Dektak-150-Stylus-Profiler-使用者操作手册

1、精选优质文档-倾情为你奉上Dektak 150 Stylus Profiler 使用者操作手冊一、開機步驟：1、打開Profiler電源(按下圖一白色鈕，開啟時會亮)，並熱機10分鐘。若無法開啟，請檢查緊急停止按鈕是否為壓下狀態，若為壓下狀態，請順時針旋轉鬆開緊急停止按鈕，直到聽到喀一聲再按ON即可。(如圖二)OFFON 圖一、電源開關 圖二、ReleasIng the Emergency Off Switch2、打開電腦主機，並執行桌面上程式Dektak Version 9 icon ，等候讀取大約30秒即開啟軟體介面。3、軟體打開的畫面即為下針畫面，按下Sample Positioning

2、Window icon 亦可回此畫面。圖三、Scan Routines Window Toolbar二、放置SAMPLE1、確認針的tower是升起來的狀態；若沒升起來請按tower up。2、將平台拉出，sample放置平台中間處。(請以鑷子小心放置sample，避免手套鉤到針頭)3、將平台移入，粗調平台X-Y軸使sample置於針頭之下。X軸粗調X軸微調Y軸粗調Y軸微調 圖四、sample放置平台4、按下tower down 下針，針頭碰觸到sample後會立即回彈上來一小段，此時再微調平台X-Y軸把待測區域移到針頭下。NOTE：(1)、注意針碰觸到sample時，針頭有無落在中央十字上頭

3、，若沒有請聯絡機台負責人。 (2)、scan時，在螢幕畫面上針會由下往上掃。(3)、切勿按Stylus Down ，否則針會停留在sample上 三、量測：1、開啟一個新的檔案。2、設定量測參數：(1)、按Scan Routines Window 。圖五、Startup Window Toolbar(2)、再點選Scan Parameters任一個參數去設定。Display ParametersScan Parameters圖六、Scan Routine Window(3)、設定parameterStylus Type 針的型號，本機台的針為12.5um。Length 掃描長度，本機台掃描範圍

4、為50 µm to 50 mm，設定勿超過此值。Duration 掃描時間，建議掃描500µm至少10秒，以此類推。Resolution 解析度，本機台每秒固定取300個data point；掃描長度固定，掃描時間越長者解析度越佳。Scan Type 掃描形式，選取Standard Scan。Stylus Force 下針力道，本機台設定範圍為115mg，建議使用5mg。Measurement Range 量測深度範圍，有6.5um、65um和524um可以選取，一般都使用6.5um即可。Profile 選取適合的sample表面輪廓，一般都使用Hills and Vall

5、eys。圖七、Scan Parameters Dialog Box3、開始量測 按下Run Scan Routine Here icon 即開始量測。NOTE：(1)、量測時請勿碰觸到光學桌，也盡量不要在旁邊走動，以免影響量測結果。四、資料分析1、量測結束會跳出來的畫面如下圖八所示，亦可按Data Plot Window icon回到此畫面；R、M.cursor選取適當位置，按Level icon 或F7將圖形拉水平，LEVEL結束如下圖九所示。 (R.CursorReference cursor；M.CursorMeasurement cursor)圖八、圖九、Cursor Position

6、ing for Software Leveling2、將R、M.cursor移到欲量測之位置及拉適當的WIDTH，如圖十所示；接著按Append Functions icon選定欲知道之Function，圖十一。RaAverage Roughness，測量表面平坦度。ASHAverage Step Height，測量高低差。圖十、Function作用在此範圍圖十一、Analytical Functions Dialog Box3、存檔 存圖片在圖片上按滑鼠右鍵Save as image，存為.jpg檔。 存檔案按Automation Program Window icon，如圖十二； 再按任一個參數，可得圖十三。 Scan data存為.data檔，為Dektal軟體專用。 按Export icon Export存為.csv檔，為記事本形式。圖十二、Automation Program Window圖十三、4、存檔請置於DATA資料夾內設一個自己實驗室資料夾並著名日期。NOTE：若要CALL檔案一律自行攜帶光碟燒錄，嚴禁使用隨身碟。五、關機步驟1、按下Tower Up icon 使tower上升。2、將平台拉出，取出sample後再將平台移入。3、將軟體關閉。4、關閉Profiler的電源(黑色按鈕)。5、將電腦登出NOTE：(1)、USB插槽一律