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文档简介
1、实验报告(四)一、 实验目的:掌握静力学分析;验证理论分析结果;对 不同形状膜的分析结果进行对比。二、实验器材:能够安装ANSYSM牛,内存在512MHz以上,硬盘有5G空间的计算机。三、实验说明1、基本思路:建模与网格化;静力学分析;对结果进行分 析和比较。2、问题描述:许多压力传感器的工作原理是将受压力作用 而变形的薄膜硅片中的应变转换成所需形式的电输由信号, 比较的膜形状有圆形.正方形.长方形。四、实验内容及步骤(一)、圆形薄膜(自由式网格划分)1、先建立一个圆形薄膜:Main Menu >Preprocessor >Modeling >Create >Volum
2、es>Solid Cylinder. 弹由 一个对 话框, 输入 WPX=0 , WPY=0 , Radius=300e-6,Depth=13.887e-6,单击OK。设置单元类型: Main Menu >Preprocessor >Element Type >Add/Edit/Delete, 弹由一个对话框,点击Add,在 Library Of Element Type下拉列表框中选择StructuralSolide 项,在其右侧下选择Brick 8node 45 选项,单击OK o 再点击 Close.2、设置材料属性:Main Menu >Preproces
3、sor >MaterialProps > Material Models,弹由一个对话框,在 MaterialModels Available 下双击打开 Structural >Linear >Elastic >Isotropic ,又弹由一对话框,在 EX后面输 入1.9E11,在PRXYW面输入栏中输入 0.3,在双击Density, 在DENSW面军入2.33e3,单击OK。关闭对话框。设置单元 尺寸:Main Menu >Preprocessor >Meshing >MeshTool, 弹由一个对话框,单击 Global中的Set按钮,
4、弹由Global Element Sizes 对话框,输入 size=5e-006,然后单击OK <3、 采用自由式网格化生成单元:MainMenu>Preprocessor>meshing>meshtool弹曲个对话框,选择Shape后面的Tet,Free,. 然后单击 Mesh,在单击OK。 施加约束:Main Menu >Solution >Define Loads >Apply >Structural >Displacement >OnAreas.拾取圆的周围 面,然后单击OK,选择ALL DOF,单击OK。4、施加载荷:Ma
5、in Menu >Solution >Define Loads >Apply >Structural >Pressure >On Areas 拾取薄膜 上表面,然后单击OK,由现一个对话框,在Value Load Pres Values后面输入100000,单击OK。1ELEMENTSANMAR 20 201214:37:1309060242-44-sunguoliang5、求解:Main Menu->Solution >Solve >Curentls LS弹出一信 息框和一对话框,单击File >Close,单击OK,出现一个Sol
6、ution Is Done的信息提示框时,单击 Close按钮。Utilitymenu >File>Save As.输入 Plate-Resu,.单击OK。6、显示节点位移云图:Main Menu >General Postproc >PlotResults >Contour Plot >Nodal Solu,出现对话框:在 ContourNodal Solution Data 对话框中选择 Item To Be Contoured >NodalSolution >Dof Solution >Displacement Vector Sum.
7、然后单击OK7、显示节点应力云图:Main Menu >General Postproc >PlotResults >Contour Plot >Nodal Solu ,出现对话框:在 Contour Nodal Solution Data 对话框中选择 Item To Be Contoured > NodalSolution >Stress >Von Mises Stress,然后单击OK。NODAL SOLUTIONANSTEP=2SUB =1MAR 23 201208:11:57,157E+08.209E+08346846,548E+07.106E+08.291E
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