电容式传感器

1、2022-5-13第四章 非电量的电测技术14.3 4.3 电容式传感器电容式传感器4.3.1 4.3.1 工作原理、分类及应用工作原理、分类及应用n电容式传感器是把被测量的变化转换成电容量变化的电容式传感器是把被测量的变化转换成电容量变化的一种传感器。一种传感器。n电容式传感器不但广泛用于位移、振动、角度、加速电容式传感器不但广泛用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大到用于压度等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大到用于压力、差压、液位、物位或成份含量等方面的测量。力、差压、液位、物位或成份含量等方面的测量。2022-5-13第四章 非电量的电测技术2一、工作原理一、

2、工作原理n电容传感器的基本理想公式：电容传感器的基本理想公式：0 rAACdd ：电容极板间介质的介电常数，：电容极板间介质的介电常数，=0 0r r；0 0：真空介电常数；：真空介电常数；r r：极板间介质相对介电常数；极板间介质相对介电常数；A A：两平行板所覆盖的面积；：两平行板所覆盖的面积；d d：两平行板之间的距离。：两平行板之间的距离。)/ln(2=C0rRlr1、平板：、平板：2、圆筒：、圆筒：l l：圆筒长度；：圆筒长度；r r、R R：内、外圆筒半径。：内、外圆筒半径。定片定片定片定片动片动片动片动片2022-5-13第四章 非电量的电测技术3 改变改变A A、d d、三个参

3、量中的任意一个量，均可使平三个参量中的任意一个量，均可使平板电容的电容量板电容的电容量C C 改变。改变。 固定三个参量中的两个，可以做成三种类型的电容固定三个参量中的两个，可以做成三种类型的电容传感器传感器变间隙型变间隙型变面积型变面积型变介电常数型变介电常数型0 rAACdd d d A A 2022-5-13第四章 非电量的电测技术411定极板定极板 22动极板动极板 电容量与极距关系电容量与极距关系二、电容型传感器的结构类型二、电容型传感器的结构类型（一）变间隙式电容传感器（一）变间隙式电容传感器结构示意图结构示意图0 rAACdd n设在被测量作用下，动极板向上移动设在被测量作用下，

4、动极板向上移动d，其电容量增，其电容量增加，电容变化量为：加，电容变化量为：式中，式中，C0 为初始电容量，为初始电容量， 110000ddddCCCC00/dAC2022-5-13第四章 非电量的电测技术5在在 时，将上式展开成麦克劳林级数：时，将上式展开成麦克劳林级数：若动极板向下位移若动极板向下位移d ，同理可得：，同理可得：).(时dddcdCk灵敏度：灵敏度：.)()(1 32ddddddddCC非线性误差部分高次项非线性误差部分高次项1/0dd)()(302000ddddddCC101000dddddCCCC)()(302000ddddddCC2022-5-13第四章 非电量的电测

5、技术6n可得以下结论：可得以下结论：欲提高灵敏度欲提高灵敏度S S，应减小起始极距，应减小起始极距d d；但受电容器击穿电；但受电容器击穿电压的限制，而且增加装配工作的困难；压的限制，而且增加装配工作的困难；非线性将随最大相对位移增加而增加，因此为了保证一非线性将随最大相对位移增加而增加，因此为了保证一定线性度，应限制动极板的相对位移量；定线性度，应限制动极板的相对位移量；为了改善非线性，可采用差动结构。为了改善非线性，可采用差动结构。J考虑：观察特性曲线，为了提高灵敏度，应使当考虑：观察特性曲线，为了提高灵敏度，应使当d d小小些还是大些？这类传感器还要注意哪些问题？些还是大些？这类传感器还

6、要注意哪些问题？).(时dddcdCk2022-5-13第四章 非电量的电测技术7（二）变面积式电容传感器（二）变面积式电容传感器n角位移：极板角位移：极板2 2的轴由被测物体带动而旋转一个角位的轴由被测物体带动而旋转一个角位移移度时，两极板的遮盖面积度时，两极板的遮盖面积A A电容量电容量。n板状线位移：极板板状线位移：极板2 2可以左右移动，极板可以左右移动，极板1 1固定不动。固定不动。n筒形：外圆筒不动，内圆筒在外圆筒内作上、下直线筒形：外圆筒不动，内圆筒在外圆筒内作上、下直线运动。运动。角位移角位移板状板状筒形筒形2022-5-13第四章 非电量的电测技术8n当转动动片一个角度当转动

7、动片一个角度，遮盖面积发生变化，电容量，遮盖面积发生变化，电容量也随之改变。当也随之改变。当=0时，其电容量为时，其电容量为dAC0)/1 ()/1 (00CdAC0CddCk当0时，其灵敏度为：角位移变面积型角位移变面积型2022-5-13第四章 非电量的电测技术9板状线位移变面积型板状线位移变面积型 n当动板沿箭头所示方向移动当动板沿箭头所示方向移动x时，传感器的电容量为：时，传感器的电容量为：)1 ()(0lxCdxlbCxdbdxdCkx灵敏度为2022-5-13第四章 非电量的电测技术10筒型筒型n具有良好线性，与变间隙型相比，适用于较大角位移具有良好线性，与变间隙型相比，适用于较大

8、角位移及直线位移的测量。及直线位移的测量。电容量：电容量：当两圆筒相对移当两圆筒相对移动动x x时，电容变化时，电容变化量：量：JJ考虑：变面积式电容传感器的灵敏度为常数？考虑：变面积式电容传感器的灵敏度为常数？ 书书p135p135)/ln(2=CrRl)1 (=)1 ()/ln(2=)/ln()(2=0lxClxrRlrRxlCx)/ln(2=rRxCk灵敏度：灵敏度：2022-5-13第四章 非电量的电测技术11（三）变介电常数式（三）变介电常数式 n因为各种介质的相对介电常数不同，所以在电容器两因为各种介质的相对介电常数不同，所以在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。

9、极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。这种传感器可用来测量物位或液位，也可测量位移。这种传感器可用来测量物位或液位，也可测量位移。图中两平行电极固定不动图中两平行电极固定不动, , 电电介质以不同深度插入电容器中介质以不同深度插入电容器中, , 从而改变两种介质的极板覆盖从而改变两种介质的极板覆盖面积。面积。( (老图老图) )2022-5-13第四章 非电量的电测技术12n当电容极板之间的介电常数发生变化时，电容量也随当电容极板之间的介电常数发生变化时，电容量也随之发生变化，根据这一原理可构成变介电常数式电容之发生变化，根据这一原理可构成变介电常数式电容式传感器。可用以测量物位，含水

10、量及成分分析等。式传感器。可用以测量物位，含水量及成分分析等。图为变介电常数式电容液位传感器原理图。图为变介电常数式电容液位传感器原理图。2022-5-13第四章 非电量的电测技术13)(ln2ln20112120RRxRRh1 1：液体介质的介电常数液体介质的介电常数0 0: :空气的介电常数；空气的介电常数； h : h :电极板的总长度；电极板的总长度；R2R2、R1R1：电极板的内、外径；：电极板的内、外径；1201ln)(2RRk令121120ln2ln2RRxRRxhC）（kxCC0电容量电容量C C与位移与位移x x呈线性关系呈线性关系! !X0时，时，CC02022-5-13第

11、四章 非电量的电测技术14JJ考虑：考虑：n根据下表，分析不同介质对变介电常数电容器的影响。根据下表，分析不同介质对变介电常数电容器的影响。在电容器两极板间插入干的纸和潮湿的纸时，哪一种在电容器两极板间插入干的纸和潮湿的纸时，哪一种情况下的电容量大？可以用于测量什么非电量？情况下的电容量大？可以用于测量什么非电量？表表 几种介质的相对介电常数几种介质的相对介电常数2022-5-13第四章 非电量的电测技术15n 湿纸湿纸 干纸干纸 C C湿纸湿纸CC干纸干纸n待测体厚度不变，可以作为介电常数测量仪待测体厚度不变，可以作为介电常数测量仪n待测介电常数待测介电常数不变时，可作为测厚仪使用不变时，可

12、作为测厚仪使用湿纸湿纸干纸干纸2022-5-13第四章 非电量的电测技术16（四）差动式电容传感器（四）差动式电容传感器n在实际应用中，为了在实际应用中，为了提高灵敏度，提高灵敏度， 减小非线性误差减小非线性误差，大都采用差动式结构。大都采用差动式结构。变面积式变面积式变气隙式变气隙式2022-5-13第四章 非电量的电测技术17例：变间隙式例：变间隙式差动式平板电容器中差动式平板电容器中, , 当动极板位移当动极板位移dd时时, , 电容器电容器C C1 1的间隙的间隙d d1 1变为变为d d0 0-d, -d, 电容器电容器C C2 2的间隙的间隙d d2 2变为变为d d0 0+d,

13、+d, 则则.)()(1 2402000ddddddcc电容值相对变化量：电容值相对变化量：.)()(1 3020001ddddddcc.)()(1 3020002ddddddcc灵敏度提高一倍灵敏度提高一倍, , 非线性误差大大降低。非线性误差大大降低。 001ddAC002ddAC2022-5-13第四章 非电量的电测技术18三、测量电路三、测量电路n用于电容式传感器的测量电路很多用于电容式传感器的测量电路很多, ,常见的电路有：常见的电路有：普通普通交流电桥交流电桥、脉冲调制电路脉冲调制电路、调频电路、调频电路、紧耦合电感臂电桥、紧耦合电感臂电桥、变压器电桥、双变压器电桥、双T T电桥电

14、路、运算放大器测量电路。电桥电路、运算放大器测量电路。（一）普通交流电桥（一）普通交流电桥 电容电容C C、C C0 0和阻抗和阻抗Z Z、ZZ组成交流电桥测量电路组成交流电桥测量电路C C：电容传感器的电容：电容传感器的电容Z Z ：等效配接阻抗：等效配接阻抗C C0 0、Z Z：固定电容、固定阻抗：固定电容、固定阻抗2022-5-13第四章 非电量的电测技术19原理原理n电桥初始状态调至平衡，当传感器电容电桥初始状态调至平衡，当传感器电容C C变化时，电变化时，电桥失去平衡而输出电压，此交流电压的幅值随桥失去平衡而输出电压，此交流电压的幅值随C C而变而变化。化。电桥的输出电压：电桥的输出

15、电压：Z Z为电容臂阻抗；为电容臂阻抗；Z Z为传感器电容变化时对应的阻抗增量；为传感器电容变化时对应的阻抗增量；Z Zi i为电桥输出端放大器的输入阻抗。为电桥输出端放大器的输入阻抗。iZZZZZZZUZZU)(211102022-5-13第四章 非电量的电测技术202022-5-13第四章 非电量的电测技术21解：由图可见，当：由图可见，当h=0时，时，CX=CX0=C0，且电位器，且电位器RP（阻值（阻值RP）的电刷在）的电刷在O点，即点，即R=0，此时电桥应平衡，此时电桥应平衡，桥路输出电压桥路输出电压Uac=0，则，则 当液位为当液位为h时，时，CX=CX0+C，C=k1h，k1为电

16、容传为电容传感器的灵敏度。此时感器的灵敏度。此时Uac0，经放大后，使单相电动，经放大后，使单相电动机转动，经减速后带动指针转动，同时带动电位器的机转动，经减速后带动指针转动，同时带动电位器的电刷移动，直到电刷移动，直到Uac=0，系统重新平衡为止，此时，系统重新平衡为止，此时3400RRCCx3400RRRCCCx联立求解上面两式得：hkCRCCRR103032022-5-13第四章 非电量的电测技术22由于指针转角由于指针转角与电位器电刷同轴相连，它们间的关系与电位器电刷同轴相连，它们间的关系为：为： =k2R 因此因此 其中，其中， k2为比例系数为比例系数可见，指针偏转转角可见，指针偏

17、转转角与液位高度与液位高度h成比例。成比例。hkkCR21032022-5-13第四章 非电量的电测技术23例例4-6：电容式自平衡液位测量仪：电容式自平衡液位测量仪2022-5-13第四章 非电量的电测技术24hkkCEEk21012线性电位器hkCECCEECEECCExxx101010201)()代入初始平衡条件：（在新的平衡位置：v油量变化时，油量变化时，C Cx x=C=Cx0 x0+ +C Cx x C Cx x =k=k1 1hhn电桥不平衡电桥不平衡输出输出U U放大放大两相电极转动两相电极转动减速减速v指针指示指针指示电位器电刷转动电位器电刷转动v 改变改变EE电桥恢复平衡电

18、桥恢复平衡输出电压为零、电机停止转动、指输出电压为零、电机停止转动、指针停在某角度上。针停在某角度上。指针转角与指针转角与h h成线性关系成线性关系n无油时，起始电容无油时，起始电容C Cx x=C=Cx0 x0，若使，若使C Cx0 x0=C=C0 0，此时输出为零，指，此时输出为零，指针指零，电桥无输出，系统处于平衡状态针指零，电桥无输出，系统处于平衡状态E E1 1C Cx0 x0=E=E2 2C C0 02022-5-13第四章 非电量的电测技术25（二）调频电路（二）调频电路n调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。当输入量

19、导致电容量发生变化时一部分。当输入量导致电容量发生变化时, , 振荡器的振荡器的振荡频率就发生变化。振荡频率就发生变化。LL振荡回路的电感；振荡回路的电感； CC振荡回路的总电容振荡回路的总电容C=CC=C1 1+C+Ci i+C+C0 0CC；C C1 1：振荡回路固有电容：振荡回路固有电容C Ci i：传感器引线分布电容：传感器引线分布电容C C0 0CC：传感器的电容：传感器的电容2022-5-13第四章 非电量的电测技术26简化图简化图n当被测信号为当被测信号为0 0时，时，C =0C =0，则，则C =CC =C1 1+C+Ci i+C+C0 0n振荡器固有频率振荡器固有频率f f0

20、 0：)(21010CCCLfi)(21010CCCCLfin 虽然可将频率作为测量系统的输出量，用以判断被测非电虽然可将频率作为测量系统的输出量，用以判断被测非电量的大小量的大小, 但此时系统是非线性的，不易校正，因此加入鉴频但此时系统是非线性的，不易校正，因此加入鉴频器，器， 将频率的变化转换为振幅的变化，经过放大就可以用仪将频率的变化转换为振幅的变化，经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。调频振荡器的振荡频率：器指示或记录仪记录下来。调频振荡器的振荡频率： 2022-5-13第四章 非电量的电测技术27（三）差动脉冲调度电路（三）差动脉冲调度电路nFFFF：触发器，负电平输入。即，：

21、触发器，负电平输入。即，端高电平；端为低电平（零电平）输出负电平端高电平；端为低电平（零电平）输出负电平QQQQ21AA2022-5-13第四章 非电量的电测技术28C C1 1、C C2 2：差动式：差动式电容传感器电容传感器电阻电阻R R1 1=R=R2 2A A1 1、A A2 2：比较器：比较器工作原理工作原理U U0 0uQ=1Q=1A A高电位高电位C1C1充电充电C C电位电位uQ=0Q=0B B低电位低电位C2C2放电放电D D钳制在低电位钳制在低电位当当U UC CUrUr时，比较器时，比较器A1A1翻转，翻转，FFFF翻转翻转A A低电位，低电位，B B高电位高电位uQ=0

22、Q=0A A低电位低电位C1C1放电放电C C钳制在低电位钳制在低电位uQ=1Q=1B B高电位高电位C2C2充电充电D D电位电位当当U UD DUrUr时，比较器时，比较器A2A2翻转，翻转，FFFF翻转翻转A A高电位，高电位，B B低电位低电位在在A A、B B两点输出方波电压两点输出方波电压U UABAB。经低通滤波器得到其平均值。经低通滤波器得到其平均值U U0 0。2022-5-13第四章 非电量的电测技术29UAU10tUBU10tUABU10tUCUr0tT1UDUr0tT2nC1C2nAB两点间平均电两点间平均电压为零。压为零。2022-5-13第四章 非电量的电测技术30

23、n当当C C1 1C C2 2，C C1 1、C C2 2充电时间发生充电时间发生变化，变化，T T1 1CC1 1 T T2 2CC2 2n若若C C1 1CC2 2, ,此时此时U UA A、U UB B脉冲宽度不脉冲宽度不再相等再相等, , 一个周期（一个周期（T T1 1+T+T2 2）时）时间内其平均电压值不为零。此间内其平均电压值不为零。此U UABAB电压经低通滤波器滤波后电压经低通滤波器滤波后, , 此时输出电压：此时输出电压： UAU10tUBU10tUABU10tUCUr0tT121211)(TTTTUUUUBAABUDUr0tT22022-5-13第四章 非电量的电测技术

24、31n输出电压与电容变化成线性关系输出电压与电容变化成线性关系式中式中:U:U1 1触发器输出高电平；触发器输出高电平；T T1 1、T T2 2CC1 1、C C2 2充放电至充放电至U Ur r所需时间，电路知识可知所需时间，电路知识可知: : 12121UCCCCuAB21211)(TTTTUUUUBAABr11111ln=UUUCRTr11222ln=UUUCRT设设R R1 1=R=R2 2=R=R，得：，得：2022-5-13第四章 非电量的电测技术32（四）运算放大器式电路（四）运算放大器式电路n运算放大器特点：放大倍数运算放大器特点：放大倍数K K非常大，输入阻抗非常大，输入阻

25、抗Z Zi i很高。很高。qA A：虚地点：虚地点 U UA A0 0；qC Cx x: :电容式传感器；电容式传感器；U Ui i：交流电源电压；：交流电源电压；U U0 0：输出信号电压：输出信号电压 K CxC0UiU0IXIi0Ix0i0CCuudACxdACuu0i0输出电压输出电压u u0 0与动片机械位移与动片机械位移d d成线性关系。成线性关系。 IA A2022-5-13第四章 非电量的电测技术33四、应用四、应用n棒状电极（金属管）外面包棒状电极（金属管）外面包裹聚四氟乙烯套管，当被测裹聚四氟乙烯套管，当被测液体的液面上升时，引起棒液体的液面上升时，引起棒状电极与导电液体之

26、间的电状电极与导电液体之间的电容变大。容变大。 1 1、电容式液位计、电容式液位计聚四氟乙烯外套聚四氟乙烯外套2022-5-13第四章 非电量的电测技术34电容式液位限位传感器电容式液位限位传感器 液位限位传感器：当液位到达设液位限位传感器：当液位到达设定值时，它输出低电平。但也可定值时，它输出低电平。但也可以选择输出为高电平的型号。以选择输出为高电平的型号。2022-5-13第四章 非电量的电测技术35液位限位传感器的设定液位限位传感器的设定n智能化液位传感器的设定方智能化液位传感器的设定方法：用手指压住设定按钮，法：用手指压住设定按钮，当液位达到设定值时，放开当液位达到设定值时，放开按钮，

27、智能仪器就记住该设按钮，智能仪器就记住该设定。正常使用时，当水位高定。正常使用时，当水位高于该点后，即可发出报警信于该点后，即可发出报警信号和控制信号。号和控制信号。设定按钮设定按钮2022-5-13第四章 非电量的电测技术36智能化液位限位传感器的设定按钮智能化液位限位传感器的设定按钮超限灯超限灯正常工作指正常工作指示灯示灯设定按钮设定按钮电源指示灯电源指示灯2022-5-13第四章 非电量的电测技术372、加速度传感器、加速度传感器n图示加速度传感器以微细加工技术为基础，既能测量图示加速度传感器以微细加工技术为基础，既能测量交变加速度（振动），也可测量惯性力或重力加速度。交变加速度（振动）

28、，也可测量惯性力或重力加速度。其工作电压为其工作电压为2.72.75.25V5.25V，加速度测量范围为数个，加速度测量范围为数个g g，可输出与加速度成正比的电压也可输出占空比正比于可输出与加速度成正比的电压也可输出占空比正比于加速度的加速度的PWM PWM 脉冲。脉冲。2022-5-13第四章 非电量的电测技术38n两个固定极板（与壳体绝缘），中间有一用弹簧片支撑的质两个固定极板（与壳体绝缘），中间有一用弹簧片支撑的质量块，此质量块的两个端面经过磨平抛光后作为可动极板量块，此质量块的两个端面经过磨平抛光后作为可动极板（与壳体电连接）。（与壳体电连接）。n当传感器壳体随被测对象在垂直方向上作

29、直线加速运动时，当传感器壳体随被测对象在垂直方向上作直线加速运动时，质量块在惯性空间中相对静止，而两个固定电极将相对质量质量块在惯性空间中相对静止，而两个固定电极将相对质量块在垂直方向上产生大小正比于被测加速度的位移。此位移块在垂直方向上产生大小正比于被测加速度的位移。此位移使两电容的间隙发生变化，一个增加，一个减小，从而使使两电容的间隙发生变化，一个增加，一个减小，从而使C C1 1、C C2 2产生大小相等，符号相反的增量，此增量正比于被测加速产生大小相等，符号相反的增量，此增量正比于被测加速度。度。差动式电容加速度传感器结构差动式电容加速度传感器结构2022-5-13第四章 非电量的电测

30、技术39(1)(1)加速度传感器在汽车中的应用加速度传感器在汽车中的应用 加速度传感器安装在轿车上，可以作为碰撞传感器。当测加速度传感器安装在轿车上，可以作为碰撞传感器。当测得的负加速度值超过设定值时，微处理器据此判断发生了碰得的负加速度值超过设定值时，微处理器据此判断发生了碰 撞，于是就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀，撞，于是就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀，托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。 装有传感器的假装有传感器的假人人气囊气囊2022-5-13第四章 非电量的电测技术40汽车气囊的保护作用汽车气囊的保护作用 使用加速度传感器可

31、以在汽车发生碰撞时，经控制使用加速度传感器可以在汽车发生碰撞时，经控制系统使气囊迅速充气系统使气囊迅速充气 。 2022-5-13第四章 非电量的电测技术41(2)(2)利用加速度传感器实现利用加速度传感器实现延时起爆的钻地炸弹延时起爆的钻地炸弹传感器安装位置传感器安装位置 美研制了高性能的美研制了高性能的FMU-152B联联合可编程引信，它可识别不同的介质。合可编程引信，它可识别不同的介质。碰到目标，测碰击力是否过大，弹头碰到目标，测碰击力是否过大，弹头强度是否不足，如是，弹头立即起爆。强度是否不足，如是，弹头立即起爆。 2022-5-13第四章 非电量的电测技术423、电容传声器、电容传声

32、器图4-69 电容式传声器结构1-毛细孔 2-内腔 3-背极板 4-膜片 5-阻尼孔 6-绝缘体 7-壳体 8-引线2022-5-13第四章 非电量的电测技术43电容式传声器是目前各项指标都较为优秀的一种传声器，具有电容式传声器是目前各项指标都较为优秀的一种传声器，具有频率特性较好、音质清脆、构造坚固、体积小巧等优点。它被频率特性较好、音质清脆、构造坚固、体积小巧等优点。它被广泛应用在广播电台、电视台、电影制片厂及厅堂扩声等各种广泛应用在广播电台、电视台、电影制片厂及厅堂扩声等各种场合。场合。2022-5-13第四章 非电量的电测技术444、电容式油量表n当油箱中注满油时，液位上升，指针停留在

33、转角为当油箱中注满油时，液位上升，指针停留在转角为m处。当油箱中的油位降低时，电容传感器的电容处。当油箱中的油位降低时，电容传感器的电容量量Cx减小，电桥失去平衡，伺服电动机反转，指针减小，电桥失去平衡，伺服电动机反转，指针逆时针偏转（示值减小），同时带动逆时针偏转（示值减小），同时带动RP的滑动臂移的滑动臂移动。当动。当RP阻值达到一定值时，电桥又达到新的平衡阻值达到一定值时，电桥又达到新的平衡状态，伺服电动机停转，指针停留在新的位置（状态，伺服电动机停转，指针停留在新的位置（ x 处）。处）。2022-5-13第四章 非电量的电测技术455、电容式压力传感器、电容式压力传感器 n图中所示为一个膜片动电极和两个在凹形玻璃上电镀图中所示为一个膜片动电极和两个在凹形玻璃上电镀成的固定电极组成的差动电容器。成的固定电极组成的差动电容器。 n当被测压力或压力差作用于膜片并使之产生位移时当被测压力或压力差作用于膜片并使之产生位移时, 形成的两个电容器的电容量形成的两个电容器的电容量, 一个增大一个增大, 一个减小。该一个减小。该电容值的变化经测量电路转换成与压力或压力