全自主履带式移动平台

1、采购货物一览表第一包：多协议现场总线互联实验系统序号设备名称规格单位数量1多协议现场总线互联实见附件套1验系统2多 PLC的 SCADA实验系统见附件套13嵌入式 PROFIBUS总线设套1见附件备开发系统4PROFIBUS从站开发包见附件套1附件：一、多协议现场总线互联实验系统把已有 Controlnet 和 Profibus-DP 工业现场总线通过工业以太网交换机和通讯模块搭建成开放的网络通讯系统，包括 Modbus, Modbus/TCP, PROFIBUS DP 和工业以太网。并利用各种总线 I/O ，模拟出复杂系统的实际使用工况。功能：1） 保留 Controlnet 网络，通过 P

2、ROFIBUS DP 和 Modbus 实现各子系统的独立工作和数据共享；2） 利用此系统，可开展对不同网络通讯下的系统性能研究。要求：1）提供基于ControlLogix系统的 DP , Modbus 通讯模块：模块内嵌 VxWorkx 操作系统，其文件系统可通过升级来扩展应用模块提供大容量进行数据缓存，可寻址（支持各种数据格式）可无缝在 ControlLogix系统现有网络中实现数据下载，如通过RSLINX 可跟踪所有通讯任务和现场的节点状态， 具很好的诊断功能， 并提供同相应的总线 （ Profibus 、DeviceNet ） I/O 。2）提供不同TCP/IP PLC系统之间的通讯：

3、可工作在客户端或服务器模式下实现一对一，一对多，多对多等任意通讯实时性好， 100 毫秒级的通讯响应灵活地组合相关协议无需了解具体TCP/IP 内容模块提供大容量进行数据缓存，可寻址（支持各种数据格式）可跟踪所有通讯任务和现场的节点状态，具很好的诊断功能。3） 网管型工业以太网交换机配置 8 个电气端口10/100Mbps可实现 SNMP 或 WEB 功能，提供OPC 服务器功能，可通过上位机客户端监测。4）提供 USB 接口 PROFIBUS 接口卡，具有如下特点：提供配置软件，可实现PROFIBUS S7/DP/FDL的配置支持 DP V0/V1协议具丰富诊断功能5） PROFIBUS 智

4、能通讯卡实现包括 S7/MPI/DP的多协议通讯提供板上数据库可实现数据的存储可扩展通道，如以太网，串口提供 OPC/DDE服务器管理型工业以太网交换机（8 电口）用于 Controlnet 网络的 DPV0/V1 通讯模块1 块用于 Controlnet 网络的 的 MODBUS通讯模块2 块用于 Controlnet 网络的 的 EtherNET 通讯模块2 块PROFIBUS到 MODBUS的网关1台DP从站 IP67 模块， 4 输入 /4 输出，1块DP从站 IP67 模块， 8 输入 /8 输出，1块DeviceNet从站 IP67模块， 8 输入 /8输出， 1块DeviceNe

5、t从站 IP67模块， 4 输入 /4输出， 1块DP从站 IP20 总线耦合器模块1块端子模块1块1A 信号模块，8 输入 /8 输出，1块USB 接口 PROFIBUS 接口卡1块支持 FDT的 PROFIBUS网卡1块4 串口 /Profibus口网卡1块二、多 PLC 的 SCADA 实验系统采用工业以太网通讯接口卡（PROFIBUS&ETHERNET态软件和通讯接口卡提供的OPC 服务器，建立多PLC 的功能：），连接多家SCADA 系统。PLC系统，通过组1） 开展 OPC 服务器的研究；2） 开发其它产品的OPC 服务器；要求：1）以太网高速采集卡可实现对不同协议PLC

6、数据的采集（如提供板上数据库可实现数据的存储可扩展通道，如以太网，串口提供 OPC/DDE服务器2）基于PCU 总线的 DP/DeviceNet/CANopenM/TCP, E/IP, SRTP通讯，提供基于等等） Windows操作系统的驱动程序和 API 文件：提供 Windows 平台的配置、诊断软件采用标准的协议规范，提供主站功能或主站、从站功能提供 VisualStudio 环境的 API可方便地实现不同协议总线的上位机监控3）基于PC/104总线的DP/DeviceNet/CANopen通讯，提供基于Linux和WinCE嵌入式操作系统的驱动程序和API 文件：提供远程 Windo

7、ws 平台的配置、诊断软件，可通过串口实现访问采用标准的协议规范，提供主站功能或主站、从站功能以太网多协议网卡1块PROFIBUS多协议网卡1块PROFIBUS/以太网多协议网关串口 / 以太网多协议网关1台1台电流环接口卡2块ProfiNet代理服务器Ethernet IP,ModbusTCP PCIProfibus DP PCI M/S卡DeviceNET PCI M/S卡CANopen PCI M 卡1111台卡块块块1块PC104 Profibus DP M/S卡 1块PC104 DeviceNET M/S卡1块PC104 CANopen M 卡1块三、嵌入式 PROFIBUS 总线设

8、备开发系统及附件采用协议开发包，开展相关嵌入产品的研究和开发工作，同时采用仿真产品对远程网络进行通信测试和上位软件调试。功能：DP1) 利用开发包与相应（开发测试）板卡等开发平台，开发拥有自主知识产权的相关总线协议产品。2) 为其他用户定制开发嵌入式产品，可以满足以下总线解决方案：要求：1）嵌入式通讯模块提供 CCLINK/DeviceNet/DP网络的集成接口和相关API支持最新的协议规范在控制层，可方便地从一个协议转换到另一协议，程序变动小。2） DeviceNet网络诊断设备提供网络信号和通讯的诊断Windows直观画面可插在网络任意位置，不占用节点提供 OPC 服务器，可在上位机实现监

9、测3）基于 FPGA 的 DP 从站仿真卡PCI 接口，提供最多125 个 DP 从站仿真提供 API 函数可用于编程通过与 IO 仿真程序和相关驱动的应用，可离线测试相关的控制程序4） PROFIBUS 智能多从站接口通讯卡实现包括 S7/MPI/DP的多协议通讯提供板上数据库可实现数据的存储可扩展通道，如以太网，串口提供 OPC/DDE服务器I/O 教学仿真软件（含PROFIBUS DP IO 驱动 1套PROFIBUS多从站接口卡1块服务器 OPC1套嵌入式现场总线开发系统1套Profiubus总线剥线工具1套DeviceNet网络测试仪1台DeviceNet总线中继器1台5）提供设备所

10、需的相关附件（如特殊接头、连接器等）功能： 满足设备实验接线要求，将各种设备连接组网。要求： 设备原装产品。供方自行细化。四、应用开发系统（ PROFIBUS 从站开发包）含如下附件 :1、嵌入式PROFIBUS接口板卡技术特点：适用于高速数据通信要求现场设备，如变频器、伺服控制器、编码器、PLC、机器人、数控等。技术指标 ：内置 1K Bytes双口 RAM，通过40 管脚插针与用户板连接。接口板与用户板之间以互相中断和硬件握手方式对双口RAM进行数据交换， 有字校验和， 保证数据交换的实时性、完整性和安全性标准 PROFIBUS-DP接口 ,波特率自适应，最大波特率12MPROFIBUS用

11、户参数化功能：用户模板可将一次性设置的参数在主站配置中设定，主站在与从站连接时，一次将这些用户参数传送到从站，用户模板可使用这些参数实现参数化PROFIBUS最大输入 / 输出数据： 112 字节输入 +112 字节输出用户板供电2 组 5V DC，VCC/GND-150mA和 5V/0V-100mA外形尺寸(W × H) ： 50mm× 70mm工作环境温度：0-50 ，湿度95%2、 PROFIBUS标准（印刷版）3、 PROFIBUS开发包（含4 片 SPC3）功能： 适合开发PROFIBUS DP/DPV1现场装置，如从站。可使开发人员或用户能够按照IEC61158

12、 标准，开发PROFIBUS-DP现场装置，并且测试这些已完成开发的现场装置。开发包支持 RS 485 物理接口。要求：1、标准 PROFIBUS-DP 驱动接口 ,波特率自适应，最大波特率12M；PROFIBUS输入 / 输出数量可自由设定，最大112 字节输入 +112 字节输出；2、可实现 PROFIBUS 用户参数化功能：用户模板可将一次性设置的参数通过GSD 文件在主站配置中设定，3、接口板与用户板接口为双口RAM（ 25ns读 / 写周期），用户板按普通RAM的读写时序即可对接口板进行操作。4、接口板与用户板之间以互相中断和硬件握手方式对双口RAM 进行数据交换， 保证了数据交换的

13、实时性和完整性（一致性）。5、接口板与用户模板的数据交换有字校验和，保证了数据的安全性：6、需用户板供电2组 5VDC, VCC/GND-150mA和 5V/0V-100mA7、工作环境温度: 50 ,湿度 95%4、千兆网数字摄像机功能： 实现千兆网内传输数字图像，搭建网络机器视觉平台。140 万像素数字摄像机，千兆网络接口（GigE）输出数据，1Gb/s 的传输速率。在只使用常规双绞线的情况下，直接传输距离可达到 100m。通过网络，可对摄像机进行远程控制，并可实现多台摄像机协同工作。完全符合 GigE Vision 标准，配有软件开发包，支持热插拔，对主机资源的占用率低，内置自动增益自动

14、曝光调整、对传输数据包的长度和间隔可控。要求：帧曝光逐行扫描CCD8 bit GigE输出连续采集模式，在最大分辨率下（1392× 1040）15帧 / 秒直接传输距离可达 100m延迟图像传输传输数据包长度和间隔时间可调闪光灯控制输出，外触发输入，软件触发C/CS 标准镜头接口在连续模式和触发模式下都支持自动增益和自动曝光摄像机技术指标：传感器逐行扫描 2/3 ” CCD, 低照度，彩色分辨率1392×1040 像素像素尺寸6.45 m×6.45 m最大输出帧率1392×1040： 15 帧 / 秒数据接口Gigabit Ethernet图像数据格式彩

15、色： Bayer 8A/D 转换精度12 位增益可编程增益，自动增益快门可编程曝光： 1/50000s 0.06s ，自动曝光同步方式外触发 /软触发镜头接口C/CSI/0外触发输入，闪光灯控制输出功耗额定功率： 4 W12V，最大功率： 5 W12V可支持操作系统Windows 2000/ Windows XP/ Vista工作温度0 50工作湿度20 80 机械尺寸（ W×H×L）65mm×65mm×53mm（不含镜头和输出插头）其他支持用户二次开发镜头技术指标靶面尺寸2/3 焦距 (mm)25最大成像尺寸 (mm)8.8 ×6.6( 11

16、)光圈范围 (F-Stop)F1.6F16C最小物距 (M.O.D)(m)0.3m控制光圈手动聚焦手动最小物距时2/3 10.6 ×8.0视场范围1/2 7.7 ×5.7（ H x V cm ）2/3 24.9 ×20.0 ×15.1视场角 (DxHxV )1/2 18.2 ×14.6 ×11.01/3 -分辨率（中心 / 边角）100lpm2/3 -0.3%(y=5.5)变形率-0.1%(y=4.0)1/2 后焦距 (mm)13.10接口C-接口滤镜螺纹 (mm)M30.5×0.5工作温度20°C 50°

17、;C5、仿真器要求：综合采用多种最新的仿真技术，从而可以仿真各种8/16/32位 MCU，仿真的芯片达到数千种。通用配置不同的仿真头，可以仿真多种单片机，功能强大，性能可靠，为将来发展留有空间。仿真频率：最高仿真频率高达50MHz。程控时钟：用户可以自由地在调试软件中设置自己需要仿真的频率，可选频率范围：20KHz到 100MHz，精度： 1Hz计时器：统计程序执行的时间含有“逻辑分析仪”： 64 通道、 64K/ 通道、 100M采样频率。与时间触发器配合，可以捕捉到电路上出现的非常复杂的情况，能帮助设计人员迅速准确查找到设计中的错误。含有“波形发生器” ： 8 通道、 64K/ 通道、 1

18、00M采样频率，可以向用户板上注入多大8路的可编程的复杂波形，为设计人员提供各种数字信号源。例如常用的串口、IIC 、SPI波形。含有“跟踪器” ， 64K 深度，最高跟踪速度高达10ns。配合事件触发器，可以进行条件跟踪， 以捕捉制定条件下程序执行的轨迹，了解程序动态执行的过程。仪机器码、 反汇编、源程序显示。有“代码覆盖”功能，在运行复杂结构的程序时，可以实时的了解程序的执行情况，可以动态的观察制定条件下，代码是否被执行了。有“程序时效分析” 功能， 能统计每个函数、每条指令的运行时间及占整个程序运行时间的百分比，为设计师提高程序效率、检查程序错误提供帮助。有“数据时效分析” 功能， 能统

19、计每个变量、每个存储单元的访问次数及占整个程序访问次数的百分比，为提高程序效率、检查程序错误提供帮助。有“影子存储器”功能，在用户程序运行时，可以观察外部存储器或外部变量的变化情况，无需停下程序，也能直观、实时的监视外部数据的变化。可设置多次条件断点, 可以设置极其复杂的地址条件、数据条件、控制信号条件、内部特殊功能寄存器断点、内部寄存器断点、 数据范围断点、 程序范围断点、外部断点以及它们的任意组合，多次断点最大计数可达 65536 次。含有“多功能逻辑笔” ，可以观察8 路逻辑信号（支持低电压），并且含频率计、记数器(64 位) 及电压计功能。说明：上述四个系统应可组成一个“异构现场总线网

20、络互联及应用开发系统”。第二包：激光跟踪仪等序号设备名称技术指标单位数量1激光跟踪仪见附件套12可重构模块化6 自由度机械手臂见附件套13微材料力学性能测试系统见附件套1系统分辨力：0.25 微米系统精度： 0.5 微米4球杆仪结构要求：球杆仪应采用平行片簧支撑，不套1得采用滑杆式结构。系统包括：90mm 球杆仪、球杆仪长度校准卡具最新版本软件RS-232 控制及接口单元磁性固定座直角固定装置携带式仪器箱高真空高温等离子体增强金属有机见附件台15源化学气相沉积系统6薄膜表面形貌测试系统见附件套1一、激光跟踪仪技术指标测量范围及参数水平转角：±320°* 垂直转角：+80&#

21、176;- 60 °激光跟踪半径（ IFM&ADM）：15 米三维空间测量精度（ IFM ）静态及动态：±5m/m ； ±10m/m坐标重复性：优于 2.5ppm干涉仪精度（ IFM）测量精度：±0.5 ppm绝对测距精度（ ADM ）测量精度：15m， within 10 metres电器参数1.5 m/m， outside 10 metres电压：220v+/-10%频率：(50/60)Hz消耗功率：100w(连续 )， 350w(峰值 )其他参数最大跟踪速度：>4.0米/ 秒最大加速度 ： >2g角度分辨率：± 0.0

22、7 角秒长度分辨率：0.32m采点速率：2000点/ 秒激光器预热时间：15 分钟激光器： He-Ne 激光器，激光器寿命不小于50,000 小时数字式气象站：温度精度： 0.1压力精度： 0.3mmg配置* SA 测量软件（标准）：可在获取的测量数据的基础上用最佳拟合、正交/平行、镜像、投影、相交等方法进行几何元素特征构建，并评定数据的正确性。可进行 GD&T 几何尺寸和公差的分析。 数据结果可以以图表 /Excel/Office 等格式输出。* 包括用于测量速度、加速度的 velocity package 软件，数据采集频率可达 500Hz。* 专用跟踪仪校准软件可对误差源进行快速

23、精度修正鸟巢： 1.5" ， 7/8" ， 0.5" 各一件定位球座：一个用于固定靶球平面测量座：一个用于高精度表面测量边缘测量球座：一个用于工件边缘测量圆柱销测量球座：1/4" ， 3/8" ， 1/2" 各一件球座：一个用于固定靶球硬尖点：一个用于测量已知点空间位置构造球： 1/2"一个隐蔽点测量加长棒：5?， 10?各一件光学靶球： 1.5 英寸一个便携式笔记本电脑：戴尔Latitude D830(T9300 2.5G/2G/160G/独显 )标准配置适合工况作业的三角支架及便携式装运箱一套专用工具箱及必备工具一套*

24、为避免外界热源和灰尘的影响， 系统应具有良好的热稳定性和全封闭结构，采用自适应温控系统散热，主机不得有散热孔。* 为减小测量误差，系统不得采用反射镜。* 为适应各种测量环境、提高工作效率，跟踪仪主机可在原有三脚架上被简便的抬高以测量跟踪仪附近的位置。* 工作温度范围： 10 45。* 为体现仪器的便携性，主机应采用轻便稳定的三脚架来支撑，不得使用三角底盘支撑，主机重量应在 10Kg 之内，全套系统应在 25Kg 之内。二、可重构模块化6 自由度机械手臂移动机械手臂招标参数1、全自主履带式移动平台（1）车体：车载工控机、触摸屏高度不超过175mm长度不超过 700mm宽度不超过 405mm重量：

25、不超过23kg（2）电源：可安装 1 到多块电池工作时间2-10 小时充电时间2-3 小时可接 24V直流电源（3）运动特性：最大行驶速度1.6m/s 以上越障能力18cm以上爬坡40°以上楼梯30°以上负载能力60Kg 以上运行路况全地形：水泥地、公路、草地、沙地、碎石地、雪地等（4）防水特性：3 米防水，全天候运行（5）传感器：立体视觉光电编码器2 路500 线加速度传感器 1 路±50g电子罗盘 1 个航向角0360°俯仰角 -6060°翻滚角 -6060°陀螺 1个±300°/s温度传感器3 路（6）通讯：

26、无线 APIEEE802.11b/g， 54M， 1000 米（ 7）用户接口： RS232 、 RJ-45、 USB、 CAN、 4 路视频（ 8）文档：说明书，中英文教材，开发库、例程源代码2、6 自由度机械手臂（ 1）重量：不大于 10kg（ 2）尺寸：大臂长度 不小于 500mm 小臂长度 不小于 600mm（ 3）肩关节旋转：连续肩关节俯仰：150 度肘关节： 270 度手爪旋转：连续手爪张开： 180 度肩部摄像头俯仰：±20 度（ 4）通信： CAN总线（ 5）控制：电流闭环，速度闭环，位置闭环（ 6）负载能力：水平展开： 3 kg最大静态抓取：5kg（7）视频：两路（

27、8）软件：图像远程传输，实时姿态显示，教学仿真软件三、微材料力学性能测试系统1）功能及技术指标试验力测量：试验力测量范围： 0100 N；试验力示值精度：显示值的 ±1%；变形测量：变形测量范围： 1%-100% ；精度：显示值的 ±1%；位移测量： 脉冲编码器 5000 脉冲测量行程；位移测量精度：示值的 ±1%；位移测量分辨率： 0.01mm；夹紧方式：钳夹方式；最大拉伸试验空间： 100mm；最大压缩空间：100mm；扁试样夹持：厚度： 1mm宽度： 8mm；传动系统：电机转速经减速机减速后传递给丝杠副，丝杠副的螺纹由左旋和右旋两段组成。 当电机旋转时带动连

28、接在丝杠副上的夹具接头作相对运动，以保证试件中心位置固定。 Windows2000/XP 操作平台；控制系统：能够实现试验机的等速试验力、等速位移控制模式；在试验进程中，完成试验机的试验数据屏幕显示，用户可以根据自己的需要设计试验机的复合型控制模式；具有试验力、峰值、行程、试验曲线的屏幕显示功能。适用标准与数据处理： 用户可以定制符合国家标准或其它标准要求的数据处理软件。 试验过程能够模拟再现和试验数据的再分析。安全保护装置：当夹头到达上极限位置时，行程保护，电机停机。软件功能：测试结束后，数据可存档，提供测试过程中的时间、位移和载荷原始数据，以及光学变形分析的位移和应变数据，均以文本文件输出

29、，并各方便导入Excel等绘图软件。用户根据需要，得到相关的力学参数。2）主要技术指标载荷： 0-100N测力精度： 0.1%位移控制精度：±10 微米图像测量精度：0.05 像素图像应变测量精度：速度范围：行走空间：使用电源：功率：100 为应变0.05 100mm/min100mm（不含夹持器、特殊测试空间亦可依客户需求定制）220V 50HZ 。约 1.0KW机台尺寸：约 120×160×330 mm机台重量：约 15 kg图像采集的分辨率达到 1376*1040图像采集速率： 2Hz3） 设备配置序 号名 称数量1微型机械加载机构 (日本原装电机 )12J

30、AI逐行扫描相机13PC2VISION 图像采集卡14进口显微成像镜头150100N 力传感器 :16扁钳夹式夹具17集成式控制器18机械控制和图像分析专用软件19图像采集与变形分析软件110使用说明书1 套11微机（性能不低于双核cpu 主频1 台2.6G,内存 2G，硬盘 320G）4）可测试项目普通测试项目：（普通显示值及计算值）拉伸（压缩）应力拉伸（压缩）强度扯断强度扯断伸长率定伸应力定应力伸长率定应力力值撕裂强度任意点力值任意点伸长率5） 服务质保期一年；质保期内产品的所有维修费用均为免费；接到产品故障通知后，在一周内到达产品使用现场处理。 质保期外公司继续提供产品的维修服务，硬件的

31、维修按照硬件当时的市场价格计算。软件终身免费升级服务。5 天免费现场培训。五、高真空高温等离子体增强金属有机源化学气相沉积系统适用于各种薄膜材料制备、 研究与开发， 操作简单可靠， 各实验参数可灵活变动，利用该设备在基底上可以实现氧化锌 （ZnO）、氮化硅（ Si3N4）、碳化硅（SiC）、氮化镓（ GaN）、氮化铟（ InN）、铝氮镓铟（ AlGaInN ）等膜层的外延生长，该设备主要用于有机源气相外延薄膜或纳米线生长工艺实。一、系统主要组成及技术性能指标：系统主要由真空室反应系统、气体（载气与气相有机源）输入与控制系统、有机源蒸发输入与控制系统、 样品加热电源及测温控制系统、 射频等离子源

32、及射频电源、计算机操作控制系统及控制柜、 尾气处理及安全保护报警系统组成。样品传递与安放由计算机控制的磁力传递机械手完成， 样品旋转及控制系统， 一次可在进样室储存 4 块样品，并可依次将样品送入生长室或将生长好的样品从生长室取出，在样品室可对样品进行表面等离子清洗与溅射。 系统主要由生长室和进样室两个腔室组成，各腔室配有真空排气单元及相关测量仪器。A、生长室 1 个，主要用于样品的外延生长：-5极限真空度： 1×10Pa-8真空室漏率： 10 Pa.L/s真空室腔体尺寸： 260×400mm，双层水冷却结构，生长室主体全部采用1Cr18Ni9Ti 不锈钢材料制造， 氩弧焊

33、接，电化学抛光及外表面喷玻璃丸处理， 全部采用金属垫圈密封结构。 真空室上开有复合分子泵接口、 样品架接口、 进气接口、观察窗接口、机械手接口、红外测温窗口、真空计接口、照明接口、闸板阀接口、射频等离子源接口。B、生长室样品架及样品加热器：1 套样品面呈水平向上方向， 采用机械方式固定， 样品架与发热体采用耐高温、 涂镀热解氮化硼的抗氧及还原的电子纯级石墨材料制造 ,可在氧化和还原气氛下工作，发热体采用可拆卸方式安装，允许衬底样品最大尺寸：2"（ 51mm），样品加热温度：室温 1300±1，连续可调，样品转速： 1500 转 /分，连续可调，采用高速旋转电机带动无泄漏的磁

34、流体密封转动机构完成。C、样品自动传送及存取样系统 1 套。采用无泄漏密封的磁力偶合结构，可由计算机及 PLC（进口，日本三菱） 控制样品自动传送及存取、交接。D、喷淋式布气管2 套。E、喷淋式射频气体离化器及感应器1 套。F、气体混合罐 3 套。G、红外测温窗 1 套。H、带挡板观察窗1 套。I、用于真空室压强调节与平衡的流导自动调节阀1 套。J、红外测温仪，可测控温度范围 300 1400 ±1。K、尾气焚烧及冷却系统1 套 。L、500W 射频源 1 套。M 、样品加热及温控电源1 套 。N、双路电阻 电离数字显示复合真空计1 台， CF35 规管及管路接口。数字显示： 热偶规

35、： 1.0x105-1 ，电离规：-1-5PaPa -1.0x10 Pa1.0x10Pa -1.0x10O、放气阀 1 支。P、电容式薄膜数字显示真空计及控制器1 台。Q、电动闸板阀 1 台，用作样品室与生长室隔离。R、真空系统 1 套，包括：复合分子泵及变频控制电源 1 台 ,直连机械泵 1 台，分子泵与机械泵联接金属软管 3 米，电动闸板阀 1 台，电动截止阀 1 台，电磁截止阀2台。S、工作反应抽气无油干式真空泵1 台，抽速： 8L/sT、可控蝶阀 1 台，与电容式薄膜真空计共同控制反应室的工作压强。U、国产七星及进口美国MKS 质量流量计各 4 台及控制器 2 台。气体：二乙基锌（纯度

36、： 99.995）、三甲基铟 Ar（纯度： 99.999）、H2（纯度：99.999）、B2H6（氢气稀释浓度为1）或三甲基硼 （纯度： 99.995）、PH（纯度： 99.995）、 NH 3（纯度： 99.999）（气体用户自备）V、气路截止阀 10 只。W 、进口气体管路 50 米及 VCR 接头 100 付。X、照明系统 1 套Y、安装机台组件1 套Z、螺栓、螺母、垫片及法兰密封无氧铜垫圈、氟胶圈辅助材料等1 套A1、法兰密封无氧铜垫圈、氟胶圈备件1 套B1、样品进样及处理室1 个：-8-5，真空室漏率： 极限真空度： 2×1010 Pa.L/SPa真空室腔体内尺寸： 250

37、×400mm，全部采用 1Cr18Ni9Ti 不锈钢材料制造，氩弧焊接，电化学抛光及外表面喷玻璃丸处理。 全部采用金属垫圈或氟橡胶圈密封结构，其上开有：闸板阀接口、门接口、样品储存库接口、样品传递杆接口、观察窗接口、分子泵接口、真空规接口、照明接口、放气接口、等离子源接口、磁控溅射靶接口、样品加热器接口等，可对样品进行加热退火，离子清洗，磁控溅射镀膜等。C1、DN60 带观察窗进出样门1 套。D1、样品储存库 1 套，可存放 4 块最大尺寸为 2"（ 51mm）样品。由 PLC 控制可自动升降 100 ，与样品传递杆配合自动存取样品。E1、CF63 样品自动传递杆 1 套，

38、由 PLC 控制可自动在样品储存台与生长室样品架之间传送样品。F1、DN60 观察窗 1 套，用于观察样品交接。G1、放气阀 1 支。H1、可加热升降样品台1 套，发热元件为电子级热解石墨。加热温度，室温1300连续可调。加热器配精密温控器（进口，日本岛电）。I1、 CF63 等离子清洗源1 套。J1、 CF63 磁控溅射靶 1 套。K1、真空系统 1 套，包括：复合分子泵及变频控制电源1 台 ,直连机械泵） 1 台，分子泵与机械泵联接金属软管3 米，电动闸板阀 1 台，电动截止阀 1 台，电磁截止阀 2台。L1、双路电阻 电离数字显示复合真空计1 台， CF35 规管及管路接口。数字显示：

39、热偶规： 1.0x105-1 ，电离规：-1-5PaPa -1.0x10 Pa1.0x10Pa -1.0x10M1 、 螺栓、螺母、垫片及法兰密封无氧铜垫圈、氟胶圈辅助件1 套。N1、 法兰密封无氧铜垫圈、氟胶圈备件1 套。O1、1000ccMO 源 4 套，控温精度 ±1，加热温度室温 150连续可调。金属有机物是装在特制的不锈钢（有的内衬聚四氟）的鼓泡器（源瓶）中，由通入的高纯 Ar 气携带输运到反应室。为了保证金属有机化合物有恒定的蒸气压，源瓶放置于控温精度在 ±1的电子恒温器中， 控温范围为 300K-350K 。带排空系统（包括管路、管路保温和电磁阀） 。P1、气

40、路及气体柜 1 套。气体源包括：金属有机源和气态源及载气。金属有机源的气路共 4 条。每条气路由质量流量计、压力控制器、气动阀、电磁阀、单向截止阀、 VCR 接头、管路等组成。气态源气路共 7 条：（其中 2 条用于工作气源， 2 条用于 N2，H2，另 3 条用于掺杂）每条气路由质量流量计、气动阀、电磁阀、单向阀、 VCR 接头、管路等组成。整个气路运行状态由模拟屏显示。所有的气路的各个部件安装在气柜内，气柜的前门有玻璃，使气柜内的部件一目了然。Q1、操作控制系统1 套 整个系统的运行在工业控制计算机及 PLC 监管之下，控制界面友好美观，智能化程度高，根据工艺条件进行可编程控制的内容包括：

41、 对质量流量计的控制， 对 MO 源的温度控制，对气体的输运控制，对各气路阀门的开关控制，对基片石墨加热器的温度控制， 对精密直流调速电机转速的控制， 可与真空控制计、 激光检测仪及红外测温仪联机， 对膜层生长时间及厚度进行控制， 对分子泵、机械泵及干式机械泵的启停进行控制， 具有对设备故障的诊断、 报警及保护功能。 提供整套计算机控制的硬件接口，软件，电源。 提供控制软件的基础程序，科研人员可根据工艺参数的需要而编制不同的执行程序。R1、安全保护报警系统手动紧急开关， 操作人员压下手动紧急开关后， 设备内的全部阀门关闭， 电源切断，运行停止。自动紧急开关， 当系统接到自动紧急停止信号后，应立

42、即通过控制系统采取紧急措施。二、培训培训地点：安装现场；培训时间：12 周：受训人员： 23人培训内容：真空系统操作与维护； 电器控制系统操作与维护； 计算机控制系统操作与维护；气路控制系统操作与维护；三、备品备件气路压垫等 5 套；相关规格无氧铜密封垫圈2 套；六、薄膜表面形貌测试系统1) 测试范围： 多模式原子力显微观察和大样品原子力显微观察。2) 大样品尺寸： 可用于 8英寸晶片整片扫描成像，样品尺寸： 200×200×35mm，大范围内能准确定位， 热漂精度 优于 400nm， 200mm真空吸盘（标准）3) 扫描器范围及分辨率小范围XY 范围 : 9m x 9m ，噪音 : <1 ? RMSZ范围 :2m ，噪音 : < 0.1? RMS大范围XY 范围 : 90m x 90m，噪音 : < 0.5 nm RMSZ 范围 : 7m