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文档简介

1、会计学1磷扩散工艺磷扩散工艺第一页，共31页。第1页/共31页第二页，共31页。第2页/共31页第三页，共31页。第3页/共31页第四页，共31页。第4页/共31页第五页，共31页。第5页/共31页第六页，共31页。第6页/共31页第七页，共31页。排 风排废口推舟机构(jgu)计算机控制柜 净化操作台 总电源进线 炉体柜进气气源柜排废口第7页/共31页第八页，共31页。压缩(y su)空气O2 N2 N2第8页/共31页第九页，共31页。第9页/共31页第十页，共31页。第10页/共31页第十一页，共31页。第11页/共31页第十二页，共31页。第12页/共31页第十三页，共31页。扩散方法

2、 比 较 简单涂布源扩散 设备简单，操作方便。工艺要求较低，比较成熟。扩散硅片中表面状态欠佳，-结面不太平整，对于大面积硅片薄层电阻值相差较大。 二氧化硅乳胶源涂布扩散 设备简单，操作方便，扩散硅片表面状态良好，-结平整。均匀性，重复性较好。改进涂布设备。可以适用自动化，流水线生产。 液态源扩散设备和操作比较复杂。扩散硅片表面状态好，-结面平整，均匀性，重复性较好，工艺成熟。 氮化硼固态源扩散 设备简单，操作方便，扩散硅片表面状态好，-结面平整，均匀性，重复性比液态源扩散好适合于大批量生产。 第13页/共31页第十四页，共31页。第14页/共31页第十五页，共31页。第15页/共31页第十六页

3、，共31页。第16页/共31页第十七页，共31页。第17页/共31页第十八页，共31页。石英管清洗(qngx)饱和(boh)装片送片回温扩散关源，退舟方块电阻测量卸片第18页/共31页第十九页，共31页。第19页/共31页第二十页，共31页。第20页/共31页第二十一页，共31页。第21页/共31页第二十二页，共31页。第22页/共31页第二十三页，共31页。第23页/共31页第二十四页，共31页。第24页/共31页第二十五页，共31页。当l=a（即为一个方块）时，R=t。可见，t代表(dibio)一个方块的电阻，故称为方块电阻，特记为R=t(/)第25页/共31页第二十六页，共31页。第26

4、页/共31页第二十七页，共31页。第27页/共31页第二十八页，共31页。第28页/共31页第二十九页，共31页。第29页/共31页第三十页，共31页。故障表现诊 断措 施扩散不到1.携带气体大氮气量太小，不能将源带到管前；2.炉门没关紧，有源被抽风抽走；3.管口抽风太大。1.增大N2的携带流量；2.将炉门重新定位，确保石英门与石英管口紧贴合。方块电阻偏高1.扩散温度偏低；2.源量不够，不能足够掺杂；.石英管饱和不够。1.加大源量；2.延长扩散时间；3.通入足够量的小N2和O2。方块电阻偏低1.扩散温度偏高；2.源温较高于20度。1.减少扩散温度；2.减少扩散时间。扩散后单片上电阻不均匀1.扩散气流不均匀；2.单片上源沉积不均匀。1.调整扩散气流量；2.调整扩散片与片之间的距离。扩散后硅片上有色斑1.清洗甩干时没有

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