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文档简介
1、杂质能级的位置位于禁带中心附近,电离能较大,在室温下,处于这些杂质能级上的杂质一般不电离,对半导体材料的载流子没有贡献,但是它们可以作为电子或空穴的复合中心,影响非平衡少数载流子的寿命,这类杂质称为深能级杂质常用的形成pn结的工艺主要有合金法、扩散法、离子注入法和薄膜生长法,其中扩散法是目前硅太阳电池的pn结形成的主要方法。合金法是指在种半导体单晶上放置金属或半导体元素,通过升温等工艺形成p-n结。扩散法是指在n型(或p型)半导体材料中,利用扩散工艺掺人相反类型的杂质,在一部分区域形成与体材料相反类型的p型(或n型)半导体,从而构成p-n结。离子注人法是指将n型(或p型)掺杂剂的离子束在静电场
2、中加速,使之具有高动能,注人p型半导体(或n型半导体)的表面区域,在表面形成与体内相反的n型(或p型)半导体,最终形成p-n结薄膜生长法是在n型(或p型)半导体表面,通过气相、液相等外延技术,生长一层具有相反导电类型的P型(或n型)半导体薄膜,在两者的界面处形成p-n结。p-n结貝有许多重要的基本特性,包括电流电压特性、电容效应、隧道效应、雪崩效应、开关特性、光生伏特效应等没有整流效应的金属和半导体的接触,这种接触称为欧姆接触。欧姆接触不会形成附加的阻抗,不会影响半导体中的平衡载流子浓度。从理论上讲,要形成这样的欧姆接触,金属的功函数必须小于型半导体的功函数,或大于p型半导体的功函数,这样,在
3、金属一半导体界面附近的半导体一侧形成反阻挡层(电子或空穴的高电导区),可以阻止整流作用的产生。常用的欧姆接触制备技术有:低势垒接触、高复合接触和高掺杂接触。所谓的低势垒接触,就是选择适当的金属,使其功函数和相应半导体的功函数之差很小,导致金属一半导体的势垒极低,在室温下就有大量的载流子从半导体向金属或从金属向半导体流动,从而没有整流效应产生。对于p型硅半导体而,金、铂都是较好的可以形成低势垒欧姆接触的金属。高复合接触是指通过打磨或铜、金、镍合金扩散等手段,在半导体表面引人大量的复合中心,复合掉可能的非平衡载流子,导致没有整流效应产生。高掺杂接触,是在半导体表面掺人高浓度的施主或受主电学杂质,导
4、致金属一半导体接触的势垒区很薄。在室温下电子通过隧穿效应产生隧道电流,从而不能阻挡电子的流动,接触电阻很小,最终形成欧姆接触。光生伏特效应,当p型半导体和n型半导体结合在一起,形成pn结时,由于多数载流子的扩散,形成了空间电荷区,并形成一个不断增强的从n型半导体指向p型半导体的内建电场,导致多数载流子反向漂移。达到平衡后,扩散产生的电流和漂移产生的电流相等。如果光照在p-n结上,而且光能大于p-n结的禁带宽度,则在p-n结附近将产生电子一空穴对。由于内建电场的存在,产生的非平衡电子载流子将向空间电荷区两端漂移,产生光生电势(电压),破坏了原来的平衡。如果将pn结和外电路相连,则电路中出现电流,
5、称为光生伏特现象或光生伏特效应太阳电池主要工艺步骤:绒面制备、p一n结制备、铝背场制备、正面和背面金属接触以及减反射层沉积。绒面制备是利用晶体硅化学腐蚀的各向异性,在NaOH等化学溶液中处理,形成金字塔形的结构,增加了对人射光线的吸收;pn结制备是在掺硼的p型硅上,通过液相、固相和气相等技术,扩散形成n型半导体;然后沉积铝作为铝背场,再通过丝网印刷、烧结形成金属电极。绒面结构对于单晶硅而言,如果选择择优化学腐蚀剂,就可以在硅片表面形成金字塔结构,称为绒面结构,又称表面织构化,除化学腐蚀以外,还可以利用机械刻槽、激光刻槽和等离子蚀刻等技术,在硅片表面制造不同形状的绒面结构,其目的就是降低太阳光在
6、硅片表面的反射率,增加太阳光的吸收和利用P-n结制备晶体硅太阳电池一般利用掺硼的p型硅作为基底材料,在900C。左右,通过扩散五价的磷原子形成n型半导体,组成p-n结。磷扩散的工艺有多种,主要包括气态磷扩散、固态磷扩散和液态磷扩散等形式。铝背场为了改善硅太阳电池的效率,pn结制备完后,在硅片的背光面,沉积一层铝膜,制备P+层,称为铝背场,其作用减少少数载流子在背面复合的概率,作为背面的金属电极。制备铝背场最简便的方法是利用溅射等技术在硅片背面沉积一层铝膜,然后在8001000C热处理,使铝膜和硅合金化并内扩散,形成一层高铝浓度掺杂的p+层.构成铝背场。丝网印刷电极制备.就是利用丝网印刷的方法,
7、把金属导体浆料按照所设计的图形,印刷在已扩散好杂质的硅片正面、背面。然后,在适当的气氛下,通过高温烧结,使浆料中的有机溶剂挥发,金属颗粒与硅片表面形成牢固的硅合金,与硅片形成良好的欧姆接褳,从而形成太阳电池的上、下电极。减反射膜的基本原理是利用光在减反射膜上、下表面反射所产生的光程差,使得两束反射光干涉相消,从而减弱反射,增加透射。减反射层的薄膜材料通常要求有很好的透光性,对光线的吸收越少越好;同时具有良好的耐化学腐浊性良好的硅片粘接性如果可能最好还具有导电性能。化学气相沉积(CVD)、等离子化学气相沉积(PECVD)、喷涂热解、溅射、蒸发等技术,都可以用来沉积不同的减反射膜。减反射膜的最佳厚
8、度为70nm工业上和实验室一般使用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)来生成氮化硅薄膜。这是因为,相对于其他制备技术,PECVD制备薄膜的沉积温度低,对多晶硅中少数载流子的寿命影响较小,而且生产能耗较低;而且沉积速度较快,生产效率高;氮化硅薄膜的质量好,薄膜均匀且缺陷密度较低非晶硅薄膜太阳电池与晶体硅太阳电池相比,具有重量轻、工艺简单、成本低和耗能少等优点,主要应用于电子计算器、手表、路灯等消费产品。由于非晶硅材料貝有独特的性质,所以其太阳电池结构不同于晶体单的pn结结构,而是pin结构。这是因为非晶硅材料属于短程有序、长程无序的晶体结构,对载流子有很强的散射作用,导致载流子的扩散长度很短
9、,使得光生载流子在太阳电池中只有漂移运动而无扩散运动。晶体硅薄膜太阳电池一般被设计成pin结构,其中p为人射光层,i为本征吸收层,n为基底层。由结和in结形成的内建电场几乎跨越整个本征层。当人射光穿过p型人射光层在本征吸收层中产生电子一空穴对很快被内建电场分开,空穴漂移到p层,电子漂移到n层,形成光生电流和光生电压非晶硅的pin结构通常是利用气相沉积法制备的,根据不同的技术又可以分为辉光放电法、溅射法、真空蒸发法、热丝法、光化学气相沉积法和等离子气相沉积法。其中,等离子气相沉积法在工业界和研究界被广泛应用多晶硅薄膜太阳电池制备在貝有一定机械强度的低成本的衬底材料上,衬底为玻璃、晶体硅、低纯度的
10、多品硅、sC。等。在此基础上,利用等离子化学气相沉积法、等离子体溅射沉积法、液相外延法和化学沉积法,来制备掺硼的P型多晶硅薄膜,其中化学沉积法得到了广泛、应用。单晶硅是根据晶体生长方式的不同,可以分为区熔单晶硅和直拉单晶硅。区熔单晶硅是利用悬浮区域熔炼的方法制备的,所以又称为FZ硅单晶。直拉单晶硅是利用切氏法备单晶硅,称为CZ单晶硅。高纯多晶硅的制备三氯氢硅氢还原法是德国西门子1954年发明的,又称西门子法,是广泛采用的高纯多晶硅制备技术,硅烷热分解法,四氯化硅氢还原区熔单晶硅利用悬浮区熔方法制备的区熔单晶硅,纯度很高,电学性能均匀;但是,直径小,机械加工性差。利用区熔单晶硅制备的太阳电池的光
11、电转换效率高,但是生产成本高,价格昂贵在区熔单晶硅的制备过程中,首先以高纯多晶硅作为原料,制成棒状,并将多晶硅棒垂直固定;在多晶硅棒的下端放置具有一定晶向的单晶硅,作为单晶生长的籽晶,其晶向一般为111或100;然后在真空或氩气等惰性气体保护下,利用高频感应线圈加热多晶硅棒,使多晶硅棒的部分区域形成熔区,并依靠熔区的表面张力保持多晶硅棒的平衡和晶体生长的顺利进行。晶体生长首先从多晶硅棒和籽晶的结合处开始,多晶硅棒和籽晶以一定的速度做相反方向的运动,熔区从下端沿着多晶硅棒缓慢向上端移动,使多晶硅逐步转变成单晶硅。直拉单晶硅的制备工艺一般包括:多晶硅的装料和熔化、种晶、缩颈、放肩、等径和收尾分凝现
12、象由两种或两种以上元素构成的固溶体,在高温熔化后,随着温度的降低将重新结晶,形成固溶体。在再结品过程中,浓度小的元素(作为杂质)在浓度高的元素晶体及熔体中的浓度是不同的。平衡分凝系数在固溶体结晶时,如果固相和液相接近平衡状态,即以无限缓慢的速度从熔体中凝固出固体,固相中某杂质的浓度,液相中该杂质的浓度,那么,两者的比值称为该杂质在此晶体中的平衡分凝系数对于晶体硅而言,杂质浓度极低,杂质的平衡分凝系数就是固液相图中固相线与液相线的斜率之比。对于硅中不同的杂质,平衡分凝系数k也不同°k<1意味着晶体生长时,杂质在品体中的浓度始终小于在熔体中的浓度,即杂质在硅熔体中富集,最终导致品体
13、尾部的杂质含量高于品体头部;反之,k>1意味着晶体生长时,杂质在晶体中的浓度始终大于在熔体中的浓度,即杂质在硅熔体中浓度会越来越小,使得晶体尾部的杂质含量低于晶体头部;k=1时杂质在晶体和熔体中的浓度始终一致,导致晶体生长完成后,从品体的头部到晶体的尾部,浓度都保持一致。对于大规模集成电路用单晶硅,般需要对单晶硅棒进行切断(割断)、滚圆、切片、倒角、磨片、化学腐蚀和抛光等工艺,在不同的工艺间还需进行不同程度的化学清洗。而对于太阳电池用单晶硅,硅片的要求比较低,通常应用前几道加工工艺即切断(割断、滚圆(切方块)、切片和化学腐蚀。直拉单晶硅除了电活性杂质外,般主要存在氧、碳、氮、氢和金属杂质
14、。其中氧是主要杂质,氮杂质是在晶体生长阶段加人的杂质,对控制微缺陷和增加机械强度有益。而氢杂质是在器件加工过程中引人的,主要用来钝化金属杂质和缺陷。太阳电池直拉单晶硅比集成电路直拉单品硅具有更多的杂质和缺陷。在太阳电池用直拉单晶硅中,主要的杂质是氧、碳和金属杂质,主要的缺陷是位错氧是直拉单晶硅中的3还可以形成氧沉淀,主要杂质,它来源于晶体生长过程中石英坩埚的污染1氧可以与空位结合,形成微缺陷;2可以团聚形成氧团簇,具有电学性能;引人诱生缺陷,氧浓度表现为头部高、尾部低硅中金属的测量一是测量硅中各个金属杂质总体的浓度;二是测量硅中各个金属单个原子状态的浓度;三是测量硅中金属沉淀的浓度铸造多晶硅的
15、制备工艺一种是浇铸法,即在一个坩埚内将硅原材料熔化,然后浇铸在另一个经过预热的坩埚内冷却,通过控制冷却速率,采用定向凝固技术制备大品粒的铸造多晶硅。另种是直接熔融定向凝固法简称直熔法,又称布里奇曼法,即在坩埚内直接将多晶硅熔化,然后通过坩埚底部的热交换等方式,使熔体冷却,采用定向凝固技术制造多晶硅也有人称这种方法为热交换法在制备铸造多晶硅时,首先将多晶硅的原料在预熔坩埚内熔化,然后硅熔体逐渐流人到下部的凝固坩埚,通过控制凝固坩埚周围的加热装置,使得凝固坩埚的底部温度最低,从而硅熔体在凝固坩埚底部开始逐渐结晶。结晶时始终控制固液界面的温度梯度,保证固液界面自底部向上部逐渐平行上升最终达到所有的熔
16、体结晶。利用定向凝固技术生长的铸造多品硅,生长速度慢,坩埚是消耗件,不能重复循环使用,即每一炉多品硅需要一支坩埚;而且,在晶锭的底部和上部,各有几厘米厚的区域由于质量低而不能应用。为了克服这些缺点,电磁感应冷坩埚连续拉品法简称EMC或EMCP法。其原理就是利用电磁感应的冷坩埚来熔化硅原料,这种技术熔化和凝固可以在不同部位同时进行,节约生产时间;而且,熔体和坩埚不直接接触,既没有坩埚的消耗,降低成本,又减少了杂质污染长度,特别是氧浓度和金属杂质浓度有可能大幅度降低。另外,该技术还可以连续浇铸,速度可达5mm/min不仅如此,由于电磁力对硅熔体的作用,使得掺杂剂在硅熔体中的分布可能更均匀。铸造多晶
17、硅的晶休生长1装料2加热3化料4晶体生长5退火6冷却非晶硅薄膜具有制备工艺简单、成本低且可大面积连续生产的优点。在太阳电池领域,其优点具体表现为材料和制造工艺成本低,易于形成大规模的生产能力,多品种和多用途,易实现柔性电池等离子体化学气相沉积制备非晶硅薄膜多晶硅薄膜的制备技术凡是制备固态薄膜的技术,如真空蒸发、溅射、电化学沉积、化学气相沉积、液相外延和分子束外延等,都可以用来制备多晶硅薄膜。液相外延是其中种重要的制备多晶硅薄膜的技术。布里奇曼法制备GaAs单晶布里奇曼法生长单晶实质上是一种区域熔炼(区熔)技术,可分为水平布里奇曼法(HB)和垂直布里奇曼法(VB)两种,通常都是利用水平布里奇曼法
18、生长的,而区熔单晶硅则是利用垂直布里奇曼法生长的。其实,两种生长方物理过程都是相同的。液相外延制备GaAs薄膜单晶硅材料Eg1.12ev间接错材料Eg067ev间接磷化铟Eg1.35ev直接带隙材料砷化镓Eg1.43ev直接锑化镉Eg1.45ev直接硫化镉Eg24ev直接铜铟镓锡Eg1.04ev直接铜铟镓硫Eg1.50ev直接氧沉淀形成热处理温度可分为低中和低温(600800C。棒状又称针状或带状,中温(8501050C。)片状沉淀高(11001250C。多面体沉淀。铝背场的作用:减少少数载流子在背面复合的概率;作为背面的金属电极;提高电池的开路电压;提高太阳电池的收集效率;降低电池的反向饱和
19、暗电流和背表面复合速率;制作良好的欧姆接触。简述晶体硅的制备工艺过程?答:晶体硅太阳电池的制备工艺:p型硅片-清洗制绒-扩散制结-去周边层-去磷硅玻璃-镀减反射膜-印刷电极-高温烧结-检测-分选-入库包装P-N结的形成原理当P型半导体与N型半导体连接在一起时,由于PN结中不同区域的载流子分布存在浓度梯度,P型半导体材料中过剩的空穴通过扩散作用流动至N型半导体材料;同理,N型半导体材料中过剩的电子通过扩散作用流动至P型半导体材料。电子或空穴离开杂质原子后,该固定在晶格内的杂质原子被电离,因此在结区周围建立起了一个电场,以阻止电子或空穴的上述扩散流动,该电场所在的区域及耗尽区或者空间电荷区简述制绒
20、的定义、目的、原理、作用以及工艺流程;答:1.制绒的定义:制绒是利用硅的各向异性腐蚀的特性在表面刻出类似于金字塔或者是蜂窝状的结构。2.目的:为了在硅片上获得绒面结构,利用陷光原理,增加光透性,减少光的反射,提高ISC;增加光的吸收率,去除损伤层,增加PN结面积(PN结厚,VOC增加,Eg宽)3.原理:陷光原理4.绒面的作用:减少了太阳光的反射;增加太阳光被吸收的机会。简述表面织构化答:晶体硅在进行切片时,是硅片表面留下一层10-20um的损伤层,而在太阳电池制备时首先要利用化学腐蚀去除损伤层,然后制备表面绒面机构,若选择择优化学腐蚀剂就可以在硅片表面形成倒金字塔结构,称为绒面结构,又称表面织
21、构化。丝网印刷的工艺三步骤;背Ag,背Al,正Ag减反射膜的基本原理:利用光在减反射膜上、下表面反射所产生的光程差,使得两束反射光干涉想消,从而减弱反射,增加透射。减反射层薄膜材料要求:透光性好对光吸收系数良好的耐化学腐蚀性良好的硅片粘结性良好的导电性能常用的减反射膜制备方法:化学气相沉积(CVD)等离子化学气相沉积(PECVD)喷涂热解溅射蒸发单晶硅片的一般制作流程:高纯多晶硅原料熔化-种晶-缩颈-放肩-等径-收尾-圆柱状单晶硅-切断、滚圆、切片、化学清洗-单晶硅片各种硅材料的优缺点对比:直拉单晶硅:优点:电池效率高,工艺稳定成熟;缺点:成本相对较高。薄膜非晶硅:优点:制作成本低缺点:光电转
22、换率低,存在光致衰减行为,稳定性较差。铸造多晶硅优点:成本相对较低,光电转换效率较高缺点:高密度的位错、微缺陷和晶界,影响光电转换效率。薄膜多晶硅:优点:潜在低成本,相对高效率缺点:光电转换效率低高纯多晶硅的制备方法:三氯氢硅氢还原法硅烷热分解法四氯化硅还原法区熔单晶硅的制备过程:首先以高纯多晶硅作为原料,制成棒状,并将多晶硅棒垂直固定;在多晶硅棒的下端放置具有一定晶向的单晶硅,作为单晶生长的籽晶,其晶向一般为<111>或(100);然后在真空或氩气等惰性气体保护下,利用高频感应线圈加热多晶硅棒,使多晶硅棒的部分区域形成熔区,并依靠熔区的表面张力保持多晶硅棒的平衡和晶体生长的顺利进
23、行。直拉单晶硅的制备工艺流程:多晶硅的装料-熔化-种晶-缩颈-放肩-等径收尾简述分凝现象、分凝系数;分凝现象:在结晶过程,浓度小的元素(作为杂质)在浓度高的元素晶体中和熔体中的浓度是不同的,称为分凝现象。分凝系数:“分凝系数”=(杂质在固相中的溶解度)/(杂质在液相中的溶解度)大规模集成电路用单晶硅加工工艺流程:切断(割断)滚圆磨定位标志切片倒角研磨腐蚀热处理背面损伤抛光清洗检验包装太阳电池用单晶硅加工工艺流程:切断-滚圆-切片-化学腐蚀线切割的优缺点:优点:效率高耗材少切割应力小,切割后表面损伤小。缺点:硅片的平整度差;设备相对昂贵,维修困难影响直拉单晶硅中的氧浓度的因素:熔硅中的热对流熔硅
24、与石英坩埚的接触面积晶体生长时的机械强制对流SiO自熔硅表面的蒸发氧与晶体中点缺陷的作用。简述单晶硅与多晶硅的制作工艺流程,谈谈各自的影响因素与改进措施?答:1.单晶硅:多晶硅的装料熔化种晶缩颈放肩收尾,多晶硅:装料加热化料晶体生长退火冷却2. 影响因素:.单晶硅:温度、浓度、时间、位置多晶硅:温度、浓度、时间、位置3. 改进措施:对于单晶硅而言,采用新型直拉单晶硅的生长技术;对于多晶硅而言,采用电磁感应冷坩埚连续拉晶法。63. 简述硅锭的切片过程,切片过程中存在哪些影响因素,如何减小掉片风险?答:硅锭的切片过程:切断(割断)滚圆磨定位标志切片倒角研磨腐蚀热处理背面损伤抛光清洗检验包装。切片过
25、程中存在的影响因素:线速、张力、桌面移动速度、砂浆粘度、温度和研磨特性、线径、碳化硅数目、密度。64. 直拉单晶硅电池中氧杂质会有哪些影响,如何控制、如何解加热化料晶体生长退火冷却装料决?答:直拉单晶硅电池中氧杂质影响:会形成缺陷:控制:采取精细的工艺和外加磁场加以控制。解决:对于热施主可以在550C。以上的短时间热处理中予以消除,通常利用的热施主消除温度为650C。对B-O,硼氧复合体的缺陷可以经低温(200C咗右)热处理予以消除。铸造多晶硅的优点与缺点?答:优点:是材料的利用率高、能耗小、制备成本低,而且其晶体生长简便,易于大尺寸生长。缺点:是含有晶界、高密度的位错、微缺陷和相对较高的杂质
26、浓度,其晶体的质量明显低于单晶硅,从而降低了太阳电池的光电转换效率。铸造多晶硅的主要制备工艺?答:浇铸法;直熔法。简述浇铸法的工作原理和基本原理?答:工作原理:在制备多晶硅时,首先将多晶硅的原料在预熔坩埚内熔化,然后硅熔体逐步流入到下部的凝固坩埚,通过控制凝固坩埚的加热设备,使得凝固坩埚的底部温度最低,从而硅熔体在凝固坩埚底部开始逐渐结晶。结晶时始终控制固液界面的温度梯度,保证固液界面自底部向上部逐渐平行上升,最终达到所有的熔体结晶。基本原理:在一个坩埚内将硅原料溶化,然后浇铸在另一个经过预热的坩埚内冷却,通过控制冷却速率,采用定向凝固技术制备大晶粒的铸造多晶硅。简述直熔法的工作原理和基本原理
27、?答:工作原理:硅原材料首先在坩埚中熔化,坩埚周围的加热器保持坩埚上部温度的同时,自坩埚的底部开始逐渐降温,从而使坩埚底部的熔体首先结晶。同样的,通过保持固液界面在同一水平面并逐渐上升。使得整个熔体结晶为晶锭。在这种制备方法中,硅原材料的熔化和结晶都在同一个坩埚中进行。基本原理:直接熔融定向凝固法,简称直熔法,又称布里奇曼法,即在坩埚内直接将多晶硅溶化,然后通过坩埚底部的热交换等方式,使得熔体冷却,采用定向凝固技术制造多晶硅,所以,也有人称这种方法为热交换法直熔法制备铸造多晶硅的貝体工艺装料T加热T化料T晶体生长T退火T冷却铸造多晶硅中需要解决的主要问题尽量均匀的固液界面温度;尽量小的热应力;
28、尽量大的晶粒;尽可能少的来自于坩埚的污染。1. 半导休太阳能光伏电池工作原理的四个基本过程。答:第一,必须有光照射,可以是单色光,太阳光和模拟光源。第二,光子源注入到半导体内后,产生电子-空穴对,且电子-空穴对具有足够的寿命。第三,利用PN结,将电子-空穴对分离,分别集中于两端。第四,被分离的电子和空穴,经由电极收集,运输到电池体外,形成电流。2. 空间电荷区,内建电场及方向;漂移电流和扩散电流及其方向。答:空间电荷区:扩散结果:n区出现正电荷区,p区出现负电荷区,则交界面的两侧的正,负电荷区,总称为空间电荷区。内建电场:由于空间电荷区正负电荷相互吸引,形成一个称为势垒电场的内建电场,带正电荷
29、的n区指向带负电荷的p区。扩散电流:当两种不同型号半导体连接起来,在交界处产生载流子扩散。由n型半导体与p型半导体交界处两侧不同型号载流子(多数载流子)浓度差引起的载流子扩散产生的电流。扩散电流=电子扩散电流+空穴扩散电流。方向p指向n。漂移电流:内建电场的形成对多数载流子扩散运动起阻挡运动的作用。载流子在内建电场中的运动叫做漂移电流。漂移运动产生的电流叫做漂移电流。漂移电流=空穴漂移电流+电子漂移电流。方向与扩散电流方向相反。PN结两端接触电势及其表达方式;接触电势与电池的开路电压有关,说明影响太阳电池开路电压的因素。答:接触电势是PN结空间电荷区两端的电势差Vo。影响因素:1.与n区和p区
30、中净摻杂浓度有关(Nd,Na)有关,摻杂浓度越大,V0越大即太阳电池的开路电压Voc越大。2. 与半导体材料种类有关,不同半导体有不同的本征载流子浓度(ni),在同样摻杂浓度下,其Vo不同即Voc不同。3. 温度T有关温度愈高ni愈大,Vo愈小,所以随环境温度增高,太阳电池Voc成指数下降。金属电极作用收集光生电流,然后引导到负载;对金属电极的要求1.与硅片形成良好的欧姆接触。2电极线宽要越细越好。金属电极的丝网印刷制作工艺按设计好的电极图形的模板,用丝网印刷法将导体浆料(用超细银粉与有机溶剂调成浆料),印制在电池表面,然后在适当的温度下烧结,使有机溶液挥发,而金属颗粒(Ag)与硅片紧紧的粘附
31、,形成(Ag)与硅的合晶铝背场结构:在pn结制备完后,在硅片背面淀积一层铝膜,经合金化高温处理后,在硅片内形成p+层(高浓度p型杂质层),在硅片背侧面产生了内建电场。合金化作用:1.AL原子进入硅片内,形成一层高浓度的p+层形成BSF结构。2.使Al膜紧紧的黏在硅片的表面,形成背电极。铝背场结构的作用:1.能提高电池的光电转换效率原因:由于P+层存在,在电池背面形成一个P+/p结,从而产生一个内建电场,由于这个电场的方向与电池端电压方向相反,阻止了光生电压少数载流子向P+层扩散,由此减少了少子在背面的复合几率,提高了电子的收集效率,即提高了光生电流,同时提高了电池的开路电压,提高了光电转换效率
32、。2.可做电池背面的金属电极。薄膜电池存在的问题1.光电转换效率低2.电池效率的光衰减:PN结的内建电场是从N区指向P区。P型硅为基体的太阳电池,未导通的情况下,其光生电压的方向是P-N。电池开路且有稳定光照时,正向结电流IF和光电流IL大小相等,方向相反。光电流的方向是nip。影响金属电极和硅之间的接触电阻最直接的工艺是烧结工艺1光生伏达效应:半导体在受到光照射时产生电动势的现象。2. 单晶硅:由晶面取向相同的晶粒形成的晶体硅。3. 光致衰退效应:光电转换效率会随着光照时间的延续而衰减,使电池性能不稳定。5. 方阻:正方形的薄膜导电材料边到边之间的电阻。6. 刻蚀:通过溶液、反应离子或其他机
33、械方式来剥离、去除材料的一种统称。7. 等离子体:处于主要由电子和正离子(或是带正电的核)组成状态的物质。8.等离子态:电子、正离子、中性粒子混合组成的一种形态。9. 开路电压:太阳能电池空载时的端电压10.短路电流:端电压为零时,通过太阳能电池的电流。1. 太阳能电池根据所用材料的不同,可以分为硅太阳能电池、化合物太阳能电池、染料敏化电池和有机薄膜电池。2. 太阳能电池按照结构可以划分为晶体硅太阳能电池和薄膜太阳能电池。3. 晶体硅太阳能电池生产过程大致分为五个步骤:提纯、拉棒、切片、制电池、封装。4. 单晶硅太阳能电池在实验室转换效率为24.7%,规模生产时转换效率为15%。5.多晶硅太阳
34、能电池的实验室转换效率为18%,规模生产时转换效率为10%6.非晶硅薄膜经过不同的电池工艺过程可以分别制得单结电池和叠层太阳能电池。10. 清洗制绒设备的功能:除去表面油污、损伤层、金属离子,制绒、自然氧化。15.刻蚀可以分为干法刻蚀和湿法刻蚀两种18.减反射膜是以光的波动性和干涉现象为基础的1. 砷化镓太阳能电池属于第三代太阳能电池。(X)碲化镉太阳能电池属于第二代太阳能电池。(V)5. 硅片表面的反射率一般为20%左右,制绒后,单晶硅的反射率可以降低至10%,多晶硅可降至15%(V)1. 简述晶体硅太阳能电池的工作原理。太阳光照在半导体PN结上形成新的空穴电子对,在PN结内在电场的作用下,
35、空穴由N区流向P区,电子由P区流向N区,接通电路后就形成电流。微晶硅薄膜电池貝有哪些优势?低成本;电导率高,吸收系数高,无明显光致衰退现象;易大面积制备,集成化;简述湿法刻蚀的优缺点优点:选择性好重复性好-生产效率高-设备简单-成本低-缺点-钻刻严重对图形的控制性较差-不能用于小的特征尺寸-会产化学废液简述干法刻蚀的优缺点优点:各向异性好,选择比高,可控性、灵活性、重复性好细线条操作安全-易实现自动化,无化学废液-缺点:成本高,设备复杂TPT是为了防水和绝缘太阳能电池的上电极一般制成什么形状栅线状有利于光生电流的收集,并使电池有较大的受光面积。太阳能电池组件生产的工艺流程。电池测试正面焊接背面串接层压敷设组件层压修边装框焊接接线盒组件测试制绒工序的检测内容有哪几项减薄量反射率外观均匀性背板主要使用什么材料TPT防止水汽进入太阳电池组件内部,并对阳光起反射作用。2、太阳能玻璃的铁杂质含量一般控制在0.015%之下。(对)5、照度和温度是确定光伏电池
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