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文档简介

1、纯臻净化工程万级净化车间万级净化车间是将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将十万级净化车间内之温度、洁净度、室内 压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求 范围内,而所给予特别设计之房间。净化车间亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化车间最主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度日温湿度, 使产品能在一个良好之环境空间中生产、 制造,此空间我们称之为净化车间(洁净室)。万级净化主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气,将室内的污染 逐渐排出,来实现洁净效果。 室内的气流是以不均匀的

2、速度呈不平行 流动,拌有回流或涡流,不同等级的净化车间,主要是依靠单位时间 内所送风量的不同来实现。十万级、万级和百级洁净车间的净化级别标准:豪3D1谙净直及洁寺但空气中悬谭粒子洁净度尊嬰h in0,2 b m*31- EDin1 ti m102X10014101Q002J7102注S4IMOO2370102035285FWtMJOO2 roc10200J52O8522P1000400:rv-.-j10K403即押8J:W73524*0S3SOOSi<2000012000$EMM万级净化车间空气洁净度等级的检验,应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净厂房空气洁净度的测试,应符合如下表规定

3、:毎立方米t毎升径气中毎立方米毎升.空耗中巧微米尘軽數1003*35-100(3.5J10'00£0<35*1000(35)«250(0.2510'QQO£35*10000(350)*2500(2.5)lOODOOiJl£35*100000(3500)*25)00 f25)万级净化车间标准包括哪些内容?1. 尘粒最大允许数(每立方米);2. 大或等于0.5微米的粒子数不得超过 350000个,大或等于5 微米的粒子数不得超过 2000个;3. 微生物最大允许数;4. 浮游菌数不得超过100个每立方米;5. 沉隆菌数不得超过3个每培养

4、皿。压差:相同洁净度等级的净化车间压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要5Pa,净化车间与非净化车间之间要 10Pa 。万级净化车间对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不 产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季2022 C;夏季2426 C;波动土 2 C。冬季净化车间湿度控制在 30 50 %,夏季净化车间湿 度控制在 5070 。配电:净化车间(区)的主要生产用房一般照度值宜300LX ;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为 200300LX 。噪声控制1、 动态测试时,万级净化车间内的噪声级不应超过70 分贝 A。2、 静态测试时,万级乱流净化

5、车间的噪声级不宜大于60 分贝 A。 万级净化车间参数要求 :换气次数:100000 级 15次;10000 级 20次;1000 > 30次; 100 > 500次.压差:主车间对相邻房间5Pa平均风速:10级、100级0.3 0.5m/s ;温度 冬季16 C;夏季 v26 C;波动土 2 Co温度 4565; GMP 粉剂车间湿度在 50左右为宜;电子车间湿 度略高以免产生静电。噪声w 65dB (A);新风补充量是总送风量的 10 % 30 %;照度300LX 千级净化车间和万级净化车间的区分标准:(一)净化车间之等级 世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联 邦标准 20

6、9 为多,以下仅就 209D 及 209E 和世界上其它各国制定标 准作介绍与相互比较。 209E 与 209D 等最大之不同在于 209E 表示 单位增加了公制单位,净化车间等级以'M '字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3.依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5 口 m之微尘粒子数目字以 10 的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完 全幕次方之间,则以1.5、2.5、3.5.表示。 美国联邦标准 FS209D 都以英制每立方英呎为单位, 日本则是采用公制, 即以每立方公尺为 单位,以0.1 口 m微粒子

7、为计数标准。日本标准之表示法以Class 1 ,Class 2 , Class 3Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为 Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为 10 的幂次方,取 其指数而得。 (二 )净化车间控管之项目 1. 能除去空气中飘游之微尘 粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压 力之调节。 5. 有害气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静 电之防制。 8. 电磁干扰预防。 9. 安全因素之考虑。 10. 节能之考 量。万级净化车间分类1、工业净化车间以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘 埃微粒对工作对象

8、的污染,内部一般保持正压状态。 它适用于精密 机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学 工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD (液 晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。2 、生物净化车间,主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘 埃)对工作对象的污染。又可分为;A 、 一般生物净化车间,主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌 剂侵蚀, 内部一般保证正压。 实质上其内部材料要能经受各种灭菌处 理的工业净化车间。 例:制药工业、 医院(手术室、 无菌病房)食品、 化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。B、

9、 生物学安全净化车间: 主要控制工作对象的有生命微粒对外界和 人的污染。内部要保持与大气的负压。例:细菌学、生物学、洁净实 验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)万级净化车间所需检测项目1. 气流速度及其均匀度检测, 这项检测是净化车间效果的其他各项检 测的前提,这 项检测的目的是为了明确单向流净化车间工作区的平均气流通度及 其均匀性。2. 系统或房间的风量检测。3. 室内洁净度的检测。 洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空 气洁净度级别,可采用粒子计数器检测。4. 自净时间的检测。通过确定自净时间,查明净化车间内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。5. 气流流型检测。6. 噪声的检测。7.

10、 照度的检测。 照度检测的目的是为了判明净化车间的照度水平和照 度的均匀性。8. 振动的检测。 振动检测的目的是为了判明净化车间各表明的振动幅 度。9. 温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定 限度内的能力。 其内容包括检测净化车间的送风温度, 检测有代表性 测点的空气温度, 检测净化车间中心点的空气温度, 检测敏感元件处 的空气度,检测室内空气相对温度,检测回风温度。10. 总风量和新风量的检测。 万级净化主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气, 将室内的污染逐渐 排出,来实现洁净效果。 室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动, 拌有回流或涡流, 不同等级的净化车间, 主要是

11、依靠单位时间内所送 风量的不同来实现 .。 目前有十万级和三十万级两种标准。 万级净化车间的作用净化车间最主要作用在于控制产品(如硅芯片等 )所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造, 此空间我们称之为净化车间 。世界各国均有自定规格,但普遍还 是用美国联邦标准 209 为多,以下仅就 209D 及 209E 和世界上其它 各国制定标准作介绍与相互比较。 209E 与 209D 等最大之不同在于 209E表示单位增加了公制单位,净化车间等级以'M '字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3.依此类推,配合国际公制单位之标准 化,M字母后之阿拉伯

12、数目字是以每立方公尺中>=0.5 口 m之微尘粒子数目字以 10 的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前 后二者完全幕次方之间,则以1.5、2.5、3.5.表示。美国联邦标准 FS 209D 都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用 公制,即以每立方公尺为单位,以0.1 口 m微粒子为计数标准。日本标准之表示法以 Class 1 , Class 2 , Class 3Class8表示,最好的等级为 Class 1 ,最差则为 Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数 中化为 10 的幂次方,取其指数而得。实体案例介绍万级净化车间 万级净化车间适用于的生物制药、医疗器械、医院制剂室、

13、手术 室、无菌室、食品饮料、化妆品、电子、实验室、电子仪器仪表、计 算机房、半导体厂、印刷厂、汽车工业、航天工业、光刻、微机制造 等行业净化工程,近年来完成百多项。按各行业用户需求,净化级别 从一百级到三十万级,项目工程均通过权威部门检测,按 GMP 规范 标准验收 QS 规范标准验收使合格率达 100% ,创造了诸多成功实例, 除了要空气洁净度以外, 还要保证达到除静电的要求。 比如光学产品 的制造。光学微电子净化工程亦名净化车间或清净室,目前已是半导体、 精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食 品制造等行业不可或缺的重要设施。 近几年来, 由于技术之创新发展, 对于产

14、品的高精密度化、 细小型化之需求更为迫切, 如超大型积体电 路之研究制造, 已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目, 而我 公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位。 光学微电子净化工程一般包括:1 、 洁净生产区2 、 洁净辅助间(包括人员净化用房、 物料净化用室和部分生活用室 等)3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等)4 、 设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用 房、冷热设备用房)光学微电子净化工程净化原理气流t初效净化t空调t中效净化t风机送风t管道t高效净化风口-吹入房间-带走尘埃细菌等颗粒t回风百叶窗t初效净化重复以上过程,即可达到净化目的。光学微电子

15、净化工程净化参数换气次数:100000 级 15次;10000 级 20次;1000 > 30次。 压差:主车间对相邻房间 A 5Pa平均风速:10级、100级0.3 0.5m/s ;温度 冬季16 C;夏季 v 26 C;波动土 2 Co温度 4565; GMP 粉剂车间湿度在 50左右为宜;电子车间湿 度略高以免产生静电。噪声w 65dB (A);新风补充量是总送风量的 10 % 30 %;照度300LX 光学微电子净化工程结构材料1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用 50mm 厚的夹芯彩钢板制造,其 特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用专用氧化铝 型材制造。2. 地面可

16、采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板, 有防静电要求的, 可选用防静电型。3. 送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF 发泡塑胶板。4. 高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生 锈不粘尘,宜清洁。光学微电子净化工程解决方案 : 净化工程的设计过程中, 应加强对光学微电子行业净化工程设计方案 分析了解 ,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其 具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再 根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力, 综合各种因素来确定采用何种净化方案, 这样才可设计出一个能满足 甲方生产使用要求 、

17、工程造价合理、经济节能实用的方案。 组合式空气处理机组 + 冷水机组 + 高效送风口 这是一个最传统的净化空调系统的设计方案。 组合式空气处理机组里 含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或 中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水 机组提供。优点:A. 空气处理效果好,因空气经过集中处理,在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精确;B. 比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;C. 空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源;下面以现代最为代表的 LED行业为例,介绍光电光学行业无尘净化 车间。LED净化车间工程安装施工案例分析:在本设计里是指末端工 艺的一些净化净化车间安装,其净化洁净度一般为千级或万级或十万 级净化净化车间安装。背光屏类净化车间安装主要是这类产品的冲压车间、组装等净化净化车间,其洁净度一般为万级或十万级净化净化车间。LED净化车间安装室内空气参数要求 :1、 温湿度要求:温度一般为24+2 C,相对湿度为 55+5 %。2、新风量大。由于这类净化净化车间内人员比较多,可以根 据以下数

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