ESD防静电控制的要求规范

1、南京美均电子科技有限公司受控状态:ESD防静电控制规范QD4.4.1-2018文件编号:文件版本:修改号:编制审核批准1、目的：规定公司内部的ESDB范，为公司产品在设计、生产、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESW术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。2、适用范围：适用于本公司的防静电控制。本文中的各项要求适用于防静电敏感区域。当客户的产品有特殊要求时，采用客户要求。3、职责：3.1. 各部门主管负责本部门工作区域静电防护措施的执行。3.2. 生产部负责生产过程中的静电防护措施的执行。3.3. 质量部负责根据本程序要求实施防静电用具的进料检测和静电线、接地线、静电垫

2、等防静电设施测试和记录以及所有相关记录的保存。4、概要：本文主要从静电控制的五个方面（即人员、设备、物料、方法和环境）来论述ESD规范,贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制，穿插介绍了防静电设施的技术要求，检测方法和作业指导等内容。5、目录：4.1. 静电敏感区域的界定。4.2. 静电敏感区域的工程环境防静电规范。4.3. 静电敏感区域的人员防静电规范。4.4. 静电敏感区域的防静电操作方法规范。4.5. 静电敏感区域的工装，设备，仪器以及防静电器材的防静电规范。4.6. 常用的检测方法。4.7. 静电防护作业管理指导。4.8. 附录AESD相关术语。4.9. 附录B常用的

3、防静电标志。4.10. 附录C部分静电敏感器件的静电敏感电压。4.11. 附录D-引用的标准及参考文献。4.12. 附录E相关记录。4.13. 附录F版本修订历史记录。5、静电敏感区域的界定：5.1. 静电敏感区域确定：5.1.1. ESD敏感器件的生产区域生产线等。5.1.2. ESD敏感器件的前加工区域-前加工房。5.1.3. ESD敏感器件的贮存区域-库房和在线库。5.1.4. ESD敏感器件的返修区域-返修区及返修工位。5.1.5. ESD敏感器件的老化区域老化房。5.2. 公司的静电敏感器件：5.2.1. MOS件、MOSt及MOSB成电路。5.2.2. FET器件、包括场效应管和集

4、成电路。5.2.3. TTL器件、包括各种逻辑门数字集成电路。5.2.4. AM啾大器、比较器、调节器等模拟集成电路。5.2.5. X-ROM储体器件和记忆体器件、包括PROMEPROMSRAMDRAMFLASH等集成电路。5.2.6. CPUO：处理器及各种BGAf件。5.2.7. 各种二极管、三极管。5.2.8. 各种半导体开关元件。5.2.9. 各种厚膜和薄膜电阻。5.2.10. 锂电解电容。5.2.11. SAW-声表面波器件。5.2.12. 石英、晶振体器件。5.2.13. 以上元器件组装的PCBA。5.3. 静电敏感区域的标识：5.3.1. 静电敏感区的区域界限应该用黄黑相间的斜条

5、纹来标识，线条宽度为570cM这两种斜条纹是专门用来标识静电敏感区的区域界限的，不可作为其它标识用。5.3.2. 从静电敏感区域的入口处开始，在明显处还应贴上静电敏感区的警示标志，该标志应符合GJB1649的规定。如图A:5.3.3. 防静电容器（防静电周转箱，防静电元件盒等，元件架和运输车等器材上应有防静电标志，标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如图B:5.3.4. 经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志。如图C:5.3.5. 含有ESSD勺图纸资料，应有ESS而志。5.3.6. 设备的外部端口标志应符合GJB1649中第5.8.3条要求。5.3.7. 整机包装标志应符合GJB164

6、9中第5.10条要求。5.3.8. 交付文件标志应符合GJB1649中第5.9.1条要求。6、静电敏感区域的工程环境防静电规范6.1. 防静电工程环境的设计原则：设计防静电工程环境时，为达到静电防护的要求应遵循以下原则6.1.1. 抑制静电荷的积累和静电压的产生6.1.2. 安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷6.1.3. 防静电工作区应按电子元器件静电敏感度确定防护所应达到的级别和程度。一般的要求静电防护区内静电电压绝对值应小于100V。6.1.4. 防静电区域应标明区域界限并在明显处悬挂警示标志。6.1.5. 在防静电工作区内禁止使用易产生静电荷的电荷源。表一为常见的电荷源表类别电荷源工作

7、台表囿油漆或浸漆表面、普通塑料帖面、普通乙烯及树脂表囿地板塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂工作鞋、帽、鞋普通涤纶、合成纤维及尼龙面料、塑料及普通胶第鞋操作工具及设备普通塑料盒、架、瓶、盘用品及纸制品、普通泡沫及一般电动工具、压缩机、喷射设备、蒸发设备等6.2.防静电工程环境的要求:1.1.1. 环境的温度和湿度要求：温度应在15c至30c之间,湿度应在45麻75疑间，环境内应配备温度计和湿度计，并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或其它办法来满足湿度要求，但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。温度计和湿度计使用要求

8、：1.1.1.1. 对温度、湿度做监测的石英温湿度仪，必须放置在水平稳定的平面上。1.1.1.2. 有温湿度测量仪的场所应由专人定期检查石英温、湿度自动仪测试状况，并记录该时间段的最高和最低值。1.1.1.3. 遇有休息、节假日等特殊情况，在上班后的第一时间内要检查石英温、湿度自动记录仪的记录情况。1.1.1.4. 发现温度、湿度有超标应立即采取有效措施予以改善，并确认超标情况是否有对产品或材料造成损坏，采取的改善措施应予以记录。1.1.1.5. 每月的温湿度仪记录的测试结果由测试部归类保存。1.1.2. 地表二6.3. 静电敏感区域的防静电保护接地技术要求：防静电系统必须有独立可靠的接地装置

9、，主要技术要求如下：6.3.1. 接地线：也称为地线母线，防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电荷使用，不得接在电源零线上，不得与防雷地线共用。6.3.2. 接地主干线的截面积应不小于100mm,支干线的截面积应不小于6mr?i,设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mn?的敷朔导线，并以黄绿色为宜。6.3.3. 防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易装拆，允许使用各种夹式连接器，如鳄鱼夹，插头座等。6.3.4. 接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于4Q06.3.5. 地线的埋设：埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触

10、密度要高，接触要紧。6.3.6. 接地线的定期检查：6.3.6.1. 检查对象：所有的接地线及接地端口。6.3.6.2. 检查仪器：万用表和接地电阻测试仪。6.3.6.3. 检查参数：泄漏电阻（接地电阻）。6.3.6.4. 检查频率：6.3.6.4.1. 每条生产线的主接地线对通用接地点的接地性能和设备，工装及工作台等设施对生产线主接地线的接地性能应每周检查一次。6.3.6.4.2. ESD桌垫、ESDfe垫、周转车、周转架和防静电环等设施的防静电连接线应每月检查一次。6.3.6.4.3. 每个通用接地点对地的接地性能每6个月检查一次。6.3.6.5. 检查标准：6.3.6.5.1. 每周检查

11、的标准：小于4欧。6.3.6.5.2. 每月检查的标准：0.9X106Q-1.1X106Q。6.3.6.5.3. 每6个月的检查标准：小于4欧。6.3.7. 接地线的定期维护：6.3.7.1. 对于检查不过关的接地线必须采取措施及时解决。6.3.7.2. 确保接地线有效接地。6.3.7.3. 对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换。6.3.7.4. 对于松动的接地线要重新连接。6.3.7.5. 按接地线相关规定进行维护。6.4. 人体静电防护系统：6.4.1. 防静电工作鞋：6.4.1.1. 在生产半导体和集成电路的洁净室和超洁净室，以及高精密电子产品的装配间等对防静电要求较高的场合，作业人员

12、必须穿防静电鞋，经过测试合格后方可进入静电敏感区域工作。测试步骤如下：6.4.1.1.1. 将转换开关拔到左边“FOOTWEAR档，双脚站在白色不锈钢脚板区域如下图一。按住“PRESSTOTEST键，此时，左边（LEFT）指示即为左脚穿上鞋后的对地电阻，右边（RIGHT）指示为右脚穿上鞋后的对地电阻，如下图二。如绿灯亮则表示电阻合格。左脚高电阻指示灯左脚电阻合格指示灯左脚低电料指示灯转换开关测试手按键右脚（腕带）高电阻指示灯-手腕带香蕉插孔-鱼夹柱一钮扪右脚（腕带）电咀合格指示灯右脚腕带）低灯图二欠电压指示灯6.4.1.2. 防静电工作鞋每半年应做一次防静电特性检测,对于检测不过关的防静电工作

13、鞋应停止使用，更换新的。6.4.1.3. 检测指标：体积电阻率和摩擦静电压。6.4.1.4. 检测标准：0.5*1051*108Q和0.10kv。6.4.1.5. 检测仪器：体积电阻率一兆欧表，摩擦静电压一静电电压表。6.4.1.6. 防静电鞋的使用要求：6.4.1.6.1. 为使人体有效接地、防止人体和鞋本身带电，并保证操作者因意外接触高电压时不致受到伤害，除应将车间地面做成防静电地面以外，操作者还应穿用防静电鞋，而且防静电鞋必须与防静电衣配套使用，同时防静电鞋底应具有使人体与大地构成回路的材料和结构。6.4.1.6.2. 穿防静电鞋时不得穿袜子，不得另加鞋垫，特别是绝缘性鞋垫不得在鞋底粘贴

14、绝缘胶片或其它涂料。6.4.2. 防静电手套或指套：6.4.2.1. 在对静电敏感白工位，如MOST等敏感器件的装配工位，操作员工应戴上防静电手套或指套，防静电手套或指套兼具防腐蚀的功能。6.4.2.2. 在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套。6.4.2.3. 定期更换破，旧和脏的防静电手套和指套。6.4.2.4. 防静电手套或指套的防静电特性检查请参照防静电服的部分检查方法。6.4.3. 防静电腕带：6.4.3.1. 防静电腕带是通过腕带与皮肤的直接接触和静电线接地的方式，将人体皮肤表面静电泄放掉装置，由松紧圈和接地组件构成。松紧圈的要求是体积电阻率<100

15、Qcm接地组件必须串接一定数值的电阻，以确保操作者意外触及高电压时不致发生人身伤害。该电阻的选择原则是，一方面应保证操作者在触及线电压时流过人体的电流不大于5mA另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放，使皮肤上的静电压小于100V,一般该电阻阻值取为106Qo6.4.3.2. 因无绳防静电腕带的性能对环境湿度依赖性太强，禁止使用无绳腕带建议使用在线报警防静电腕带，因为它可以实时监控防静电腕带与人体皮肤是否实时导通，从而保证人体皮肤静电能及时释放掉。6.4.3.3. 每班开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并作好记录，只有测试合格，才可以进入静电敏感区域工作，测试步骤如下：6.

16、4.3.3.1. 各分厂将静电环测试仪放在厂房入口处，员工每天上班进入车间时自行测试及做记录，各分厂指定责任人监督、检查测试结果并在测试表的检查人项目栏签名确认。品质部QA检查员的静电环测试及记录在相应分厂完成，仓库及IQC员工的静电环测试及记录在仓库完成。6.4.3.3.2. 员工进入车间前应首先佩戴好静电环，然后将静电环上的铐鱼夹夹住静电测试仪的测试端，用手按下测试仪上的PUSHONF关，如静电环正常，则OK指示灯亮（中间的LED亮）如静电环阻值太低，则LO指示灯亮（左边的LED亮），如静电环阻值太高，则HI指示灯亮（右边的LED亮）。测试合格者，由佩戴者在静电环测试记录表上当日的编号处画

17、“d反之，画“父”。严禁在测试时，将静电环拿在手上进行测试。各部门的责任人应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。6.4.3.3.3. 如有测试不良的静电环，值班责任人必须对此静电环重新确认如经过确认后再合格的可正常使用，仍不合格的必须收回更换。记录表上有不合格的记录必须有改善行为。测试记录由测试部保存。6.4.3.3.4. 各线领班和生产主任应确保本线员工在需要的岗位都正确佩戴好静电环，不能松脱，更不能戴在袜子或袖子上。测试部负责静电工作的技工每天对在线员工静电环实际佩戴状况抽测一次，抽查人数为每条生产线总人数的10%,抽测结果记入静电环抽查记录中。6.4.3.4. 进入静电敏感区域应将防静

18、电环连接好，与皮肤完全接触，保证防静电环正常有效的工作。6.4.3.5. 防静电线的有效长度是2.5米，在使用防静电环的过程中，不可过度拉扯而超过它的有效长度，不可折断防静电线，不可冲洗防静电环，拔插时不可通过拉防静电线来完成，不可在防静电环金属片上加水等，要注意正确使用和妥善保护好防静电环。6.4.3.6. 先戴好防静电环，再拿静电敏感器件ESSD先放下静电敏感器件ESSD再拔防静电环。在实际工作中要注意此顺序，要养成这种习惯。6.4.3.7. 防静电环的防静电连接线的检查请参照7.3.6规定。6.5. 临时或外来人员的防静电管理：6.5.1. 临时（外来）人员，包括参观人员、非本车间联系工

19、作人员、临时施工人员（包括电工、修理工、装饰工等）,进入防静电区域时，必须遵守防静电区域和生产过程的各项防静电要求。6.5.2. 临时（外来）人员在参观或作业过程中，不得靠近操作静电敏感器件的工作人员，也不得靠近或徒手接触含有静电敏感器件的在制品或成品。6.5.3. 临时施工作业在正常生产时间内要避免瞬时高压、瞬时放电的操作（如电焊、启动电机、开关高压电源等）或事前采取防范措施，或安排在非生产时间内施工作业。6.5.4. 防静电区域内需要进行某种维护、修理作业时，维护人员应携带并使用防静电维修包，并遵守防静电区域的有关规定。7、静电敏感区域的防静电操作规范7.1.1. 所有的ESSD静电敏感器

20、件）及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行。7.1.2. 进入静电敏感区域的所有电子元器件都应视为ESSDla寸待。7.1.3. 贮存和运输ESS饭其部件时，应妥善进行防静电包装。7.1.4. 拒绝接受未包装在防静电容器里的ESSD7.1.5. 所有用非ESD材料包装的电子元器件都应在指定的静电泄放区域，经过拆包和静电泄放处理后，方可用防静电中转工具将其转到静电敏感区域。7.1.6.不允许在静电敏感区域内存放和处理非ESD的材料，不允许在非静电敏感区域内存放和处理未包装的ESSD不允许非ESD的材料与ESSD昆放。7.1. 7.进入静电敏感区域的人员，都要必须穿好防静电工作服，必须戴上防静电

21、环，腕带必须与皮肤有良好接触并将腕带接入可靠的防静电接地系统中，防静电鞋和脚必须与防静电地板或ESD地垫保持良好接触，防静电帽也必须按规定戴好。7.1.8. 重要工位上应配备腕带监控器，以随时监控腕带是否处于正常状态。7.1.9. 不得随意拆除和改变ESSD勺封装，运送全过程应在防静电容器中进行，清点也尽可能在原包装内完成。7.1.10. 测试ESSD寸必须遵守加电和去电顺序，严禁带电插拔ESSD7.1.11. 持拿ESSD应持其外壳两端，严禁人手触及其引脚或接线片，特别是空悬的输入端。7.1.12. ESSD器件的引脚或接线片，特别是空悬的输入端不可放在金属桌面上，容易引起导通，短路等ESM

22、件，从损坏ESS邮件。7.1.13. 装配ESSD寸，尤其是MOSS等静电敏感器件，应戴上防静电手套或指套。7.1.14. 清洗ESS以其部件时，不得使用塑料刷。7.1.15. 不具备防静电功能的必备工具和用具，应放在防静电桌垫上，并应置于离子风机的作用范围内。7.1.16. 操作时应尽量减少对ESSCM其部件的接触次数。7.1.17. 组装电子设备时，如果需要使用电动批，应使用有接地线的低压直流电动批。7.1.18. 在手工焊接时，应采用防静电低压恒温烙铁。对GJB1649规定的I类ESSD焊接，还应在拔掉烙铁电源插头后进行。7.1.19. 禁止重复使用ESS邮件包装管来包装ESS湍件。7.

23、1.20. 原包装标识为静电敏感的元件其散料必须使用防静电材料盛放和包装。7.1.21. ESSD器件初始包装应在静电敏感区域内完成，并要用防静电材料包装。完成了初始包装的ESS邮件进行二次包装时可以在非ESD区域内完成，也需要防静电材料。7.1.22. 禁止使用超过有效期的防静电材料来接触或包装ESS邮件。7.1.23. 在任何场合均不允许未采取防静电措施的人员接触ESSD及其部件。7.1.24. 生产过程中使用的设备（成型机、插件机、波峰焊机、贴片机、切脚机、清洗机等）必须采取接地等防静电措施。7.1.25. 运车ESSD及其部件时，应将其放入防静电包装内进行，必要时，应用离子风机来消除在

24、运输过程中产生的静电。7.1.26. 新布置的生产线或工位等都应进行ESDA可，只有认可合格后，方可给生产线使用。7.1.27. 新投入防静电敏感区域的防静电材料，包括主料，辅料和包装材料都应进行ESDA可，只有认可合格后，方可给生产线使用。7.1.28. 新投入防静电敏感区域的防静电工具等都应进行ESDA可，只有认可合格后，方可给生产线使用。7.2.工作台的安装（配置）要求：7.2. 1,按照工作台面的大小选择所需的防静电台垫的尺寸。7.2.8. 使用异丙基酒精彻底清洗台垫下表面（即黑色的一面）。7.2.9. 从防静电台垫正面压下旋钮接头（可用不锈钢螺钉、螺母、垫片组成的连接点代替），使其穿

25、过台垫和箔带有（多层箔带时应保证全部穿过），以保证电接触良好。7.2.10. 使用异丙基酒精清洗防静电台垫上表面和各组成构件。7.2.11. 将经过以上准备好的防静电台垫平整的铺于工作台面上。7.2.12. 按操作人员的作业范围、确定铺放台垫的面积。7.2.13. 将工作台置于防静电地垫上。27.2.14. 防静电工作台的接地，使用横截面不小于2mm的绞合铜芯软线或电缆把防静电台垫和地垫分别串联1MD电阻后连接到地线配置系统上。7.2.15. 全部安装完毕后，对各参数指标进行检验合格后，方可开始使用。7.3. 防静电工作台接地要求：7.3.8. 防静电工作台的台垫和地垫，分别串联1MQ+-10

26、%的电阻接地（即软接地）。7.3.9. 防静电工作台垫和地垫上任意一点与地线配置系统间的电阻为1X1061X109Qo7.3.10. 接地电缆应采用中间无接头、且具有足够的机械强度。7.3.11. 多台防静电工作台的接地线不能相互串接。7.3.12. 防静电工作台上的测试仪器、稳压电源、电动工具、和电离器等所有外部零件表面、屏蔽面均应接地对地线配置系统电阻值不大于2Q,所有接地点应集中接于一点，就近牢固搭接至地线系统上，稳压电源尽可能远离工作台。7.3.13. 对载流地线，应使用同轴电缆来接地和屏蔽。7.3.14. 为带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，应选用安全型，以使其配接

27、时工具和设备的金属外壳能够自动接地且接地脚要首先接地，断电时接地脚最后断开。7.3.15. 手工工具的绝缘把，应定期用抗静电剂处理，使其电阻值为1X1061X1C8Q。7.4. 防静电工作台使用与维护要求：7.4.8. 防静电工作台在日常使用中，必须确保正常接地状态。7.4.9. 防静电工作台上不允许存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易产生静电的物品，图纸、资料等应放入防静电文件袋中。7.4.10. 测量工具使用兆欧表（额定电压250500V,量程01000MQ）,测量台垫，地垫，腕带和接地电缆等的电阻值。7.4.11. 使用防静电剂喷涂工作服、工作椅、工具的绝缘部分，及非导体或非防静电的塑料容器、椅子坐垫和椅子靠背等。7.4.12. 使用中性清洗剂或防静电剂清洁防静电台垫和地垫。7.4.13. 对所有建筑地板使用防静电溶液进行维护