四十八所扩散作业指导书现场版本

1、 规范四十八所扩散炉常规维护项目的操作二、 适用范围适用于佳诚太阳能有限公司电池车间扩散一到四线工序三、 规范性引用文件四十八所扩散炉操作说明书四、 职责设备人员:1、检查温控仪表及热电偶是否正常2、检查触摸屏是否偏移,矫正3、检查电气线路按钮开关及指示灯是否正常4、检查插片房风机是否正常5、检查变压器及炉体接线端子是否老化、发黑等现象6、保养完后,确认每台炉管加热、流量正常工艺人员:1、负责协助生产拆装废液瓶夹子2、检查有毒气体管道密封性和老化程度,是否需要更换 生产员工:1、检查传动是否平滑,有无震动和异响,加润滑油2、清理净化滤网,必要时更换3、清理废气室及废气管滴下的偏磷酸4、检查恒温

2、水槽不锈钢源瓶座是否有积水,清理5、检查恒温水槽液位是否过低;控温等是否正常6、检查气路是否有漏气现象,更换卡套和四通阀7、检查废液瓶内废液,是否需要清理 五、 设备主要技术参数 : 六、设备介绍与操作总体结构分为四大部分,见平面安装图 1,从右到左为:控制部分、推舟净化部 分、电阻加热炉部分、气源部分。 图 1 软着陆扩散炉平面安装图 1.2.1工控机控制框图见图 2。 图 2在控制柜的底层, 安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路、 电路转接控 制板及各层的开关、保险等 , 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开 关等。 该柜内有 220V 的交流电,也有 15V 、 5V 直

3、流电和控制信号线,检修时请注意 区分及安全,谨防接错和短路。推舟净化柜的顶部装有照明灯;正面是悬臂桨推拉舟机构,推舟水平运动采用 步进电机 +减速机 +同步带 +同步带轮的传动机构,推动悬臂桨水平移动;推舟垂直运 动采用步进电机 +减速机 +升降机的驱动机构,推动推舟底板整体上下移动。导轨的 两端和上下运动的两端都装有限位开关和极限保护开关。靠近炉口的净化柜顶部设 有漏斗状的抽气罩,与外接抽风系统连接后,用来排掉出舟时散发的大量高温有毒 气体。 电阻加热炉柜共有六层。 顶层配置有水冷散热器及排热风扇, 废气室顶部设有抽 风口,与外接负压抽风管道连接后,可将工艺过程残余的废气带走。中间部分分四层

4、放置四个炉管, 每层由四个坡面支架托起并固定住炉管, 其位置在安装时已经与推舟送片机构调正,因此切不可轻易挪动。炉管上从左至右分别有 六个接线端子,请务必根据接线端子及线头上的标号对应连接,连接时,请使线与 炉管外壁保持一定的距离,以防电缆因过热而短路。在炉管外壁的中部,可以看到 有五个热电偶接线座,中间三个的座内各接有两支热电偶,热偶用来控温,热偶 为超温保护热电偶。控温热电偶从左至右分别用红 (+、绿 (-两根补偿导线对应 连接控制柜上对应层的左附控、控、控、控、右附控温控仪,保护热电偶则 连接到控制柜对应层的保、保、保温度保护仪。 热电偶插在座子里,由两个螺钉固定,请不要随意调动它们,因

5、为热电偶的 位置对温度控制精度及炉温的稳定性至关重要。每管炉体的右侧设置有废气室,以排放工艺过程中产生的有毒有害气体。炉柜的底层安装有四管加热炉的功率部件(可控硅、散热器、接触器、变压器、 可控硅过零触发器等 。底部背面的门板上装有散热风机,用以对可控硅进行散热。 气源柜分为五层。顶部设置有排毒口,用以排除在换源过程中泄漏的有害气体。 柜顶设置有三路工艺气体及一路压缩空气的进气接口,接口以下安装有减压阀、截 止阀,用以对进气压力进行控制及调节。对应于气路,各层分别装有相应的电磁阀、 气动阀、过滤器、单向阀、质量流量控制器、及源瓶冷阱等。 停炉后再运行工艺前,必须认真检查各减压阀的压力是否在要求

6、的范围之内、 各手动阀是否都处在打开的位置,特别是源瓶上的聚四氟手动阀更应仔细检 查, 确保其已打开, 否则有炸瓶的危险; 对外的排气软管及废液瓶也应经常检 查和清洗,防止由于废液和偏磷酸残渣堵塞管道而引起源瓶爆炸。 气路配置见图 3 。 图 3 1. 3系统控制原理系统控制方框图见图 4,总控制原理图见所附电路图 WK92.0-DL 。 图 4 2设备开关机流程图 2. 1设备开机流程图如下: 2.2设备关机流程图如下: 3使用、操作应缓慢将水倒入恒温槽内 , 避免因管道内的空气不能排出而导致循环泵不工作。 3.1.2恒温槽的温度设定, 上、 下极限超温保护的设定以及其他使用中应注意的事项,

7、 详见所附的恒温槽操作使用说明书。工控机主机及其板卡均选用台湾研华公司产品。整个工艺过程包括:自动进 出舟、净化风机的开启和关闭、斜率升降温、分段恒温、开关电磁阀、质量流量控 制器流量控制等各步骤工艺参数及工艺时间均可预先设置 (可预置 100条工艺曲线 。 各部分检查无误后,按下电控柜相应层上的电源上电开关,开启计算机。此时扩散 炉监控系统自动启动,输入密码进入操作界面后,系统完成初始化动作:即关闭电 磁阀,清除流量信号,清除舟位置信号。选定工艺曲线后,启动运行键,计算机自 动按程序完成全工艺过程,并可自动监测和记录工艺过程中的全部参数。详细使用 方法见所附计算机操作使用说明书。 注意在设备

8、运行及暂时停用过程中,请保持计算机主机箱及显示器的电源开 关始终处于开启状态;关机时退出监控系统后,在 windows 下选“关闭计算机” ,然后关掉面板上的上电开关即可。4.1 数据录入 图 4由于扩散炉的计算机的输入采用触摸屏的操作方式,因此在监控程序的运行期 间,所有的数据输入操作均通过触摸屏进行输入。监控程序的数据输入操作除“工 艺编辑”窗体中的工艺参数的输入外,均使用如图 4所示的“数据录入”窗体来进 行数据输入。在用户选中一个输入对象后, “数据录入”窗体就会自动弹出,只需在 该窗体中点击相应的字母、数字和功能按钮就可输入相应的数据,输入完成后再单 击“确定”按钮,则输入完毕。系统

9、会自动检查用户的输入是否正确,如果不正确 则给出相应的提示,例如出现图 5所示的信息。 图 54.2登录 /注销点击运行监控程序后, 即出现登录界面。 用户必须正确登录才可使用该监控程序。 在用户名输入框中选择已存在的用户名,并在密码输入框中输入该用户的密码后, 单击“确定”按钮,如果没有出现任何提示,即登录成功,否则系统将给出相应的 提示。 图 6在程序运行期间, 单击工具栏的 “注销” 按钮, 即可注销本次的登录。 在注销后, 用户不能进行任何其它操作,必须点击工具栏的“登录”按钮进行重新登录后,才 可继续操作。注销期间,工艺的自动运行等不受影响。 6、设备维护 主要维护项目:6.1. 更

10、换拆石英尾气管流程 准备好相应的工具 把炉内温度设为 600 拆除石英尾气瓶上面的连接头拆除后要用耐酸手套包好与尾气瓶连接的另外一端,以防止残液滴下。 拆除石英尾气管与废液瓶的连接,并拿出废液瓶。 抽出尾气管,并放在指定的地方。6.2. 装管流程把尾气管插入石英管尾部的孔中,放好并拧紧夹子上的螺母。 (注意:夹子的螺母 要松紧适度,以防止石英管热膨胀导致破裂。 6.4 周维护项目 6.5 月维护项目1-4线开管扩散炉月份保养维护表 备注:1、设备维护结束后,维护表上需有维护项目执行者 /制造部当班工序长和设备负责人的签名确认。 2、确认设备正常后,必须进行走片试运行半小时,确保设备处于完好状态。6.6 年维护项目 3、石英物品清洗职责安排:设备人员:负责炉管的拆装、炉管搬运;工艺人员:负责提供溶