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文档简介

1、 付平付平2016.12.28真空计介绍真空计介绍目录目录真空计定义真空计定义定义：定义：用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。提示：提示：1Torr=133.3Pa真空计分类真空计分类利用力学性能：利用力学性能：波尔登规、薄膜电容规波尔登规、薄膜电容规利用气体动力利用气体动力学效应：学效应：皮拉尼电阻规、热电偶规皮拉尼电阻规、热电偶规利用带电粒子效利用带电粒子效应：应：热阴极电离规、冷阴极电离规热阴极电离规、冷阴极电离规真空计：真空计：（按测量（按测量原理所利原理

2、所利用的不同用的不同的物理机的物理机制分类）制分类）波尔登规：波尔登规：细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同的刻度上，读出相应的气压值这种规的测量范围一般在100Pa1atm薄膜电容规：薄膜电容规：在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。这种规的测量范围一般横跨四个量级，比如可能是0.01Pa100Pa、0.1Pa1000Pa等这种规的优点是灵敏度高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用，已消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前一般需要预热数小时。皮拉尼电

3、阻规：皮拉尼电阻规：由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提高测量的准确度。由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标定。这种规的测量范围一般在0.1Pa1000Pa。热电偶规：热电偶规：热电偶规与皮拉尼电阻规基本原理一致，只是它不用测量热丝电阻的变化，而是用热电偶直接测量热比的温度变化。与皮拉尼电阻规一样，这种规也需要在不同的使用气体下标定。测量范围一般在0.1Pa1000Pa。热阴极电离规：热阴极电离规：热阴极电离规中，由热阴极即灯丝发射电子电离真空中的气体分子，产生离子，由收集级收集产生的离子，形成离子电流，通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度，进而得知气压大小。这种规测量范围一般在1.0E-5Pa0.1Pa。经改进后的热阴极电离规,Beyard-Alpert规，可以将测量下限降至1.0E-9Pa。由于不同气体在相同气压下的电离率不同，这种规在使用时也需要在不同的气体下进行标定。冷冷阴极电离规：阴极电离规：冷阴极电离规也是通过电离气体分子收集离子电流的方法进行气压测量，但与热阴极电离规不同的是，它是利用磁控放电电离气体分子产生

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