镀膜真空基础知识培训

1、1 1精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 镀膜厂生产部镀膜厂生产部镀膜真空基础知识培训镀膜真空基础知识培训2 2精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 nStage 1.Stage 1. 真空基础真空基础nStage 2. Stage 2. 真空泵真空泵nStage 3. Stage 3. 泄漏检查泄漏检查目目 录录3 3精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 什么叫什么叫真空真空?真空真空的单

2、位的单位1.11.2真空的区分真空的区分1.3真空真空的特性的特性1.4真空真空的应用范围的应用范围1.6真空真空用语用语1.51 真空真空基础基础4 4精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 1.1什么叫什么叫真空真空？真空真空Vacuum 完全没有物质的空间。 做为技术用语的真空是把一定的容器里的气体排出以后得到的气压状态真空真空度度 是表示残留气体显示的压力。 单位一般使用 Hg，把这个按照 E. 托里切利(Torricelli)的名字称为托(Torr)。 国际单位上使用 Bar 也叫帕斯卡()真空真空技术的现况技术的现况

3、 现在使用的真空泵能达到的最高真空是 10 torr，残留气体的分子数是 1 里有3000个左右。为了产生应用真空需要人为控制生产出真空来。真空技术主要有：发生技术、加工及部件技术、评价及控制技术，这些要素合起来就成立了真空的应用技术5 5精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 1.2 真空真空的单位的单位-. 真空的单位跟压力单位是相同的。 如果能表示压力单位的话，就也可以表示真空度 真空真空的单位的单位 标准大气压标准大气压 认识标准大气压的各种单位的是非常重要的认识标准大气压的各种单位的是非常重要的区分区分 TorrTor

4、rm mmicronmicronpsipsiatmatmTorrTorr11.3310000.01930.00132m m0.75117500.0140.0009micronmicron0.0010.001310.0000190.0000013psipsi51.7268.965171010.07atmatm760101376000014.716 6精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 1.3 真空真空的区分的区分 按照不同压力按照不同压力真空真空的分类的分类区分区分m低真空105 (大气压) 1021.0103 1.0100中

5、真空102 10-1 1.0100 1.010-3高真空10-1 10-5 1.010-3 1.010-7最高真空10-5 10-10 1.010-7 以下7 7精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 1.4 真空真空的特性的特性真空真空特性特性压差力的发生。提供极洁净环境。使粒子长距离飞行。维持稳定的等离子体。制止生化学反映。预防因空气及气体的影响而发生的腐蚀、氧化等。物质的沸点低使物质早期蒸发。利用真空搬运用其他工具难以搬运的物体。消除物体里面的气体便于他物质的投入。有关电气的特性。(半导体、显像管、真空管) 真空是有如下的

6、特性，根据这些特性来使用。8 8精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 1.5 真空真空用语用语1)Ultimate pressure极限压力极限压力 是指在一定的条件下，真空真空泵能得到的最大泵能得到的最大真空真空度。度。 是在一定的条件下测量的压力，在泵的选定时要优先考虑的事项。2)Pumping speed排气量排气量 是指真空泵上抽出来的气量，一般表现为泵的排气量,其量一般是初期初期真空真空 (从大气压状态开始的 初期排气) 时为最大，压力越来越下降其量也会越来越减少，泵的最大真空度是排气量为“0”。3)Working

7、pressure工作压力工作压力 作业上所必要的压力。泵的选定时泵的最大真空度是要比作业上所必要的压力低，用必要压力下的 泵的排气量来判断作业的可能性。4)Leakage rate漏气率漏气率 在真空状态下漏气的程度，也跟真空破坏的速度相似，用 压力压力体积体积/单位时间单位时间 来表示。 也会受到气体的种类、压力差、温度等影响。记做： /sec 或者或者 mL/sec9 9精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 1.5 真空真空用语用语5)Gas ballast气囊气囊 在旋转泵压缩的过程中吸入水蒸气，因泵的温度和内部的压力在

8、泵的内部跟泵的油混合浓 缩起来。为了防止这些混入的微细空气与泵的油和水蒸气混合而增设此装置。 6)Oil mist trap油雾收集器油雾收集器 在油式泵中有旋转叶片式、活塞式两种泵没有设置油分离器，在排气口另外附带保留油雾的 分离器来保留油雾。 7)Backing pump (英英)/ Fore pump (美美)前期泵前期泵 二个以上的主泵和副泵一起使用，是指形成初期真空的泵。旋转叶片泵和罗茨泵的组合情况为： 主泵：旋转泵；副泵：罗茨泵。这时副泵的作用是：在真空状态下用于增大排气量。通常不在通常不在 大气压下单独启动。大气压下单独启动。1010精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道

9、精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 1.6 真空真空的应用范围的应用范围 真空技术的应用范围很广，随着半导体的集成度升高、量子材料的开发等尖端技术的发 展，其重要性是一天比一天增加。 以下是真空技术应用的主要范围：尖端产业尖端产业半导体、FED 机械工学、食品工学未来产业未来产业宇宙航空、核融合、新材料开发产业应用产业应用TV显象管/显示器、机械/光学部件镀膜、保温瓶、灯泡、冷冻器医学化学食品医学化学食品医药品生产、食品保管、真空干燥食品、真空蒸馏尖端科学尖端科学加速器、表面分析装置、质量分析、宇宙科学、次时代材料1111精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精

10、英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 真空真空泵泵低低真空真空泵泵2.1高高真空真空泵泵2.2各部件功能各部件功能2.3安装及事后管理安装及事后管理2.4泵的维护泵的维护2.5故障措施故障措施2.61212精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.1 低低真空真空泵泵1-1) 旋转叶片泵旋转叶片泵 (1)动作原理动作原理 旋转泵由 定子、转子及叶片组成。定子、转子及叶片组成。泵旋转后，转子上的叶片对气体进行吸入、压缩、排气吸入、压缩、排气动作。 叶片和转子将气体压缩，气压高于排出阀时，排气阀会打开，则被压缩

11、的气体被排出。 旋转泵使用油的目的不只是为了起润滑作用，还可以减少因旋转引起的摩擦热和堵住定子和叶片 之间的空隙，使用油的气压稍低于压缩气压，以防止因逆流而产生的真空容器的污染吸入吸入 膨胀膨胀 压缩压缩 排气排气1313精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.1 低低真空真空泵泵(2)旋转叶片泵的概要旋转叶片泵的概要 旋转叶片泵是在大气压条件下工作来获得中等真空的真空泵。(大气压- 1m或10-3m) 油存在于泵的里面。(真空泵内所有的旋转润滑由其中油来进行) 根据用途来决定用单泵还是用双泵。 由电机驱动泵，电机和泵之间用

12、联接器来连接。(也有用旋转皮带跟泵连接的) 润滑方式依靠泵内藏的油来强制润滑的。(也有不是油泵而是用点油来润滑的方式) 前面有油位调整监视装置，侧面还有进出口连接部位。1414精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.1 低低真空真空泵泵 (3)旋转叶片泵的功能：旋转叶片泵的功能： 泵内部转子上分布着叶片汽缸。 叶片在转子内部的槽上依靠离心力来动作，从而形成泵的腔室。 转子根据叶片的位置把叶片制造出来的气体抽到入口处，经过吸入和压缩，再由出口排除。 吸入的气体经过反向单向的杂质收集器后进入泵体。 因转子的旋转，泵体的容积越来越

13、大时，吸入气体。(在吸入过程中，吸入的气体压力变低) 因转子的旋转，泵体的容积越来越小时，压缩气体。最后通过出口将气体排除。 出口排除的气是经过油雾分离的，这时气体中油的成分被消除，只有干净的气排到大气中。1515精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.1 低低真空真空泵泵1-2) 滑阀泵滑阀泵 泵的转子和其上的活塞汽缸做凸轮运动，活塞在转子的表面以密闭的状态进行往复运动，这个空间 根据转子的旋转反复地变化，经过空气的吸入、压缩，最后被排除泵体。 滑阀泵的最大真空度跟旋转叶片泵差不多。但在转数相同的情况下，比旋转叶片泵发生的

14、震动大 1616精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.1 低低真空真空泵泵 1-3) 罗茨泵罗茨泵 二个花生形状的旋转转子组成一对，通过旋转吸入、排出气体。主要用于低真空、中真空领二个花生形状的旋转转子组成一对，通过旋转吸入、排出气体。主要用于低真空、中真空领域，因为是大容量，所以对于大量排气的时候有利域，因为是大容量，所以对于大量排气的时候有利 从从 1-10 Torr 的领域上，因为有着大容量的排气能力，可是排气部分是大气压时会失去排气的领域上，因为有着大容量的排气能力，可是排气部分是大气压时会失去排气能力，所以跟旋转

15、叶片泵等其他辅助泵连接起来使用能力，所以跟旋转叶片泵等其他辅助泵连接起来使用 下部跟旋片泵连接，以提高旋片泵抽真空的速度下部跟旋片泵连接，以提高旋片泵抽真空的速度1717精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.1 低低真空真空泵泵 1-3) 罗茨泵罗茨泵 优点 1.坚固紧凑的结构 2.高压缩比，抽气时间短 3.磁耦合驱动，无需维护，运作可靠，正常运行时间长 4.空冷，磁耦合驱动，运行成本低 5. 集成溢流阀，无热过载 6.维护间隔时间长，维护简单1818精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创

16、新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.2 高高真空真空泵泵 TMP分子泵的内部结构分子泵的内部结构1919精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.2 高高真空真空泵泵 TMP的种类的种类l 按物理结构分类按物理结构分类涡轮分子泵涡轮分子泵涡轮级动、静叶列涡轮级动、静叶列复合型分子泵复合型分子泵涡轮级涡轮级+拖动级拖动级l 按冷却方式分类按冷却方式分类风冷型：中小型分子泵风冷型：中小型分子泵水冷型水冷型：中大型分子泵：中大型分子泵l 按制造结构分类按制造结构分类油润滑油润滑脂润滑脂润滑磁悬浮磁悬浮l 按功能分类按功能分类普通型

17、普通型防腐型防腐型防辐射型防辐射型2020精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.2 高高真空真空泵泵 TMP分子泵结构、特点分子泵结构、特点1脂润滑分子泵：脂润滑分子泵：1） 可任意角度安装可任意角度安装有利于真空系统设计。有利于真空系统设计。2） 有更小的油蒸汽返流率，与油润滑分子泵相比较，可得到有更小的油蒸汽返流率，与油润滑分子泵相比较，可得到 更清洁的高真空。更清洁的高真空。 3）免维护。）免维护。 2陶瓷轴承分子泵：陶瓷轴承分子泵： 2.1）陶瓷球硬度高，更抗磨损。）陶瓷球硬度高，更抗磨损。 2.2）重量轻，高速运

18、转下离心力小，轨道应力小。）重量轻，高速运转下离心力小，轨道应力小。 2.3） 摩擦小，运转更轻便。寿命更长。摩擦小，运转更轻便。寿命更长。 2.4） 热稳定性、化学稳定性好。轴承游隙精确。热稳定性、化学稳定性好。轴承游隙精确。2121精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.2 高高真空真空泵泵3磁悬浮分子泵磁悬浮分子泵 无磨损，寿命长。无磨损，寿命长。 噪音小，运转可靠性高。噪音小，运转可靠性高。 全无油真空泵，可获得高清洁真空全无油真空泵，可获得高清洁真空 TMP分子泵结构、特点分子泵结构、特点4复合型分子泵复合型分子泵

19、在在1Pa左右的高压强工作段，与同左右的高压强工作段，与同 类型的涡轮分子泵比较，有较大的抽速类型的涡轮分子泵比较，有较大的抽速 ，有利于某些工艺过程。，有利于某些工艺过程。前级耐压能力提高，可配某些类前级耐压能力提高，可配某些类 型的干泵，如膜片泵，可缩小前级泵的型的干泵，如膜片泵，可缩小前级泵的 规格，节省投资。规格，节省投资。2222精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.2 高高真空真空泵泵 TMP的性能指标的性能指标1.极限压强极限压强2.抽速抽速3.压缩比压缩比4.振动振动5.噪声噪声6.功率功率7.冷却条件冷却

20、条件2323精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.2 高高真空真空泵泵 1 TMP的极限压强的极限压强ISO5302标准中称最低工作压强标准中称最低工作压强分子泵加装标准测试罩，经分子泵加装标准测试罩，经48小时烘烤，小时烘烤，降温降温48小时后，所测得的压强值小时后，所测得的压强值选用不同的前级泵、接口方式不同选用不同的前级泵、接口方式不同(LF、CF）、极限压强值不同。一般说来，分子泵）、极限压强值不同。一般说来，分子泵的极限压强范围为：的极限压强范围为：1E-41-9（Pa）2424精英荟萃，共创美好明天；创新发展，

21、走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.2 高高真空真空泵泵 2TMP的抽速的抽速流量法（流量法（10-4Pa)：流导法流导法(10-4Pa)：2525精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.2 高高真空真空泵泵 3 TMP的压缩比的压缩比分子泵加装标准测试罩，在泵入口无气载的情况下，所测得的分子分子泵加装标准测试罩，在泵入口无气载的情况下，所测得的分子泵出口、入口压强之比泵出口、入口压强之比分子泵对大分子压缩比比较大，对小分子压缩比比较小分子泵对大分子压缩比比较大，对小分子压缩比比较小4

22、 TMP的震动的震动位移的峰位移的峰-峰值峰值5 TMP的噪声的噪声分贝级分贝级6 TMP的功率的功率电压表、钳流表电压表、钳流表7 TMP的冷却条件的冷却条件风冷风冷 环境温度环境温度32水冷水冷 环境温度环境温度32以上，水温以上，水温252626精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.2 高高真空真空泵泵1-3) TMP涡轮分子泵涡轮分子泵 分子泵的原理是高速旋转的转子对气体粒子进行连续推动，以得到真空的过程。 转子的圆周速度与所有分子泵都是一样的，大约达到 220 米/秒，该速度相当于光的速度。 高速旋转的气体以切线

23、方向脱离转子的叶片。叶片为了让气体粒子快速移动而做成一定的 角度。入口部分的叶片为了尽可能让更多的粒子进入而作成35。角；为了让气体压缩得更 好，压缩部分叶片的角度小于20。度。 因泵的种类不同，大部分由 8-15 阶段构成。转子叶片给推力定子转子叶片给推力2727精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.3 主要部件功能主要部件功能 电磁挡板充气阀电磁挡板充气阀川北川北GDC-J40 运行中的泵因为停电或别的原因停止的话，由于压力差的作用，该阀会启动。GDC-J高真空电磁挡板直通阀作为高真空管路中的启闭机构，本阀门具有动作迅

24、速、温升低、功耗小、密封可靠及寿命长等优点，原理是依靠线圈通电产生电磁力作为执行力，驱动阀芯向上运动，阀芯带动阀板做开启运动，在断电时，阀板弹簧力自动关闭，阀板靠弹簧力自动关闭，并压紧阀板，从而可靠密封。阀门的介质为空气及非腐蚀气体 适用范围：Applicability1051.310-4Pa阀门漏率：Valve Leak Rate1.310-4Pa.L/S.适用温度：Applicability-30+50线围温升：Coil Temperature Rise65开闭时间：Open-close Time5S电源电压：Mains Voltage220V/50Hz安装方向：Mounting Dire

25、ction任意(可反顶一个大气压)2828精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.3 主要部件功能主要部件功能电磁挡板充气阀电磁挡板充气阀GDC-J40 外形及连接尺寸外形及连接尺寸(mm)Model型号DND1DABHGDC-J404041.25565702442929精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.4 安装及事后管理安装及事后管理 1）前期泵的安装）前期泵的安装 真空泵要正确安装在经过均衡处理的防振橡胶上。 安装场所的温度控制在 12 40 之

26、间。 在泵的入口处安装过滤器和冷凝槽，用来防止杂质及水分进入泵体。 泵的进出口必须用波纹管连接，波纹管的直径要比泵的进出口直径大或者一样。 连接泵的出口与室外的排管，在与地面保持一定距离的前提下，往下弯了以后再安装。如果排管 安装在室内时，要在排气口安装过滤器。 连接电源时，必须先确认使用电压及安装方法后再进行连接。3030精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.4 安装及事后管理安装及事后管理 2) 真空真空泵的操作泵的操作 确认油位是否正常？停止时停止时：2/3，运转时运转时：1/2 。 确认泵旋转方向是否正常？ 确认泵

27、抽气方向是否正确? 确认泵的表面温度是否在40-80范围内？ 泵开始启动或运行一段时间时不可能达到目标压力。这时要打开补充阀，让泵运转30分钟左右 用油浓缩气体，以达到所希望的真空度。(注意：如果继续开启补充阀的话会增多油的消耗量， 反而使泵的温度升高很多。)3131精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.4 安装及事后管理安装及事后管理3) 分子泵的安装分子泵的安装分子泵安装使用前分子泵安装使用前泵与电源的型号必须匹配泵与电源的型号必须匹配确认防护网已经安装确认防护网已经安装电源输入电压电源输入电压220/110v10%打

28、开泵高真空端法兰盖板，带上干净手套，盘动分子泵叶片，观察打开泵高真空端法兰盖板，带上干净手套，盘动分子泵叶片，观察 转动是否正常转动是否正常必须竖直安装必须竖直安装，最好不要吊装，最好不要吊装3232精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.4 安装及事后管理安装及事后管理 分子泵的尺寸分子泵的尺寸FF- 200/13 00型进气口法兰为: DN 00LF、DN 00CF3333精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.4国产分子泵的技术性能国产分子泵的技术性

29、能3434精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.4 安装及事后管理安装及事后管理3) 分子泵的安装分子泵的安装进出口法兰、冷却水安装进出口法兰、冷却水安装1.泵入口、出口：正确安装、泵入口、出口：正确安装、密封良好密封良好2.冷却水：无漏水冷却水：无漏水入口水压入口水压0.2MPa水温水温20水质澄清无沉淀水质澄清无沉淀注意：注意：环境温度环境温度风冷需小于风冷需小于32;水冷可至水冷可至40入口压强入口压强强制风冷强制风冷0.1Pa;自然风冷自然风冷0.01Pa3535精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟

30、萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.4 安装及事后管理安装及事后管理 冷却要求：冷却要求：由于轴承的高速旋转摩擦，加热器烘烤的热辐射及电机处由于轴承的高速旋转摩擦，加热器烘烤的热辐射及电机处于真空环境中散热慢等原因，必须在分子泵工作时对轴承和电于真空环境中散热慢等原因，必须在分子泵工作时对轴承和电机进行冷却。机进行冷却。（1）水冷：采用清洁低沉淀的自来水，也可采用冷却水系统。）水冷：采用清洁低沉淀的自来水，也可采用冷却水系统。对于高沉淀或腐蚀性水建议采用循环水系统，以防水管堵塞或对于高沉淀或腐蚀性水建议采用循环水系统，以防水管堵塞或腐蚀。冷却水流量不应低于腐蚀。冷却水流量

31、不应低于1升升/分，温度不应高于分，温度不应高于25，温度，温度较高时，应加大冷却水流量。水嘴所接的水管内径为较高时，应加大冷却水流量。水嘴所接的水管内径为10mm, 分分子泵的工作环境温度为不大于子泵的工作环境温度为不大于40。3636精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.4 安装及事后管理安装及事后管理 电缆安装电缆安装（1）对正槽口插入）对正槽口插入（2）拧紧螺母，边插边拧）拧紧螺母，边插边拧（3）检查到位，防止接触不良）检查到位，防止接触不良3737精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明

32、天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.5 泵的维护泵的维护1) 旋转叶片及增压泵的修理方法旋转叶片及增压泵的修理方法 1-1) 分解及清洗分解及清洗 分解泵体及内部叶片。 首先清洗各部件。 其次用超声波清洗。(80以上清洗30分钟) 再次清洗。(防止因防锈剂引起的腐蚀) 用砂纸打磨或更换叶片及内部缸体。 更换相应的消耗品。3838精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 1-2) 组装方法组装方法 没有密封圈或者垫片的话，先清洗叶片。 轴发生微小的弯曲也会使叶片磨损，所以拆卸/组装时要特别。 泵体组装后，手动转动轴，确认轴转

33、动状态是否圆滑。 (如果旋转不好的话，要重新拆卸检查后再组装) 电机组装后，要检查驱动状态。(泵的能力测试：8.010-2 m 以下)2.5 泵的维护泵的维护3939精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2) 分子泵的修理方法分子泵的修理方法 1-1) 分解及清洗分解及清洗 分解泵体及叶片组件。 分解叶片及定子组件。(分解时注意不要搞混定子组件) 分解电机及轴承和轴。 用酒精进行第1次洗涤，消除内部污染物质。 用防锈剂和水进行第2次洗涤。 进行干燥。（在50以上进行2小时）2.5 泵的维护泵的维护l需要清洗的情况：漏气和脱附气

34、率没有变化的情况下，无法达到应有的真空性能，甚至长时间加热也不能恢复其真空性能系统存在大量粉尘类衍生物，或者有固体、液体等进入分子泵内一线岛津分子泵一线岛津分子泵4040精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 1-2) 组装方法组装方法 轴及轴承组装后，要确认偏心情况。(使用块规：允许范围 0.25) 组装叶片及定子组件。 组装泵体及叶片组。 组装完成后，在大气压状态下进行性能测试： -. 检查项目：轴承上、下部振动及叶片偏心情况。 -. 发生偏心时使用仪器调整。(允许范围：0.25) 进行第2次测试： 1) 在20000 rp

35、m 下运行 15 小时。 2) 检查轴承上、下部振动及叶片偏心情况。 -. 检查项目：轴承上、下部振动及叶片偏心情况。 -. 发生偏心时使用仪器调整。(允许范围：0.25) 进行第3次测试： 1) 在20000 rpm 下运行 8 小时。2.5 泵的维护泵的维护4141精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.6 故障措施故障措施点点检检事事项项使用电压与规定的电压不一样。使用电压与规定的电压不一样。电机的接线有异常。电机的接线有异常。(3(3相交流情况相交流情况) )油温未达到油温未达到 12 12 时。时。排气口或排气口过

36、滤器被堵住。排气口或排气口过滤器被堵住。接合故障。接合故障。泵的固定不良或者油的黏度太高。泵的固定不良或者油的黏度太高。 前期泵不旋转前期泵不旋转4242精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.6 故障措施故障措施点点检检事事项项测量技术或者测量量规不合适。测量技术或者测量量规不合适。外部有泄露。外部有泄露。单向阀出现误动作。单向阀出现误动作。排气阀出现误动作。排气阀出现误动作。油不适合。油不适合。 前期泵不能达到泵的最高压力前期泵不能达到泵的最高压力.4343精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好

37、明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.6 故障措施故障措施点点检检事事项项冷却气体供应受到妨碍。冷却气体供应受到妨碍。周边温度太高。周边温度太高。工程气体的温度太高。工程气体的温度太高。油太少。油太少。油不适合。油不适合。油不能进行泵内部循环。油不能进行泵内部循环。进气口或排气口过滤器的线被堵住。进气口或排气口过滤器的线被堵住。泵体的磨损严重。泵体的磨损严重。 前期泵油变色同时，泵的温度很高前期泵油变色同时，泵的温度很高.4444精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.6 故障措施故障措施1.分子泵不启动分子泵不启动

38、电源故障连接电缆不通（此种情况主要针对较旧的变频器电源）分子泵电机部分故障分子泵热继电器开路分子泵叶片卡死或碎泵电源驱动器的问题（电压、外控）外控插头没插上4545精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.6 故障措施故障措施2.分子泵长时间启动仍达不到正常分子泵长时间启动仍达不到正常负载过大前级压强过高转向有误（点动分子泵，面向涡轮转子，为顺时针为顺时针润滑油、脂失效轴承损坏（检查转子转动是否灵活，有无重滞现象）4646精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘

39、2.6 故障措施故障措施3.分子泵开启出现大的振动和噪音分子泵开启出现大的振动和噪音共振、共鸣（应改变装配位置及联接尺寸，并使活动件固定或及联接尺寸，并使活动件固定或加减振橡胶垫）加减振橡胶垫）动平衡破坏（单独对泵进行试转，振动、噪声仍很大轴承损坏4747精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.6 故障措施故障措施4.分子泵长时间启动真空度低分子泵长时间启动真空度低前级不正常（有漏、过小、抽气能力降低等）高真空端有漏系统过脏（包括真空室、连接管道、真空泵等）测量规管出气量大（应对玻璃规管除气，规管玻壳烘烤）环境变化4848精

40、英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 2.6 故障措施故障措施5.分子泵电源故障分子泵电源故障接通电源，打开总开关，电源风扇不转：检查保险检查电源内部接线是否有虚接打开总开关，电源风扇转，但无显示：将电源开盖后检查功率板上的保险和接线是否有问题有问题对于变频器电源，开盖后观察变频器自身风扇是否转动按启动键后，频率显示无变化：空载情况下启动电源，如启动则电源无问题，如不启动则电源故障则电源故障程序丢失加速过程中报警：根据报警的故障代码进行判断4949精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走

41、特色阳光道對外秘對外秘 2.6 泵的维护泵的维护常见报警的故障代码释义：1、E014（OL2）电机过载：电机过载：负载突变过大；长时间大负载运行；电网电压过低负载突变过大；长时间大负载运行；电网电压过低2、E015（ESP）外部设备故障：外部设备故障：外部设备故障中断（外部设备故障中断（分子泵过热保护）分子泵过热保护）或使用急停或使用急停STOP键，插针键，插针接触问题。接触问题。 其他容易出现故障其他容易出现故障尽量不要动变频器电源显示面板的按键，这样容易造尽量不要动变频器电源显示面板的按键，这样容易造成电源程序丢失，造成不必要的损失。成电源程序丢失，造成不必要的损失。注：说明书上指出，在变

42、频器电源显示故障代码时，可以注：说明书上指出，在变频器电源显示故障代码时，可以按按STOP键将故障复位，或直接关总电源，当显示屏数字消失后键将故障复位，或直接关总电源，当显示屏数字消失后再打开。再打开。建议按后者操作建议按后者操作 5050精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 什么是泄漏？什么是泄漏？虚漏虚漏3.13.2泄漏率泄漏率3.33.泄漏检查泄漏检查He气泄漏检查气泄漏检查3.45151精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 3.1 什么是泄漏？什么是泄

43、漏？1) 泄漏的定义泄漏的定义 什么叫泄漏？什么叫泄漏？ 真空系统的真空度无法达到规定要求时，叫做系统上有泄漏。2) 泄漏的区分泄漏的区分 实漏实漏 指真空系统上出现漏洞，导致的气体从压力高的地方移动到压力低的地方。 虚漏虚漏 指真空系统上没有漏洞，但是系统的真空度仍然达不到要求的状态。虚漏的原因很多，如果不 彻底排除的话，系统无法达到要求的真空度。5252精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 3.2 虚漏虚漏1)向外出气向外出气 由于气体的渗出，可能会造成真空压力的不足。主要是使用材料或方法的异常而引起。 在真空系统作业上赤

44、手操作。 真空润滑脂使用过量。 使用不符合的真空材料。 真空系统污染。2) 渗漏量渗漏量 由于气体在真空系统内部泄露的速度非常缓慢，因此渗漏量又称为虚漏。 螺丝没有完全拧紧。 轴上使用双密封圈。5353精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 3.3 泄漏率泄漏率1)什么叫泄漏率？什么叫泄漏率？ 单位时间内流入单位时间内流入真空真空系统的气体量。定义为系统的气体量。定义为真空真空系统单位体积内剩余气压量。系统单位体积内剩余气压量。 -. 泄漏率的标准单位：泄漏率的标准单位：1cc/sec 表示表示0时，在标准大气压时，在标准大气压

45、760 torr下泄漏的气量是下泄漏的气量是 1cc。 体积单位：体积单位：1 或者或者 1cc （与与3/8英寸的正方体相同）英寸的正方体相同） 标准表示：标准表示：1cc/sec 或者或者 0.76 Torr liter/sec STD.cc/sec = 0.76 Torr/sec5454精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 3.4 He气泄漏检查气泄漏检查 He气气-质谱分析测漏仪质谱分析测漏仪 He气-质谱分析测漏仪是一种常用的测量仪器。灵敏度高，使用方便。 He气-质谱分析测漏仪的工作原理是从混合气体中分离出氦气离子

46、的过程。 使用使用 He 气的理由气的理由 1) He气在惰性气体中最轻，渗透力最好。 适合灵敏度高的漏气检查作业适合灵敏度高的漏气检查作业。 2) 在大气中的含量非常少，约占百万分之五。 3) 对人体无毒，不易燃、易爆。属于安全气体。5555精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 尺寸图（单位：mm）3.4 530型氦质谱检漏仪型氦质谱检漏仪5656精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 产品特点产品特点使用方便使用方便: 自动转换量程、自动校准、自动调零、自动

47、调峰、内置漏孔。自动转换量程、自动校准、自动调零、自动调峰、内置漏孔。性能可靠性能可靠: 全面的自动保护功能，更加可靠，工作稳定，性价比高。全面的自动保护功能，更加可靠，工作稳定，性价比高。人性化设计人性化设计: 外形美观，机身小巧，移动方便，操作简单外形美观，机身小巧，移动方便，操作简单3.4 530型氦质谱检漏仪型氦质谱检漏仪5757精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 1) 530测漏仪使用方法测漏仪使用方法3.4 He气泄漏检查气泄漏检查5858精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道精英荟萃，共创美好明天；创新发展，走特色阳光道對外秘對外秘 3.4 检漏仪操作流程检漏仪操作流程开机前准备：开机前准备：检查电源：确保供电检查电源：确保供电220VAC/10A，接地正常；检查各开关，确保如下：，接地正常；检查各开关，确保如下：1.机械泵油位处于上下油标之间，油颜色透明，无杂质。机械泵油位处于上下油标之间，油颜色透明，无杂质。2.总电源开关（检漏仪后面）置于总电源开关（检漏仪后面）置于OFF位。位。3.检漏口用专用堵头堵死。检漏口用专用堵头堵死。一、开机一、开机1.开总电源，至系统红灯亮，此时