传感器的标定与校准

1、标定与校准的概念 新研制或生产的传感器需要对其技术性能进行全面的检定，以确定其基本的静、动态特性，包括灵敏度、重复性、非线性、迟滞、精度及固有频率等。 例如，对于一个压电式压力传感器，在受力后将输出电荷信号，即压力信号经传感器转换为电荷信号。但是，究竟多大压力能使传感器产生多少电荷呢？换句话说，我们测出了一定大小的电荷信号，但它所表示的加在传感器上的压力是多大呢？这个问题只靠传感器本身是无法确定的，必须依靠专用的标准设备来确定传感器的输入输出转换关系，这个过程就称为标定。简单地说，利用标准器具对传感器进行标度的过程称为标定。具体到压电式压力传感器来说，我们用专用的标定设备，如活塞式压力计，产生

2、一个大小已知的标准力，作用在传感器上，传感器将输出一个相应的电荷信号，这时，再用精度已知的标准检测设备测量这个电荷信号，得到电荷信号的大小，由此得到一组输入输出关系，这样的一系列过程就是对压电式压力传感器的标定过程，如图1-19所示。图1-19 压电式压力传感器输入输出关系 校准在某种程度上说也是一种标定，它是指传感器在经过一段时间储存或使用后，需要对其进行复测，以检测传感器的基本性能是否发生变化，判断它是否可以继续使用。因此，校准是指传感器在使用中或存储后进行的性能复测。在校准过程中，传感器的某些指标发生了变化，应对其进行修正。标定与校准在本质上是相同的，校准实际上就是再次的标定，因此，下面

3、都以标定为例作介绍。172 标定的基本方法 标定的基本方法是，利用标准设备产生已知的非电量(如标准力、位移、压力等)，作为输入量输入到待标定的传感器，然后将得到的传感器的输出量与输入的标准量作比较，从而得到一系列的标定数据或曲线。例如，上述的压电式压力传感器，利用标准设备产生已知大小的标准压力，输入传感器后，得到相应的输出信号，这样就可以得到其标定曲线，根据标定曲线确定拟合直线，可作为测量的依据，如图1-20所示。有时，输入的标准量是由标准传感器检测而得到的，这时的标定实质上是待标定传感器与标准传感器之间的比较，如图1-21所示。输入量发生器产生的输入信号同时作用在标准传感器和待标定传感器上，

4、根据标准传感器的输出信号可确定输入信号的大小，再测出待标定传感器的输出信号，就可得到其标定曲线。 图1-20 压电式压力传感器的标定曲线与拟合直线 图1-21 用标准传感器进行标定的方法173 标定系统的组成 传感器的标定系统一般由以下几个部分组成： 被测非电量的标准发生器； 被测非电量的标准测试系统。例如，活塞式压力计标准压力标准压力传感器，测力机标准力标准力传感器，恒温源标准温度标准温度计。 待标定传感器所配接的信号检测设备，如信号调节器和显示器、记录器等。因为所配接的检测仪器也作为标准测试设备使用，因此，其精度应是已知的。 为保证标定的精度和可靠性，在标定过程中应注意这样几个问题： 为保

5、证量值的准确一致，标定应按计量部门规定的规程和管理办法进行，只能用上一级精度的标准装置来标定下一级精度的传感器。 工程测试中所用的传感器，应在与其使用条件相似的环境下进行标定，以获得较可靠的标定精度。 为提高标定精度，可将传感器与其配用的电缆、滤波器、放大器等测试系统一起标定。 有些传感器标定时，应按传感器规定的安装条件进行安装。174 传感器的静态标定及设备传感器的静态标定主要用于检验、测试传感器的静态特性指标，如静态灵敏度、非线性、滞后、重复性等。对不同功能的传感器需要不同的标定设备，即使同一种传感器，由于精度等级要求不同，标定设备也不同。例如，力标定设备有测力砝码、拉(压)式测力计等；压力标定设备有活塞式压力计、水银压力计、麦氏真空计等；位移标定设备有深度尺、千分尺、块规等；温度标定设备有铂电阻温度计、热电偶、基准光电高温比色仪等。175 传感器的动态标定及设备传感器的动态标定主要用于检验、测试传感器的动态特性，如动态灵敏度、频率响应和固有频率等。对传感器进行动态标定，需要对它输入一个标准激励信号，常用的是周期函数中的正弦波以及瞬变函数中的阶跃波。传感器动态标定设备主要是指动态激振设备，低频下常使用激振器，如电磁振动台、低频回转台、机械振动台、液压振