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文档简介

1、分子泵保养与使用和维修手册分子泵保养与使用和维修手册OTX 2009/6/6分子泵保养与使用和维修手册分子泵保养与使用和维修手册一、分子系的内部结构一、分子系的内部结构 1高真空接口 60球型轴承 2前级真空接口 61半径方向防震垫圈3冷却水连接 63轴向防震垫圈4排气接口 64电视单元5电气连接 650-圈6橡胶底座 720-圈10转子 730-圈10 a转子中心毂 80锁紧著14安装螺帽 810-圈16USIT接头 82润滑油包58螺丝 830-圈59螺帽 84油包安装环二、分子泵的清洗:二、分子泵的清洗:o 一般来讲,如果说前级泵没有问题,而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏

2、气(排除其它的漏气)、或着解吸附作用降低,说明真空泵有点脏了,需要进行清洗,这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下 o 1关掉分子泵,进行排气。o 2从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。o 3拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等o 4拆掉润滑的油包o 5将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。6往容器中用人无水酒精,高度以前级真空接口略低为宜,如下图。分子泵放入酒精容器分子泵放入酒精容器i7上下活动分子泵几次,便于分子泵的定子和转子的叶片清洗,在无水酒精中浸泡大概510分钟。8换掉无水酒精,加入新的无水酒精,重复前面的工

3、作,最少要重复一次。9拿出分子泵。10将高真空接口朝上,从垂直慢慢放倒到180度,以便排除磁性轴承中的酒精。11用一个网格放在高真空接口上,然后朝下放置,利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。12接上前级真空泵,不要开分子泵,利用前级泵抽真空,达到大概10E1左右,以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。13更换真空泵中的真空油,接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢,这是因为分子泵中有残留的酒精,属于正常情况,不必忧虑。三、驱动马达的检查三、驱动马达的检查 o 驱动马达的检查可以用两种方法,一个是带带驱动单元TCP时用示波器看波形。一个是不带驱动器检查线路。o 带驱动

4、单元TCP的方法操作,这里要注意一点,就是探针式的霍尔传感器是没有0电位的,所以在用示波器的时候将0V线拔掉。切记不要同时查看B1-B4、B2-B3的波形。下面是在全速旋转时检测到B1-B4或B2-B3波形。IC波形在不带驱动单元的检测方法,这个办法主要是检测、测室外部的接线和内部的适配器。检查的时候请参考下图o : 图中的标号在外部表现的颜色为:o在霍尔元件的G、F之间加上一个40MA的恒定电流,在B1-B4或B2-B3之间接入示波器或万用表。然后用手转动分子泵。如果正常的话,测室出来的电压的极性每周会变化一次。o o 四、更换轴承四、更换轴承o在分子泵中最容易损坏的就是轴承了,所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换,我们一般更换的是马达这边的轴承。更

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