电阻式传感器

1、电阻式电阻式传感器传感器2 第第3 3章章 电阻式传感器电阻式传感器3.13.1应变式电阻传感器应变式电阻传感器3.1.13.1.1金属丝的电阻应变效应金属丝的电阻应变效应电阻丝在外力作用下发生机械变形时，其电阻值发生电阻丝在外力作用下发生机械变形时，其电阻值发生变化，这一现象就是电阻丝的应变效应。变化，这一现象就是电阻丝的应变效应。设有一段长为设有一段长为l l，截面为，截面为s s，电阻率为，电阻率为的金属丝，则的金属丝，则它的电阻为它的电阻为: :3当它受到轴向力当它受到轴向力F F而被拉伸而被拉伸( (或压缩或压缩) )时，其时，其l l、s s、均发均发生变化，如图生变化，如图3-1

2、3-1所示，如取金属丝是半径为所示，如取金属丝是半径为r r 的圆形截的圆形截面面s=s=r r2 2 ，那么，那么: : 4n若金属丝沿长度方向受力而伸长若金属丝沿长度方向受力而伸长l l，通常将，通常将l/ll/l称为纵称为纵向应变，标为向应变，标为。因为它的数值在。因为它的数值在通常的测量中甚小，故常用通常的测量中甚小，故常用1010-6-6作为单位来表示，称为微作为单位来表示，称为微应变，标以应变，标以。例如。例如=0.001=0.001就可以表示为就可以表示为10001000，称为具有，称为具有10001000微应变。金属丝沿微应变。金属丝沿其轴向拉长使其径向缩小，二者之间的关系为其

3、轴向拉长使其径向缩小，二者之间的关系为: : 5 所以所以:令令:lk k0 0称为金属丝的灵敏系数，它表示金属丝发生单位轴向称为金属丝的灵敏系数，它表示金属丝发生单位轴向应变时所引起的电阻值的相对变化。应变时所引起的电阻值的相对变化。6n由式由式(3-4)(3-4)可知，因应变导致金属电阻值的变化，由两项可知，因应变导致金属电阻值的变化，由两项组成：第一项表示由于几何尺寸改变引起的电阻变化；另组成：第一项表示由于几何尺寸改变引起的电阻变化；另一项表示单位轴向应变引起电阻率的变化。对于大多数金一项表示单位轴向应变引起电阻率的变化。对于大多数金属电阻丝材料说则有属电阻丝材料说则有: : 73.1

4、.2 3.1.2 应变片结构与类型应变片结构与类型 应变片结构如图应变片结构如图3-23-2所示，它主要是由金属丝栅所示，它主要是由金属丝栅( (敏感敏感栅栅) )、绝缘基片及覆盖片三部分组成应变片阻值尚无统一标、绝缘基片及覆盖片三部分组成应变片阻值尚无统一标准，常用的有准，常用的有6060、120120、200200、320320、350350、500500、10001000，其中，其中120120最为常用。最为常用。 8根据制作方法，一般可将金属应变片分为二类：根据制作方法，一般可将金属应变片分为二类：电阻丝应变片：电阻丝应变片有圆角线栅式和直角线电阻丝应变片：电阻丝应变片有圆角线栅式和直

5、角线栅式两种，如图栅式两种，如图3-33-3所示所示, ,前者制造方便，为最常见形式，前者制造方便，为最常见形式，但它的横向效应较大。但它的横向效应较大。 9金属箔式应变片：如图金属箔式应变片：如图3-43-4所示。所示。 103.1.3 3.1.3 电阻应变片主要特性电阻应变片主要特性 (1)(1)灵敏系数灵敏系数 电阻应变片灵敏系数为电阻应变片灵敏系数为: : 。k k不等于不等于k k0 0 且且恒小于恒小于k k0 0 。应变片灵敏系数。应变片灵敏系数k k必须重新实验测定。因粘必须重新实验测定。因粘贴式应变片一经粘贴测试就无法取下重用，一批产品只贴式应变片一经粘贴测试就无法取下重用，

6、一批产品只能采取抽样能采取抽样( (如如5%)5%)测定，取平均测定，取平均k k值及允许的公差值标注值及允许的公差值标注在该批的每个应变片包装袋上，也称在该批的每个应变片包装袋上，也称“标称灵敏系数标称灵敏系数”。 11应变片灵敏系数测定是在某种特定实验装置上进行的，如采应变片灵敏系数测定是在某种特定实验装置上进行的，如采用纯弯梁用纯弯梁( (等应力梁等应力梁) )或等强度悬臂梁。试件材料必须是泊松或等强度悬臂梁。试件材料必须是泊松系数系数=0.285=0.285的钢材，受单向应的钢材，受单向应 力状态且应变力轴向与主力状态且应变力轴向与主应力方向一致。由此可见，应变片灵敏系数是在二维应变场

7、应力方向一致。由此可见，应变片灵敏系数是在二维应变场中进行标定的。实验证明，在相当大的应变范围内，应变片中进行标定的。实验证明，在相当大的应变范围内，应变片灵敏系数灵敏系数k k是常数。是常数。 12(2)(2)横向效应横向效应 n沿应变片轴向的应变沿应变片轴向的应变x x 必然引起应变片电阻的相对变化，必然引起应变片电阻的相对变化，而沿垂直于应变片轴向的横向应变而沿垂直于应变片轴向的横向应变y y也会引起其电阻的也会引起其电阻的相对变化，这种现象称为横向效应。相对变化，这种现象称为横向效应。 13 (3) (3)机械滞后机械滞后 n在同一机械应变下在同一机械应变下, ,卸载时的卸载时的i i

8、(R/R)R/R)高于加载时的高于加载时的i i (R/R),R/R),这种现象称为应变片的机械滞后。这种现象称为应变片的机械滞后。14 (4) (4)温度效应温度效应 粘贴到试件上的电阻应变片，除感受机械应变而产生粘贴到试件上的电阻应变片，除感受机械应变而产生电阻相对变化外，在环境温度变化时，也会引起电阻的相电阻相对变化外，在环境温度变化时，也会引起电阻的相对变化，产生虚假应变，这种现象称为温度效应。温度变对变化，产生虚假应变，这种现象称为温度效应。温度变化对电阻应变片的影响是多方面的，这里仅考虑以下两种化对电阻应变片的影响是多方面的，这里仅考虑以下两种影响：影响：环境温度变化环境温度变化t

9、 t时，由于敏感栅材料的电阻温度系数时，由于敏感栅材料的电阻温度系数i i 的存在，引起电阻相对变化：的存在，引起电阻相对变化： 15环境温度变化环境温度变化t t 时，敏感栅材料和试件材料的膨胀系数时，敏感栅材料和试件材料的膨胀系数不同不同, ,应变片产生附加的拉长应变片产生附加的拉长( (或压缩或压缩),),引起电阻的相对变化引起电阻的相对变化 (R/R)R/R)2 2=k(=k(g g-s s)t (3-7)t (3-7)因此由温度变化形成总的电阻相对变化为因此由温度变化形成总的电阻相对变化为R/R=(R/R=(R/R)R/R)1 1+(+(R/R)R/R)2 2 = =t tt+kt+

10、k(g g-s s)t )t (3-8) (3-8)相应的虚假应变为相应的虚假应变为 i i=(R/R)/k=(=(R/R)/k=(t t/k/k)t+()t+(g g-s s)t (3-9)t (3-9) 16 温度补偿措施温度补偿措施单丝自补偿法：由式单丝自补偿法：由式(3-9)(3-9)可知，为使因温度变化而产可知，为使因温度变化而产生的虚假应变生的虚假应变 ，只要满足条件，只要满足条件(3-10)(3-10)： 在研制和选用应变片时，若选择敏感栅的合金材料，其在研制和选用应变片时，若选择敏感栅的合金材料，其t t、s s能与试件材料的能与试件材料的g g 相匹配，即满足式相匹配，即满足

11、式(3-10)(3-10)，就能达到温度自补偿的目的。就能达到温度自补偿的目的。这种温度自补偿方法的最大优点是结构简单，制造、这种温度自补偿方法的最大优点是结构简单，制造、使用方便。使用方便。 17双丝自补偿法：这种应变片的敏感栅是由电阻温度系数双丝自补偿法：这种应变片的敏感栅是由电阻温度系数为一正一负的两种合金丝串接而成。应变片电阻由电阻为一正一负的两种合金丝串接而成。应变片电阻由电阻RaRa和和RbRb两部分组成，当工作温度变化时，若两部分组成，当工作温度变化时，若RaRa栅产生正的虚栅产生正的虚假应变与假应变与RbRb栅产生负的虚假应变大小相等或相近，就可达栅产生负的虚假应变大小相等或相

12、近，就可达到温度误差自补偿的目的。到温度误差自补偿的目的。 桥路补偿法：利用电桥电路的和差原理来达到补偿误差桥路补偿法：利用电桥电路的和差原理来达到补偿误差的目的。的目的。 18 (5)(5)零漂及蠕变零漂及蠕变 粘贴在试件上的应变片，粘贴在试件上的应变片，在恒温恒载条件下，指示应在恒温恒载条件下，指示应变量随时间单向变化的特性变量随时间单向变化的特性称为蠕变。如图称为蠕变。如图3-73-7中中所示。所示。 当试件初始空载时，应变当试件初始空载时，应变片示值仍会随时间变化的现片示值仍会随时间变化的现象称为零漂。如图象称为零漂。如图3-73-7中中P P所所示。示。 19n蠕变反映了应变片在长时

13、间工作中对时间的稳定性，通蠕变反映了应变片在长时间工作中对时间的稳定性，通常要求常要求3 31515。n引起蠕变的主要原因引起蠕变的主要原因: :制作应变片时内部产生的内应力和制作应变片时内部产生的内应力和工作中出现的剪应力工作中出现的剪应力, ,使丝栅、基底使丝栅、基底, ,尤其是胶层之间产生尤其是胶层之间产生的的“滑移滑移”所致。所致。20 (6)(6)应变极限应变极限n在恒温条件下，使非线性达到在恒温条件下，使非线性达到10%10%时的真实应变值，称为时的真实应变值，称为应变极限。如图应变极限。如图3-83-8所示。所示。应变极限是衡量应变片测量范围和过载能力的指标，通常应变极限是衡量应

14、变片测量范围和过载能力的指标，通常要求要求 8000 8000 。21 (7)(7)绝缘电阻绝缘电阻 应变片绝缘电阻是指已粘贴的应变片的引线与被测试件应变片绝缘电阻是指已粘贴的应变片的引线与被测试件之间的电阻值，通常要求之间的电阻值，通常要求 在在5050100M100M以上。以上。绝缘电阻的大小取决于粘合剂及基底材料的种类及固化绝缘电阻的大小取决于粘合剂及基底材料的种类及固化工艺，在常温使用条件下要采取必要的防潮措施，而在中温工艺，在常温使用条件下要采取必要的防潮措施，而在中温或高温条件下，要注意选取电绝缘性能良好的粘结剂和基底或高温条件下，要注意选取电绝缘性能良好的粘结剂和基底材料。材料。

15、 22 (8) (8)动态响应特性动态响应特性 实验表明，机械应变波是以相同于声波的形式和速度在实验表明，机械应变波是以相同于声波的形式和速度在材料中传播的。当它依次通过一定厚度的基底、胶层材料中传播的。当它依次通过一定厚度的基底、胶层( (两者两者都很薄，可忽略不计都很薄，可忽略不计) )和栅长和栅长l l的敏感栅而为的敏感栅而为 应变计所响应应变计所响应时，就会有时间的迟后。应变片的这种响应迟后对动态时，就会有时间的迟后。应变片的这种响应迟后对动态( (高高频频) )应变测量，会产生误差。应变片的动态特性就是指其感应变测量，会产生误差。应变片的动态特性就是指其感受随时间变化的应变时之响应特

16、性。受随时间变化的应变时之响应特性。23对正弦应变波的响应对正弦应变波的响应应变片对正弦应变波的响应是在其栅长应变片对正弦应变波的响应是在其栅长l l范围内所感范围内所感受应变量的平均值。因此，响应波的幅值将低于真实应变受应变量的平均值。因此，响应波的幅值将低于真实应变值，从而产生误差。粘贴在一定试件上的应变片对正弦应值，从而产生误差。粘贴在一定试件上的应变片对正弦应变的响应误差随栅长变的响应误差随栅长 和应变频率和应变频率 的增加而增大。在设计的增加而增大。在设计和应用应变片时，就可按和应用应变片时，就可按e e、l l、f f三者关系，根据给定的三者关系，根据给定的精度精度e e，来确定合

17、理的或工作频限，来确定合理的或工作频限f fmaxmax ，即：，即：或或242)2)对阶跃应变波的响应对阶跃应变波的响应 如图如图3-103-10所示所示: : a-a-试件产生的阶跃机械应变波试件产生的阶跃机械应变波b-b-传播速度为传播速度为v v的应变波的应变波, ,通过通过栅长栅长l l而迟后一段时间而迟后一段时间t th h=l/v=l/v的的理论响应特性理论响应特性c-c-应变片对应变波的实际响应应变片对应变波的实际响应特性特性. .0tacb3-103-10对阶跃应变波的响应对阶跃应变波的响应253.1.4 3.1.4 转换电路转换电路(1)(1)直流电桥直流电桥电桥线路是由联

18、接成环电桥线路是由联接成环形的四个电阻所组成，如图形的四个电阻所组成，如图3-113-11所示。所示。 26 27一个桥臂电阻有变化一个桥臂电阻有变化例如桥臂例如桥臂1 1电阻有电阻有R1R1 的变化，则电桥的输出电压为：的变化，则电桥的输出电压为： 若取若取 ，则：，则： 当当 时，则：时，则：URRU00428两个桥臂电阻有变化两个桥臂电阻有变化 n如桥臂电阻如桥臂电阻 和邻边桥臂电阻和邻边桥臂电阻 都有电阻变化，即都有电阻变化，即R1R1变变为为 ，R2R2变为变为R2+R2+R2R2，当当 ，且，且 时：时：这称为半桥双臂工作电桥。这称为半桥双臂工作电桥。 29四个桥臂电阻均有变化四个

19、桥臂电阻均有变化n假设假设R1R1、R2R2、R3R3、R4R4的变化量分别为的变化量分别为R1R1、R2R2、R3R3、R4R4，R1=R2=R3=R4=R R1=R2=R3=R4=R ，则其输出电压为，则其输出电压为: :30 (2)(2)交流电桥交流电桥n交流电桥电路如图交流电桥电路如图3-133-13所示，其所示，其电路结构形式与直流电桥相同。电路结构形式与直流电桥相同。但在电路具体实现上与直流电桥但在电路具体实现上与直流电桥有两个不同点，一是其激励电源有两个不同点，一是其激励电源是高频交流电压源或电流源是高频交流电压源或电流源( (电源电源频率一般是被测信号频率的十倍频率一般是被测信

20、号频率的十倍以上以上) )；二是交流电桥的桥臂可以；二是交流电桥的桥臂可以是纯电阻，但也可以是包含有电是纯电阻，但也可以是包含有电容、电感的交流阻抗。容、电感的交流阻抗。 Z1Z2UZ3Z4图图3-12 3-12 交流电桥交流电桥I1I231交流电桥的平衡条件是：交流电桥的平衡条件是：故交流电桥的平衡条件可表达为：故交流电桥的平衡条件可表达为： 32其物理含义是交流电桥要达到平衡需使该电桥的四个桥臂中其物理含义是交流电桥要达到平衡需使该电桥的四个桥臂中对边阻抗的模乘积相等，对边阻抗角之和相等。所以交流电对边阻抗的模乘积相等，对边阻抗角之和相等。所以交流电桥的平衡较之直流电桥要复杂一些。桥的平衡

21、较之直流电桥要复杂一些。交流电桥的激励电源必须具有良好的电压值与频率的稳交流电桥的激励电源必须具有良好的电压值与频率的稳定度，前者影响其输出灵敏度；后者会影响电桥的平衡。因定度，前者影响其输出灵敏度；后者会影响电桥的平衡。因为交流阻抗计算中均包含有电源频率的因子。当电源频率不为交流阻抗计算中均包含有电源频率的因子。当电源频率不稳定，或电压波形畸变，即包括了高次谐波时，交流阻抗值稳定，或电压波形畸变，即包括了高次谐波时，交流阻抗值会有变化，或者除有基频交流阻抗外还存在高频交流阻抗，会有变化，或者除有基频交流阻抗外还存在高频交流阻抗，这就给平衡调节带来困难，因为若已调到基波频率阻抗达到这就给平衡调

22、节带来困难，因为若已调到基波频率阻抗达到平衡时，而对高次谐波的交流阻抗仍未达到平衡，将有高次平衡时，而对高次谐波的交流阻抗仍未达到平衡，将有高次谐波的输出电压。谐波的输出电压。333.1.5 3.1.5 应变片选择与粘贴工艺应变片选择与粘贴工艺(1)(1)应变片的选择应变片的选择 类型的选择；类型的选择；材料的选用；材料的选用；阻值的选择；阻值的选择；尺寸的选择。尺寸的选择。 3435(2)(2)应变片的粘贴应变片的粘贴准备工作准备工作: :a.a.试件的准备：在粘贴部位的表面，用砂布在与轴向成试件的准备：在粘贴部位的表面，用砂布在与轴向成4545的方向交叉打磨至粗糙度的方向交叉打磨至粗糙度R

23、aRa为为63m63m清洗净打磨面清洗净打磨面划线即确定粘贴坐标线划线即确定粘贴坐标线均匀涂一薄层粘结剂作底。均匀涂一薄层粘结剂作底。b.b.应变片的准备：外表和阻值检查应变片的准备：外表和阻值检查划线轴向标记划线轴向标记清洗。清洗。涂胶涂胶: :在准备好的试件表面和应变片的基底上均匀涂一在准备好的试件表面和应变片的基底上均匀涂一薄层粘接剂。薄层粘接剂。贴片：将涂好胶的应变片与试件，按坐标线对准贴上贴片：将涂好胶的应变片与试件，按坐标线对准贴上用手指顺轴向滚压，去除气泡和多余胶液用手指顺轴向滚压，去除气泡和多余胶液按固化条件固按固化条件固化处理。化处理。36复查：复查：A.A.贴片偏差应在许可

24、范围内；贴片偏差应在许可范围内；B.B.阻值变化应在测量仪器预调平范围内；阻值变化应在测量仪器预调平范围内；C.C.引线和试件间的绝缘电阻应大于引线和试件间的绝缘电阻应大于50M50M。接线：根据工艺条件选择好导线，然后通过中介接线片接线：根据工艺条件选择好导线，然后通过中介接线片( (柱柱) )把应变片引线和导线焊接在一起，并加以固定。把应变片引线和导线焊接在一起，并加以固定。防护：在安装好的应变片和引线上涂以中性凡士林油、防护：在安装好的应变片和引线上涂以中性凡士林油、石蜡石蜡( (短期防潮短期防潮) )，或石蜡，或石蜡松香松香黄油的混合剂黄油的混合剂( (长期防长期防潮潮) )，或环氧树

25、脂、氯丁橡胶、清漆等，或环氧树脂、氯丁橡胶、清漆等( (防机械划伤防机械划伤) )作防作防护用，以保证护用，以保证 应变片工作性能稳定可靠。应变片工作性能稳定可靠。 373.1.6 3.1.6 电阻应变式传感器的应用电阻应变式传感器的应用 n应变式传感器包括两个主要部分：一个是弹性敏感元件亦应变式传感器包括两个主要部分：一个是弹性敏感元件亦称弹性体，利用它把被测的物理量称弹性体，利用它把被测的物理量 ( (如力、扭矩、压力、加如力、扭矩、压力、加速度等速度等) )转换为弹性体的应变值；另一个是应变片，它作为转换为弹性体的应变值；另一个是应变片，它作为传感元件，将应变转换为电阻值的变化。传感元件

26、，将应变转换为电阻值的变化。 n按照用途不同，应变式传感器可以分为应变式测力传感器、按照用途不同，应变式传感器可以分为应变式测力传感器、应变式压力传感器、应变式加速度传感器等。应变式压力传感器、应变式加速度传感器等。 38(1)(1)应变式测力传感器应变式测力传感器 39(2)(2)应变式加速度传感器应变式加速度传感器 40(3)(3)应变式压力传感器应变式压力传感器n当被测压力较大时当被测压力较大时, ,多采用筒式压力传感器多采用筒式压力传感器. .被测被测压力压力P P进入应变筒的腔内进入应变筒的腔内, ,使筒发生变形。筒外表使筒发生变形。筒外表上的环向应变为上的环向应变为: :D D=P

27、(2-=P(2-)/E(n)/E(n2 2-1)-1)n若壁比较薄时若壁比较薄时, ,可用下式计算环向应变可用下式计算环向应变: :D D=PD(2-=PD(2-)/2hE)/2hE413.2 3.2 压阻式传感器压阻式传感器 n固态压阻式传感器的突出优点固态压阻式传感器的突出优点是灵敏度高是灵敏度高( (比金属丝高比金属丝高50508080倍倍) )，尺寸小，横向效应也小，滞后和尺寸小，横向效应也小，滞后和蠕变都小，适用于动态测量。蠕变都小，适用于动态测量。3.2.1 3.2.1 压阻效应压阻效应沿一块半导体某一轴向施加沿一块半导体某一轴向施加一定应力时，除了产生一定应变一定应力时，除了产生

28、一定应变外，材料的电阻率也要发生变化，外，材料的电阻率也要发生变化，这种现象称为半导体的压阻效应。这种现象称为半导体的压阻效应。111Z 0010110X 100010Y图图3-19 3-19 半导体的晶向半导体的晶向42n压阻式传感器的电阻相对变化率：压阻式传感器的电阻相对变化率：其中电阻率的相对变化起主要作用，则有：其中电阻率的相对变化起主要作用，则有：因此，半导体应变片应变灵敏度为：因此，半导体应变片应变灵敏度为：433.2.2 3.2.2 结构与特性结构与特性(1) (1) 半导体应变片的结构半导体应变片的结构44(2)(2)主要特性主要特性 应变应变- -电阻特性电阻特性半导体应变片

29、的应变电阻特性，在数百微应变内呈线性，在半导体应变片的应变电阻特性，在数百微应变内呈线性，在较大的应变范围内则出现非线性。较大的应变范围内则出现非线性。 45电阻电阻- -温度特性温度特性 粘贴在试件上的体型半导体应变片也和粘贴在试件上的体型半导体应变片也和 金属丝电阻应金属丝电阻应变片一样变片一样, ,由温度引起的电阻变化为由温度引起的电阻变化为R/R=(R/R=(R/R)R/R)1 1+(+(R/R)R/R)2 2=t tt+kt+k(g g-s s)t t灵敏系数灵敏系数- -温度特性温度特性 半导体的压阻系数与温度的关系为半导体的压阻系数与温度的关系为 1=At1=At-a-a 46

30、3.2.3 3.2.3 固态压阻传感器的测量电路固态压阻传感器的测量电路(1)(1)恒压源供电恒压源供电假设四个扩散电阻的起始假设四个扩散电阻的起始阻值都相等且为阻值都相等且为R R，当有应力作，当有应力作用时，两个电阻的阻值增加，用时，两个电阻的阻值增加，增加量为增加量为R R，两个电阻的阻值，两个电阻的阻值减小，减小量为减小，减小量为-R R；另外由；另外由于温度影响，使每个电阻都有于温度影响，使每个电阻都有R RT T的变化量。根据图的变化量。根据图3-263-26，电桥的输出为：电桥的输出为：47此式说明电桥输出与此式说明电桥输出与U U成正比，电桥的输出与电源的大小、成正比，电桥的输

31、出与电源的大小、精度都有关。同时电桥输出与精度都有关。同时电桥输出与 有关，即与温度有关，有关，即与温度有关，而且与温度的关系是非线性的，所以用恒压源供电时，不而且与温度的关系是非线性的，所以用恒压源供电时，不能消除温度的影响。能消除温度的影响。48(2)(2)恒流源供电恒流源供电 n恒流源供电时恒流源供电时( (见图见图3-27)3-27)，假设电，假设电桥两个支路的电阻相等，即：桥两个支路的电阻相等，即：故有，故有，因此电阻的输出为：因此电阻的输出为：49n优点优点: :电桥的输出与电阻的变化量成正比，即与被测量成电桥的输出与电阻的变化量成正比，即与被测量成正比，输出与恒流源供给的电流大小

32、、精度有关。但是电正比，输出与恒流源供给的电流大小、精度有关。但是电桥的输出与温度无关，不受温度影响。桥的输出与温度无关，不受温度影响。n缺点：需要配备一个恒流源，使用中不方便。缺点：需要配备一个恒流源，使用中不方便。 50(3)(3)放大电路放大电路 513.2.4 3.2.4 温度补偿温度补偿n压阻器件本身受到温度影响压阻器件本身受到温度影响后，要产生零点温度漂移和灵后，要产生零点温度漂移和灵敏度温度漂移。因此，必须采敏度温度漂移。因此，必须采用温度补偿措施。用温度补偿措施。(1)(1)零点温度补偿零点温度补偿串、并联串、并联电阻电阻(2)(2)灵敏度温度补偿灵敏度温度补偿 在电源在电源回路串联二极管回路串联二极管52 3.2.5 3.2.5 应用应用(1)(1)压阻式压力传感器压阻式压力传感器 53(2)(2)压阻式加速度传感器压阻式加速度传感器543.3 3.3 热电阻式传感器热电阻式传感器n 利用导电材料的电阻率随本身温度而变化的温度电阻效利用导电材料的电阻率随本身温度而变化的温度电阻效应制成的传感器，称为热电阻式传感器。应制成的传感器，称为热电阻式传感器。3.3.1 3.3.1 工作原理工作原理导体材料电阻导体材