制程设备简介2014(义手大学报告Glen Tsai)

1、光鋐科技股份有限公司光鋐科技股份有限公司Epileds Technologies, Inc.EPILEDS製程設備簡介製程設備簡介講師講師 : : 光鋐科技光鋐科技 蔡明吾蔡明吾2013/11/08EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS真空系統簡介真空系統簡介l 真空定義真空定義l 真空真空pumppumpl 真空計真空計l 管路系統管路系統l 測漏測漏EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS76cm水銀托里切利真空EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS德國馬德堡市長德國馬德堡市長證明真

2、空的力量，證明真空的力量，將兩個半球密合將兩個半球密合其中抽真空，兩其中抽真空，兩邊各用四匹馬並邊各用四匹馬並未能將其拉開未能將其拉開EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS絕對真空絕對真空(absolute vacuum) -氣體壓力等於零的空間就是絕對真空。氣體壓力等於零的空間就是絕對真空。 -不存在任何包括氣體在內的物質，故絕對真空為不存在任何包括氣體在內的物質，故絕對真空為一一 個氣體壓力等於零的空間。個氣體壓力等於零的空間。EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS Atmospheres (atm

3、): Scale relative to our atmospheric pressure as 1 atm Pascal (Pa 帕帕):國際真空壓力單位國際真空壓力單位 SI unit equal to N/m2 mBar(毫巴毫巴):現行真空壓力單位現行真空壓力單位 Equal to 1x10-8 Pa. Torr or mmHg:習用真空壓力單位習用真空壓力單位 Most commonly used pressure unit, based on mercury vacuum gauges.EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILED

4、SEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS Atmospheric: 760 Torr Low Vacuum: 1 to 1x10-3 Torr Medium Vacuum: 1x10-3 to 1x10-5 Torr High Vacuum (HV): 1x10-6 to 1x10-8 Torr Ultra-High Vacuum (UHV): 1x10-9 TorrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS早期為探究真實早期為探究真實原

5、子原子的表面，的表面， 表面分析過程往往須在真空或超高表面分析過程往往須在真空或超高 真空中進行的真空中進行的，主要科學儀器之表主要科學儀器之表面分析設備都具有真空系統。面分析設備都具有真空系統。目前目前LED製程設備製程設備如如PECVD、 蒸蒸鍍機鍍機、濺鍍機、電漿蝕刻等皆需使濺鍍機、電漿蝕刻等皆需使用真空系統。用真空系統。EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS產生一乾淨的環境產生一乾淨的環境低分子密度低分子密度延長延長MFP加速反應加速反應產生一力量產生一力量EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS創造小於一大氣壓(1 atm)的科學技術EPILEDSE

6、PILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS

7、EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSWork range : Atmosphere to 10-3 torrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSWork range : 1010-3 torrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEP

8、ILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSE

9、PILEDSEPILEDSEPILEDSWork range : 10-310-10 torrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSWork range : Atmosphere to 60 torrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEP

10、ILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSE

11、PILEDSEPILEDS量測範圍 : atm1 torrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS量測範圍:1 10-3 TorrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS量測範圍:1 10-3 TorrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS電容式真空計電容式真空計 (Capacitance Manometer)量測範圍:1 10-5 TorrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSanodeEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS冷陰極離子真空計冷陰極離子真

12、空計(Cold-cathode ionization gauge)10-2 Torr 10-7 TorrEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPI

13、LEDS可裝卸密封塑膠之釋氣率可裝卸密封塑膠之釋氣率EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管路與管路系統管路與管路系統EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管路管路EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件的選用管件的選用EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件的材質管件的材質EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件施工管件施工EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件施工管件施工EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件施工管件施工EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS管件施工管件施工EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDSEPILEDS(a)實漏(b)虛漏(c)合併EPILEDSEPILEDSEPILEDSEPI