电子显微镜操作流程

1、电子显微镜学习心得及简单的操作流程1月 12、13号进行了由天美科学仪器有限公司派到敝公司的维修工程师为期两天的电子显 微镜安装。随后的 1 月 16、17 号两天我们所有的新老技术都参加了电子显微镜的培训。通过培训我们了解到了电子显微镜的结构、工作原理、工作条件、以及一些日常的维护保 养，电子显微镜被广泛应用于高分子材料、金属材料、陶瓷、治金、生物、地质、半导体、 仿生学等各个领域。通过电子显微镜可以方便地观察到物质的微观结构，晶体生长规律，检 测各种材料的老化及其疲劳损害程度，分析各种材料中的各种成分的分布规律及其各种元素 之间的比例关系。能谱分析（EDS）的使用方法：选择合适的试样位置后

2、，开始采集，待采集完成后，选择 适合的谱图进行计算，从而得到试样中相应元素的定量分析数据，并且还具有线、面分析功 能及其粒度分析统计功能。下面就这几天的学习简单制作了如下操作流程，仅供大家参考！1开启电源开关。2把钥匙拧到START处，启动电子显微镜。3待电脑开启之后，点击 0K键5等待*字样的进度条完全消失，电脑 连续“嘟”三声，说明样品台里面真 空气体完全泄出。4点击AIR键泄出里面的真空气体。1 jlj|'EaE x998hi nu HBO ；M I LJhi l耳1 mm WIEJifl6双手轻轻拉出真空罩，注意手的位置。7用手轻轻取出样品。8用碳胶带把样品贴在样品台上，注意

3、不要用手直接接触样品台。9以样品的最高点为基准，测出高度。10.把样品台放入轻轻放入。11.输入尺寸和高度，点击Stage Move待样品台自动调整到指定的位置,然后点击0KIhfi Uppel limiQ pnsjlionL,DelBdar > 山stopnurntiiirmefe Drspeeinwn Btuhpeciinen m呵* smaller刖叭flirtlan5peewtiRn 桝* meaur*fi 恤仙砧 i “啦upupPrevPrevameiPr of spetjmen shjp 侣 ptamen mu$l he 劉帼ll讨 tli前引ub.)of the spec

4、imen 出訓即眄 rneauned bvrF°ightg9ug«OuiBcIfli. UniE12. 把样品台轻轻推入真空罩，样品台 的高度必须低于真空罩口的高度。一只手轻轻搭住真空罩，另一只手 点击EVAC键，开始抽真空。15.点击ON键，加高压。16.点击B/C键，自动调整亮度。RUNFreezet'HTlachi S-34OQN Scanning Electron MVoltage Enriission20t0kV o.ouA17.点击FOCUS，自动聚焦。00JCStigAutoA18.调整后的图像。OFFS1S3F1:A>Monrlvtage Em

5、ission20XkV M.0UA300um1号4。0 20.0k/ 5.7mTnx1B3SEIl19控制图像横向、纵向移动的操作台20.放大图像、聚焦、调整亮度对比的X为横轴，Y为纵轴。操作台。STA£ CCWWOiiLEfi21.F1表示快速扫描，S1、S3皆为满速扫描，通过之前的一系列操作把图像调 整到您认为的最佳效果。22.点击M/S键拍照。23.点击Save,保存图像。3'Record.冋苍诃1缈®13I:AJII bI如dVi伽:MOre .Embed irria Image i26.打开电源开关，启动计算机进行能27.点击选项，选择电镜控制。24.设置

6、文件名之后保存。25.必须先设置样品台距离为10之后才能开始能谱分析。谱分析。L28输入放大倍数、高压、工作距离参数29.点击电镜设置。顶目向厂样品I叵宙骨设昼比较A0DeiadiMFti询I-J倉:咖二傩皿您空竺豕年借圏Ir I条年设置噪设置K3样晶32.点击开始采集。33点击采集图谱。30.点击开始采集。31.进入感兴趣区。a I感兰趣区定量寸祈 聲忧化定量分析 最优化电镜设直10.0确U元索34选择点或者面区域然后开始采集电子图像，待采集时间进度条结束为止。36.定量分析。35.确认元素。37.点击报告，选择创建 Word文件。38用好电子显微镜之后关机，先把能谱分析的计算机关闭，之后点击HOME键自动调整样品台高度，然后点击OFF键关闭高压，两者也可以同时进行。39.点击AIR键泄出真空气体，取出样品。40.设置样品台高