传感器技术及其工程应用智能传感器

1、第11章 智能传感器 11.1 智能传感器概述智能传感器概述 11.2 计算型智能传感器计算型智能传感器 11.3 特殊材料型智能传感器特殊材料型智能传感器 11.4 几何结构型智能传感器几何结构型智能传感器 11.5 智能传感器实例智能传感器实例 11.6 多传感器融合系统多传感器融合系统 11.7 模糊传感器模糊传感器 11.8 微机电系统（微机电系统（MEMS） 11.9 实训实训11.1 智能传感器概述智能传感器概述v11.1 智能传感器概述智能传感器概述v 国际电气电子工程师学会（IEEE）在1998年通过了智能传感器的定义，即v “除产生一个被测量或被控量的正确表示之外，还同时具有

2、简化换能器的综合信息以用于网络环境的功能的传感器”。v智能传感器的功能v 先看一个智能传感器的例子，v 图11-1所示为智能红外线测温仪原理框图。 目目标标红红外外传传感感器器温温度度传传感感器器A/D转转换换器器单单片片机机显示仪表显示仪表记录仪表记录仪表存储器存储器RS-232接口接口微微型型计计算算机机A/D转转换换器器图11-1 智能红外线测温仪原理框图 环环境境v 红外传感器将被检测目标的温度转换为电信号，经AD变换后输入单片机。v 温度传感器将环境温度转换为电信号，经AD变换后输入单片机。v 单片机中存放有红外传感器的非线性校正数据。v 红外传感器检测的数据经单片机计算处理，消除非

3、线性误差和环境温度影响后，v 供记录、显示、存储备用。v 可见，智能传感器是具备了记忆、分析和思考能力，输出期望值的传感器。v（1）能提供更全面、更真实的信息，消除异常值、例外值。v（2）具有信号处理包括温度补偿、线性化等功能。v（3）随机调整和自适应。v（4）一定程度的存储、识别和自诊断。v（5）含有特定算法并可根据需要改变算法。 v 智能传感器不仅在物理层面上检测信号，而且在逻辑层面上对信号进行分析、处理、存储和通信。v 相当于具备了人类的记忆、分析、思考和交流的能力，即具备了人类的智能。v 所以称之为智能传感器。 v智能传感器的层次结构智能传感器的层次结构v 人类的智能是怎么构成的呢？v

4、 人类的智能是基于即时获得的信息和原先掌握的知识。v 人类的智能是实现了多重传感信息的融合并且把它与人类积累的知识结合了起来，如图11-2所示。 大脑大脑积累的积累的知识知识判断判断人的大脑归纳人的大脑归纳皮肤皮肤传感传感耳朵耳朵传感传感鼻子鼻子传感传感眼睛眼睛传感传感图11-2 人类智能的构成 v 1智能传感器也应该由多重传感器或不同类型传感器从外部目标以分布和并行的方式收集信息；v 2通过信号处理过程把多重传感器的输出或不同类型传感器的输出结合起来或集成在一起，实现传感器信号融合或集成；v 3最后，根据先前拥有的关于被测目标的有关知识，进行最高级的智能信息处理过程。v 4将信息转换为知识和

5、概念提供使用。 v 理想智能传感器的层次结构应是三层：v 1底层，分布并行传感过程，实现被测信号的收集。v 2中间层，将收集到的信号融合或集成，实现信息处理。v 3顶层，中央集中抽象过程，实现融合或集成后的信息的知识处理。 v智能传感器的实现智能传感器的实现v 实现传感器智能化，让传感器具备理想智能传感器的层次结构。v 就目前发展状况看，有3条不同的途径：v（1）利用计算机合成（智能合成）； v（2）利用特殊功能的材料（智能材料）； v（3）利用功能化几何结构（智能结构）； 11.2 计算型智能传感器计算型智能传感器v11.2 计算型智能传感器计算型智能传感器v计算型智能传感器构成方式计算型智

6、能传感器构成方式v 计算型智能传感器最常见，其底层、中间层和顶层分别由v 基本传感器、v 信号处理电路和v 微处理器构成。v 它们可以集成在一起，形成一个整体，封装在一个壳体内，称为集成化方式。v 也可以互相远离，分开放置在不同的位置或区域，称为非集成化方式。v 介于两种方式之间的混合集成化方式。 v1非集成化方式v 非集成化传感器是把基本传感器、信号处理电路和带数字总线接口的微处理器相隔一定距离组合在一起，构成智能传感器系统。v 此类智能传感器系统实现方式方便快捷，熟悉自动化仪表与嵌入式系统设计的人都能入手。v 目前国内外已有不少此类产品。 v2集成化方式v 集成化方式是采用微型计算机技术和

7、大规模集成电路工艺，v 把传感元件、信号处理电路、微处理器集成在一个硅材料芯片上制成独立的智能传感器功能块。v 作为商品已有多种集成化智能传感器，如单片智能压力传感器和智能温度传感器等。 v3混合集成方式v 混合集成方式是将智能传感器的v 传感元件、v 信号处理电路、v 微处理器等各个部分v 以不同的组合方式分别集成在几个芯片上，然后封装在同一个外壳里。 v计算型智能传感器基本结构计算型智能传感器基本结构v 通常表现为并行的多个基本传感器（也可以是一个）与期望的数字信号处理硬件结合的传感功能组件，v 如图113所示。v 期望的数字信号处理硬件是v 安装有专用程序，可以有效的改善测量质量，增加准

8、确性，可以为传感器加入诊断功能和其它形式的智能。 传感器传感器1传感器传感器2传感器传感器3模模数数变变换换数字数字信号信号处理处理硬件硬件电源电源数数模模变变换换输出输出图11-3 计算型智能传感器基本结构图 v 现今已有硅芯片等多种半导体和计算机技术应用于数字信号处理硬件的开发。v 典型的数字信号处理硬件有如下几种：v 1.微控制器MCUv 微控制器MCU实际上是专用的单片机。其包括微处理器、ROM和RAM存储器、时钟信号发生器和片内输入输出端口I/O等。v 其结构如图11-4所示。 数据存储器数据存储器程序存储器程序存储器I/O接口接口中央处理器单元（中央处理器单元（CPU）时钟信号发生

9、器时钟信号发生器晶振晶振数数据据总总线线地地址址总总线线数数字字输输入入数数字字输输出出置置位位电电源源接地接地图11-4 微控制器MCU结构框图 v 微控制器MCU为智能传感器提供了灵活、快速、省时地实现一体控制的捷径。v MCU编程较容易，逻辑运算能力强，可与各种不同类型的外设连接，这为MCU增加了设计中的选择能力。v 大批量的硅芯片集成生产能力可使系统获得更低成本、更高质量和更高的可靠性。v 2.数字信号处理器DSPv DSP比一般单片机或MCU运算速度快，可供实时信号处理用。v 典型的DSP可在不到100ns（10-9秒）的时间内执行数条指令。v 这种能力使其可获得最高达20MIPS（

10、百万条指令每秒）的运行速度，是通常MCU的1020倍。v 例如DSP56L811：v（1）可在2.73.6V电压范围内工作，在40MHz时钟频率下、最高达20MIPS速度；v（2）单循环、多重累加位移计算方式；v（3）16位指令和16位数据字长；v（4）两个36位累加器；v（5）三个串行I/O口；v（6）16位并行I/O口，两个外部中断；v（7）40MHz时钟频率下，功率损耗为120mW。 v 汽车的接近障碍探测系统和减噪系统就使用了DSP与传感器的结合；v 检查电机框架上螺栓孔倾斜度的智能传感器就是用DSP代替原先的一台主计算机，速度由原来的一分钟检查一个孔，提高到一分钟检查100个孔，v

11、用来处理传感器信号的DSP设计工具只有一张名片大。 v 3. 专用集成电路ASICv ASIC技术是利用计算机辅助设计，v 将可编程逻辑装置（PLD）用于小于5000只逻辑门的低密度集成电路上，设计成可编程的低、中密度集成的用户电路，v 作为数字信号处理硬件使用。v ASIC具有相对低的成本和更短的更新周期。v 用户电路上附加的逻辑功能可以实现某些特殊传感要求的寻址。v 混合信号的ASIC则可同时用于模拟信号与数字信号处理。 v 4.场编程逻辑门阵列FPGAv 场编程逻辑门阵列FPGA以标准单元用于中密度（小于100000只逻辑门）高端电路，设计成可编程的高密度集成的用户电路，v 作为数字信号

12、处理硬件使用。v FPGA和v 用于模拟量处理的同系列装置场编程模拟阵列FPAA，v 作为传感器接口具有特殊的吸引力。v 它们具有很强的计算能力，v 它们能减小开发周期，在投入使用后还可以再次重新设计信号处理程序，调整传感功能。 v 5.微型计算机v 当然，期望的数字信号处理硬件也可以用微型计算机来实现。v 这样组合成的计算型智能传感器就不是一个集成单片传感功能装置，而是一个智能传感器系统了。v 今后，计算型智能传感器还将进一步利用人工神经网络、人工智能、多重信息融合等技术，v 从而具备分析、判断、自适应、自学习能力，v 完成图像识别、特征检测和多维检测等更为复杂的任务。11.3 特殊材料型智

13、能传感器特殊材料型智能传感器v11.3 特殊材料型智能传感器特殊材料型智能传感器v 特殊材料型智能传感器利用了特殊功能材料对传感信号的选择性能。v 例如，在生物传感器一节中曾提到过酶和微生物对特殊物质具有高选择性，有时甚至能辨别出一个特殊分子。 v 另一种化学智能传感器是用具有不同特性和非完全选择性的多重传感器组成。v 例如“电子鼻”的嗅觉系统 v 目前已经发现有几种对有机或无机气体具有不同敏感性或传导性的材料，都已经或者正在获得应用。 11.4 几何结构型智能传感器几何结构型智能传感器v11.4 几何结构型智能传感器几何结构型智能传感器v 几何结构型智能传感器的信号处理是以传感器本身的几何或

14、机械结构得以实现的，这使得信号处理可以大大简化，响应很迅速。v 前面所述的凸透镜和凹透镜就是一个几何结构型光智能传感器的例子。 v 几何结构型智能传感器的最重要特点是：v 传感器和信号处理、v 传感和执行、v 信号处理和信号传输等v 多重功能的合成。 11.5 智能传感器实例智能传感器实例v11.5 智能传感器实例智能传感器实例v智能压力传感器智能压力传感器v 智能压力传感器是计算型智能传感器，它由主传感器、v 辅助传感器、v 微机硬件系统（数字信号处理器）三部分构成。v 如图115所示。 图115 智能压力传感器构成框图 v 主传感器为压力传感器，由它来测量被测压力参数。v 辅助传感器为温度

15、传感器和环境压力传感器。v 微机硬件系统（数字信号处理器），用于对传感器输出的微弱信号进行放大、处理、存储和与计算机通信。 v气象参数测试仪气象参数测试仪v 气象参数测试仪也是一台计算型智能传感器，如图11-6所示。v（1）实现风向、风速、温度、湿度、气压的传感器信号采集；v（2）对采集的信号进行处理、显示；v（3）实现与微型计算机的数据通信，传送仪器的工作状态、气象参数数据。 风向传感器风向传感器风速传感器风速传感器温湿传感器温湿传感器1温湿传感器温湿传感器N扩展数字接口扩展数字接口气压传感器气压传感器扩展模拟接口扩展模拟接口数字数字信号信号处理处理接口接口电路电路模拟信号模拟信号处理处理接

16、口电路接口电路单片机单片机89C52LCD液晶液晶显示显示看门狗看门狗电路电路上上位位机机按键接口电路按键接口电路RS-485RS-232图11-6 气象参数测试仪结构框图 v汽车制动性能检测仪汽车制动性能检测仪v 制动性能的检测有路试法和台试法。v 台试法用得较多，v 它是通过在制动试验台上对汽车进行制动力的测量，并以车轮制动力的大小和左右车轮制动力的差值来综合评价汽车的制动性能。v 汽车制动性能检测仪由v 左轮、右轮制动力传感器、v 数据采集、v 处理与输出系统组成，v 其总体框图如图117所示。 左轮左轮制动力制动力传感器传感器右轮右轮制动力制动力传感器传感器键盘键盘打印机打印机信号信号

17、处理处理模块模块12位位A/D转换转换左轮左轮滚筒滚筒电机电机右轮右轮滚筒滚筒电机电机单片机单片机AT89C52微型计算机微型计算机串行驱动串行驱动耦合驱动耦合驱动左轮力左轮力右轮力右轮力LCD显示器显示器图117 汽车制动性能检测仪总体框图 v轮速智能传感器轮速智能传感器v 轮速智能传感器的硬件结构以单片机为核心，外部扩展8KBRAM和8KBEPROM，v 外围电路有信号处理电路、v 总线通信控制、v 总线接口等，v 如图11-8所示。 轮速传感器轮速传感器信号处理电路信号处理电路光电隔离光电隔离SJA1000光光电电隔隔离离82C25082C250仪表盘智能仪表盘智能测控节点测控节点80C

18、31单单片片机机看门狗电路看门狗电路8KBEPROM8KBRAMCAN总线总线车轮车轮仪器仪器仪表仪表图11-8 轮速智能传感器 v 轮速智能传感器检测到的轮子转动速度信号经滤波、整形变换为脉冲数字信号后，v 由光电隔离耦合输入到80C31单片机端口。v 轮速和其他测控数据v 由仪表盘上的仪器仪表显示和使用。 v车载信息系统车载信息系统v 对汽车的各种信息状态，如燃油的液位、电池电压、水温、机油压力、车速等进行采集、处理、显示和报警，v 同时接收全球卫星定位系统（GPS）信息进行显示。v 驾驶员可根据显示和报警提示进行相应的操作和处理，以保证汽车安全正常行驶。 v 车载信息系统如图11-9所示

19、，由v 多种传感器、v 数据采集卡（A/D转换接口）、v 计数器卡（数据输入接口）、v 总线、v 声光显示和报警器、v GPS、v 工控机和管理控制软件等组成。图11-9 车载信息系统工作原理框图 v 燃油的液位、电池电压、水温、机油压力、车速等各种信息由相应的传感器进行检测，通过数据采集接口卡转换为调制在不同频率上的数字信号。v 计数接口卡由多路计数器组成，将这些调制在不同频率上的数字信号分别存储在各路计数器里。v 工控机在软件的控制下，巡回检取各路计数器的数字信号，运算处理后，以图形方式显示在液晶显示屏上，以便驾驶员观察。 v GPS全球卫星定位系统根据三颗以上不同卫星发来的数据，v 实时

20、计算和在液晶显示屏上显示汽车所处的地理位置（经度和纬度）。v 当某物理量超出安全值范围时，即发出声、光报警信号，v 警示驾驶员尽快采取措施，以保证安全行车。11.6 多传感器融合系统多传感器融合系统v11.6 多传感器融合系统多传感器融合系统v 多传感器融合系统是用计算机对多个基本传感器的检测数据，在一定准则下进行分析、综合、支配和使用，获得对被测对象的一致性解释与描述，形成相应的决策和估计的智能传感器系统。v 多传感器融合系统包含v 多传感器融合v 数据融合。 v多传感器融合多传感器融合v 多传感器融合指多个基本传感器空间和时间上的复合应用和设计，v 常称为多传感器复合。v 多传感器融合能在

21、最短的时间内获得大量的数据，实现多路传感器的资源共享，提高系统的可靠性和鲁棒性。v 多传感器融合有4个级别： 级别复合类型特 征实 例0同等式1各个分离的传感器集成在一个平台上；2每个传感器的功能独立；3各传感器的数据不相互利用1导航雷达；2夜视镜1信号式1各个分离的传感器集成在一个平台上；2各传感器的数据可用来控制其他传感器工作1遥控和遥测，2炮瞄雷达2物理式1多传感器组合为一个整体；2多传感器位置明确；3共口径输出数据；4各传感器的数据可用来控制其他传感器工作1交通管制；2工业过程监视3融合式1各传感器数据的分析互相影响；2处理后的整体性能好于各传感器的简单相加；3结构合成是必须的1机械手

22、；2机器人v数据融合数据融合v 数据融合也称信息融合，是把分布在不同位置的，多个同类或不同类基本传感器所提供的局部不完整观测数据，进行合并或综合，v 消除可能存在的冗余和矛盾，降低不确定性，形成相对完整一致的感知描述，提供给决策和执行系统。v 多传感器数据融合目前有数据层融合、特征层融合、决策层融合3种融合层次。 v多传感器融合系统的应用多传感器融合系统的应用v 多传感器融合系统可用于工业过程监视、机器人、空中交通管制、遥感检测、水上船舶航行安全、海上监视和环境保护等系统。v 图11-10所示为空中交通管制系统框图，它是一个典型的多传感器（雷达）、多因素、多层次的信息融合系统。 飞机上的雷达、

23、信标机、通信机计算机、雷达显示器、飞行数据显示器地形地貌、地理位置特征航管通信设备调 度 人员多部一次、二次地面雷达气象站图11-10 空中交通管制系统框图v 飞机在飞行的过程中，使用机载雷达识别出地面预先精心设置的某些地理位置，再用信标机把飞越每个地理位置的时间和高度向雷达信标应答。v 计算机和显示器等监视和控制设备，接收到飞机上和地面多部各种类型雷达检测数据，进行数据融合v 得到飞机位置、航向、速度和属性等信息，利用这些信息修正飞机对指定航线的偏离，防止相撞并调度飞机流量。 11.7 模糊传感器模糊传感器v11.7 模糊传感器模糊传感器v 模糊传感器是智能传感器的一种，是以数值量为基础，能

24、产生和处理被测量状态的模糊符号信息的传感器。v模糊语言和模糊传感器模糊语言和模糊传感器 v 人们生活、生产与科学实践需要一种在传统传感器进行数值测量的基础上，经过模糊推理与知识集成，以“自然语言符号” 形式输出的模糊传感器，如图11-11所示。 传统传感器测量数值 进行模糊推理与知识集成 输出自然语言符号图11-11 模糊传感器组成原理v 人们对自然界事物的认识存在着一定的模糊性，用模糊语言符号来表述信息具有较为简单、方便，且易于进行高层逻辑推理等优点，更加接近人类的思维方式。v 传感器测量结果的模糊语言符号表示，就是利用模糊数学的理论和方法，v 借助于专门的技术工具，v 把测量得到的信息，用

25、适合人们模糊概念的模糊语言符号加以描述。 v模糊传感器的结构及实现方法模糊传感器的结构及实现方法v1. 模糊传感器的结构v 如图11-12所示，主要由v “传统的数值测量单元”和v “数值符号转换单元”两部分组成。v 数值模糊化为符号的工作必须在“专家”的指导下进行。 v 数值模糊化为符号的过程是v 1. 在测量集上对实数集合选取适当多个“特征表示”；v 2. 将这些“特征表示”进行对应模糊语言符号映射，生成模糊语言符号集合；v 3. 再把被测量的数值量转换为最合适的模糊语言符号描述。被测对象数值测量单元数值符号转换单元符号处理专家信号管理被测量数值量符号输出图11-12 模糊传感器的结构 v

26、2. 模糊传感器的实现方法v 模糊传感器需要定义一个模糊语言映射，也就是数值域到符号域的模糊转换关系，v 才能将测量所得的数值域中的数值量映射到符号域，进行数值的模糊化，v 生成相应的模糊语言符号。v 图11-13所示为模糊语言映射的过程。 图11-13 数值到符号的映射 v 图中Q为数值域，S为符号域。v M（qi）si为映射，称si是qi的一个符号。v si的含义是qi从数值域向符号域映射的投影，符号si成为测量值qi的模糊描述。v 数值元素qi大多数情况下不只是一个数值点，而是一个数值子域（子集）。v M-1（si）qi为逆映射，由符号向数值逆转换，获得定量测量数据。 v 与定量数值无限

27、可分相比，模糊符号描述细节的程度和范围不够。v 为此，采用多级映射，把符号分得细一些，以扩大符号表示的细致程度和范围。v 图11-14所示为数值到符号的多级映射。 图11-14 数值到符号的多级映射 v 首先是由数值域Q中的元素qi经过映射M的第一级M1映射到符号域S的子集Si，v 如果子集Si描述细致程度不够，则可以进行第二级映射M2，将qi映射到次子集Sj，v 经过若干级映射可以得到描述qi信息的更为细致的符号Sy。v 多级映射通常不超过3级。v 多级映射得到的符号Sy可通过多级逆映射M-1得到数值qi，供定量测量数据输出用。v模糊传感器的应用模糊传感器的应用v 模糊传感器的应用已进入日用

28、家电领域，如v 模糊控制洗衣机中布量检测、水位检测、水的浑浊度检测；v 电饭煲中的水、饭量检测；v 模糊手机充电器等。v 另外，模糊距离传感器、模糊温度传感器、模糊色彩传感器等也由国内外专家们研制，并已经获得了成果。v 随着科学技术的发展，学科分支的相互融合，模糊传感器也应用到了神经网络、模式识别等体系中。v 模糊传感器的出现，不仅拓宽了经典测量学科，而且使测量科学向人类的自然语言理解方面迈出了重要的一步。 11.8 微机电系统（微机电系统（MEMS）v11.8 微机电系统（微机电系统（MEMS）v 微机电系统（MEMS）是在一个硅基板上集成了机械零件和电子元器件，v 可对声、光、热、磁、运动

29、等自然信息进行检测，v 并且具有信号处理器和执行器功能的v 微机械加工型智能传感器。v 组成如图11-15所示，外形毫米量级，机械零件和电子元器件微米纳米量级。微传感器被 测量微处理器微执行器输出信号图11-15 三位一体的微机电系统 v微机电系统（微机电系统（MEMS）的特点）的特点v 微机电系统的制作主要基于两大技术，即集成电路（IC）技术和微机械加工技术。v 其中集成电路技术主要用于制造电子部分，即信号处理和控制系统部分，与传统的IC生产过程基本相同； v 微机械加工技术用于制造机械部分，将机械部分直接蚀刻到一片晶圆（wafer 单晶硅圆片）中，v 或者增加新的结构层来制作MEMS产品。

30、v 微机电系统具有以下特点：v 1）体积小，重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短，v 可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可以嵌入大尺寸系统中使用。v 2）以硅为主要材料，硅的强度、硬度和弹性模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨，v 可利用大规模集成电路生产中的成熟技术、工艺进行生产； v3）用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个MEMS，再切割封装成产品，v 批量生产可大大降低成本；v4）可把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微机电系统。v 微机电系统中的传感器有v 微热传感器、v 微辐射传感器、v 微力学量传感器、v 微磁传感器、v 微生物（化学）传感器等

31、种类。 v声表面波叉指换能器声表面波叉指换能器v 其工作原理源自某些晶体，例如单晶硅、多晶硅和铌酸锂等，具有压电效应、逆压电效应和表面波传播的物理特性。v 如图11-16（a）所示。v 当左边的叉指换能器上施加交变的电信号时，由于逆压电效应，基体材料将产生弹性变形, 从而产生声波振动。v 向基片内部传送的体波会很快衰减, 而表面波则向左、右两个方向传播。 图11-16 叉指换能器声表面波滤波器（a）声表面波滤波器 （b）叉指换能器结构 v 叉指换能器的几何尺寸包括v 叉指对数、 指条宽度a、 指条间隔b、 指条有效长度B和叉指对之间的距离M等。v 叉指换能器有自己的弹性波的谐振频率，称为同步频

32、率f0。同步频率f0的倒数为弹性波长，即声表面波波长。v 其等于两个相邻叉指对之间的距离M的两倍。v 声表面波的速度v取决于材料，一般为3490m/s（铌酸锂的值），v 对于石英和铌酸锂晶体衬底，叉指换能器通常采用的同步频率为10MHz几GHz，v 若为1GHz，则声表面波的波长为34901093.5m。v 而1GHz的交流电信号或电磁波的波长为c/109，0.3m，c3108m/s，与光速相同。v 这样，在压电材料衬底上外加电磁信号转换成声表面波时，波长减小了大约105倍。v 这使器件的物理尺寸能和IC工艺兼容，v 用作传感器，使传感器的微型化成为可能。 v叉指换能器振荡器式微传感器叉指换能

33、器振荡器式微传感器v 图11-17所示为利用声表面波叉指换能器和环路放大器做成的叉指换能器式微温度传感器。v 叉指换能器和声表面波传播通道形成了选频和反馈网络，与同相放大器组成了振荡器，v 振荡频率等于相邻叉指对之间的距离M的两倍的倒数。 图11-17 叉指换能器微温度传感器 v 用频率计可测振荡频率。v 若环境温度改变，则M值会随之改变，振荡信号频率就会改变。v 用频率计测得频率的变化f，由计算机计算可获得温度的变化T。v Tkff0 v 若在两个叉指换能器之间的声表面波传播通道上铺设待测化学敏感膜，v 在测量的过程中，膜的质量的变化也会引起声表面波振荡频率改变。v 计算得到化学敏感膜质量的变化m。v Bf0mff0 v B是与压电晶体衬底材料有关的参量。v 声表面波叉指换能器与膜技术结合，可以开发出叉指换能器微型生物传感器。v反射波阵列式微加速度传感器反射波阵列式微加速度传感器v 图11-18所示，v 压电薄膜上做有叉指换能器，同时做有多晶硅质量块。v 质量块下方有反射体，质量块紧紧贴近压电薄膜（距离小于一个声波波长），由支撑体支撑。吸收体做在最左边。图11-18 叉指换能器式微加速度传感器v 天线接收空中的电磁波信号，转换为高频振荡信号激励叉指换能器，v 在叉指换能器的叉指之间产生高频振荡信号频率的电场，v 由于逆压