扫描电子显微镜SEM和能谱分析技术EDSPPT学习教案

1、会计学1扫描电子显微镜扫描电子显微镜SEM和能谱分析技术和能谱分析技术EDS主 要 内 容 扫描电镜（SEM）n 扫描电镜的作用n 扫描电镜的工作原理n 扫描电镜的主要构造n 扫描电镜对样品的作用 能谱仪（EDS）n 能谱的工作原理n 能谱的结构n 能谱的特点n JEOL-6380SEM和EDAX EDS的主要功能n 样品的制备第1页/共35页显微形貌分析：应用于材料、医药以及生物等领域。成分的常规微区分析：元素定性、半定量成分分析第2页/共35页阴极控制极阳极电子束聚光镜试样第3页/共35页特征X射线第4页/共35页二次电子、背散射电子和特征X射线SEM: 二次电子 背散射电子特征X射线它是

2、原子的内层电子受到激发之后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射EDS: 特征X射线第5页/共35页背反射电子：产生范围在100nm-1m深度 能量较高，小于和等于入射电子能量E0二次电子：产生范围在5-50nm的区域 能量较低，约50 eV特征X射线：在试样的500nm-5 m深度 能量随元素种类不同而不同 原子序数产率第6页/共35页扫描电镜由六个系统组成(1) 电子光学系统（镜筒）(2) 扫描系统(3) 信号收集系统(4) 图像显示和记录系统(5) 真空系统(6) 电源系统3第7页/共35页收集二次电子时，为了提高收集有效立体角，常在收集器前端栅网上加上+250V

3、偏压，使离开样品的二次电子走弯曲轨道，到达收集器。这样就提高了收集效率。收集背散射电子时，背散射电子仍沿出射直线方向运动，收集器只能收集直接沿直线到达栅网上的那些电子。第8页/共35页4 扫描电镜对样品的作用 加速电压、电子束与样品之间的关系第9页/共35页二次电子当样品中存在凸起小颗粒或尖角时对二次电子像衬度会有很大影响，其原因是，在这些部位处电子离开表层的机会增多 。背散射电子由一对硅半导体组成，对于原子序数信息来说，进入左右两个检测器的信号，大小和极性相同，而对于形貌信息，两个检测器得到的信号绝对值相同，其极性相反。 成分有差别，形貌无差别 成分无差别形貌有差别成分形貌都有差别 第10页

4、/共35页 二次电子图像 VS.背散射电子图像AlSn第11页/共35页4 扫描电镜对样品的作用 物镜光栏、工作距离与样品之间的关系物镜光栏的影响第12页/共35页工作距离的影响第13页/共35页第14页/共35页第15页/共35页7 能谱仪（EDS）的特点性能EDS分析时间几分钟检测效果100谱鉴定简单试样对检测影响较小探测极限700ppm定量分析精度510缺点1）能量解析度有限2）对轻元素的探测能力有限3）探测极限4) 定量能力有限第16页/共35页 型号n 日本电子JEOL-6380LVn 美国EDAX GENESIS 2000第17页/共35页第18页/共35页第19页/共35页10，

5、0000-Au 6，0000-纳米晶 金刚石第20页/共35页第21页/共35页昆 虫头 发生物材料第22页/共35页EDAX-EDS的工作界面-谱线收集第23页/共35页 Element Wt % At % C K50.8570.14 O K16.5817.17 AlK09.9206.09 SiK00.2500.15 MoL01.9200.33 CrK01.8200.58 MnK00.2200.07 FeK18.4405.47能谱谱线收集实例第24页/共35页EDAX-EDS的工作界面-区域分析第25页/共35页ElementWt%At% CK07.2923.57 OK04.5511.03 AlK01.5102.17 SiK02.1302.94 PK05.5506.96 SnL04.2901.40 FeK74.6951.93区域分析实例颗粒第26页/共35页EDAX-EDS的工作界面-面扫描第27页/共35页SEI扫描图Cu Al第28页/共35页-50050100150200250300350-20020406080100120KcntDistence AlK CuK第29页/共35页(1)基本要求：u送检样品为干燥的固体u一定的化学、物理稳定性u不会挥发或变形u无强磁性、放射性和腐蚀性(2)块状试样的制备：u用导电胶把待测试样粘结在样品座上u样品直径和厚