镀膜机常见故障及分析解决预防措施

1、镀膜机常见故障及分析解决预防措施常见故障，问题及解决方法下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析，并给予解决方案及预防措施故障占八、故障现象故障原因解决及预防措施备注1.1.开枪有咼压，1.灯丝保险烧断1.检查灯丝保险，烧断则更换立即无束流2.灯丝烧断2.保险正常则检查灯丝更换枪关高1.高3.南光枪枪体右边引体.压压和线碰到枪体底坐3.调整引线与枪体底坐的间束流距.在抽气前检查枪体.1.2.开咼压显示跳1.束流控制调在手动，1.电位器归零.在预熔完后应立即动幅度大，并有束电位器未归零将灯丝电位器归零关高流跳动2.枪体短路2.将连接灯丝变压器的高压引压3.高压电极

2、保护罩或线取下（注意引线不能碰到机屏蔽碰到咼压引线造器应悬空）开咼压，正常则枪成短路体或咼压电极保护罩或屏蔽短4.电柜故障路造成3.放气检查电极保护罩或屏蔽4.检修电柜1.3.开枪无高压，1.高压保护不到位（偏1.检查相应的高压保护无束流转.真空.柜门）2.检修高压控制电路2.高压电路出问题14镀膜时高压会下跌1. 真空继电器烧坏2. 高压电路出问题1. 更换真空继电器2. 检修高压电路常见4号机1.5.镀膜时灯丝突1.BT138可控硅被 击1.更换 BT138常见4然很亮（束流达到穿2.检查枪体号机满格）2.枪体短路1.6有咼压，有灯1.栅极片短路1.整理枪体丝电流，无光斑2.扫描出问题或扫

3、描2.检修扫描，正确连接扫描线线接反了1.7.束流上不去，1.灯丝位置不正或变1.重新安装或更换灯丝.为了达不到以前的水平形更好的对灯丝定形及延长灯丝（同样功率达不到2.灯丝被氧化使用寿命，在更换新灯丝后应以前的速率）3.连接枪体的各接头对灯丝进行预热处理松动2.更换灯丝.为防止灯丝氧化4.坩埚转速太快在放气前应注意检查关闭灯丝5.材料被污染电源开关6.晶片被挡住3.拧紧各连接处.4.调整坩埚转速5.取出被污染的材料或更换新材料6.调整晶片挡板位置.抽气应检17.电柜出问题查晶片是否被挡7.检修电柜1.8.阻蒸电流调不1.蒸发舟烧断或松掉1.更换蒸发舟或拧紧螺钉.为上去造成接触不良了防止接触不

4、良，各电极和压2.空气开关跳闸块应清洗干净.更换在蒸发舟3.调节电流的电位器时应将铜压块取下砂干净再安坏了装蒸发舟4.铜电极与真空室底2.打开空气开关板下的引线接触不良3.更换电位器4.清洁磨平接触不良的地方并拧紧螺钉1.9.速率不稳定1.晶片失效1.选择好的晶片，1.2枪的速率2.料面不好要匹配3.功率设置不合理2.料要加平整，养成停坩埚的4.控制参数PID设置好习惯不合理3.预熔功率及最大功率设置合5.灯丝接触不好或老理（最大功率为略大于蒸发时化所需功率）6.高压打火4.设置合理的PID参数5.紧固或更换灯丝6.解决打火现象1.10.高压打火1. 枪体污染，杂物掉入 枪体2. 各接线处未拧

5、紧3. 聚四氟套管太脏4. 枪体阳极，栅极变形5. 高压电极太脏6. 屏敝不佳或未屏敝7. 光斑位置不合理，扫描状态不好8.2枪高压干扰9. 材料污染有杂物10. 咼压打仕10KV11. 预熔不够充分12. 功率设置不合理1. 整理枪体，在吹枪体时应用 吸尘器边吸使吹出的杂物吸走 不被落在枪体里2. 拧紧各连接处，使其接触良好3. 清洗或更换套管，应定时清洗4. 调整或更换阳极，栅极片5. 更换高压电极6. 调整屏蔽或加装屏蔽7. 调整好光斑，检查扫描8. 蒸镀1枪时应关闭2枪高压9. 将被污染的材料去除或更换 新材料10. 将咼压调在正确的档位（中 档8KV .在触摸屏上操作时（如 调整坩埚

6、转速时）应注意是否 误碰到咼压调节档位11. 预熔时间及加的束流应合理（束流最后应加到接近镀第一套时所需束流坩锅转一到两圈）12. 设置合理的功率,预熔功率不应太大，最大功率应与速率 相匹配，注意在第一套时速率 较小时功率的设置22.扫2.1.光斑不能调整1.扫描引线或线圈短1.检查引线及线圈,引线间不描和路能碰在一起，抽气前应检查引光斑2.整流桥击穿线是否互相触碰和松动3.引线或线圈断路2.更换整流桥4.遥控盒上的连线松3.检查引线及线圈脱或电位器坏了4.接好连线或更换电位器2.2光斑及扫描状1.灯丝变形1.更换灯丝态不好2.极靴位置不正2.调整极靴位置.在拆下清洗3.扫描频率不合适时要做好

7、记号避免安装时位置4.短路条多或少了，位不止置不好3.调整合适频率，频差和密度5.咼压档位不对4.调整短路条的位置及数量6.扫描连接线有误5.调整正确的高压档位6.正确连接扫描线，维修时应做好记号3.坩3.1坩埚转动不灵1.坩埚周边间隙太小1.调整坩埚周边的间隙埚和或不转2.坩埚间隙有材料（卡2.清理间隙中的材料.注意料工转料）不要加得太高，预熔时数量不3.轴承锈死要加得太快，防止材料飞溅掉4.减速器出问题入间隙里使坩埚卡住或转得不5.电机出问题顺畅6.防污底板顶到坩埚3.清洗或更换轴承.在打扫真（2枪）空室及洗机时应将坩埚下面的7.连接键脱落料渣清除，防止料渣太多影响轴承的性能4.检查减速器

8、5.维修或更换电机6.调整好大门底板的位置（稍高于坩埚）,关门时感到异常（如较平时紧）应检查底板及防污板的位置7.重新安装好键3.2工转噪音大,1.电机轴承坏了1.更换电机轴承光动大2.大轴承干磨性能下2.清洗或更换大轴承降3.将电机与减速箱连接好3.电机与减速箱连接4.更换齿轮不好4传动齿轮磨损3.3工转转不了1.电机损坏1.更换电机2.电机与传动部分的2.重装或更换键键脱落或磨损3.更换齿轮3.传动的齿轮磨损4.更换或维修单向器（2楼）4.单向器坏了5.检修电路5.电路出问题34工转电压调不 上,电压显示指针 跳动大1. 调节电位器损坏2. 控制器出问题3. 工转传动不稳4. 碳刷接触不良

9、5. 电压表有冋题1. 更换电位器2. 检修控制器3. 维修传动部分4. 整理碳刷接触面或更换5. 维修或更换电压表4.阀4.1.阀门打不开1.气压不够1.调高气压到适当位置门2.控制阀门的气动阀2.维修或更换气动阀有问题3.检查与其互锁的阀门.应注3.阀门间互锁意阀门指示灯显示关闭但实际阀门并未关闭的现象42阀门打开后会1.气压不够1.调高气压到合适位置自动关闭2.气动阀阀芯内的橡2.更换阀芯或气动阀皮松脱4.3.放气取膜,放1.高阀没关到位1.检查高阀没关到位的原因，气阀打不开2.放气阀的气动阀有不能强行手动关闭问题2.更换或维修气动阀5.真5.1.在镀膜过程中1.高阀,预阀等阀门自1.检

10、查气压是否正常，正常则空度真空度突然下跌动关闭是相应的阀门问题，一般为气2.扩散泵断相或跳闸动阀的阀芯松脱3.坩埚卡料强行转动2.合上闸刀，断相表现为三相造成漏气指示灯有一或两个灯不亮,更换电炉盘3.维修坩埚,当卡料时不能强行转坩5.2 低真空突然抽1.机械泵掺气阀没关1.关闭掺气阀不动2.真空室门压到东西2.检查大门密封.关门抽气时3.并路阀（旁通阀）,截应检查大门是否压到东西或密止阀自动关闭封圈上有杂物4.机械泵出问题3.检查相应的阀门及控制阀门5.罗茨泵出问题的气动阀和气压6.管道漏气4.维修机械泵7.机械泵上的机放阀5.维修罗茨泵漏气6.维修管道8.真空室漏气7. 更换或维修机放阀8.

11、 按5.4步骤检漏5.3抽气慢1.真空室太脏，没换防1.更换防污板或清洗真空室污板2.清洗扩散泵（大约一年洗一2.扩散泵太久没洗次）3.扩散泵出气口挡油3.调整挡油板板被吸起4.给机械泵掺气或换油4.机械泵没掺气5.调节真空表基准或更换真空5.真空测量表基准不表准6.检修机械泵，罗茨泵6.机械泵,罗茨泵有冋 题47.真空室暴露在大气7.尽量减少敞大气时间，玻片时间过长或玻片未烘应完全烘干干8.按5.4步骤检漏8.漏气54真空度低1.真空表测量不准1.更换真空表2.真空规管测量口被2.关闭咼阀，若此时真空室真百叶窗挡住空度比较稳定，则放气调整百3.真空室大门没关好叶窗的位置4.真空泵出问题3.用

12、酒精注射大门密封看真空5.管道漏气度变化，如有变化则放气整理6.动密封如坩埚,工真空室门密封转,观察窗，挡板等密4.维修或更换真空泵圭寸漏气5.维修管道7.洗机或维修时动过6.更换或重装动密封的部件或附近有松动快速连续转动看真空度是否8.堵头没装好有较大的变化，有则是该转动9.通了水的如坩埚,工部动密封有问题转,探头等地方有漏点7.检查动过的部件及附近 ，确10.高阀，低阀气缸漏认后紧固气8.用酒精注射堵头，若真空度11.金属焊缝漏有变化则紧固或重装该堵头9.通过用高压气来冲水管看真空度是否有变化，有则检查水路10.通过开关高阀，低阀或用酒精注射阀门确认后更换阀体或密封圈11.用酒精注射各焊缝

13、来确认是否有漏,有则补焊焊缝6.掉6.1.掉膜1.真空室或玻片潮湿1.烘烤玻片及防污板的时间要膜问（更换防污板后）适当题2.玻片没洗干净2.用干净的布清洗好玻片，清3.更换新玻片，玻片上洗时应认真仔细有油污3.先用洗洁精清洗干净玻片，4.真空度低再用清水将玻片冲洗干净5.打火严重，造成膜厚4.检漏不均匀引起应力大5.解决打火现象6.真空室有油污6.清洗真空室7.蒸发速率过高7.降低速率到合适位置8. 脱膜剂镀得过多9. 扩散泵返油造成高阀盖及冷井处有油污8. 减少脱膜剂的厚度9. 擦洗高阀盖及冷井.给扩散泵加热时间不能少于90分钟.62周一掉膜严重1.洗机时产生的一些1.用酒精仔细擦干净真空室

14、且膜质不好粉尘在抽气时飞到玻2.延长轰击时间，防污板应彻片上底烘干后才装入真空室2.洗机时的潮气及防污板的潮气未干7.膜7.1.膜质发黑不亮1.U5材料镀少了（有1.适当增加U5厚度质泽时有银灰色）2.调节光斑和扫描频率2.2枪光斑能量太散3.适当减少U3厚度（扫描频率有冋题）4.将2枪坩埚位置移到适当位3.U3材料镀多了（膜置质稀烂）5.更换新料4.2枪坩埚位置不合6.检查真空度适5.U5材料太旧或氧化6.真空度低72膜发银1. U5材料镀多了2. 跳程序或假速率造 成U5材料没镀上或镀 少3. U3材料蒸发过快造成U5没镀上或镀少1. 适当减少U5厚度2. 发现时应适当加镀一些 U5, 在

15、镀2.6层时应特别注意有无 此现象3. 镀U3材料时速率不要过高, 镀完U3材料时应稍微停顿5秒 再镀U57.3.膜质发硬,打卷1. 玻片太脏2. 玻片表面光洁度差3. U3材料镀的过少1. 仔细清洗玻片，玻片放入真 空室经抽气未使用应更换或清 洗后才能使用.应打扫完真空 室卫生后再装玻片，减少污染2. 更换好的玻片3. 适当增加U3厚度8.膜厚控制仪8.1.晶片失效1. 晶片使用寿命已到2. 晶片压簧损坏3. 连接探头的各接触 点接触不良4. 探头冷却水过小或 水温过咼5. 探头挡板碰到工1. 更换好的晶片.在用超声波 清洗晶片时应注意打晶片的时 间及方法，延长晶片的使用寿 命2. 更换晶片

16、压簧.在取压簧时 应轻拿轻放3. 整理各连接处4. 调大探头冷却水流量或开启 冷冻机降水温,水温小于28度5. 调在探头挡板与工转的距离82开始镀膜控制仪无工作1. 程序清零2. 没选择到镀膜程1. 重新设置程序.在操作膜厚 控制仪时动作不应过快，控制 仪要有良好的接地2. 选择好镀膜程序.在调程序 时应注意光标是否在对应的镀 膜程序上8.3.手动遥控盒不1.连接控制仪的接头1.接好接头受控没接好2.焊好接线.在用遥控时应注2.遥控盒上的按键的意连线不要用力过大拉扯连线接线脱焊9.其9.1.开枪镀膜时发1.晶片被挡住1.放气整理.关门抽气时应检他现膜厚仪上没速率2.枪挡板未打开查晶片是否被挡显

17、示3.高压没开2.修理挡板3.打开咼压64.束流控制调在手动4.将束流控制调的自动9.2.枪挡板打不开1.气压不够1.调高气压到合适位置2.控制挡板的气动阀2.维修或更换气动阀坏了3.重新装上键或螺钉3.气缸与挡板轴的连接键或螺钉脱落些基础知识及注意事项和应急措施1膜厚控制仪控制参数Soak powerl-预熔功率1约为蒸发功率的半Soak power2-预熔功率2也称预蒸镀功率略小于最大功率Maxpower -最大功率Dep Rate -蒸发速率Fi nal Thk -膜厚（波长）Soak time-预熔时间Rise time -功率上升时间Den sity -材料密度检测膜厚原理通过改变探

18、头上晶片的频率（由于膜的蒸发改变了其重量，所以其震动频率发生变 化）来计算膜厚，而探头所处的位置和工具因数的设置都影响到测试精度，探头的位置和测试膜厚的关系如小：（1）.探头高了，测试得到的厚度 实际得到的膜厚（玻片上厚度）（2）.探头低了，测试得到的厚度 实际得到的膜厚（玻片上厚度）（3）.工具因数调高,相当于探头位置降低,所以膜厚要增加2. 膜和材料间的关系2.1. U5吸收杂光，影响膜质和亮度.镀的过多，膜会发银；镀的过少，膜发黑，不亮泽，有银色； 没镀上,则为银白2.2. U3 脱膜剂，影响膜质.镀的过多,膜质稀烂,易脱落;镀的过少,膜会打卷,发硬2.3.SiO2 决定颜色2.4.U6

19、 基层,影响膜的鲜艳度和亮度3. 均匀性3.1. 径向均匀性：同一玻片上部与下部的不均匀，与光斑的调节、材料的料面、坩埚转速和 转向、玻片的曲率有关3.2. 重复均匀性：同一锅膜的每一套间的不均匀，与真空度的高低、操作者看颜色有关3.3. 整体均匀性：同一套膜四块玻片上的均匀性，与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发速率的匹配、真空度的高低、径向均匀性有关4. 灯丝问题4.1. 放气时要记住关灯丝电源,以免氧化灯丝4.2. 初次使用或更换新灯丝，应进行灯丝预热定型处理，以防灯丝加热过快变形.预热时,高 压关闭,直接加热灯丝,缓慢加灯丝电流，由几安培加至15A时,维持3-5分钟4.3. 灯丝安装a. 灯丝不宜太高或太低：太高会造成光斑不可调，容易打烂栅极和阳极片；太低会造成 光斑能量太散，不易蒸发b. 栅极片应略低于阳极片c. 各个压块、引线的接触面应清