 10处时处时，测测量值值可以取平均值值. 清净清净度高于Class M2.5时时，为为了节节省计测时间计测时间可以连续连续抽样样.附录录209D的相关规关规格,用语语被删删除，增加了等速吸引法，超微粒子浓浓度测测量法，清净清净度高于Cla

7、ss M2.5时时的连续连续抽样样法 3个项个项目.91. Clean Room 基本大气气中 粒子 大小 烟 雾 GAS 粒子 病毒 油烟 发霉 头发 花粉 植物胞子甲醇酵母菌 雾 喷雾 雨 细菌 下记大小是与人的头发厚度（100m）相比较时的大小 人能见得着的最小大小（10m）表示直径大小为0.3m，HEPA Filter清除99.97%的粒子表示1m，VLS1(1M)线幅大小 人的头发厚度100 m101. Clean Room 基本大气气中的 粒子 浓浓度地球环境的 清净水准大气的位置Class 水准备注平流层 上层以上Class 1,000汉拿山 顶部Class 10,000高原地带

8、Class 100,000大都市Class 1,000,000工厂地带Class 10,000,000越往上空走，清净清净度水准越高11Clean Room污污染 污污染源 发发生 要素 污污染发发生要因 (4M) Man (人) Machine (机器) Material (材料) Method (方法/环环境/设设施)现现象精神要素污污染 (Contamination)无意识识灰尘尘 (Particle)无关关心划划痕 (Scratch)无改善1. Clean Room 基本12 污污染往 Clean Room移动动的路径为径为 ? 1) 空气气中(Gas中) 混合 (Airborne)

9、2) 贴贴附表面上 (Surface) 3) 贴贴附工具上 (Tool) 4) 业业体(药药品)中 混合 (Liquid) 污污染移动动. 污污染引起的最终终影响为响为? 1) 收率低下 2) 品质质不良 3) 信赖赖性不良1. Clean Room 基本13区分遏制 灰尘流入遏制 灰尘发生灰尘及时排除Man(人)n通过风过风淋室进进入清净清净室n限制 清净清净室出入人员员n穿着符合规规格的防尘尘服n禁止不必要的言行n出入门门口设设置防尘垫尘垫Machine(装备备)n放入清净清净室装备时实备时实施清扫清扫n灰尘尘排除用过滤过滤器设设置n驱动驱动部的低震动动 对对策树树立n灰尘尘无堆积积的结构

10、结构 (位置选选定)Material(材料)n物品通过传递过传递窗返入n符合清净清净等级级(Class)的基材使用n资资材 /备备品 整理整顿顿Method(方法/环环境/设设施)n清净清净室 正压维压维持n装备备反入口 设设置2层层 Doorn低 防震性专专用清净清净室设备设备使用n清净清净室静电静电管理n周期性清扫实清扫实施n换气换气次数数 维维持主要 污污染源别别 发发生 占有率区区分人生产产装备备制造工程产产品空气气1980年代3040%2030%2030%10%5%1990年代以后20%35%35%10%5%Clean Room 管理 3大 运营运营原则则1. Clean Room

11、基本14Clean Room 5原则则1. Clean Room 基本 为为了有效使用清净清净室并维并维持，应该应该遵守的事项项.防止 微粒子的 侵入 (preventing)维持所需的温湿度及室内压 （providing) 祛除 产生的微粒子 (purging) 防止 微粒子的 发生 （prohibiting)防止 微粒子的 累积 （protecting)151. Clean Room 基本Clean Room 主要管理项项目及影响响项项目目的及定义义影响响粒子(Particle)-粒子(Particle): 通常具有0.01 1000大小的固体或者其混合状态状态的物质质 -空气气浮游粒子（

12、Airborne Particle): 空气气中浮游的粒子-气气容剂剂(Aerosol): 气气体中分散的固体或液体状态状态的粒子或者其状态状态-氧氧化膜的形成工程前后 附着时时 妨碍氧氧化膜的 成长长 或 加速化-Photo 工程中 诱发诱发 Bridge 不良 及 Open 不良. -Inplantation 或 Diffusion 工程中 起Masking作用. -Etching工程中 诱发蚀诱发蚀刻不良. -结论结论:Process中 D/D (Defect Density:Defect/cm3)为为 主要要因.161. Clean Room 基本项项目目的及定义义影响响温温度计计/

13、湿湿度-为为了确保像Photo 工程那样样需要超恒温温性的工程或者粒子的带电带电及基板（wafer）的吸着等静电带电静电带电特性及发发生腐蚀蚀有关关系的决决定性工程的安全性。 -温温度(Temperature):与与通常意义义的温温度相同-相对湿对湿度(Relative Humidity):根据实际温实际温度变变化的相对湿对湿度量-绝对湿绝对湿度(Absolute Humidity) : 单单位质质量包含的湿湿度量-空间间分布不稳稳定时时，热扩热扩散效果引发发 清净清净室 内内 气气流移动动，起诱发诱发粒子扩扩散的因子作用-由于湿湿度上升发发生 PR涂布工程中的 基板（Wafer）表面的 Li

14、fing 诱发诱发或设备设备腐蚀现蚀现象-湿湿度的 Drop(35% 以下)提升静电静电 Level后，根据上升的静电静电力发发生粒子附着及设设备备 膜质质破坏现现象171. Clean Room 基本项项目目的及定义义影响响流速(Velocity)-清净清净室内内空调调系统统的最终终排出口(BFU,FFU,CFU等的Hepa, Ulpa Filter) 中 层层流状态顺状态顺流而下的空气气速度 (Air Velocity). -迅速祛除持续产续产生的粒子，相互不同的清净领清净领域间间确保积极积极（ Positive）气气流-管理Room的每小时时室内内空气气循环数环数 及风风量，确保垂直层层

15、流形的空间间-Process 和 作业区业区域的 风风速不均衡产产生逆气气流，此气气流流入到设备内发设备内发生污污染-主要为为粒子（ Particle）不良-风风量增加及减减少引起的 Area, Zone别别 逆气气流形成 -不能确保风风速低下时时的层层流, 即 暖流 or偏流发发生-风风速变变化 温温度变变化 改变变系统参数统参数（Process Parameter）后诱发诱发不良-风风速变变化时时生产设备产设备及基板（ Wafer）等的表面特性发发生变变化，因此直接或间间接影响响到表面污污染，膜质质特性.181. Clean Room 基本项项目目的及定义义影响响次压压-清净清净室内内是否

16、保持规规定的室内压内压 ，由相邻邻空间间的压压力差判定.与与空气气 流入量,排气气量,循环环量及流速等有相关关性. -防止粒子流入方面管理.-粒子流入清净清净室内内部, 使温湿温湿度及流速发发生变变化-对清净对清净室的污污染起到最大幅度变变化的参数参数,Class1000的清净清净室形成瞬间间逆次压压后清净清净度恶恶化到100万-压压力增加时时作业环业环境使作业业人员员感受的疲劳劳度上升-复层结构复层结构的清净清净室中，因层间层间次压压不均衡，发发生粒子通过清净过清净室楼楼梯或升降机移动动的现现象.-Bay Service Area间间 压压力差的变变化是改变变生产产设备条设备条件的重要因素.

17、 (特别别是, Diffusion Tube, Photo Stepper & Coater 等)* 排气压气压力的变动变动是-起到改变变Diffusion Tube内内 Wafer的 Oxide Thickness, Uniformity等的重要因子作用,-因破坏Wet Station内内 Laminar Flow，加重了粒子的污污染, 低的时时候起到Chemical Fume 污污染排放的主要因子作用. .191. Clean Room 基本项项目目的及定义义影响响震动动物体被外力瞬间间或连续连续性施加或消除后失去平衡的现现象-Photo 曝光工程的Miss Align的要因来显现

18、来显现.-因精密测测量仪仪器(SEM, TEM等)上降低了 Measuring Quality，Data的信赖赖性无法保证证的要因. -建筑物,内内部设设施(Partition, Work Station, 保管架等)的 Macro Vibration成为诱发为诱发自体发发震的因子，并并且成为导为导致设备设备故障，热热化的原因.-Sem,Stepper,E-Beam使用设备时设备时，震动诱动诱发发 Pattern缺陷.-作业环业环境噪音导导致作业业人疲劳劳，因此成为为作业业能率低下的要因.201. Clean Room 基本目的及定义义影响响TOC在超纯纯水中的能氧氧化的碳碳素化合物.-损伤净

19、损伤净水 System的离子交换树换树脂或逆渗透膜. -导导致Gate氧氧化膜的厚度 的不均匀匀，诱诱发绝缘发绝缘破坏现现象(Break Down Voltage). -根据有机物的增加，诱发细诱发细菌的增加. D.O表示Liquid内内溶解的氧气氧气量.-Develop或 Rinse时发时发生的水印降低均匀匀性，诱发诱发 Wsi的 Lifting 现现象. -与与Wafer接触时触时形成自然氧氧化膜或氧氧化膜生成工程时诱发时诱发低密度氧氧化膜. 211. Clean Room 基本项项目目的及定义义影响响D.I Resistivity D.I Water内内含有量最多的不纯纯物用于电电解质质

20、(通常称为称为离子)来评来评价水质纯质纯度的情况况.我司对对 D.I的水质变质变化进进行监监控，决决定是否适合工程使用 -UV Light引起的氧氧化作用,有机物的 CO2化引起的非电电阻低下-D.I内内 气气泡(Bubble)发发生引起非电电阻减减. -配管的长长度和流速的不同，非电电阻的低下幅不同. -非电电阻测测量时时不能转转移的微粒子，有机物，微生物不能测测量.22 Clean Room内内的 5S是? 整理 : 清清除非清净清净物品 整顿顿 : 指定的干净场净场所中保管管理 清扫清扫 : 设备设备,设设施,工装器具的 污污染排除 清洁清洁 : 设备设备,工装器具, 人的状态状态保持

21、Clean 规规范 : 清净清净守则彻则彻底遵守 干净净的 Clean Room管理作业业 前.後 5分钟钟做5S.1. Clean Room 基本232. 出入流程 /着装顺顺序入室出室脱脱工作服防尘尘手套 佩戴 (PVC GLOVE) 防尘尘口罩罩 佩戴 防尘尘帽 佩戴防尘尘服 穿戴防尘尘鞋 穿戴Hand Shower & DryAir Shower 实实施Clean Room内内部Air Shower 通过过 脱脱防尘尘口罩罩脱脱防尘尘帽脱脱防尘尘手套 (PVC GLOVE)脱脱防尘尘服脱脱防尘尘鞋穿工作服 出入流程Hand Shower & Dry241.口罩罩2.防尘

22、尘帽5.Hand Shower &Dry3.防尘尘服4.防尘尘鞋7.Air Shower6.防尘尘手套(PVC Glove)入室2. 出入流程 /着装顺顺序防尘尘服穿戴顺顺序25- 按报报警按钮钮 (前.后门门 同时开启时开启)风风淋室内内 被囚禁时时2. 出入流程 /着装顺顺序263. 防尘尘服穿戴方法穿戴合适的防尘尘帽.头发头发，眼毛不能外露口罩罩塞进进防尘尘帽内内手套塞进进防尘尘服袖口内内穿戴清清洗后防尘尘服, 不应应接触触化工药药品防尘尘服的裤裤脚抚抚平后塞进进防尘尘鞋内内.防尘尘鞋提上穿戴不做浓妆浓妆领领口带处带处不能有缝缝隙，适当当勒紧紧 拉锁锁拉到末尾（鄂下） 手套干净净

23、使用防尘尘鞋拉锁锁完全提上穿戴，注意不能接触触化工药药品，污污染物质质.AIR SHOWER 前 在 CLEAN MAT上 清清除灰尘尘防尘尘服穿戴 例273. 防尘尘服 穿戴方法1 1 1 1. . . . M M M Ma a a as s s sk k k k 0 0. .1 1 0 067671501500306090120150 (EA)6 67 71 15 50 0 1.口罩罩正确佩戴防尘口罩正确佩戴状态防尘口罩露鼻不良佩戴状态防尘口罩露鄂不良佩戴状态防尘尘衣类类正确穿戴法不同姿势测量 比正常穿戴增加150倍增加67倍正常 露鼻 露鄂283.防尘尘服 穿戴方法- 1 - 2 2 2

24、 2. . . . 0 022222285685602004006008001000 (E A )2 22 22 28 85 56 6 0 0. .1 1 2.防尘尘帽正确穿戴防尘尘衣类类正确穿戴法防尘帽 正确 佩戴状态防尘帽 露眼眉 不良状态防尘帽 领口系带松紧不良状态不动姿势测量比正常穿戴增加858倍增加222倍正常 露眼眉 露系带293.防尘尘服 穿戴方法- 1 -5 5 5 5. . . . 2302301501509090050100150200250 (EA)1 1. .5 53 3 0 0. .1 1 3.防尘尘服正确穿戴防尘尘衣类类正确穿戴法防尘服正确穿戴不良状态粘合扣 不良状

25、态拉锁 不良状态流动姿势测量比正常穿戴增加3倍增加1.5倍正常 粘合扣不良 拉锁不良303.防尘尘服 穿戴方法4 4 4 4. . . . ( () ) 4.防尘尘鞋正确穿戴防尘尘衣类类正确穿戴法防尘鞋正确穿戴状态防尘鞋套筒穿戴不良状态防尘鞋套筒未完全提上时，因摩擦引起防尘衣类（碳素纱）损伤313.防尘尘服 穿戴方法 V in yl G love V inyl G love V inyl G lo ve 3 3 3 3. . . . V V V Vi i i in n n ny y y yl l l l G G G Gl l l lo o o ov v v ve e e e 555565653

26、5035026602660050010001500200025003000V/Glove (EA)6 64 40 0 0 0. .1 1 5.防尘尘手套正确穿戴防尘尘衣类类正确穿戴法防尘手套正确穿戴状态防尘手套手腕不良穿戴状态防尘手套手指不良穿戴状态比正常穿戴增加40倍增加6倍手套测量 正常 露手腕 手指不良流动姿势测量323.防尘尘服 穿戴方法 Vinyl Glove(塑料手套)的 另外名称称 - PVC Glove 穿戴PVC Glove的 理由? - 遏制 异异物接触触皮肤肤 及 灰尘尘 ,静电静电的发发生Clean Room入室时时 必须须! 穿戴防尘尘服穿戴理由 : 尽尽可能遏制灰尘

27、尘的发发生穿戴防尘尘服也不能完全封锁锁灰尘尘33人为为引起的灰尘发尘发生量4. Clean Room 遵守守则则动动 作灰尘发尘发生量(个个/分, 0.5m)坐着不动30,000坐着轻微动150,000从坐姿站立时800,000定速步行时(1.0m/s)2,500,000定速步行时(1.5m/s)3,000,000做体操时/跑步时5,000,000 10,000,000化妆妆品中发发生的灰尘数尘数化妆品口红指甲油眼霜灰尘数8,0006,000800500200单单位 : 万个个344. Clean Room 遵守守则则 (1) 防尘尘服,防尘尘鞋 及防尘尘帽 按规规定穿戴 (2) Air Sh

28、ower 按规规定时间运时间运行 (3) 扎堆,杂谈杂谈等 个个人行动动 禁止 (4) 嚼口香糖行为为, 食物的反入及摄摄取 禁止 (5) 走廊或实验实验室内内禁止跑跑步 (6) Clean Paper 之外的 一般书书籍,纸类纸类反入 禁止Clean Room 遵守守则则35 (7) 圆圆珠笔笔, 油性笔笔外的笔笔(铅笔铅笔,自动铅笔动铅笔,签签字笔笔)禁止入内内 (8) 原辅辅材进进入时清时清除灰尘尘后入内内 (9) 临时员临时员工先得到管理者许许可后出入 (10) 设备进设备进出入时时先得到管理者的许许可 (11) Utility 工程 ,保修, 设备设备安装等作业时应业时应事先得到许许

29、 (12) 其他,产产生灰尘尘的一切行为为禁止4. Clean Room 遵守守则则36化学学品 使用安全守则则 (1) 化学学品应应在专专用保管场场所(试药柜试药柜)保管 (2) 使用人熟记记 化学学品的危的危险险性，性，树树立危立危险发险发生的生的对对策要策要领领 (3) 使用人 熟记记 使用的化学学品正式名称称外，还还要熟记简称记简称,性质质, 毒性程度,使用上的注意点及识别识别法 (4) 容器上需记录记录名称称及注意事项项 (5) 使用时时必须须用指定的容器4. Clean Room 遵守守则则37 (6) 作业现场业现场保管化学学品时时只保管1日使用量 (7) 使用人必须须佩戴保护护

30、装备备(护护眼镜镜,护护面,橡胶胶鞋,橡胶胶手套) (8) 废废弃的药药品立即移动动到废废弃物处处理场场所 (9) 使用后的空瓶拧紧瓶拧紧盖后扔扔掉 (10) 粘上化学学品的抹布分离收集后单独处单独处理4. Clean Room 遵守守则则38Miss Clean 重点点检检事项项1. 防尘尘服,防尘尘鞋、防尘尘手套,防尘尘帽,1次用口罩罩佩戴状态状态不良者2. 未取得清净清净室入室资资格者事前没联络没联络管理人进进入清净清净室者3. 内访内访客业业体,外来来人 入室时时 事先与与管理者没联络没联络，未接受教教育入室者4. 携带清净带清净室禁入物品入室者 一般纸纸,清净清净室用圆圆珠笔笔外,一

31、般抹布, 具有粉尘尘性的物品5. 酸, 碱碱作业时业时 未穿戴安全保护护装备备者6. 使用的物品 烧烧杯,搬运车运车,安全保护护口,一次性 用品未整理整顿顿者7. 课题别课题别 特殊试药试药上未贴标签贴标签保管者8. Pass box中 样样品及物品1日以上保管者 1日以后的物品无条条件废废弃9. 清净清净室内进内进行禁止行动动者 跑跑步,高声声放歌 等 10. LIMS 没没有登入，但Run 进进行者11. 未取得装备备使用资资格,但使用装备备者揭发时发时 措施事项项1. 按照各司规规定采取措施4. Clean Room 遵守守则则39NoImageS-LineD-LineC-LineP-L

32、ine5. 技术术院 Fab 位置 及 环环境基准Fab位置40区区分S-LineC.P-LineD-Line竣工年度1987年(整修 05年 11月)1998年 5月2005年 11月(P)05年 11月2005年 07月形式对对流形( Return down flow type)对对流形( Return down flow type)FFU方式(FAN Filter Unit)面积积总总面积积 320平, 使用面积积 240平总总面积积 180平, 使用面积积 165平 总总面积积 240平Class0.5 1000Class0.5 1000Class0.1 10, 100Class温温.

33、湿湿度温温度 22 2湿湿度 45% 5%温温度 22 2 湿湿度 45% 5%温温度 22 1 湿湿度 45% 5%次压压0.51.0 mmAq0.51.0 mmAq0.51.0 mmAqP-Line 面积积 80平Fab别别 环环境基准5. Fab 41对对流形 Clean Room (S,C,P-Line) 有利于清净清净室内内局部区区域设设置超清净清净空间间. CLEAN ROOM中 比较较粒子清清除效率低. 物流的入室管理及室内压内压管理起到非常重要的作用6. 技术术院 Clean Room的 方式Clean 空气流向地下层空调器42FFU Clean Room (D-Line) 每

34、1个个Filter 由1个个 Motor构构成 噪音震动动少，易于 High Class 及 驱动驱动 虽虽然运营费运营费用低，但维维持管理有难处难处 因没没有PRE Filter，所以 ULPA Filter的寿寿命短费费用贵贵.6. 技术术院 Clean Room方式 Clean 空气流向43内内部门门外部门门内内部电话电话Pass Box设备设备,试药试药Gas钢瓶钢瓶 移动动路不能同时开启时开启 不开启内开启内部门门，内内外部人通话话内内部人和外部人不能共存样样品及其他防尘资尘资材 Pass7. 设备设备反出入使用要领领反出.入口用 安全通道.设备反入口内内部电话电话448. FAB内

35、内 非常时时 要领领发发生火灾时时 : 首先确认认火势势是否自己能控制 - 可控火灾 : 用灭灭火器 控制 - 不可控火灾 : 无条条件躲躲避Gas 泄露时时 : 无条条件躲躲避Clean Room內 作业业途中 报报警灯 响响起时时躲躲避时时 跑跑步，迅速45Clean Room 469. Clean Room的 分类类(方式)根据控制对对象的分类类I.C.R (Industrial Clean Room)B.C.R (Biological Clean Room)区区分工业业用 清净清净室生物学学 清净清净室控制对对象浮游粒子(灰尘尘)生物粒子(微生物)空气气室内压内压Positive (

36、+ ) - 防止灰尘尘的侵入Negative ( - ) - 遏制细细菌的污污染 细细菌控制适用 半导导体,电电子.精密工学学, 光学计测学计测制药药,食品,医医院,动动物饲养饲养室技术术院 清净清净室479. Clean Room的 分类类(方式)根据气气流的 分类类层层流型和乱乱流型的差异异 层流型为活塞效果(排放方式),乱乱流型为为稀释释空气气(引入干净净空气气)方式48比较项较项目OPEN BAY方式FAN FILTER UNIT 方式(D-Line)A.H.U 方式(对对流形)基本 概概念图图 初 清净清净度 维维持良好良好良好温温.湿湿度 控制性根据DRY-COIL的总控制各 LI

37、NE 保持相同温度根据DRY-COIL的总控制各 LINE 保持相同温度各个ZONE可以控制微震动动 对应对应需要 循环 FAN的 防尘对应FFU防尘 LEVEL低需要防尘对策气气流现现象确保PLENUM CHAMBER的 高度每台FFU，可以确保层流BAY别层流 可能噪音 对应对应需要对FAN的噪音对策(COST )可以用低噪音型对应噪音对应上有限度FLEXIBILITYLAYOUT变更时自由循环 FAN不可 UPGRADELAYOUT变更时自由可以通过FFU 风速变更对应BAY变更很难.MAINTENANCE易于保修.SERVICE AREA及 底层内部中保修易于保修INITIAL COS

38、T指数 100指数 90指数 85RUNNING COST指数 100指数 90指数 90施工性 & 工期施工性 良好, 可以缩短工期施工性非常优秀，可以缩短工期施工性良好, 工期非常短针对针对安全对对策的 对应对应可能可能可能9. Clean Room的 分类类(方式)根据空气气循环环的 分类类4910. Clean Room空调调 System 理解CLEAN Room 空调调 SYSTEMFFU Type50 1. FILTER是? 一定时间内时间内，一定量的任何流体(air, gas, oil, water, etc)以 一定空气气粒子通过过, 特别别是清清除空气气中存在的粉尘

39、尘，制造所需的清净清净空气气 (清清除效率:99.9995%, 0.1) 2. 清净清净室空气气由 FILTER过滤过滤后的干净净空气气供给给到清净清净室，以此来维来维持清净清净的环环境.CLEAN Room 空调调 SYSTEM 基本 FLOW 说说明10. Clean Room空调调 System 理解51 3. 空调调 Flow OA Air(20 30%) 及 Return Air (ZONE A.H.U) 70 80%的空气继续气继续供给给. 由ULPA FILTER供给给的 Air通过清净过清净室后再通过过 Grating(地板)，并并移动动到 PLENUM(地下层层) 因PLEN

40、UM(地下层层)中 污污染的空气气及各种种排气损气损失的空气气通 过过OA(外调调机)供给给 ZONE A.H.U吸入空气气后制造清净清净空气并气并供给风给风道（天井）. 在这这里排除污污染的空气气后持续续反复复的供给给新鲜鲜的空气气.10. Clean Room空调调 System 理解5210. Clean Room空调调 System 理解空调设备总调设备总流程图图5310. Clean Room空调调 System 理解 (空氣調和器) 空气调气调和器 : 室内内空气调气调整到舒适状态状态的装置, 调调整温温度,湿湿度,气气流的分布, 同时清时清除空气气中的灰尘尘. 5410. Cle

41、an Room空调调 System 理解 空气调气调和器(Air Handling Unit) 内内部图图片 5510. Clean Room空调调 System 理解Heating Coil (制热盘热盘)- 制热时为了加热空气的制热盘Cooling Coil(制冷盘盘)- 制冷时为时为了减湿减湿空气气的制冷盘盘Air Filter(空气过滤气过滤器)- 为为了清清除空气气中混入的灰尘尘等不纯纯物的滤剂滤剂-Humidifier(加湿湿器)- 制热时为热时为了增加湿湿度，喷喷洒水或蒸汽的加湿喷湿喷嘴Mixing Box(混合箱)- 混合室内内再循环环的气气流和外部新鲜气鲜气流的混合室空气调气

42、调和器的用语说语说明5610. Clean Room空调调 System 理解Damper(通风调节风调节器)- 调节空气量的装置Fan (送风风机)- 引发发空气气流动动的装置Casing(壳壳)- 上述 各件（Unit）组组合在一起，达达到使用目的排列的包装空气调气调和器用语说语说明5710. Clean Room空调调 System 理解S-Line 外调调机(参参照)外气给气5810. Clean Room空调调 System 理解S-Line 空调调机(参参照)5910. Clean Room空调调 System 理解温湿温湿度允许许偏差和通风风次数数的关关系温度允许差()210.5

43、0.25标准通风次数(次/h)153060120通风风?室内污内污染空气气排除到室外，并并和干净净的外气气交换换.通风风次数数? Clean Room室内内容积积相当当的空气气量通过过 Filter循环环的次数数每小时时通风风次数数 = 室内内容积积 平均气气流速度( m/sec)突出面积积() 3,600sec6010. Clean Room空调调 System 理解Clean Room的 Class别别 标标准循环风环风量清净度 (Class)通风次数Class 100200 600次/hrClass 1,00050 70次/hrClass 10,00030 40次/hrClass 100

44、,00020 30次/hrC =(1-Pr) x Qr +Qe(Po x Qo x Co) +MC : 清净室的清净度, Particle 浓度 (个/m3)Co : 外气粉尘/Particle 浓度 (个/m3)Po : 外气系统过滤器的透过率 (1-收集效率)Pr : 循环/返回系统过滤器的透过率(1- 收集效率)Qo : 外气 导入量(m3)Qr : 循环/返回 风量(m3/hr)Qe : 清净室的排气量 (m3/hr)M : Clean Room内 产尘量,Particle 发生量(个/hr)6110. Clean Room空调调 System 理解Clean Room 各室间间 所需

45、压压力差Room压力差清净度相互不同的 Clean Room间0.5mmAq清净室和清净室走廊,更衣室等0.51.0mmAq清净室走廊,更衣室等和普通室走廊1.0mmAq清净室和普通室1.5mmAq必要风风量 QQ = A xv =(0.9x1.8)x1.22x9.8x1.0 x0.9991X 3600 =23.559CMH假设设设设定1.0mmAq正压压后开启开启 900mm x1800mm的片开门时开门时，根据伯努利定义义需要 23.559CMH(m3/hr)的 Make-up Air(风风量)6211. Clean Room用 附属属机器清净清净室一般组组成6311. Clean Roo

46、m用 附属属机器Clean Bench空气气浮游粒子的浓浓度控制在规规定清净清净度界限内内，使污污染得到控制的作业业台6411. Clean Room用 附属属机器Clean Booth根据设设置位置可以移动动的垂直层层流形简简易清净清净室 . 天井上设设置了清净清净空气气供给给装置，墙墙壁用塑料隔断断等. 6511. Clean Room用 附属属机器Air Shower(照片)6611. Clean Room用 附属属机器Air Shower(风风淋室)1) 风风淋室用于 Smock Room和清净清净室之间间人员进员进出入的出口使用2) 风风淋室的入口和出口门为门为了不能同时开启时开启，

47、设设置Interlock 装置. 但 紧紧急状态状态下可以开启设开启设置.3) 风风淋室的入口门关闭时门关闭时立即对对入室者吹风风1820秒的强烈清净清净空气气，并并能 自动动停止.4) 风风淋室内内部压压力应应低于清净清净室设设置.5) 仅仅限于1次使用人员员使用.6) 锁锁住(Interlock)状态状态下不能强制开门开门.7) 实实施风风淋期间间，入室者应轻轻摇应轻轻摇晃身体.6711. Clean Room用 附属属机器Air Shower 效果灰尘粒径5m以下520 m2050 m50 m以上清除效率80%85%90%95%Air Shower的 清清除灰尘尘 效率灰尘粒径未实施风淋

48、风淋后风淋+Ionizer0.3 m以下571,000个121,000个35,000个0.5 m以下367,000个72,000个26,000个6811. Clean Room用 附属属机器FFU (Fan Filter Unit ) 节节省空间间 : 仅仅用单单体装备备可以清净清净所需空间间. 简简便的安装 : F.F.U 只需插插上电电源可以启动启动，所以不太需要安装时间时间和 安装技术术. 易于结构结构的变变更.UNIT的处处置能力和构构造简单简单，有利于扩张扩张及改造. 6911. Clean Room用 附属属机器HEPA Filter Unit 可以收集大于0.3 m粒径径的粒子状

49、状物质质 99.97%以上的 Filter Box 这这是说说明 0.3 m 粒子 10,000个个中 可以通过过HEPA的粒子数数最多为为 3个个(0.03%). 用内内置HEPA Filter的 Unit，在天井附着安装 (Duct 连连接)7011. Clean Room用 附属属机器Pass BoxPASS BOX是 CLEAN ROOM中的内内部清净清净度保持原先基准，并并且物品能从从外部自由进进出的 CLEAN UNIT. (以物品传递为传递为目的使用)PASS BOX安装在 CLEAN ROOM 和 非 CLEAN ROOM的界限上，防止污污染的空气气混入.7111. Clean

50、 Room用 附属属机器Relief Damper 维维持室内内正压压的稳稳定, 控制空气气流向的室内内外或者相邻邻室空气气次压压的机器，防止室外污污染空气进气进入Clean Room的装置7211. Clean Room用 附属属机器Clean LockerClean Room内进内进出入作业业人员员的服装（无尘尘服）保管柜柜，是保持服装清净清净及防止污污染的装备备. 7312. Clean Room 用 FilterFilter 用语语 HEPA : High Efficiency Particulate Air Filter (高性能空气过滤气过滤器 : 0.3m, 99,97%以上) ULPA : Ultra L