ELA基础介绍PPT课件

1、2021/3/91ELA基础知识介绍Array-MFG2015/09/10Locfe南城2021/3/92Outline1. ELA与LTPS制程2. 准分子激光退火系统3. ELA工艺技术4. ELA工艺测试2021/3/93准分子就是一种处于激发态的复合粒子，在标准状态下，即在基态时，它处于分离状态，而在激发态处于分子状态。常见的准分子有：XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr* 2021/3/94准分子激光对应的紫外波段，a-Si薄膜对紫外光有大的吸收系数紫外光的注入深度较小，可以减小激光对玻璃基板的作用2021/3/952021/3/962021/3/972021/3/98

2、 2. 准分子激光退火系统(2) 准分子激光原理、结构及参数 (1) 准分子激光退火系统的结构(3) 光学系统构成简介(4)退火腔结构简介2021/3/99ELA系统基本组成2021/3/910TCZ & JSW ELA System overviewELA System overview2021/3/911激光器原理2021/3/912激光器原理2021/3/9132021/3/914Laser tube design2021/3/915LasingIon branchDischarge Xe，F2Xe，Xe* ，Xe+ ，F2 ，F-Xe*，F2 Xe+ ，F-(XeF)*Xe，F

3、Neutral branch351 nme- + XeXe+ + e- + e-e- + XeXe*+ e- e- + F2F- + FXe+ + F-+ M(XeF)*+ MXe*+ F2 (XeF)*+ FPumping:Stimulated:(XeF)* + hXe + F +2h (351nm)Losses:(XeF)*Xe + F+h (351nm)(XeF)* + MXe + F + M(XeF)* + M + XeXe2F + MX + h(351nm)X*2021/3/9162021/3/917Gas lifetime2021/3/918准分子激光原理、结构及参数准分子激光原理

4、、结构及参数- -参数参数2021/3/919准分子激光原理、结构及参数准分子激光原理、结构及参数- -参数参数Peak to Peak Energy Fluctuation2021/3/920准分子激光原理、结构及参数准分子激光原理、结构及参数- -参数参数Pulse duration2021/3/921Pulse duration2021/3/922准分子光学系统简介准分子光学系统简介光学系统示意图2021/3/923准分子光学系统简介准分子光学系统简介Monitor system示意图2021/3/924准分子光学系统简介准分子光学系统简介Beam Short Axis & Lo

5、ng Axis2021/3/925Short Axis Slope准分子光学系统简介准分子光学系统简介2021/3/926退火腔结构简介退火腔结构简介退火腔室结构2021/3/927退火腔结构简介退火腔结构简介Scan Process2021/3/9283. ELA工艺技术(1)晶化机制(2)主要参数2021/3/929薄膜吸收与加热薄膜吸收与加热薄膜表层熔融薄膜表层熔融热能传导热能传导部分熔融部分熔融接近完全熔融接近完全熔融完全熔融完全熔融激光照射激光照射多晶硅晶化过程2021/3/930晶化机制2021/3/931主要参数Energy Density Vs Melt regime2021/

6、3/932主要参数Overlap Vs PitchOverlap相邻两个shot之间的重合程度Pitch相邻两个shot之间的距离Overlap=(Beam Width-Pitch)/ Beam Width2021/3/933Overlap Vs. Grain Size主要参数2021/3/934主要参数CVD Thin Film Concern2021/3/935主要参数Dehydrogen2021/3/9364. ELA工艺测试(2) SEM测试(3) AFM测试(1) 宏观检查(4) -PCD测试2021/3/937宏观检查宏观检查-Mura2021/3/938SEM测试2021/3/939AFM测试2021/3/940AFM测试Sur