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文档简介

1、Confidential真空知识及侧漏报告真空知识及侧漏报告Confidential 真空的定义(一般工业技术上的定义)： 一切存在于空气中的物体，都受到空气的压力。这个压力的强度通常情况下我们称它为一个大气压。 真空（Vacuum）是指气压比一个标准大气压低的状态 国际上为了使用方便，统一使用“托”作为计量气压的单位，1托即为1mm Hg.所以： 1个大气压760托 反映真空程度高低的量叫做真空度。真空度低即气压高；真空度高即气压低。 目前的真空技术，已经获得 760托P 10 托的真空度。根据不同的应用情况，大致上可以把真 空区域划分为以下几个范围： 气压在 760托10托 叫粗真空； 1

2、0托 10 叫低真空； 1010 叫高真空； 10 托以下 叫超高真空；一、何为真空一、何为真空Confidential一、何为真空一、何为真空关于真空体系中的气体渗透：关于真空体系中的气体渗透：气体渗透，顾名思义，就是指气体分子渗透到气壁中去。这里要说明的是，气体分子不只会顺着微小的裂缝渗透，而是不管气壁材料种类如何，有多么致密，多么完美无瑕，气体分子一样可以渗透进去，只是渗透速度大小的问题。渗透的速度受气壁材料特性、温度、气体成分等因素影响。正是从这个意义上，我们说正是从这个意义上，我们说“真正完全不漏气的组件或体系是不存真正完全不漏气的组件或体系是不存在的。在的。在我们的排气机真空系统中

3、，钢铁、铜、镍、铝、玻璃等材料抗渗透的能力都是足够的。要注意的是如橡胶之类的材料Confidential二、抽真空二、抽真空旋片式真空泵工作原理如右图：旋片式真空泵工作原理如右图：D25B，D40B，大致就是这样工作的。，大致就是这样工作的。SV100(B)结构稍有不同，但原理一样。结构稍有不同，但原理一样。 罗罗茨（茨（Roots）泵（或称双突瓣式泵）泵（或称双突瓣式泵two-lobe pump) 其工作原理如左图：其工作原理如左图：Confidential 检检漏是指对于漏气的部件或系统进行检查以确定漏点的工作。经漏是指对于漏气的部件或系统进行检查以确定漏点的工作。经常的，在此之后我们要对漏点进行处理，使得部件常的，在此之后我们要对漏点进行处理，使得部件/系统的漏率小到系统的漏率小到可以接受的程度。可以接受的程度。 绝绝对不漏气的部件或系统是不存在的。所以技术上所说的对不漏气的部件或系统是不存在的。所以技术上所说的“不漏不漏气气”，只是指部件或系统的漏率已经小到满足要求。，只是指部件或系统的漏率已经小到满足要求。三、测漏三、测漏Confidential测漏方法：测漏方法：检漏的方法根据检漏时样品内气压是否超过外界大气压，大体有真空法和过压法两类。我们常用的气泡法（用于检查气体管道的

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