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文档简介
真空泵 真空泵系统 110 背压 (kPa 100 旁路停用 相对容积流量 负荷（%）报警背压线 停机背压 线 5 0.086 0.07 10 0.178 0.138 15 0.258 0.207 20 0.345 0.276 50 0.36 0.32 80 0.415 0.373 100 0.472 0.447 90 80 70 60 允许运行15分钟 50 40 停机线 30 报警线 20 阻塞线 10 0
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